JPH036444A - 蛍光検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば半導体デイバイスのウェハの汚れ（
コンタミネーション）等を検査するのに用− いて好適な蛍光検査装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体デイバイスの製造工程において、そのウェハに汚
れ、ゴミ等が付着していると、その半導体デイバイスの
歩留まりが悪化する。そこで付着物の有無、さらに付着
物があるときは、それが何であるのかを検査し、以後、
その付着物が付着しないように、製造工程をチエツクす
る必要がある。

従来このような付着物の判定に、例えば第２図に示すよ
うな、顕微蛍光分光分析装置が用いられている。

水銀ランプ等の光源１より発生された所定の波長帯域の
励起光は、励起フィルタ２に入射される。

励起フィルタ２は入射された励起光のうち、所定の範囲
の狭い波長帯域の励起光のみを選択的に通過させる。こ
の励起光はダイクロイックミラー３により反射され、対
物レンズ４を介して、テーブル５上に載置した検査試料
６に照射される。

検査試料６に付着している有機物は、励起光が照射され
ると、励起光より長い波長の蛍光を発生４ する。この蛍光は対物レンズ４を介してダイクロイック
ミラー３に入射される。ダイクロイックミラー３は、励
起フィルタ２により選択された波長の励起光を反射する
ように調整されており、蛍光はこの励起光と波長が異な
るため、ダイクロイックミラー３に反射されず、透過す
る。ダイクロイックミラー３を透過した蛍光は吸収フィ
ルタフに入射される。吸収フィルタ７には検査試料６に
より吸収されなかった励起光の一部も入射される。

この励起光が残っていると、蛍光をモニタすることが著
しく困難になる。そこでこの励起光を吸収フィルタフに
より吸収する。吸収フィルタ７を透過した蛍光は、フォ
トマルチプライヤ８に入力され、光電変換される。フォ
トマルチプライヤ８の出力が図示せぬコンピュータ等に
入力され、処理される。

また観察者は接眼レンズ９を介して蛍光の一部をモニタ
し、テーブル５を手動で所定の位置に移動させることに
より、検査試料６の検査位置を変更し、その検査試料全
体にわたるコンタミネーションを検査する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の装置はこのように、検査試料６の極めて狭い１つ
のポイントを検査した後、テーブル５を手動で移動して
、次の検査ポイントを検査するようにしているので、１
つの検査試料６を検査するのに極めて長い時間がかかり
、不便であった。

この発明はこのような状況に鑑みなされたもので、より
短時間にコンタミネーションの検査ができるようにする
ものである。

〔課題を解決するための手段〕

請求項１の蛍光検査装置は、検査試料に照射する励起光
を発生する光源と、光源より放射された励起光の波長を
調整する調整手段と、調整手段により調整された波長の
励起光を検査試料に照射する対物レンズと、検査試料よ
り出射される光から、不要な励起光をカットし、蛍光を
通過させる吸収フィルタと、吸収フィルタを経た蛍光に
よる像を撮影するテレビカメラと、テレビカメラの出力
をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバータと、Ａ／Ｄコンバー
タによりＡ／Ｄ変換された信号を記憶するメモリと、テ
レビカメラのシャッタを、１フィールドを超える比較的
長い所定の時間動作させ、蛍光をテレビカメラの撮像素
子に蓄積させる制御手段とを備える。

請求項２の構成の蛍光検査装置は、検査試料に照射する
励起光を発生する光源と、光源より放射された励起光の
波長を調整する調整手段と、調整手段により調整された
波長の励起光を検査試料に照射する対物レンズと、検査
試料より出射される光から、不要な励起光をカットし、
蛍光を通過させる吸収フィルタと、吸収フィルタを経た
蛍光による像を撮影するテレビカメラと、テレビカメラ
の出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバータと、Ａ／Ｄコ
ンバータによりＡ／Ｄ変換された信号を記憶するメモリ
と、テレビカメラより出力される信号から、蛍光のヒス
トグラムデータを演算する演算手段とを備える。

