JPH1127016A - 誘電体円筒共振器の製造方法 - Google Patents
誘電体円筒共振器の製造方法Info
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- JPH1127016A JPH1127016A JP17397397A JP17397397A JPH1127016A JP H1127016 A JPH1127016 A JP H1127016A JP 17397397 A JP17397397 A JP 17397397A JP 17397397 A JP17397397 A JP 17397397A JP H1127016 A JPH1127016 A JP H1127016A
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- grinding
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 研削加工工程において導体パターンを研削し
ない誘電体円筒共振器の製造方法を提供する。 【構成】 誘電体共振器５０は導体パターン形成時に開
放端面８側に導体パターンのない領域Ａ２を開放端面縁
から軸方向に所定幅設定して形成され、研削加工工程に
おいて誘電体素体１の開放端面８側の外周面２を軸に対
して垂直でない傾斜した研削ブレードの研削盤２１によ
ってテーパ状に研削される際に研削ブレードが導体パタ
ーン５の境界縁に触れないような十分な未研削部分（幅
Ｌ４）を残しつつ研削する研削加工工程によって製造さ
れ、導体パターンの研削による金属粉が研削ブレードや
誘電体素体の研削面９に付着することがない。
ない誘電体円筒共振器の製造方法を提供する。 【構成】 誘電体共振器５０は導体パターン形成時に開
放端面８側に導体パターンのない領域Ａ２を開放端面縁
から軸方向に所定幅設定して形成され、研削加工工程に
おいて誘電体素体１の開放端面８側の外周面２を軸に対
して垂直でない傾斜した研削ブレードの研削盤２１によ
ってテーパ状に研削される際に研削ブレードが導体パタ
ーン５の境界縁に触れないような十分な未研削部分（幅
Ｌ４）を残しつつ研削する研削加工工程によって製造さ
れ、導体パターンの研削による金属粉が研削ブレードや
誘電体素体の研削面９に付着することがない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は円筒形状の誘電体共
振器（誘電体円筒共振器）の製造方法に関し、特に所要
の共振周波数ｆ0やＱ値を得るために製造工程の最終段
階で行う研削加工に関するものである。
振器（誘電体円筒共振器）の製造方法に関し、特に所要
の共振周波数ｆ0やＱ値を得るために製造工程の最終段
階で行う研削加工に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】誘電体と導体で構成される同軸線路は言
うまでもなく分布定数回路であるが、これをある寸法で
切断したとき、高周波のエネルギーはこの線路に閉じ込
められ、材料特性を反映した共振器となる。
うまでもなく分布定数回路であるが、これをある寸法で
切断したとき、高周波のエネルギーはこの線路に閉じ込
められ、材料特性を反映した共振器となる。
【０００３】これが円筒ないし円柱形状の誘電体共振器
（高周波誘電体共振器、マイクロ波誘電体セラミックス
とも称する）であり、使用する共振モードによりＴＥモ
ード、ＴＭモード、ＴＥＭモード等種々の共振タイプが
あるが、このうちＴＥＭモードの共振器は最も小型化に
適したものであり、携帯電話等の高周波ブロックにおけ
るアンテナ共用器、バンドパスフィルタ、ＶＣＯの共振
器等に用いられている。
（高周波誘電体共振器、マイクロ波誘電体セラミックス
とも称する）であり、使用する共振モードによりＴＥモ
ード、ＴＭモード、ＴＥＭモード等種々の共振タイプが
あるが、このうちＴＥＭモードの共振器は最も小型化に
適したものであり、携帯電話等の高周波ブロックにおけ
るアンテナ共用器、バンドパスフィルタ、ＶＣＯの共振
器等に用いられている。
【０００４】ＴＥＭモード共振器として一般に用いられ
ている同軸線路型は図３に示されているように共振器長
Ｌが１／４波長である円筒形状の誘電体素体１の外周面
２と内周面３及び一方端面４（短絡端面となる）を銀や
銅でメタライズして導体パターン５、６、７を形成した
誘電体円筒共振器１０が基本形であるが、共振器の長さ
方向を短縮するため乃至共振器のＱや共振周波数ｆ0の
調整のために、図４に示されるように円筒形状の誘電体
