JPH0364103A - 誘電体同軸共振器の製造方法 - Google Patents
誘電体同軸共振器の製造方法Info
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- JPH0364103A JPH0364103A JP19993889A JP19993889A JPH0364103A JP H0364103 A JPH0364103 A JP H0364103A JP 19993889 A JP19993889 A JP 19993889A JP 19993889 A JP19993889 A JP 19993889A JP H0364103 A JPH0364103 A JP H0364103A
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- electrode film
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- dielectric
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Landscapes
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、主としてフィルタ装置などに使用される誘電
体同軸共振器の製造方法に関する。
体同軸共振器の製造方法に関する。
（従来の技術）
例えばＴ Ｅ Ｍ １／４波長型の誘電体同軸共振器と
しては、第５図（ａ）に斜視図で、第５図（ｂ）に断面
図でそれぞれ示すように軸方向の貫通孔３０を有する円
筒型の誘電体ブロック３１の外周面３２と貫通孔３０の
内周面３３とのそれぞれに外導体３４と内導体３５とな
る電極膜ｈｔ形形成れ、誘電体ブロック３１の短絡端面
３６においては前記両導体３４．３５が接続されである
一方、開放端面３７には電極膜が形成されていない構造
となっているものがある。
しては、第５図（ａ）に斜視図で、第５図（ｂ）に断面
図でそれぞれ示すように軸方向の貫通孔３０を有する円
筒型の誘電体ブロック３１の外周面３２と貫通孔３０の
内周面３３とのそれぞれに外導体３４と内導体３５とな
る電極膜ｈｔ形形成れ、誘電体ブロック３１の短絡端面
３６においては前記両導体３４．３５が接続されである
一方、開放端面３７には電極膜が形成されていない構造
となっているものがある。
そして、このような構造の誘電体同軸共振器においては
その共振周波数が製造当初の段階から正確に設定される
ように製造することは難しく、そのため、共振周波数を
微妙に所望の共振周波数に凋整して製造する必要がある
が、そのための１つの製造方法として例えば開放端面３
７上に共振周波数調整用としての電極３８をあらかじめ
形成しておいて、その共振周波数の調整値に応じて電極
３８を削ってい（ようにしたものがある。
その共振周波数が製造当初の段階から正確に設定される
ように製造することは難しく、そのため、共振周波数を
微妙に所望の共振周波数に凋整して製造する必要がある
が、そのための１つの製造方法として例えば開放端面３
７上に共振周波数調整用としての電極３８をあらかじめ
形成しておいて、その共振周波数の調整値に応じて電極
３８を削ってい（ようにしたものがある。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、あらかじめ電極３８を開放端面３７上に
形成するとしても電極３８の形成位置とか大きさに既に
バラツキが生じていて、共振周波数の調整の前段階で既
に共振周波数にバラツキがあり、その結果、電極３８の
削り取り程度では当初からバラツキがある共振周波数を
調整できないことがある。また、電極３８の削り取りの
コントロールも難しいので共振周波数の調整に時間が長
くかかり量産性に乏しくなる。
形成するとしても電極３８の形成位置とか大きさに既に
バラツキが生じていて、共振周波数の調整の前段階で既
に共振周波数にバラツキがあり、その結果、電極３８の
削り取り程度では当初からバラツキがある共振周波数を
調整できないことがある。また、電極３８の削り取りの
コントロールも難しいので共振周波数の調整に時間が長