請求項３の構成の蛍光検査装置は、検査試料に照射する
励起光を発生する光源と、光源より放射７ された励起光の波長を調整する調整手段と、調整手段に
より調整された波長の励起光を検査試料に照射する対物
レンズと、検査試料より出射される光から、不要な励起
光をカットし、蛍光を通過させる吸収フィルタと、吸収
フィルタを経た蛍光による像を撮影するテレビカメラと
、テレビカメラの出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバー
タと、Ａ／ＤコンバータによりＡ／Ｄ変換された信号を
記憶するデータメモリと、検査試料の位置を記憶する位
置メモリと、位置メモリに記憶された位置に対応して、
検査試料が載置されたテーブルを駆動する駆動系を備え
る。

請求項４の構成の蛍光検査装置は、検査試料に照射する
励起光を発生する光源と、光源より放射された励起光の
波長を調整する調整手段と、調整手段により調整された
波長の励起光を検査試料に照射する対物レンズと、検査
試料より出射される光から、不要な励起光をカットし、
蛍光を通過させる吸収フィルタと、吸収フィルタを経た
蛍光による像を撮影するテレビカメラと、テレビカメラ
８ の出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバータと、Ａ／Ｄコ
ンバータによりＡ／Ｄ変換された信号を記憶するメモリ
と、調整手段と吸収フィルタを制御し、異なる波長の励
起光を検査試料に順次照射させ、各波長におけるテレビ
ジョンカメラからの出力をメモリに順次記憶させる制御
手段とを備える。

〔作用〕

請求項１の構成の蛍光検査装置においては、水銀ランプ
等の光源より発生された励起光は、励起フィルタ等より
なる調整手段に入射され、所定の波長のみが選択される
。選択された波長の励起光は対物レンズを介して検査試
料に照射される。検査試料の付着物等より発生された蛍
光は、吸収フィルタを介して、超高感度ＣＯＤカラーテ
レビカメラ等のテレビカメラに入射される。

テレビカメラの例えばスローシャッタは、比較的長い時
間動作され、その間映像信号はＣＣＤに蓄積される。映
像信号が充分蓄積されたとき、シャッタの動作は中止さ
れる。ＣＣＤの出力はＡ／ＤコンバータによりＡ／Ｄ変
換され、メモリに記憶される。

従ってテレビカメラにより、−度に広い範囲を撮影する
ことができ、その撮影位置を順次自動的に変化させて行
くことが可能になり、高速な検査が可能になる。

請求項２の構成の蛍光検査装置においては、テレビカメ
ラが出力する、例えばＲ，Ｇ、Ｂ信号から、検査試料よ
り発生された蛍光のヒストグラムデータが演算される。

従って、干渉フィルタ等が不要になる。

請求項３の構成の蛍光検査装置においては、検査試料の
位置、例えば、そこに付着している付着物の位置が位置
メモリに記憶される。そして、その記憶された位置に、
検査試料１よ自動的に移動される。

従って、迅速な検査が可能となる。

請求項４の構成の蛍光検査装置においては、例えば、所
定の励起フィルタよりなる調整手段と、吸収フィルタと
の１つの組合せにおけるテレビカメラからの出力データ
が、メモリに記憶されたとき、自動的に、次の組合せが
順次選択される。

従って、操作性が良好となり、迅速な検査が可能になる
。

〔実施例〕

第１図はこの発明の蛍光検査装置の一実施例の構成を表
している。同図において１１は水銀ランプ等の光源、１
２は調整手段としての励起フィルタであり、光源１より
放射される励起光のうち、所定の波長のものを選択的に
透過させる。１３はダイクロ・イックミラーであり、励
起フィルタ１２から入射される励起光を反射し、対物レ
ンズ１４から入射される蛍光を透過する。１５は検査試
料１６が載置されるテーブルである。１７は吸収フィル
タであり、蛍光を透過し、励起光を吸収する。

１８は吸収フィルタ１７より出射される蛍光による像を
撮影する超高感度ＣＯＤテレビカメラ等よりなるテレビ
カメラであり、ＣＯＤにより蛍光を光電変換して、Ｒ，
Ｇ、Ｂのカラー信号を出方する。

２０はマイクロコンピュータ等よりなる制御口１１− 路であり、スイッチ、キーボード等よりなる入力手段２
１からの入力に対応して各部に種々の動作を実行させる
。２２はテーブル１５の移動位置を記憶するメモリであ
る。