素体１の外周面２と内周面３及び一方端面４に電極層を
形成して、開放端面８側の周縁の導体パターン及び誘電
体素体を軸に対して平行、垂直な研削ブレードの研削盤
１１を使用して段付き状に研削して異なるインピーダン
スの線路を接続した形状と成した誘電体円筒共振器２０
も広く採用されて一般的となっている（例えば特開昭５
８−１９４４０６号公報の明細書の図面第４図を参
照）。
ている同軸線路型は図３に示されているように共振器長
Ｌが１／４波長である円筒形状の誘電体素体１の外周面
２と内周面３及び一方端面４（短絡端面となる）を銀や
銅でメタライズして導体パターン５、６、７を形成した
誘電体円筒共振器１０が基本形であるが、共振器の長さ
方向を短縮するため乃至共振器のＱや共振周波数ｆ0の
調整のために、図４に示されるように円筒形状の誘電体
素体１の外周面２と内周面３及び一方端面４に電極層を
形成して、開放端面８側の周縁の導体パターン及び誘電
体素体を軸に対して平行、垂直な研削ブレードの研削盤
１１を使用して段付き状に研削して異なるインピーダン
スの線路を接続した形状と成した誘電体円筒共振器２０
も広く採用されて一般的となっている（例えば特開昭５
８−１９４４０６号公報の明細書の図面第４図を参
照）。
【０００５】また、前述の特開昭５８−１９４４０６号
公報には同軸誘電体共振器として、図５に示されるよう
な円筒形状（ないし円柱形状）の誘電体素体１の開放端
面８側の外周面の導体パターン５及び誘電体素体１の一
部を軸に対して垂直でない傾斜した研削ブレードの研削
盤２１によってテーパ状に研削された誘電体円筒（円
柱）共振器３０が開示されている。
公報には同軸誘電体共振器として、図５に示されるよう
な円筒形状（ないし円柱形状）の誘電体素体１の開放端
面８側の外周面の導体パターン５及び誘電体素体１の一
部を軸に対して垂直でない傾斜した研削ブレードの研削
盤２１によってテーパ状に研削された誘電体円筒（円
柱）共振器３０が開示されている。
【０００６】ところで、一般に誘電体共振器のＱは小型
化の要請とは相反して外径に相応して高くなるため、実
用上はＱと小型化のバランスから寸法が決まる。そして
Ｑやｆ0は誘電体素体の研削深さや研削後の外周面の導
体パターン５の長さ（Ｌ２）に依存するので所要の共振
周波数ｆ0、Ｑ値等の諸特性を得るために外周面の導体
パターン５の一部を削り取るという前述の誘電体円共振
器の製造における最終段階での研削加工は高い研削加工
精度が要請される。
化の要請とは相反して外径に相応して高くなるため、実
用上はＱと小型化のバランスから寸法が決まる。そして
Ｑやｆ0は誘電体素体の研削深さや研削後の外周面の導
体パターン５の長さ（Ｌ２）に依存するので所要の共振
周波数ｆ0、Ｑ値等の諸特性を得るために外周面の導体
パターン５の一部を削り取るという前述の誘電体円共振
器の製造における最終段階での研削加工は高い研削加工
精度が要請される。
【０００７】この研削加工は例えば図６に示されるよう
に誘電体素体１を左右一対のチャック１２、１３にて片
側固定として軸支するとともに導体パターンが形成され
た誘電体素体１に研削盤２１（または研削盤１１）の研
削ブレードを数百〜数千ｒｐｍの回転速度で定圧で当て
ることで研削加工がなされ、逐次共振周波数ｆ0等をモ
ニターして所要特性を得る。
に誘電体素体１を左右一対のチャック１２、１３にて片
側固定として軸支するとともに導体パターンが形成され
た誘電体素体１に研削盤２１（または研削盤１１）の研
削ブレードを数百〜数千ｒｐｍの回転速度で定圧で当て
ることで研削加工がなされ、逐次共振周波数ｆ0等をモ
ニターして所要特性を得る。
【０００８】なお、誘電体共振器の誘電体素体１として
使用される材料はセラミックスであり、電極材料の融点
以下で焼成される必要からＢｉ系材料、複合ペロブスカ
イト、（ＺｒＳｎ）ＴｉＯ4系、ＢａＯ−ＴｉＯ2系等が
ある。
使用される材料はセラミックスであり、電極材料の融点
以下で焼成される必要からＢｉ系材料、複合ペロブスカ
イト、（ＺｒＳｎ）ＴｉＯ4系、ＢａＯ−ＴｉＯ2系等が
ある。
【０００９】また、導体パターンの材料としては銀、銅
が使用され、一般に真空装置により蒸着、スパッタなど
により形成される他、塗布、ディップ、メッキ等様々な
成膜手法を用いることができ、その厚さは２〜４０μｍ
程度である。
が使用され、一般に真空装置により蒸着、スパッタなど
により形成される他、塗布、ディップ、メッキ等様々な
成膜手法を用いることができ、その厚さは２〜４０μｍ
程度である。
【００１０】以上詳述した誘電体円筒共振器は外直径２
〜３ｍｍ、長さ４〜２０ｍｍ程度の大きさである。
