JPH0364166B2 - - Google Patents
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Description
発明の技術分野
本発明は、流体中の砒素除去方法に関し、さら
に詳しくは、とくに石油の流動床式接触分解装置
で副生する軽質炭化水素などに含有される砒化水
素等の砒素またはその化合物を効率よく除去する
方法に関する。 発明の技術的背景ならびにその問題点 近年、原油重質留分の有効利用を目的として、
流動床式接触分解装置(FCC)によるガソリン
の生産が増大している。この際副生するLPG留
分(C3およびC4留分)の有効利用は、コスト面
での競争力を維持するうえで極めて重要である。
しかしながら、このLPG留分、とくにC3留分に
は砒化水素などの砒素化合物が含有されている。
砒化水素などの砒素化合物は微量であつても後の
反応工程において触媒毒となることが知られてお
り、従つてこのC3留分を各種化学反応の原料と
して用いる場合は、予め砒化水素などの砒素化合
物を所定量以下まで除去することが強く望まれて
いる。 ところで従来、流体中の砒素またはその化合物
の除去方法として、以下のようなものが開示され
ている。 (イ) 亜鉛もしくは鉛の塩または酸化物の少くとも
1つを含むアルカリ性水溶液と、アントラキノ
ンスルホン酸またはアントラキノンジスルホン
酸の少くとも1つの塩のアルカリ性水溶液と、
アミンまたはエタノールアミンの存在下にキノ
ン誘導体の少なくとも1つを含む有機溶媒から
成る洗浄用溶液を用いて揮発性砒素誘導体を気
相で除去する方法(特公昭59−33408号公報)。 (ロ) 酸化マンガン、酸化銅およびそれらの混合物
により、気相で砒素またはその化合物を反応吸
着または酸化処理する方法(特公昭60−17772
号公報)。 (ハ) 銅族およびクロム族化合物を担持した活性炭
を用いて、気相で砒化水素類を除去する方法
(特開昭60−238144号公報)。 (ニ) 活性炭を用いて、液相で砒素またはその化合
物を吸着除去する方法(特開昭57−170987号公
報、同57−170988号公報)。 (ホ) 液相で砒素を酸化処理した後、砒素の酸化生
成物を除去する方法(特公昭55−11714号公報、
同60−9549号公報)などである。 しかしながら上記に開示された砒素またはその
化合物の除去方法では、脱砒素能が低く、高濃度
の砒素あるいはその化合物を含有する留分に対し
て多量の脱砒素剤を要し、また設備費および運転
費が高く、しかもLPG留分を取り扱うプロセス
内に含酸素化合物を入れることは安全上の問題が
あるとともにLPG留分中の反応性の高いオレフ
イン類が重合してしまうなどの問題点があつた。 本発明者らは、流体中の砒素またはその化合物
の安価で効率のよい除去方法を種々検討する中
で、銅含有量、吸着剤の細孔半径、細孔容積およ
び比表面積とを特定の範囲に制御した銅系吸着剤
と、砒素を含有する流体とを接触させることによ
り、砒素またその化合物の除去率が著しく改善さ
れることを見い出し、本発明を完成するに至つ
た。 発明の目的 本発明は、流体中の砒素またはその化合物を除
去するに際して、脱砒素能が低く、設備費および
運転費が高いという従来技術に伴う問題点を解決
しようとするものであり、流体中の砒素またはそ
の化合物を効率よくかつ安価に除去するための方
法を提供することを目的としている。 発明の概要 本発明に係る流体中の砒素除去方法は、30〜55
重量%の銅を含有し、細孔半径40〜300Åの細孔
容積が0.12ml/g以上であり、かつ比表面積が
100m2/g以上である、酸化銅が担体に担持され
た吸着剤と、砒素を含有する流体とを接触させる
ことを特徴としている。 発明の具体的説明 以下本発明に係る流体中の砒素またはその化合
物の除去方法について具体的に説明する。 流 体 本発明に用いられる流体は、液体状または気体