２３は駆動系であり、テーブル１５を対物レンズ１４の
光軸と垂直な面内（水平面内）において、２軸方向（ｘ
、ｙ方向）に移動させる。２４はフォーカス状態を調整
するため、対物レンズ１４を駆動するフォーカス制御系
である。、２５．２６．２７は、各々励起フィルタ１２
、吸収フィルタ１７又はダイクロイックミラー１３を、
各々駆動する駆動系である。

励起フィルタ１２は、第３図に示すように、複数個用意
されている。この実施例においては、６個のフィルタ１
２Ａ乃至１２Ｆが円盤１２Ｇに取り付けられている。駆
動系２５はこの円盤１２Ｇを回転させることにより、励
起光の光路中に所定のフィルタを挿入させる。

吸収フィルタ１７とダイクロイックミラー１３も同様に
複数個用意され、各駆動系により駆動、１２− 選択される。

次にその動作を説明する。

検査試料１６は、この発明の蛍光検査装置による検査の
前に、図示せぬレーザ検査装置等により、付着物の位置
が予め検査される。その付着物の位置に関するデータを
記憶したディスク等のメモリは、その検査試料１６とと
もに、この装置による検査に回される。メモリ２２とし
てこの検査試料１６に付随するディスクが用いられる。

あるいはそのデータがメモリ２２に書き込まれる。従っ
てメモリ２２には、検査試料１６の付着物の位置に関す
るデータが記憶される。

入力手段２１を操作して検査の開始を指令すると、制御
回路２０はメモリ２２から付着物の位置のデータを読み
出す。そしてそのデータに対応して駆動系２３を制御し
、テーブル１５を所定の位置に移動させる。これにより
検査試料１６は、その付着物がある位置が、対物レンズ
１４と対向するように配置される。

このときまた駆動系２５．２６．２７が駆動され、最初
に明視野用の励起フィルタ、吸収フィルタ及びダイクロ
イックミラーが選択される。

次に光源１１に内蔵するシャッタが動作され、励起光が
励起フィルタ１２に向けて出射される。

励起フィルタ１２を透過した励起光はダイクロイックミ
ラー１３で反射され、対物レンズ１４を介して検査試料
１６に照射される。検査試料１６の付着物は励起光の照
射により蛍光を発生する。この蛍光は対物レンズ１４、
ダイクロイックミラー１３を介して吸収フィルタ１７に
入射される。吸収フィルタ１７は励起光を吸収し、蛍光
のみを透過させる。この蛍光はテレビカメラ１８に入射
され、内蔵するＣＯＤ等により光電変換され、ＲｌＧ、
Ｂ信号として出力される。

この出力信号の一部はフォーカス制御系２４に入力され
る。フォーカス制御系２４はこの入力された信号からフ
ォーカス誤差信号を生成し、この誤差信号に対応して対
物レンズ１４の位置を制御する。このようにして先ずフ
ォーカス調整が行なわれる。

フォーカス調整完了後、制御回路２０は駆動系２５．２
６．２７を駆動し、次の励起フィルタ、吸収フィルタ及
びダイクロイックミラーの組合わせを選択させる。そし
てこのときテレビカメラ１８より出力された信号が後述
するように処理される。

以下励起フィルタ１２、吸収フィルタ１７及びダイクロ
イックミラー１３の組合わせを順次自動的に切り替え、
同様の処理が実行される。

第４図Ａ乃至りは、励起フィルタ１２と吸収フィルタ１
７を順次切り替え、紫外線光（Ｕ）、紫色光（Ｖ）、青
色光（Ｂ）又は緑色光（Ｇ）で、各々励起する場合の各
フィルタの特性図を表している。これらの図より明らか
なように、励起光の波長より若干長い波長の蛍光がテレ
ビカメラ１８に入射されるように各フィルタの特性が設
定される。

第５図はテレビカメラ１８の出力信号を処理する装置の
ブロック図である。

３１はテレビカメラ１８が出力する映像信号をＡ／Ｄ変
換するＡ／Ｄコンバータ、３２．３３は１５− Ａ／Ｄコンバータ３１の出力を記憶するメモリ（ＲＡＭ
）である。減算回路３４はＲＡＭ３２の出力からＲＡＭ
３３の出力を減算して出力する。３５は減算回路３４の
出力を記憶するメモリ（ＲＡＭ）である。Ｄ／Ａコンバ
ータ３６はＲＡＭ３５の出力をＤ／Ａ変換する。３７は
種々のタイミング信号を発生し、各回路、手段等に供給
する発生回路である。３８は検出回路であり、ＲＡＭ３
２に記憶された映像信号から、そのレベルを検出する。