〜３ｍｍ、長さ４〜２０ｍｍ程度の大きさである。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の誘電体円筒共振器２０、３０の研削工程では、図３
に示されるように研削前の円筒形状の誘電体素体１の周
縁部（エッジ部分）にまで外周面の導体パターン５が形
成されているので、研削加工は誘電体素体１の外周面の
研削とその表面に形成された導体パターン５の研削を伴
う。
来の誘電体円筒共振器２０、３０の研削工程では、図３
に示されるように研削前の円筒形状の誘電体素体１の周
縁部（エッジ部分）にまで外周面の導体パターン５が形
成されているので、研削加工は誘電体素体１の外周面の
研削とその表面に形成された導体パターン５の研削を伴
う。
【００１２】その結果、研削盤１１や２１の研削ブレー
ドや誘電体素体１の研削部分９に導体パターン５の研削
金属粉Ｗが付着してしまい、Ｑの低下が生じる等所望の
諸特性が得られなくなり、ひいては信頼性が劣るという
問題点があった。
ドや誘電体素体１の研削部分９に導体パターン５の研削
金属粉Ｗが付着してしまい、Ｑの低下が生じる等所望の
諸特性が得られなくなり、ひいては信頼性が劣るという
問題点があった。
【００１３】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、導体パターンの研削を伴わない誘電体円筒共振
器の新規な製造方法を提供するものである。
であり、導体パターンの研削を伴わない誘電体円筒共振
器の新規な製造方法を提供するものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、円筒形状の誘電体素体の外周面と内周面と
一方端面に連続する導体パターンを形成した後、前記誘
電体素体の開放端面側の周縁を研削加工する工程を有す
る誘電体円筒共振器の製造方法において、前記誘電体素
体の外周面の開放端面側に導体パターンのない領域を開
放端面縁から軸方向に所定幅設定して外周面の導体パタ
ーンを一部分に形成する工程と、前記誘電体素体の開放
端面側の外周面の導体パターンがない領域を外周面の導
体パターンとの境界に未研削部分を残しつつ段付き状乃
至テーパー状に研削する工程と、を有することを特徴と
する誘電体円筒共振器の製造方法を提供する。
するために、円筒形状の誘電体素体の外周面と内周面と
一方端面に連続する導体パターンを形成した後、前記誘
電体素体の開放端面側の周縁を研削加工する工程を有す
る誘電体円筒共振器の製造方法において、前記誘電体素
体の外周面の開放端面側に導体パターンのない領域を開
放端面縁から軸方向に所定幅設定して外周面の導体パタ
ーンを一部分に形成する工程と、前記誘電体素体の開放
端面側の外周面の導体パターンがない領域を外周面の導
体パターンとの境界に未研削部分を残しつつ段付き状乃
至テーパー状に研削する工程と、を有することを特徴と
する誘電体円筒共振器の製造方法を提供する。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る誘電体円筒共
振器の実施の形態について図面に基づいて詳細に説明す
る。なお、従来例と同等部材、箇所は同符号にて示す。
振器の実施の形態について図面に基づいて詳細に説明す
る。なお、従来例と同等部材、箇所は同符号にて示す。
【００１６】図１は本発明に係る誘電体円筒共振器の段
付き状研削加工工程時の断面図である。
付き状研削加工工程時の断面図である。
【００１７】図２は本発明に係る誘電体円筒共振器のテ
ーパー状研削加工工程時の断面図である。
ーパー状研削加工工程時の断面図である。
【００１８】図１において、誘電体円筒共振器４０は円
筒形状の誘電体素体１の外周面２と内周面３と一方端面
４に連続する導体パターン５、６、７が形成されるとと
もに誘電体素体１の開放端面８側の外周面２が段付き状
に研削された構造は図４に示された従来の誘電体円筒共
振器２０と同様であるが、顕著な相違点として研削加工
工程前に前記誘電体素体１の外周面２に形成された導体
パターン５が開放端面８側に導体パターンのない領域Ａ
１を開放端面縁から軸方向に所定幅設定して外周面２に
形成する導体パターン５を全面ではなく短絡端面４側寄
りの一部分（全体の７０〜９５％の領域が適当）に形成
していることである。
筒形状の誘電体素体１の外周面２と内周面３と一方端面
４に連続する導体パターン５、６、７が形成されるとと
もに誘電体素体１の開放端面８側の外周面２が段付き状
に研削された構造は図４に示された従来の誘電体円筒共
振器２０と同様であるが、顕著な相違点として研削加工