状の炭化水素、窒素ガス等の不活性ガス、空気あ
るいは各種排ガスなどである。 本発明において、砒素が除去される液体状また
は気体状の炭化水素としては、具体的には、流動
床式接触分解装置より副生するLPG留分の他、
原油からの常圧蒸留または減圧蒸留により流出す
るナフサ、灯油、軽油などの留分、あるいはエチ
レンプラント、コーカー、ビスブレーカーなど熱
処理によつて生成された軽質留分などの石油留分
なども用いることができる。 このような炭化水素中には、砒素は、通常Ro
AsH3-o(式中Rはアルキル基、フエニル基などで
あり、nは0、1、2、3である)で表わされる
ような水素化物あるいは有機化合物の形態で含有
されている。このような砒素化合物としては具体
的には、アルシン、モノメチルアルシン、ジメチ
ルアルシン、トリメチルアルシン、トリブチルア
ルシン、トリフエニルアルシンなどが挙げられ
る。ハロゲン化された砒素化合物たとえばジメチ
ルクロルアルシンあるいは酸化された砒素化合物
たとえばトリメチルアルシンオキシドなどの形態
で、砒素が炭化水素中に含まれていることもあり
うる。 このような砒素またはその化合物は、炭化水素
の種類によつて異なるが、一般に炭化水素中に数
ppb(重量)から数百ppb(重量)で含まれている
ことが多い。 本発明に係る吸着剤を用いて砒素が除去される
炭化水素以外の流体としては、たとえば半導体電
子工業あるいは他の化学工業で排出される砒素ま
たは砒素化合物を含有する排ガス、あるいは半導
体原料として用いられる砒素水素化物を不純物と
して含有する粗製ホスフインガスなどが挙げられ
る。 吸着剤 本発明で用いられる吸着剤は、酸化銅とくに望
ましくは酸化第二銅を担体に担持した吸着剤であ
る。 担体としては、具体的には、シリカ、アルミ
ナ、シリカ・アルミナ、活性炭、ケイソウ土、活
性白土、マグネシアなどが用いられるが、このう
ちとくにアルミナが好ましい。 このような担体は、細孔半径40〜300Åの細孔
容積が0.20ml/g以上であり、かつ比表面積が
200m2/g以上であることが好ましい。 本発明に係る砒素除去吸着剤では、銅含有量は
30〜55重量%であるが、とくに35〜50重量%が好
ましい。銅含有量が30重量%未満であると脱砒素
能が劣り、また銅含有量が55重量%を超えると、
細孔容積が減少するのみならず吸着剤強度が低下
するため好ましくない。 本発明に係る砒素除去吸着剤は、細孔半径40〜
300Åの細孔容積が0.12ml/g以上であるが、と
くに細孔半径40〜300Åの細孔容積が0.14ml/g
以上であることが好ましい。 また、本発明に係る砒素除去吸着剤は、比表面
積が100m2/g以上であるがとくに120m2/g以上
であることが好ましい。細孔半径40〜300Åの細
孔容積が0.12ml/g未満で且つこの比表面積が
100m2/g未満であると、砒素吸着速度が劣る。
この結果、この吸着剤を流通系で用いた場合、銅
含有量が高くてもその砒素吸着容量が減少するた
め、好ましくない。 このような吸着剤は、たとえば水酸化ナトリウ
ム水溶液に硫酸銅および硝酸銅の水溶液を混合
し、担体を加えて良く撹拌後、濾過により回収し
乾燥、粉砕工程を経た後、成型機を用いて所定の
形状に成型することにより調製される。 接触条件 砒素あるいはその化合物を含有する流体と吸着
剤との接触は、従来から知られている方法の中か
ら適宜選択できる。たとえば、流体と吸着剤と
を、気相または液相にて、固定床方式で接触させ
る方法、移動床方式で接触させる方法、流動床方
式で接触させる方法などを採用することができ
る。また場合によつては、流体と吸着剤を回分方
式で接触させることもできる。 流体と吸着剤との接触時間は、気相で接触させ
る場合にはガス空間速度(G.H.S.V.)で1〜
1000時間-1好ましくは100〜800時間-1程度であ
り、液相で接触させる場合には液空間速度(L.