次に第６図のタイミングチャートを参照してその動作を
説明する。入力手段２１を操作し、制御回路２０に検査
の開始を指令入力したとき、制御回路２０は発生回路３
７にトリガ信号（第６図（ａ））を出力する。このとき
発生回路３７はテレビカメラ１８に垂直同期信号（第６
図（ｂ））を供給するとともに（水平同期信号は常に供
給している）、シャッタ制御信号（第６図（Ｃ））を出
力し、スローシャッタ（図示せず）を動作（開放）させ
る。テレビカメラ１８においてスローシャッタが開放さ
れてい１６− る間、ＣＯＤに、検査試料１６の光学的映像が蓄積され
る。予め設定した一定時間が経過したとき、制御回路２
０は発生回路３７を介してテレビカメラ１８を制御し、
スローシャッタの動作を中止（閉じ）させる（第６図（
Ｃ））。その結果ＣＯＤには以後実質的に光学的映像が
入力されなくなる（光量が蓄積されなくなる）。またこ
のときＣＯＤからデータを読み出す続出信号（第６図（
ｄ））が発生回路３７からテレビカメラ１８に入力され
る。ＣＯＤから読み出された映像信号（第６図（ｅ））
はＡ／Ｄコンバータ３１によりＡ／Ｄ変換される。この
とき同時にＲＡＭ３２に書き込み信号（第６図（ｆ））
が入力されているので、Ａ／Ｄコンバータ３１より出力
された１フレ一ム分の画像データはＲＡＭ３２に記憶さ
れる。

あるいはまた、テレビカメラ１８の出力を順次ＲＡＭ３
２に更新させながら記憶させるようにすることもできる
。この場合、ＲＡＭ３２に記憶された映像信号のレベル
を検出回路３８により検出し、所定のレベルに達するま
で映像信号をＣＯＤ７− に蓄積させる。

スローシャッタを閉じたときから開放していた時間と同
一の時間（実施例の場合３フィールドの時間）が経過し
たとき、再びＣＯＤに読出信号（第６図（ｄ））が入力
される。このとき同時にＲＡＭ３３に書き込み信号（第
６図（ｇ））が供給されるので、ＣＯＤより読み出され
た１フレ一ム分の映像信号（第６図（ｅ））はＲＡＭ３
３に記憶される。

ＲＡＭ３３への書き込みが終了したとき、ＲＡＭ３２と
３３に読出信号（第６図（ｈ）、（ｉ））が入力される
。減算回路３４において、ＲＡＭ３２より読み出された
映像信号からＲＡＭ３３より読み出された映像信号が減
算される。ＲＡＭ３２に記憶された映像信号には、検査
試料１６の付着物の映像信号と暗電流による映像信号と
が重畳されている。一方ＲＡＭ３３には暗電流による映
像信号のみが記憶されている。従って減算回路３４にお
いて暗電流成分が相殺され、付着物の映像信号（第６図
（ｊ））だけが出力される。この映像信号はＲＡＭ３５
に記憶される。ＲＡＭ３５から読み出された映像信号は
、Ｄ／Ａコンバータ３６に入力され、そこでＤ／Ａ変換
され、図示せぬＣＲＴ等に出力、表示される。

個々の画素を構成するＣＯＤの各素子の特性は必ずしも
一様ではなく、実質的に光が入射されていなくとも暗電
流が流れる素子もある。その結果光量を蓄積していると
き、この暗電流成分も蓄積され、第７図に示すように、
個々の画素（素子）に対応した斑点状のノイズが本来の
画像上に重畳され、カラー画像の場合特にそれが目立つ
ようになることがあるが、この発明においてはそのよう
なことが防止される。

尚以上においてはＲＡＭ３２と３３を別個のものとした
が、１個をアドレスで区別する等して用いるようにして
もよい。また暗電流成分を検出するための時期は検査試
料を撮影する前であってよい。あるいはまた撮影前に、
設定可能な撮影時間に対応して予め暗電流成分を計測し
、ＲＡＭ３３に記憶させておき、撮影時、設定された撮
影時間に対応するデータをＲＡＭ３３から読み出すよう
１９− にすることもできる。

