JPH036474A - バーンインボード用ｉｃ挿入装置およびバーンインボード用ｉｃ抜取装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ＩＣのバーンイン試験のため、ハンインボー
ドのソケットにＩＣを挿入およびソケットからＩＣを抜
取るバーンインボード用ＩＣ挿入装置およびバーンイン
ボード用ＩＣ抜取装置に係り、とくに反りを有するバー
ンインボードでもＩＣをソケットに確実に挿入したり抜
取るのに好適なバーンインボード用ＩＣ挿入装置および
バーンインボード用ＩＣ抜取装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のバーンインボード用ＩＣ挿抜装置においては、た
とえば特開昭６２−５６８７５号公報に記載されている
ように、バーンインボードに実装されたソケットに完全
に嵌合するように直角の切欠きを有スるストッパーをバ
ーンインボード上に実装された前端端のソケットに押付
は固定し、この位置を基準にしてＩＣを挿入するものが
提案されている。

またたとえば特開昭６２−９６８７０号公報に記載され
ているように、ソケットを取付けたバーンインボードを
可動テーブル上に水平に固定し、抜取り爪の爪部を水平
に出し、前進移動されたソケット上の溝に上記抜取り爪
の爪部が差込まれ、半導体装置を下方から抜取り爪で受
は上方から押え具で押え、抜取り爪と押え具の上昇で半
導体装置をソケットから抜取り、上方に水平配設の収容
レール上に押出し装置により押し出す抜取装置が提案さ
れている。

またたとえば特開昭６２−１８４３７１号公報に記載さ
れているように、バーンインボードをＸＹ力方向駆動す
る可動テーブル上に固定し、上記テーブルの上方に支持
され、Ｘ方向に往復駆動される移動ベースにＩＣ挿入ヘ
ッドとＩＣ抜取りヘッドを取付け、上記挿入ヘッドと上
記ＩＣ抜取りヘッドをＸ方向に往復駆動することにより
、ＩＣをバーンインボードに挿抜する装置が提案されて
いる。

さらにたとえば特開昭６３−３３６７２号公報に記載さ
れているように、未テストＩＣを挿入する動作を一対の
抜取り、挿入チャックの同時昇降と、チャックを支持す
るユニットの往復運動と移動板の制御で順次行うことに
より、テストＩＣの抜取り、挿入を行う装置が提案され
ている。

［発明が解決しようとする課題〕 ＩＣをバーンイン試験を行う場合の工程は大別すると、
第１５図に示すようにＩＣをバーンインボードのソケッ
トに挿入する工程と、ＩＣをバーンイン試験する工程と
、バーンイン試験終了後のＩＣをソケットから抜取る工
程とに分けられる。

そのため、バーンインボードは、バーンイン試験の高効
率化とＩＣの大規模化に伴なって、大きくて重く構成さ
れている。またバーンイン試験のさいにバーンインボー
ドに加わる温度負荷などにより該バーンインボードに反
りが発生する。

これに対して上記従来技術では、大きく、重く、反りの
あるバーンインボードについての配慮がされておらず、
バーンインボードが反っている場合、ＩＣ抜取りヘッド
によりバーンインボード上に実装されたソケットを破壊
したり、またはＩＣ挿入ヘッド、抜取ヘッドがバーンイ
ンボード上に実装されたソケットに到達できず、ＩＣを
挿抜できないという問題があった。

また太き（、重く、反りのあるバーンインボードを挿抜
位置に正確に位置決めするための配慮がされておらず、
正確にバーンインボードを位置決めすることができない
という問題があった。

本発明の第１の目的は、大きく、重く、反りのあるバー
ンインボードでも該バーンインボードのソケットにｒｃ
；を確実に挿入可能とするバーンインボード用ＩＣ挿入
装置を提供するものである。

本発明の第２の目的は、大きく、重く、反りのあるバー
ンインボードでも該バーンインボー１を正確に位置決め
可能とするバーンインボート用ＩＣ挿入装置を提供する
ことにある。

本発明の第３の目的は、大きく、重く、反りのあるバー
ンインボードでも該バーンインボードの反りを矯正した
状態で不良ソケン；へなどの未使用ソケットを事前に検
出可能とするバーンインボード用ＩＣ挿入装置を提供す
ることにある。

本発明の第４の目的は、大きく、重く、反りのあるバー
ンインボードでも、該バーンインボー１〜”のソケット
からＩＣを確実に抜取可能とするバーンインボード用Ｉ
Ｃ抜取装置を提供することにある。