H.S.V.)で0.01〜20時間-1好ましくは1〜10時間
-1程度である。また接触時の温度は0〜100℃程
度である。 発明の効果 本発明の方法により、流体中の高濃度の砒素を
少量の吸着剤にて高い除去率で除去することがで
きる。また除去に際して前処理設備を特に必要と
せず、しかもストレーナー以外の後処理設備を必
要としない。その上砒素または砒素化合物が除去
される炭化水素中に反応性の高いオレフイン類が
含まれていても、砒素または砒素化合物の除去時
にこれらオレフイン類が重合したりするトラブル
が発生しないという効果が得られる。 以下本発明を実施例により説明するが、本発明
はこれら実施例に限定されるものではない。 なお実施例中の%はとくに断わりがない限り重
量基準である。 実施例 1 吸着剤の銅含有量が41%であり、細孔半径40〜
300Åの細孔容積が0.140ml/gであり、かつ比表
面積が140m2/gである砒素除去吸着剤を調製し
た。 上記の吸着剤5を、固定床反応器(8mmφ×
100mm)に充填し、砒素が220ppb含まれたナフサ
に、さらにトリブチルアルシンを砒素量として
1000ppb添加して液空間速度(L.H.S.V.)5時間
-1常温で通油した。 このようにして砒素の除去処理がなされた後の
ナフサ中には、通算の通油量が、20000/−
吸着剤の時点で砒素が24ppb含まれており、砒素
の除去率は98%であつた。 実施例 2 流動床式接触分解装置より副生する下記組成の
C3留分からなる原料ガスを用いて砒化水素の除
去を行つた。 プロピレン 69.4モル% プロパン 30.2 〃 C2留分 0.2 〃 C4留分 0.2 〃 砒化水素 500ppb 実施例1で使用した吸着剤2mlを固定床反応器
(7mmφ×46mm)に充填した。上記の原料ガスを
常温、常圧にてガス空間速度(G.H.S.V.)500時
間-1で流通した。 このようにして砒化水素の除去処理がなされた
後の原料ガス中には、通算の通気量が1×107
/−吸着剤の時点で、砒化水素が10ppb含ま
れており、砒化水素の除去率は98%であつた。 実施例 3 原料ガスを流動床式接触分解装置より副生する
C3留分に代えて、1.07容量%の砒化水素を含む窒
素ガスを用いた以外は、実施例2と同様にして砒
化水素の除去処理を行つた。 固定床反応器出口ガス中の砒化水素濃度が5モ
ルppmに達した時点で、砒化水素含有ガスの通気
を止め(貫流破過点)、以下の式により砒素吸着
容量を求めた。 砒素吸着容量(%)=吸着剤中の砒素含有
(%)×通気後の吸着剤量(%)/通気前の吸着剤量(
%) 第1表に結果を示す。 比較例 1 市販吸着剤である日揮化学(株)製 商品名N−
202Dを用いた以外は、実施例2と同様にして砒
化水素の除去処理を行つた。 このようにして砒化水素の除去処理がなされた
後の原料ガス中には通算の通気量が5×106/
−吸着剤の時点で砒化水素が10ppb含まれてお
り、砒化水素の除去率は98%であつた。ただし通
算の通気量が1×107/−吸着剤の時点で砒
化水素が500ppb含まれており、砒化水素の破過
が認められた。 比較例 2 市販吸着剤(13種類)を用いた以外は、実施例
3と同様にして砒化水素の除去処理を行つた。 第1表に、吸着剤名、吸着剤の銅含有量、細孔
半径40〜300Åの細孔容積、吸着剤の比表面積、
吸着剤組成および砒素吸着容量を示す。
に詳しくは、とくに石油の流動床式接触分解装置
で副生する軽質炭化水素などに含有される砒化水
素等の砒素またはその化合物を効率よく除去する
方法に関する。 発明の技術的背景ならびにその問題点 近年、原油重質留分の有効利用を目的として、