工程前に前記誘電体素体１の外周面２に形成された導体
パターン５が開放端面８側に導体パターンのない領域Ａ
１を開放端面縁から軸方向に所定幅設定して外周面２に
形成する導体パターン５を全面ではなく短絡端面４側寄
りの一部分（全体の７０〜９５％の領域が適当）に形成
していることである。
【００１９】そして、研削加工工程では研削盤１１は上
記誘電体素体１の開放端面側の外周面の導体パターンの
ない領域Ａ１を外周面の導体パターンとの境界に未研削
部分（幅Ｌ３）を残しつつ段付き状に研削することを特
徴とする。
記誘電体素体１の開放端面側の外周面の導体パターンの
ない領域Ａ１を外周面の導体パターンとの境界に未研削
部分（幅Ｌ３）を残しつつ段付き状に研削することを特
徴とする。
【００２０】また、図２において、誘電体円筒共振器５
０は研削加工工程において前述の図５で示された従来の
誘電体円筒共振器３０と同様に、誘電体素体１の開放端
面８側の外周面２を軸に対して垂直でない傾斜した研削
ブレードの研削盤２１によってテーパ状に研削する点は
共通するが、開放端面８側に導体パターンのない領域Ａ
２を開放端面縁から軸方向に所定幅設定して形成されて
いる。
０は研削加工工程において前述の図５で示された従来の
誘電体円筒共振器３０と同様に、誘電体素体１の開放端
面８側の外周面２を軸に対して垂直でない傾斜した研削
ブレードの研削盤２１によってテーパ状に研削する点は
共通するが、開放端面８側に導体パターンのない領域Ａ
２を開放端面縁から軸方向に所定幅設定して形成されて
いる。
【００２１】且つ、研削加工工程では研削ブレードが導
体パターン５の境界縁に触れないような十分な未研削部
分（幅Ｌ４）を残しつつテーパー状に研削することを特
徴とする。
体パターン５の境界縁に触れないような十分な未研削部
分（幅Ｌ４）を残しつつテーパー状に研削することを特
徴とする。
【００２２】畢竟、誘電体素体１表面への導体パターン
５の形成時に予め開放端面８の周縁から所定幅（共振器
長Ｌの５〜２０％程度）を誘電体素体１が露出する未導
体パターン部分Ａ１、Ａ２として導体パターン５を外周
面２の全面ではなく短絡端面４側の一部分に形成してお
き、研削ブレードが導体パターン５に触れないようにし
て、誘電体素体１の開放端面８側の未導体パターン部分
Ａ１、Ａ２のみを未研削部分（幅Ｌ３、Ｌ４）を残して
段付き状乃至テーパー状に研削するのである。
５の形成時に予め開放端面８の周縁から所定幅（共振器
長Ｌの５〜２０％程度）を誘電体素体１が露出する未導
体パターン部分Ａ１、Ａ２として導体パターン５を外周
面２の全面ではなく短絡端面４側の一部分に形成してお
き、研削ブレードが導体パターン５に触れないようにし
て、誘電体素体１の開放端面８側の未導体パターン部分
Ａ１、Ａ２のみを未研削部分（幅Ｌ３、Ｌ４）を残して
段付き状乃至テーパー状に研削するのである。
【００２３】結果として、誘電体円筒共振器４０、５０
の製造工程における最終段階の上記研削加工工程では、
従来の研削加工工程のように誘電体素体１の外周面２全
面に形成した導体パターン５を誘電体素体１とともに研
削することがなく金属粉Ｗが研削ブレードや誘電体素体
１の研削表面等に付着することがない。
の製造工程における最終段階の上記研削加工工程では、
従来の研削加工工程のように誘電体素体１の外周面２全
面に形成した導体パターン５を誘電体素体１とともに研
削することがなく金属粉Ｗが研削ブレードや誘電体素体
１の研削表面等に付着することがない。
【００２４】而して導体パターンの研削がないことから
導体と誘電体素体との界面の信頼性が向上し、金属粉の
付着に起因するＱの低下や信頼性劣化の不具合が防止さ
れることになる。
導体と誘電体素体との界面の信頼性が向上し、金属粉の
付着に起因するＱの低下や信頼性劣化の不具合が防止さ
れることになる。
【００２５】なお、本発明の実施の形態における誘電体
共振器４０、５０の製造方法は導体パターンの形成及び
研削加工工程の研削方法の他は従来の製造方法と同様で
あり、使用する研削盤や研削ブレードの取付方法等に制
限はないことは勿論である。
共振器４０、５０の製造方法は導体パターンの形成及び
研削加工工程の研削方法の他は従来の製造方法と同様で
あり、使用する研削盤や研削ブレードの取付方法等に制
限はないことは勿論である。
【００２６】
【発明の効果】本発明に係わる誘電体共振器は上記のよ
うに構成されているため、以下に記載する効果を有す
る。
うに構成されているため、以下に記載する効果を有す
る。
【００２７】（１）研削加工工程時に導体パターンの研