このようにしてＲＡＭ３５には、例えば第８図に示すよ
うな付着物５１の映像データが記憶される。

この記憶動作が完了したとき、駆動系２５．２６．２７
が駆動され、次の励起フィルタ、吸収フィルタ、ダイク
ロイックミラーの組合わせが選択され、同様の処理が繰
り返される。

すべてのフィルタの組合わせについての検査が終了した
とき、駆動系２３が制御され、次の付着物の位置にテー
ブル１５（検査試料１６）が移動され、同様の処理が実
行される。

さらに、制御回路２０はＲＡＭ３５に記憶されたデータ
を読出し、次の演算処理を行なう。

すなわち、先ず、ＲＡＭ３５に記憶されデータから輝度
信号のレベルを読出しくあるいは、ＲｌＧ、Ｂ信号から
輝度信号のレベルを演算し）、そのレベルを、予め設定
した所定の基準レベルと比較する。輝度信号がこの基準
値以上のレベルを有するデータが、付着物５１のデータ
とされる。

２〇− 次に、この付着物５１を構成する画素のＲ，Ｇ、Ｂ信号
の明るさ（レベル）によるヒストグラムに関するデータ
が演算される。

第９図（Ａ）乃至（Ｃ）は、このＲ，Ｇ、Ｂ信号のヒス
トグラムを模式的に表している。これらの図において、
その縦軸は画素の数（相対数）を、横軸はレベルを、各
々示している。このようなヒストグラムは、必要に応じ
、図示せぬＣＲＴ等に表示される。

このようなヒストグラムは、励起フィルタ１２と吸収フ
ィルタ１７の組合せの数だけ得られる。

ヒストグラムの分布状態は、付着物５１の種類によって
異なる。従って、演算されたヒストグラムデータを、所
定の基準のヒストグラムデータ（例えば付着物５１がレ
ジスト、フケ又はファンデーションである場合のデータ
）と比較することにより、その付着物が何であるのかを
判定することができる。

第１０図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、付着物がレジスト
、フケ又はファンデーションである場合の蛍光の分光特
性を表している。このような特性は、例えば吸収フィル
タ１７より出射される蛍光の波長を干渉フィルタにより
分析することにより得られる。これらの特性から付着物
が何であるかを判定することができる。

しかしながら、この発明の場合、Ｒ，Ｇ、Ｂ信号を演算
することにより、この分光特性のピーク又はその近傍の
波長とその相対レベルを求めることができるので、その
値から付着物を特定することができる。

メモリ２２に、付着物の位置データが予め記憶されてい
ない場合、制御回路２０は、検査の開始が指令されたと
き、駆動系２３を駆動し、テーブル１５を予め設定した
所定の基準位置に移動させる。そして、その位置におい
て上述したように検査を実行した後、テレビカメラ１８
により一度に撮影できる範囲を単位として、次の単位に
テーブル１５を移動させ、そこで検査を行なう動作を繰
り返す。このようにして、検査試料１６の全体が自動的
に検査される。

〔発明の効果〕

以上のように請求項１の蛍光検査装置によれば、テレビ
カメラのシャッタを比較的長い時間動作させ、蛍光を撮
像素子に蓄積した後、その映像信号をメモリに記憶させ
るようにしたので、検査試料の付着物より発生される蛍
光が微弱であったとしても、それをテレビカメラを用い
て検査することが可能になる。

また、請求項２の蛍光検査装置によれば、ＲｌＧ、Ｂ信
号のレベルから、蛍光のヒストグラムデータを演算する
ようにしたので、吸収フィルタより出射された蛍光の波
長を、さらに狭い帯域に分割する干渉フィルタが不用と
なる。

さらに、請求項３の蛍光検査装置によれば、検査試料の
位置を位置メモリに記憶させ、検査試料をその位置に自
動的に移動させるようにしたので、付着物の位置を検出
する装置と組み合わせることにより、迅速な検査が可能
になる。