流動床式接触分解装置(FCC)によるガソリン
の生産が増大している。この際副生するLPG留
分(C3およびC4留分)の有効利用は、コスト面
での競争力を維持するうえで極めて重要である。
しかしながら、このLPG留分、とくにC3留分に
は砒化水素などの砒素化合物が含有されている。
砒化水素などの砒素化合物は微量であつても後の
反応工程において触媒毒となることが知られてお
り、従つてこのC3留分を各種化学反応の原料と
して用いる場合は、予め砒化水素などの砒素化合
物を所定量以下まで除去することが強く望まれて
いる。 ところで従来、流体中の砒素またはその化合物
の除去方法として、以下のようなものが開示され
ている。 (イ) 亜鉛もしくは鉛の塩または酸化物の少くとも
1つを含むアルカリ性水溶液と、アントラキノ
ンスルホン酸またはアントラキノンジスルホン
酸の少くとも1つの塩のアルカリ性水溶液と、
アミンまたはエタノールアミンの存在下にキノ
ン誘導体の少なくとも1つを含む有機溶媒から
成る洗浄用溶液を用いて揮発性砒素誘導体を気
相で除去する方法(特公昭59−33408号公報)。 (ロ) 酸化マンガン、酸化銅およびそれらの混合物
により、気相で砒素またはその化合物を反応吸
着または酸化処理する方法(特公昭60−17772
号公報)。 (ハ) 銅族およびクロム族化合物を担持した活性炭
を用いて、気相で砒化水素類を除去する方法
(特開昭60−238144号公報)。 (ニ) 活性炭を用いて、液相で砒素またはその化合
物を吸着除去する方法(特開昭57−170987号公
報、同57−170988号公報)。 (ホ) 液相で砒素を酸化処理した後、砒素の酸化生
成物を除去する方法(特公昭55−11714号公報、
同60−9549号公報)などである。 しかしながら上記に開示された砒素またはその
化合物の除去方法では、脱砒素能が低く、高濃度
の砒素あるいはその化合物を含有する留分に対し
て多量の脱砒素剤を要し、また設備費および運転
費が高く、しかもLPG留分を取り扱うプロセス
内に含酸素化合物を入れることは安全上の問題が
あるとともにLPG留分中の反応性の高いオレフ
イン類が重合してしまうなどの問題点があつた。 本発明者らは、流体中の砒素またはその化合物
の安価で効率のよい除去方法を種々検討する中
で、銅含有量、吸着剤の細孔半径、細孔容積およ
び比表面積とを特定の範囲に制御した銅系吸着剤
と、砒素を含有する流体とを接触させることによ
り、砒素またその化合物の除去率が著しく改善さ
れることを見い出し、本発明を完成するに至つ
た。 発明の目的 本発明は、流体中の砒素またはその化合物を除
去するに際して、脱砒素能が低く、設備費および
運転費が高いという従来技術に伴う問題点を解決
しようとするものであり、流体中の砒素またはそ
の化合物を効率よくかつ安価に除去するための方
法を提供することを目的としている。 発明の概要 本発明に係る流体中の砒素除去方法は、30〜55
重量%の銅を含有し、細孔半径40〜300Åの細孔
容積が0.12ml/g以上であり、かつ比表面積が
100m2/g以上である、酸化銅が担体に担持され
た吸着剤と、砒素を含有する流体とを接触させる
ことを特徴としている。 発明の具体的説明 以下本発明に係る流体中の砒素またはその化合
物の除去方法について具体的に説明する。 流 体 本発明に用いられる流体は、液体状または気体
状の炭化水素、窒素ガス等の不活性ガス、空気あ
るいは各種排ガスなどである。 本発明において、砒素が除去される液体状また
は気体状の炭化水素としては、具体的には、流動
床式接触分解装置より副生するLPG留分の他、