本発明の第５の目的は、大きく、重く、反りのあるバー
ンインボードでも、該バーンインボードを正確に位置決
め可能とするバーンインボード用ＩＣ抜取装置を提供す
ることにある。

本発明の第６の目的は、大きく、重く、反りのあるバー
ンインボードでも、該バーンインボードの反りを矯正し
た状態で不良ソケットなどの未使用ソケットを事前に検
出可能とするバーンインボード用ＩＣ抜取装置を提供す
ることにある。

〔課題を解決するための手段］ 上記第１の目的を達成するために、本発明のバーンイン
ボード用ＩＣ挿入装置においては、バーンインするＩＣ
を挿入するためのソケットを搭載するバーンインボード
と、該バーンインボードの周辺部の前記ソケットを搭載
しない面を支持する支持部材および前記バーンインボー
ドの周辺部のソケット搭載面を押える押え部材を支持す
るユニットベースと、該ユニットベースに支持され、前
記バーンインボードの前記ソケットを搭載しない面をそ
の反対側面に向って押圧して前記バーンインボードの反
りを矯正する反り矯正手段とを備えたものである。

上記第２の目的を達成するために本発明のバーンインボ
ード用ＩＣ挿入装置においては、前記バーンインボード
に有する位置決め穴に挿入する位置決め用ピンを前記ユ
ニットベースに備えたものである。

また前記位置決め用ピンが前記位置決め穴に倣って挿入
させるため、前記支持部材をバネを介して前記ユニット
ベースに摺動自在に支持させ、かつ該支持部材の前記バ
ーンインボードに対接する面に低摩擦力の倣い用部材を
備えたものである。

また前記低摩擦力の倣い用部材の代りに圧縮空気を前記
バーンインボードに向って噴出する空気穴を備えたもの
である。

また前記低摩擦力の倣い用部材の代りに回転自在な倣い
用球面受けを備えたものである。

上記第３の目的を達成するために本発明のバーンイン用
ＩＣ挿入装置においては、バーンインするＩＣを挿入す
るだめのソケットを搭載するバーンインボードと、該バ
ーンインボードの周辺部の前記ソケットを搭載しない面
を支持する支持部材および前記バーンインボードの周辺
部のソケット搭載面を押える押え部材を支持するユニッ
トベースと、該ユニットベースに支持され、前記バーン
インボードの前記ソケットを搭載しない面をその反対側
面に向って押圧して前記バーンインボードの反りを矯正
する反り矯正手段と、不良ソケットを含む未使用ソケッ
トを光学的に検出する未使用ソケット検出手段とを備え
たものである。

上記第４の目的を達成するために、本発明のバーンイン
ボード用ＩＣ抜取装置においては、前記バーンインボー
ドと、前記ユニットベースと、前記反り矯正手段とを備
えたものである。

上記第５の目的を達成するために、本発明のバーンイン
ボード用ＩＣ抜取装置においては、前記位置決め穴と前
記位置決め用ピンとを備えたものである。

０ 上記第６の目的を達成するために本発明のバーンイン用
ＩＣ抜取装置においては、前記バーンインボードと、前
記ユニットベースと、前記反り矯正手段と、前記未使用
ソケット検出手段とを備えたものである。

〔作用〕

上記のように構成された本発明のバーンインボード用Ｉ
Ｃ挿入装置およびバーンインボード用ＩＣ抜取装置にお
いては、大きく、重く、反りのあるバーンインボードで
も、その周辺部両面を支持部材および押え部材にて支持
された状態で反り矯正手段により反りを矯正するので、
ＩＣをソケットに確実に挿入したり抜取ることができる
。

またバーンインボードのソケットがＩＣ挿入、もしくは
抜取り位置よりずれている場合でも、支持部材に備えた
倣い用当て板もしくは空気穴からの圧縮空気もしくは倣
い用球面受げにより位置決め用ピンが位置決め穴にそう
で倣うので、バーンインボードのソケットをＩＣ挿入も
しくは抜取り位置に正確に位置決めすることができる。

さらに未使用ソケットを事前に検出することができるの
で、未使用ソケットへのＩＣ挿入もしくはＩＣ抜取りの
誤動作を防止することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例であるバーンインボード用ＩＣ
挿抜装置を示す第１図乃至第１２図について説明する。