削がなく金属粉が研削ブレードや誘電体素体の研削面に
付着することがないので、金属粉の付着に起因するＱの
低下や信頼性劣化の不具合が防止される。
削がなく金属粉が研削ブレードや誘電体素体の研削面に
付着することがないので、金属粉の付着に起因するＱの
低下や信頼性劣化の不具合が防止される。
【００２８】（２）外周面の導体パターンを研削加工工
程時に傷つけないので、導体と誘電体素体の界面の信頼
性が向上する。
程時に傷つけないので、導体と誘電体素体の界面の信頼
性が向上する。
【図１】本発明に係る誘電体円筒共振器の段付き状研削
加工工程時の断面図である。
加工工程時の断面図である。
【図２】本発明に係る誘電体円筒共振器のテーパー状研
削加工工程時の断面図である。
削加工工程時の断面図である。
【図３】ＴＥＭモード１／４波長の誘電体円筒共振器の
断面図である。
断面図である。
【図４】従来の段付き状に研削加工された誘電体円筒共
振器の断面図である。
振器の断面図である。
【図５】従来のテーパー状に研削加工された誘電体円筒
共振器の断面図である。
共振器の断面図である。
【図６】誘電体円筒共振器の研削加工工程時の切削加工
状態を示す斜視図である。
状態を示す斜視図である。
１ 誘電体素体 ２ 外周面 ３ 内周面 ４ 一方端面（短絡端面） ５、６、７ 導体パターン ８ 開放端面 ９ 研削面 １０、２０、３０、４０、５０ 誘電体円筒共振器 １１、２１ 研削盤 １２、１３ チャック Ａ１、Ａ２ 未導体パターン部分 Ｗ 金属粉 Ｌ 共振器長 Ｌ２ 研削後の外周面の導体パターン長 Ｌ３、Ｌ４ 未研削部分の幅
Claims (1)
- 【請求項１】 円筒形状の誘電体素体の外周面と内周面
と一方端面に連続する導体パターンを形成した後、前記
誘電体素体の開放端面側の周縁を研削加工する工程を有
する誘電体円筒共振器の製造方法において、 前記誘電体素体の外周面の開放端面側に導体パターンの
ない領域を開放端面縁から軸方向に所定幅設定して外周
面の導体パターンを一部分に形成する工程と、前記誘電
体素体の開放端面側の外周面の導体パターンがない領域
を外周面の導体パターンとの境界に未研削部分を残しつ
つ段付き状またはテーパー状に研削する工程と、を有す
ることを特徴とする誘電体円筒共振器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17397397A JPH1127016A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 誘電体円筒共振器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17397397A JPH1127016A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 誘電体円筒共振器の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1127016A true JPH1127016A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=15970461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17397397A Withdrawn JPH1127016A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 誘電体円筒共振器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1127016A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990083562A (ko) * | 1998-04-28 | 1999-11-25 | 무라타 야스타카 | 유전체공진기,유전체필터,유전체듀플렉서,통신장치,및유전체공진기제조방법 |
-
1997
- 1997-06-30 JP JP17397397A patent/JPH1127016A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990083562A (ko) * | 1998-04-28 | 1999-11-25 | 무라타 야스타카 | 유전체공진기,유전체필터,유전체듀플렉서,통신장치,및유전체공진기제조방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040907 |