くかかり量産性に乏しくなる。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、共
振周波数を正確にかつ量産性よく調整できようにするこ
とを目′的としている。
振周波数を正確にかつ量産性よく調整できようにするこ
とを目′的としている。
（課題を解決するための手段）
このような目的を達成するために、本発明の誘電体同軸
共振器の製造方法においては、軸方向の貫通孔を有する
誘電体ブロックの内外面に電極膜を形成する工程と、そ
の誘電体ブロックの開放端面上においてその貫通孔を円
中心とする２つの同心円に囲まれる領域を電極膜除去領
域として、その電極膜除去領域を当該誘電体同軸共振器
の共振周波数の調整値に応じて設定する工程と、その設
定に応じてその電極膜除去領域内の電極膜を除去する工
程とを含むことを特徴としている。
共振器の製造方法においては、軸方向の貫通孔を有する
誘電体ブロックの内外面に電極膜を形成する工程と、そ
の誘電体ブロックの開放端面上においてその貫通孔を円
中心とする２つの同心円に囲まれる領域を電極膜除去領
域として、その電極膜除去領域を当該誘電体同軸共振器
の共振周波数の調整値に応じて設定する工程と、その設
定に応じてその電極膜除去領域内の電極膜を除去する工
程とを含むことを特徴としている。
（作用）
軸方向の貫通孔を有する誘電体ブロックの内外面に電極
膜を形成することでその誘電体ブロックの開放端面にも
電極膜を形成する。そして、その誘電体ブロックの開放
端面上においてその貫通孔を円中心とする２つの同心円
に囲まれる領域を電極膜除去領域として、その電極膜除
去領域を当該誘電体同軸共振器の共振周波数の調整値に
応じて設定し、その設定に応じてその電極膜除去領域内
の電極膜を除去していくことで共振周波数の調整を行う
。
膜を形成することでその誘電体ブロックの開放端面にも
電極膜を形成する。そして、その誘電体ブロックの開放
端面上においてその貫通孔を円中心とする２つの同心円
に囲まれる領域を電極膜除去領域として、その電極膜除
去領域を当該誘電体同軸共振器の共振周波数の調整値に
応じて設定し、その設定に応じてその電極膜除去領域内
の電極膜を除去していくことで共振周波数の調整を行う
。
（実施例）
以下、本発明の実施例に係る誘電体同軸共振器（ただし
、本実施例では一例としてＴ Ｅ Ｍ−１／４波長型の
ものに適用している。）の製造方法を第１図ないし第４
図を参照して詳細に説明する。
、本実施例では一例としてＴ Ｅ Ｍ−１／４波長型の
ものに適用している。）の製造方法を第１図ないし第４
図を参照して詳細に説明する。
まず、第１図（ａ）に斜視図で、第１図（ｂ）に断面図
でそれぞれ示すように軸方向の貫通孔ｌを有するセラミ
ックからなる円筒型の誘電体ブロック２を用意する。つ
いで、第２図（ａ）に斜視図で、第２図（ｂ）に断面図
でそれぞれ示すように、誘電体ブロック２の外周面３と
貫通孔ｌの内周面４とのそれぞれに銀とか銅などの金属
からなる電極膜５を焼き付けまたはメツキなどの公知の
手法で形成する。この電極膜５の形成ののち、第３図に
斜視図で示すように誘電体ブロック２の開放端面６上に
おいてその貫通孔ｌの径方向中心を円中心０とする２つ
の同心円（仮想線＆１、Ｑ２で示される）で囲まれる領
域を電極膜除去領域Ｓとして、その電極膜除去領域Ｓを
当該誘電体同軸共振器の共振周波数の調整値に応じて設
定する。そして、その電極膜除去領域Ｓの上方に電極膜
除去装置としてのレーザ装置のレーザ光発射口７を下方
に向けて位置させるとともに、その誘電体ブロック２を
上記中心０を通る中心軸線Ｑ３回りに回転させながら、
そのレーザ装置の発射口７からレーザ光を照射しつつそ
れを矢印り方向に移動させることでその電極膜除去領域
Ｓ内の電極膜３をトリミング除去する。これにより、誘
電体ブロック２における上記電極膜除去領域Ｓにある電
極膜５を除去した結果、第４図（’ ａ ）に斜視図で
、第４図（ｂ）に断面図でそれぞれ示すような誘電体同
軸共振器８が得られる。つまり、この誘電体同軸共振器
８の製造に当たっては電極膜除去領域Ｓを小さく設定し
て電極１膜を小さく除去し、それで誘電体同軸共振器８
の初期の共振周波数を得る。ついで、その共麺周波数が
所望の共振周波数でないときはそれを調整するのである
が、その調整はその電極膜除去領域Ｓを徐々に大きくす