第１図乃至第３図に示すように、それぞれ架台１．２上
に互いに同一構成をしたＩＣ挿入手段３とＩＣ抜取手段
４を設置し、これらの両側に互いに同一構成をしたバー
ンインボード供給手段５とバーンインボード収納手段６
を設置している。

上記ＩＣ挿入手段３は架台１上に設置されたＸＹ移動手
段７と、図示していないが該ＸＹ移動手段７上に設置さ
れたバーンインボード位置決め手段８（第ψ図参照）お
よび反り矯正手段９（第４図参照）と、上記ＸＹ移動手
段７の上方位置に設置されたソケット開閉手段１０、Ｉ
Ｃ挿入手段１１ａおよび駆動手段１２と、第１図に対し
て上記架台１上の奥に設置されたＩＣ供給手段１３ａと
上記ソケット開閉手段１０に設置された不良ソケット検
出手段１４（第１２図参照）とを備えている。

また上記ＩＣ抜取手段４は、χＹ移動手段７と、図示し
ていないがＸＹ移動手段７上に設置されたバーンインボ
ード位置決め手段８（第デ図参照）および反り矯正手段
９（第４図参照）と、上記ＸＹ移動手段７の上方位置に
設置されたソケット開閉手段１０、ＩＣ抜取手段１１ｂ
、駆動手段１２と、第１図に対して上記架台１上の奥に
設置されたＩＣ収納手段１３ｂと、上記ソケット開閉手
段１０に設置された不良ソケット検出手段１４とを備え
ている。

なお、図示の１５はＩＣにして、第２図（ｂ）に拡大斜
視図を示すように構成されている。また１６ば上記ＩＣ
４５を挿入または抜取るソケッ１−１１８はバーンイン
ボードにして下面周辺部を外縁部材１８０２にて補強し
ている。

つぎに上記各手段の構成について説明する。

上記χＹ移動手段７は、ＮＣコントローラ（第１２図参
照）からの出力信号によりＸモータ７０２およびＹモー
クツ０３が駆動し、ＸＹテーブル７０１が第１図に対し
て前後左右方向に移動してその上面に上記バーンインボ
ード位置決め手段８および反り矯正手段９を介して支持
されたバーンインボード１８上の複数個のソケット１６
をそれぞれソケット開閉手段１０、ＩＣ挿入手段１１ａ
およびＩＣ抜取手段１１ｂの下方位置に位置決めする。

上記バーンインボード位置決め手段８は第４図に示すよ
うに上記ＸＹ子テーブル０１上に断面を凹形状に形成さ
れたユニットベース８０１が固定されている。該ユニッ
トベース８０１は、その下面に固定された昇降駆動源８
０２にて内部を昇降する昇降ベース８０３が設置され、
該昇降ベース８０３には、その上面４隅にバネ８０４を
介して上下方向に移動自在に支持部材を構成する４個の
押え駒８０５が支持され、該４個の押え駒８０５の上面
には、摩擦係数の小さいバーンインボード倣い用当て板
８０６が固定されている。また上記ユニットベース８０
１の上方両端部には上記バーンインボード１８に形成さ
れた２個の位置決め穴１８０１に嵌挿してバーンインボ
ード１８を位置決めする２個の位置決めピン８０７３ ４ を固定している。さらにユニットベース８０１の内側面
にはそれぞれモータ８１３にて駆動され上記バーンイン
ボード１８を移送する２個のコンヘア８０８が設置され
、一方性側面両端部にはバーンインボード１８を検出す
る２個のバーンインボード検出センサ８０９ａ、　８０
９ｂが固定され、底面上両端部には押え部材を構成する
２個の押え爪駆動源８１０ａ８１０ｂが固定されている
。該２個の押え爪駆動源８１０　ａ　、　８１０　ｂは
２個の押え爪８１１　ａ　、　８］、１　ｂの後端部に
連結している。該２個の押え爪８１１ａ、　８１１ｂは
それぞれ上記押え爪駆動＃８１０ａ、　８１０ｂとの連
結位置より下方をピン８１２ａ、　８１２ｂを介して上
記ユニットベース８０１の底面上に揺動自在に支持され
、上記押え爪駆動１１１Ｘ８１０　ａ　、　８１０　ｂ
にて後端部が押されたとき、先端部が第５図（ａ）に示
す位置から第６図（ａ）に示す位置まで内方に起き上が
るように揺動してバーンインボード１８の第５図（ａ）
に対して左右方向の移動を固定する。