また、請求項４の蛍光検査装置によれば、励起フィルタ
等よりなる調整手段と吸収フィルタとを、２３− 順次所定の組合わせのものに自動的に切り替えるように
したので、操作性がよく、迅速な検査が可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の蛍光検査装置のブロック図、第２図
は従来の顕微蛍光分光分析装置の断面図、第３図はこの
発明の励起フィルタの平面図、第４図Ａ乃至りはこの発
明の励起フィルタと吸収フィルタの特性図、 第５図はこの発明の蛍光検査装置の映像信号処理系のブ
ロック図、 第６図は第５・図の装置のタイミングチャート、第７図
及び第８図は第５図の装置の撮像画面の説明図、 第９図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、付着物のＲ，Ｇ、Ｂ
信号のヒストグラム、 第１０図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、検査試料の分光特
性図である。 １・・・光源 ２・・・励起フィルタ ３　・　・　・ ４　・　− ５・　・　・ ６　・　・　・ ７　・　・　・ ８　・　・　・ ９　・　・　・ １１　・　・ １２　・　・ １３　・　・ １４　・　・ １５　・　・ １６　・　・ １７　・　・ ５１　・　・ ５２　・　・ ２４− ダイクロイックミラー 対物レンズ テーブル 検査試料 吸収フィルタ フォトマルチプライヤ 接眼レンズ ・光源 ・励起フィルタ ・ダイクロイックミラー ・対物レンズ ・テーブル ・検査試料 ・吸収フィルタ ・付着物 ・水平走査線

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）検査試料に照射する励起光を発生する光源と、前
   記光源より放射された励起光の波長を調整する調整手段
   と、 前記調整手段により調整された波長の励起光を前記検査
   試料に照射する対物レンズと、 前記検査試料より出射される光から、不要な励起光をカ
   ットし、蛍光を通過させる吸収フィルタと、 前記吸収フィルタを経た蛍光による像を撮影するテレビ
   カメラと、 前記テレビカメラの出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバ
   ータと、 前記Ａ／ＤコンバータによりＡ／Ｄ変換された信号を記
   憶するメモリと、 前記テレビカメラのシャッタを、１フィールドを超える
   比較的長い所定の時間動作させ、蛍光を前記テレビカメ
   ラの撮像素子に蓄積させる制御手段とを備える蛍光検査
   装置。
2. （２）検査試料に照射する励起光を発生する光源と、前
   記光源より放射された励起光の波長を調整する調整手段
   と、 前記調整手段により調整された波長の励起光を前記検査
   試料に照射する対物レンズと、 前記検査試料より出射される光から、不要な励起光をカ
   ットし、蛍光を通過させる吸収フィルタと、 前記吸収フィルタを経た蛍光による像を撮影するテレビ
   カメラと、 前記テレビカメラの出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバ
   ータと、 前記Ａ／ＤコンバータによりＡ／Ｄ変換された信号を記
   憶するメモリと、 前記テレビカメラより出力される信号から、蛍光のヒス
   トグラムデータを演算する演算手段とを備える蛍光検査
   装置。
3. （３）検査試料に照射する励起光を発生する光源と、前
   記光源より放射された励起光の波長を調整する調整手段
   と、 前記調整手段により調整された波長の励起光を前記検査
   試料に照射する対物レンズと、 前記検査試料より出射される光から、不要な励起光をカ
   ットし、蛍光を通過させる吸収フィルタと、 前記吸収フィルタを経た蛍光による像を撮影するテレビ
   カメラと、 前記テレビカメラの出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバ
   ータと、 前記Ａ／ＤコンバータによりＡ／Ｄ変換された信号を記
   憶するデータメモリと、 前記検査試料の位置を記憶する位置メモリと、前記位置
   メモリに記憶された位置に対応して、前記検査試料が載
   置されたテーブルを駆動する駆動系を備える蛍光検査装
   置。
4. （４）検査試料に照射する励起光を発生する光源と、前
   記光源より放射された励起光の波長を調整する調整手段
   と、 前記調整手段により調整された波長の励起光を前記検査
   試料に照射する対物レンズと、 前記検査試料より出射される光から、不要な励起光をカ
   ットし、蛍光を通過させる吸収フィルタと、 前記吸収フィルタを経た蛍光による像を撮影するテレビ
   カメラと、 前記テレビカメラの出力をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバ
   ータと、 前記Ａ／ＤコンバータによりＡ／Ｄ変換された信号を記
   憶するメモリと、 前記調整手段と前記吸収フィルタを制御し、異なる波長
   の励起光を前記検査試料に順次照射させ、各波長におけ
   る前記テレビジョンカメラからの出力を前記メモリに順
   次記憶させる制御手段とを備える蛍光検査装置。