るように電極膜をトリミング除去していくとよい。これ
により、共振周波数の調整を正確にかつ容易に行うこと
ができる。
でそれぞれ示すように軸方向の貫通孔ｌを有するセラミ
ックからなる円筒型の誘電体ブロック２を用意する。つ
いで、第２図（ａ）に斜視図で、第２図（ｂ）に断面図
でそれぞれ示すように、誘電体ブロック２の外周面３と
貫通孔ｌの内周面４とのそれぞれに銀とか銅などの金属
からなる電極膜５を焼き付けまたはメツキなどの公知の
手法で形成する。この電極膜５の形成ののち、第３図に
斜視図で示すように誘電体ブロック２の開放端面６上に
おいてその貫通孔ｌの径方向中心を円中心０とする２つ
の同心円（仮想線＆１、Ｑ２で示される）で囲まれる領
域を電極膜除去領域Ｓとして、その電極膜除去領域Ｓを
当該誘電体同軸共振器の共振周波数の調整値に応じて設
定する。そして、その電極膜除去領域Ｓの上方に電極膜
除去装置としてのレーザ装置のレーザ光発射口７を下方
に向けて位置させるとともに、その誘電体ブロック２を
上記中心０を通る中心軸線Ｑ３回りに回転させながら、
そのレーザ装置の発射口７からレーザ光を照射しつつそ
れを矢印り方向に移動させることでその電極膜除去領域
Ｓ内の電極膜３をトリミング除去する。これにより、誘
電体ブロック２における上記電極膜除去領域Ｓにある電
極膜５を除去した結果、第４図（’ ａ ）に斜視図で
、第４図（ｂ）に断面図でそれぞれ示すような誘電体同
軸共振器８が得られる。つまり、この誘電体同軸共振器
８の製造に当たっては電極膜除去領域Ｓを小さく設定し
て電極１膜を小さく除去し、それで誘電体同軸共振器８
の初期の共振周波数を得る。ついで、その共麺周波数が
所望の共振周波数でないときはそれを調整するのである
が、その調整はその電極膜除去領域Ｓを徐々に大きくす
るように電極膜をトリミング除去していくとよい。これ
により、共振周波数の調整を正確にかつ容易に行うこと
ができる。
なお、電極膜除去装置としては上記のようなレーザ光の
照射によるトリミング法以外にサンドブラスト法とかそ
の他のものでもよい。また、上記実施例では電極膜の除
去のために誘電体ブロックを回転させたが、誘電体ブロ
ックを回転させず除表装置の方４回転させてらよい。
照射によるトリミング法以外にサンドブラスト法とかそ
の他のものでもよい。また、上記実施例では電極膜の除
去のために誘電体ブロックを回転させたが、誘電体ブロ
ックを回転させず除表装置の方４回転させてらよい。
（発明の効果）
以上説明したことから明らかなように本発明によれば、
誘電体ブロックの貫通孔を円中心とする２つの同心円に
囲まれである領域を電極膜除去領域とし、誘電体ブロッ
クの貫通孔を回転中心として誘電体ブロックまたは適宜
の除去装置を相対回転させながら、その除去装置でもっ
て電極膜を除去するようにしたから、その電極膜をきわ
めて正確に除去することができる。そして電極膜除去領
域の当初の大きさを小さく設定して初期の共振周波数の
バラツキを小さく抑えておいたうえで、その電極膜除去
領域の大きさを徐々に大きくしていくことだけで正確に
かつ容易にその共振周波数の調整値に合わせて電極膜を
除去することができることになり、量産性に優れた製造
方法となる。
誘電体ブロックの貫通孔を円中心とする２つの同心円に
囲まれである領域を電極膜除去領域とし、誘電体ブロッ
クの貫通孔を回転中心として誘電体ブロックまたは適宜
の除去装置を相対回転させながら、その除去装置でもっ
て電極膜を除去するようにしたから、その電極膜をきわ
めて正確に除去することができる。そして電極膜除去領
域の当初の大きさを小さく設定して初期の共振周波数の
バラツキを小さく抑えておいたうえで、その電極膜除去
領域の大きさを徐々に大きくしていくことだけで正確に
かつ容易にその共振周波数の調整値に合わせて電極膜を
除去することができることになり、量産性に優れた製造
方法となる。
第１図ないし第４図は本発明の製造方法の説明にかかわ
る図であって、第１図（ａ）は誘電体ブロックの斜視図
、第１図（ｂ）は第１図（ａ）の１−１線に／Ｇう断面
図、第２図（’ ａ ）は電極膜が形成された誘電体ブ
ロックの斜視図、第２図（ｂ）よ第２図（ａ）の■−■
線に沿う断面図、第３図は誘電体ブロックの開放端面上
にある電極膜の除去領域の設定の説明に供する誘電体ブ