上記反り矯正手段９は、第４図に示すように平板状に形
成され、上記バーンインボード位置決め手段８の昇降ベ
ース８０３上に固定されている。

つぎにバーンインボード位置決め手段８および反り矯正
手段９の動作について説明する。

まず、バーンインボード１８が第５図（ａ）に示す矢印
方向にコンヘア８０８により搬送され、第４図に対して
右側のバーンインボード検出センサ８０９ａがバーンイ
ンボード１８の先端部を検出したとき、押え爪駆動源８
１０ｂが駆動し、押え爪８１１ｂの先端部が上方に揺動
する。

引続き、コンベア８０１１１によりバーンインボード１
８が搬送されその先端部が上記押え爪８１１ｂの先端部
に当ってその後端部が左側のバーンインボード検出セン
サ８０９ａにより検出されると、コンベア８０８による
バーンインボード１８の搬送が停止されるとともに押え
爪駆動源８１０ａが駆動し、押え爪８１１ａの先端部が
第６図（ａ）に示すように上方に揺動してバーンインボ
ード１８の後端部に対接する。

また昇降駆動源８０２が駆動し、昇降ベース８０３を介
して反り矯正手段９が上方に移動してコンヘア８０８上
のバーンインボード１８を反り矯正手段９上に載置する
。

引続き、昇降駆動源８０２により反り矯正手段９が上昇
し、第７図（ａ）に示すように位置決めピン８０７の先
端部が位置決め穴１８０Ｉの縁部に接触すると、上記反
り矯正手段９の下面隅部がこれに対接する４個の押え駒
８０５の上面のバーンインボード倣い用当て板８０６の
上面をすべりながら第８図（ｂ）に示すように位置決め
ピン８０７が位置決め穴１７０１に挿入する。

このとき、倣い用当て板８０６をポリ四フッ化エチレン
にて形成した場合には、重量が約３０ニユートンのバー
ンインボード１８が実験で約２ニユートンの力でずれる
。

さらに昇降駆動源８０２により反り矯正手段９が上昇し
、第８図（Ｃ）に示すように位置決めピン８０７が位置
決め穴１８０１に挿入完了すると、バーンインボード１
日が位置決めされる。

このとき第９図（ａ）に示すようにバーンインボード１
８は、その端部が２個の押え爪８１１ａ、　８１１ｂの
先端部下面と押え爪８１１ａとによりクランプされる。

さらに昇降駆動源８０２により反り矯正手段８が上昇す
ると、第９図（ｂ）に示すように、押え爪８１１　ａ　
、　８１１　ｂがバーンインボード１８を押圧した状態
で反力により下方に押し下げられ、同時に反り矯正手段
９によりバーンインボード１８を上方に押圧しつつ反り
を矯正する。

したがってバーンインボード１８は反りを矯正された状
態で位置決めすることができる。なお、反り矯正手段９
は常に第１０図（ｂ）に示す位置にて停止するのでバー
ンインボード１８が逆に上方に反るのを防止することが
できる。

上記ソケット開閉手段１０は第１０図に示すように、回
転軸１２０３に固嵌支持された円筒カム１００１の回転
により該円筒カム１００１の外周面にバネ１００２　（
図示せず）（第２図参照）の弾性力により常に上端部が
対接しているソケット開閉ヘッド１００３が上下移動す
る。該ソケット開閉ヘッド１００３は下方に移動してそ
の下端部が第１２図に示すソケット１６の上面を押すこ
とにより、ソケット１６の上方縁部が外方に押開かれ、
上方に移動したときソケット１６の上方７ ８ 縁部が元の状態に復する。

上記ＩＣ挿入手段１１ａは第１０図に示すように上記ソ
ケット開閉手段１０の円筒カム１００１と同一の回転軸
１２０３に固定された円筒カム１１０１　ａの回転によ
り常に該円筒カム１１０１　ａの外周面に対接している
挿入ヘッド１１０２ａが上下移動する。該挿入ヘア［１
１０２ａは下方に移動したときその下端部に吸着ＩＣｌ
３を上記ソケット開閉手段１０によって開放した状態の
ソケット１６内に挿入し、挿入完了したときＩＣｌ３の
吸着を解いて上方に移動する。