原油からの常圧蒸留または減圧蒸留により流出す
るナフサ、灯油、軽油などの留分、あるいはエチ
レンプラント、コーカー、ビスブレーカーなど熱
処理によつて生成された軽質留分などの石油留分
なども用いることができる。 このような炭化水素中には、砒素は、通常Ro
AsH3-o(式中Rはアルキル基、フエニル基などで
あり、nは0、1、2、3である)で表わされる
ような水素化物あるいは有機化合物の形態で含有
されている。このような砒素化合物としては具体
的には、アルシン、モノメチルアルシン、ジメチ
ルアルシン、トリメチルアルシン、トリブチルア
ルシン、トリフエニルアルシンなどが挙げられ
る。ハロゲン化された砒素化合物たとえばジメチ
ルクロルアルシンあるいは酸化された砒素化合物
たとえばトリメチルアルシンオキシドなどの形態
で、砒素が炭化水素中に含まれていることもあり
うる。 このような砒素またはその化合物は、炭化水素
の種類によつて異なるが、一般に炭化水素中に数
ppb(重量)から数百ppb(重量)で含まれている
ことが多い。 本発明に係る吸着剤を用いて砒素が除去される
炭化水素以外の流体としては、たとえば半導体電
子工業あるいは他の化学工業で排出される砒素ま
たは砒素化合物を含有する排ガス、あるいは半導
体原料として用いられる砒素水素化物を不純物と
して含有する粗製ホスフインガスなどが挙げられ
る。 吸着剤 本発明で用いられる吸着剤は、酸化銅とくに望
ましくは酸化第二銅を担体に担持した吸着剤であ
る。 担体としては、具体的には、シリカ、アルミ
ナ、シリカ・アルミナ、活性炭、ケイソウ土、活
性白土、マグネシアなどが用いられるが、このう
ちとくにアルミナが好ましい。 このような担体は、細孔半径40〜300Åの細孔
容積が0.20ml/g以上であり、かつ比表面積が
200m2/g以上であることが好ましい。 本発明に係る砒素除去吸着剤では、銅含有量は
30〜55重量%であるが、とくに35〜50重量%が好
ましい。銅含有量が30重量%未満であると脱砒素
能が劣り、また銅含有量が55重量%を超えると、
細孔容積が減少するのみならず吸着剤強度が低下
するため好ましくない。 本発明に係る砒素除去吸着剤は、細孔半径40〜
300Åの細孔容積が0.12ml/g以上であるが、と
くに細孔半径40〜300Åの細孔容積が0.14ml/g
以上であることが好ましい。 また、本発明に係る砒素除去吸着剤は、比表面
積が100m2/g以上であるがとくに120m2/g以上
であることが好ましい。細孔半径40〜300Åの細
孔容積が0.12ml/g未満で且つこの比表面積が
100m2/g未満であると、砒素吸着速度が劣る。
この結果、この吸着剤を流通系で用いた場合、銅
含有量が高くてもその砒素吸着容量が減少するた
め、好ましくない。 このような吸着剤は、たとえば水酸化ナトリウ
ム水溶液に硫酸銅および硝酸銅の水溶液を混合
し、担体を加えて良く撹拌後、濾過により回収し
乾燥、粉砕工程を経た後、成型機を用いて所定の
形状に成型することにより調製される。 接触条件 砒素あるいはその化合物を含有する流体と吸着
剤との接触は、従来から知られている方法の中か
ら適宜選択できる。たとえば、流体と吸着剤と
を、気相または液相にて、固定床方式で接触させ
る方法、移動床方式で接触させる方法、流動床方
式で接触させる方法などを採用することができ
る。また場合によつては、流体と吸着剤を回分方
式で接触させることもできる。 流体と吸着剤との接触時間は、気相で接触させ
る場合にはガス空間速度(G.H.S.V.)で1〜
1000時間-1好ましくは100〜800時間-1程度であ
り、液相で接触させる場合には液空間速度(L.