ロックの斜視図、第４図（ａ）は開放端面上にある電極
膜が除去されることで製造された本実施例に係る誘電体
同軸共振器の斜視図、第４図（ｂ）は第４図（ａ）のＩ
Ｖ−ＩＶ線に沿う断面図である。 第５図（ａ）は従来例の製造方広により製造された誘電
体同軸共振器の斜視図、第５図（ｂ）は第５図（ａ）の
Ｖ−■線に沿う断面図である。 ｌ・・・貫通孔、２・・誘電体ブロック、３・・外周面
、４・・貫通孔の内角面、５・・電極膜、６・・・開放
端面、７・・レーザ装置の発射口、Ｒ１，＋２２・・・
電極膜除去領域を規定する同心円、Ｓ・・・電極膜除去
領域。
る図であって、第１図（ａ）は誘電体ブロックの斜視図
、第１図（ｂ）は第１図（ａ）の１−１線に／Ｇう断面
図、第２図（’ ａ ）は電極膜が形成された誘電体ブ
ロックの斜視図、第２図（ｂ）よ第２図（ａ）の■−■
線に沿う断面図、第３図は誘電体ブロックの開放端面上
にある電極膜の除去領域の設定の説明に供する誘電体ブ
ロックの斜視図、第４図（ａ）は開放端面上にある電極
膜が除去されることで製造された本実施例に係る誘電体
同軸共振器の斜視図、第４図（ｂ）は第４図（ａ）のＩ
Ｖ−ＩＶ線に沿う断面図である。 第５図（ａ）は従来例の製造方広により製造された誘電
体同軸共振器の斜視図、第５図（ｂ）は第５図（ａ）の
Ｖ−■線に沿う断面図である。 ｌ・・・貫通孔、２・・誘電体ブロック、３・・外周面
、４・・貫通孔の内角面、５・・電極膜、６・・・開放
端面、７・・レーザ装置の発射口、Ｒ１，＋２２・・・
電極膜除去領域を規定する同心円、Ｓ・・・電極膜除去
領域。
Claims (1)
- （１） 軸方向の貫通孔を有する誘電体ブロックの内
外面に電極膜を形成する工程と、 その誘電体ブロックの開放端面上においてその貫通孔を
円中心とする２つの同心円に囲まれる領域を電極膜除去
領域として、その電極膜除去領域を当該誘電体同軸共振
器の共振周波数の調整値に応じて設定する工程と、 その設定に応じてその電極膜除去領域内の電極膜を除去
する工程と、 を含むことを特徴とする誘電体同軸共振器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19993889A JPH0364103A (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | 誘電体同軸共振器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19993889A JPH0364103A (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | 誘電体同軸共振器の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0364103A true JPH0364103A (ja) | 1991-03-19 |
Family
ID=16416092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19993889A Pending JPH0364103A (ja) | 1989-07-31 | 1989-07-31 | 誘電体同軸共振器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0364103A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002291828A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-08 | Nihon Medix | ベッド型マッサージ治療器 |
-
1989
- 1989-07-31 JP JP19993889A patent/JPH0364103A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002291828A (ja) * | 2001-03-29 | 2002-10-08 | Nihon Medix | ベッド型マッサージ治療器 |
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