上記ＩＣ抜取手段１１ｂは第１１図に示すように上記Ｉ
Ｃ挿入手段１２ａと動作が逆である。すなわち、円筒カ
ム１１０１　ｂの回転により抜取りヘッド１１０２　ｂ
が下方に移動してその下端部がソケット１６に挿入され
たＩＣｌ３に接触したとき、該抜取ヘッド１１０２ｂは
その下端部にＩＣｌ３を吸着し、しかるのち該抜取ヘッ
ド１１０２ｂが上方移動してＩＣｌ３をソケット１６か
ら抜取る。

上記駆動手段１２は、第２図に示すようにモータ１２０
１が駆動したとき、その先端部の１対の歯車１２０２を
介して回転軸１２０３が回転し、該回転軸１２ｏ３に固
定された２個の円筒カム１００１および１１０１　ａも
しくは１１０１　ｂを介してソケット開閉手段１０およ
びＩＣ挿入手段１１ａもしくはＩＣ抜取手段１１ｂを駆
動している。

上記不良ソケット検出手段１４は、第１２図に示すよう
にハ′−ンインボード１８上のソケット１６に向って斜
方向から光を照射する発光素子１４０１と該発光素子１
４０１に対して反対の斜方向に設置され、ソケット１６
からの反射光を受光する受光素子１４０２と、該受光素
子１４０２に接続するとともに上記ＸＹ移動手段６のＸ
モータ６０２およびＹモータ６０３を駆動制御するＮＣ
コントローラ６０４に接続するシーケンスコントローラ
１４０３とを備えている。上記ソケット１６は検査の結
果不良品のとき、上面に上記受光素子１４０２からの光
を反射する反射板１４０４にて覆っている。上記受光素
子１４０２はソケット１６からの反射光が受光されたと
き、上記シーケンスコントローラ１４０３にＯＶが出力
され、ソケット１６からの反射光が受光されないとき、
上記シーケンスコントローラ１４０３に１２Ｖが出力さ
れる。また上記シーケンスコントローラ１４０３は、上
記ＸＹ移動手段７により検出するソケット１６が検出す
る位置まで移動完了したとき、ＮＣコントローラ７０４
から出力信号が入力し、検出位置に位置するソケット１
６の良否を受光素子１４０２からの出力信号によって検
出する。

上記バーンインボード供給手段５およびバーンインボー
ド収納手段６は、それぞれモータ５０１゜６０１が駆動
し、ネジ軸５０２．６０２が回転する。一方のネジ軸５
０２が回転し、これに螺合支持された受台５０３が上方
に移動してあらかじめ該バーンインボード供給手段５付
近に達しているＸＹ移動手段６からバーンインボード１
７が載置されると、下方に移動して元の第１図に示す位
置に復する。また他方のネジ軸６０２が回転し、これに
螺合支持された受台５０３が上方に移動したとき、該受
台５０３上に載置されたバーンインボード１８があらか
しめ該バーンインボード収納手段６付近に達しているＸ
Ｙ移動手段７上に載置される。バーンインボード１８が
ＸＹ移動手段７上に載置されたとき、受台５０３が下方
に移動して元の第１図に示す位置に復する。

上記ＩＣ供給手段１３ａおよびＩＣ収納手段１３ｂは、
それぞれ第２図に示す右側より左側のバーンインボード
位置決め手段８の上方でＩＣ挿入手段１１ａおよびＩＣ
抜取手段１１ｂの下方位置まで延びるコンヘア１３０１
　ａ　、　１３０１　ｂを設置し、一方のＩＣ供給手段
１３ａはＩＣ１４を右側より左側のＩＣ挿入手段１１ａ
の下方位置まで供給し、他方のＩＣ収納手段１３ｂはＩ
Ｃ抜取手段１１ｂにてソケット１６から抜取られたＩＣ
ｌ３を左側から右側に搬送する。

つぎにバーンインボード用ＩＣ挿抜装置全体の動作につ
いて説明する。

まずバーンインボード収納手段６により供給されたバー
ンインボード１８は、ＩＣ抜取手段４側のＸＹ移動手段
７上に設置されたバーンインボード位置決め手段８の２
個のコンベア８０８上に載置されると、バーンインボー
ド位置決め手段８により位置決めされるとともに反り矯
正手段９にて反り１ ２ を矯正される。