H.S.V.)で0.01〜20時間-1好ましくは1〜10時間
-1程度である。また接触時の温度は0〜100℃程
度である。 発明の効果 本発明の方法により、流体中の高濃度の砒素を
少量の吸着剤にて高い除去率で除去することがで
きる。また除去に際して前処理設備を特に必要と
せず、しかもストレーナー以外の後処理設備を必
要としない。その上砒素または砒素化合物が除去
される炭化水素中に反応性の高いオレフイン類が
含まれていても、砒素または砒素化合物の除去時
にこれらオレフイン類が重合したりするトラブル
が発生しないという効果が得られる。 以下本発明を実施例により説明するが、本発明
はこれら実施例に限定されるものではない。 なお実施例中の%はとくに断わりがない限り重
量基準である。 実施例 1 吸着剤の銅含有量が41%であり、細孔半径40〜
300Åの細孔容積が0.140ml/gであり、かつ比表
面積が140m2/gである砒素除去吸着剤を調製し
た。 上記の吸着剤5を、固定床反応器(8mmφ×
100mm)に充填し、砒素が220ppb含まれたナフサ
に、さらにトリブチルアルシンを砒素量として
1000ppb添加して液空間速度(L.H.S.V.)5時間
-1常温で通油した。 このようにして砒素の除去処理がなされた後の
ナフサ中には、通算の通油量が、20000/−
吸着剤の時点で砒素が24ppb含まれており、砒素
の除去率は98%であつた。 実施例 2 流動床式接触分解装置より副生する下記組成の
C3留分からなる原料ガスを用いて砒化水素の除
去を行つた。 プロピレン 69.4モル% プロパン 30.2 〃 C2留分 0.2 〃 C4留分 0.2 〃 砒化水素 500ppb 実施例1で使用した吸着剤2mlを固定床反応器
(7mmφ×46mm)に充填した。上記の原料ガスを
常温、常圧にてガス空間速度(G.H.S.V.)500時
間-1で流通した。 このようにして砒化水素の除去処理がなされた
後の原料ガス中には、通算の通気量が1×107
/−吸着剤の時点で、砒化水素が10ppb含ま
れており、砒化水素の除去率は98%であつた。 実施例 3 原料ガスを流動床式接触分解装置より副生する
C3留分に代えて、1.07容量%の砒化水素を含む窒
素ガスを用いた以外は、実施例2と同様にして砒
化水素の除去処理を行つた。 固定床反応器出口ガス中の砒化水素濃度が5モ
ルppmに達した時点で、砒化水素含有ガスの通気
を止め(貫流破過点)、以下の式により砒素吸着
容量を求めた。 砒素吸着容量(%)=吸着剤中の砒素含有
(%)×通気後の吸着剤量(%)/通気前の吸着剤量(
%) 第1表に結果を示す。 比較例 1 市販吸着剤である日揮化学(株)製 商品名N−
202Dを用いた以外は、実施例2と同様にして砒
化水素の除去処理を行つた。 このようにして砒化水素の除去処理がなされた
後の原料ガス中には通算の通気量が5×106/
−吸着剤の時点で砒化水素が10ppb含まれてお
り、砒化水素の除去率は98%であつた。ただし通
算の通気量が1×107/−吸着剤の時点で砒
化水素が500ppb含まれており、砒化水素の破過
が認められた。 比較例 2 市販吸着剤(13種類)を用いた以外は、実施例
3と同様にして砒化水素の除去処理を行つた。 第1表に、吸着剤名、吸着剤の銅含有量、細孔
半径40〜300Åの細孔容積、吸着剤の比表面積、
吸着剤組成および砒素吸着容量を示す。
【表】
第1表より本発明に係る砒素の除去方法は安価
でしかも効率よく砒素化合物を除去できるととも
に、吸着剤寿命が長いことがわかる。
でしかも効率よく砒素化合物を除去できるととも
に、吸着剤寿命が長いことがわかる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 30〜55重量%の銅を含有し、細孔半径40〜
300Åの細孔容積が0.12ml/g以上であり、かつ
比表面積が100m2/g以上である、酸化銅が担体
に担持された吸着剤と、砒素を含有する流体と
を、接触させることを特徴とする流体中の砒素除
去方法。 2 酸化銅が酸化第二銅である特許請求の範囲第
1項に記載の方法。 3 担体がアルミナである特許請求の範囲第1項
または第2項に記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62117272A JPS63283725A (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 流体中の砒素除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62117272A JPS63283725A (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 流体中の砒素除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63283725A JPS63283725A (ja) | 1988-11-21 |
| JPH0364166B2 true JPH0364166B2 (ja) | 1991-10-04 |
Family
ID=14707651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62117272A Granted JPS63283725A (ja) | 1987-05-14 | 1987-05-14 | 流体中の砒素除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63283725A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2539543A1 (en) * | 2003-09-19 | 2005-03-31 | University Of Wyoming | System and method for removing arsenite and arsenate from water |
| JP4909614B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2012-04-04 | 大陽日酸株式会社 | 水素化物ガス中の微量不純物分析方法及び装置 |
-
1987
- 1987-05-14 JP JP62117272A patent/JPS63283725A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63283725A (ja) | 1988-11-21 |
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