ついで、ＸＹ移動手段７によりバーンインボード１８」
二のＩＣｌ３を抜取るソケット１６がＩＣ抜取手段１１
の下方位置まで移動して位置決めされる。

しかるのち、不良ソケット検出手段１４によりソケット
１６が不良か否かを検出し、検出の結果ソケット１６が
良品の場合にはソケット開閉手段１０の円筒カム１００
１の回転によりソケット開閉ヘッド１００３が下方に移
動してその下端部でソケット１６を開放する。また上記
円筒カム１００１と同一軸上に固定された円筒カム１１
０１　ｂによりＩＣ抜取手段１１ｂの抜取ヘッド１１０
２　ｂが下方に移動しその下端部でＩＣｌ３を吸着した
のち、ソケッＩ・開閉手段１０とともにＩＣ抜取手段１
１ｂが上方に移動してＩＣｌ３をソケット１６内から抜
取る。

ついで、上記抜取ヘッド１１０２が下方に移動してＩＣ
１５をＩＣ収納手段１３ｂのコンヘア１３０１　ｂ上に
載置して架台１の第１図に対して奥の方向に搬送され、
１個のＩＣｌ３の抜取りが終了する。

このようにしてバーンインボード１８上のすべてのソケ
ット１６からＩＣ１，５が抜取られると、ＸＹ移動手段
７上に設置された反り矯正手段９によるバーンインボー
ド１８の反り矯正を解除するとともにバーンインボード
位置決め手段８によるバーンインボード１８の位置決め
を解除してバーンインボード１８を２個のコンヘア８０
８上に載置する。

ついで、バーンインボード位置決め手段８に設置された
２個の押え爪８１０ａを下方に揺動し、χＹ移動手段７
によりバーンインボード１８をＩＣ挿入手段３の方向に
移動し、あらかじめＩＣ抜取手段４側に移動しているＩ
Ｃ挿入手段３側ｘｙ移動手段７に、それぞれ設置された
コンヘア８０８によリハーンインボード１８を移し変え
る。

しかるのち、バーンインボード１８がバーンインボード
位置決め手段８により位置決めされるとともに反り矯正
手段９にて反りを矯正される。

ついでＸＹ移動手段７によりＩＣ１５を挿入するソケッ
ト１６がＩＣ挿入手段１１ａの下方位置まで移動して位
置決めされる。

しかるのち、不良ソケット検出手段１４によりソケット
１６が不良か否かを検出し、検出の結果ソケット１６が
良品の場合には、ソケット開閉手段１ｏの円筒カム１０
０１の回転によりソケット開閉ヘッド１００３が下方に
移動してその下端部でソケッ目６を開放する。また上記
円筒カム１１０１　ａによりＩＣ挿入手段１１ａの挿入
ヘッド１１０２ａが下方に移動し、その下端部にあらか
じめＩＣ供給手段１３ａから吸着したＩＣｌ３をソケッ
ト１６内に挿入する。

ＩＣｌ３をソケット１６内に挿入完了すると、ソケット
開閉手段１０のソケット開閉ヘッド１００３およびＩＣ
挿入手段１１ａの挿入ヘッド１１０２　ａが上方に移動
し、１個のソケット１６内へのＩＣｌ３の挿入が完了す
る。

このようにしてバーンインボード１８上のすべてのソケ
ット１６内にＩＣｌ３の挿入が完了すると、ＸＹ移動手
段７上の反り矯正手段９によるバーンインボード１８の
その矯正を解除するとともにバーンインボード位置決め
手段８によるバーンインボード１８の位置決めを解除し
てバーンインボード１８を２個のコンベア８上に載置す
る。

ついでバーンインボード位置決め手段８の２個の押え爪
８１０ａを下方に揺動し、ＸＹ移動手段７によりバーン
インボード１８をバーンインボード供給手段５まで移動
させたのち、バーンインボード供給手段５によりバーン
インボード１８を第１図に示す下方位置まで下降させる
。

つぎに本発明の他の一実施例である押え駒８０５′を示
す第１３図について説明する。

第１３図に示す押え駒８０５′は、前記第８図に示す押
え駒８０５と比較し、バーンインボード倣い周当て板８
０６の代りに圧縮空気供給源に接続する複数の空気穴８
１４′を設けた点が相異し、その他は同一であるから、
上記以外は第８図に示す押え駒８０５と同一符号をもっ
て示す。

而して、本実施例においては第１３図（ａ）に示すよう
に空気穴８１４′よりバーンインボード１８の下面外縁
部材１８０２の下面に向って圧縮空気８１５′を吹き付
けることにより、バーンインボード１８が該押え駒８０
５′の上面から浮上しながら第１３図（ｂ）に示すよう
に左右方向に揺動して位置決めピン８０７を位置決め穴
１８０１５ ６ に挿入する。

しかるのち、第１３図（Ｃ）に示すように位置決めピン
８０７が位置決め穴１８０１内に挿入すると、圧縮空気
の吹き付けを停止し、該押え駒８０５′が上方に移動し
てバーンインボード１８を反り矯正手段９による反り矯
正動作へと移行する。

つぎに本発明のさらに他の一実施例である押え駒８０５
　″を示す第１４図について説明する。

第１４図に示す押え駒８０５″は前記第１３図に示す押
え駒８０５′　と比較し、空気穴８１４′の代りに上面
にバーンインボード倣い用球軸受８１６　″を設けた点
が相異し、その他は同一であるから第１３図と同一符号
をもって示す。

而して、本実施例においては、第１４１Ｄ　（ａ）に示
すように押え駒８０５″が上方に移動して、第１４図（
ｂ）に示すようにバーンインボード倣い用球軸受８１６
″がバーンインボード１８の下面外縁部材１８０２の下
面に接触すると、バーンインボード１８はバーンインボ
ード倣い用球軸受８１６″上を左右方向に移動しながら
位置決めピン８０７を位置決め穴１８０１内に挿入する
。

しかるのち、第１４図（Ｃ）に示すように、位置決めピ
ン８０７が位置決め穴１８０１内に挿入すると、該押え
駒８０５　″が上方に移動してバーンインボード１８を
反り矯正手段９による反り矯正動作へと移行する。

〔発明の効果〕

本発明によれは、重いバーンインボードの初期位置決め
精度が悪くかつバーンインボード自身に反りがあっても
バーンインボードを所定位置に位置決めすることができ
るとともに反りを矯正することができる。

さらに不良ソケットなどの未使用ソケットが存在した場
合、事前に検出して未使用ソケットへのＩＣ挿入もしく
はＩＣ抜取りの誤動作を防止し、かつＩＣの破損を防止
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるバーンインボード用Ｉ
Ｃ挿抜装置を示す正面図、第２図（ａ）は側面図、第２
図（ｂ）はＩＣ拡大斜視図、第３図は上面図、第４図は
バーンインボード位置決め手段および反り矯正手段を示
す斜視図、第５図乃至第７図はバーンインボード位置決
め手段および反り矯正手段の動作工程図。第８図はバー
ンインボード位置決め用ピンを位置決め大向に挿入する
工程拡大図、第９図は反り矯正手段の反り工程拡大図、
第１０図はソケット開閉手段およびＩＣ挿入手段の動作
工程図、第１１図はソケット開閉手段およびＩＣ抜取手
段の動作工程図、第１２図は不良ソケット検出手段を示
す説明図、第１３図は押え駒の他の一実施例を示す動作
工程図、第１４図は押え駒のさらに他の一実施例を示す
動作工程図、第１５図はＩＣのバーンイン試験工程図で
ある。 ３・・・ＩＣ挿入手段、４・・・ｒｃ抜取手段、５・・
・バーンインボード供給手段、６・・・バーンインボー
ド収納手段、７・・・ＸＹ移動手段、８・・・バーンイ
ンボード位置決め手段、９・・・反り矯正手段、１０・
・・ソケット開閉手段、Ｉｌａ・・・ＩＣ挿入手段、ｌ
ｌｂ・・・ＩＣ抜取手段、１２・・・駆動手段、１３ａ
・・・ＩＣ供給手段、１３ｂ・・・ＩＣ収納手段、１４
・・・不良ソケット検出手段、１５・・・ＩＣ１１６・
・・ソケット、１８・・・バーンインボード。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、バーンインするＩＣを挿入するためのソケットを搭
   載するバーンインボードと、該バーンインボードの周辺
   部の前記ソケットを搭載しない面を支持する支持部材お
   よび前記バーンインボードの周辺部のソケット搭載面を
   押える押え部材を支持するユニットベースと、該ユニッ
   トベースに支持され、前記バーンインボードの前記ソケ
   ットを搭載しない面をその反対側面に向って押圧して前
   記バーンインボードの反りを矯正する反り矯正手段とを
   備えたバーンインボード用ＩＣ挿入装置。 ２、請求項１記載のユニットベースは、前記バーンイン
   ボードに有する位置決め穴に挿入して前記バーンインボ
   ードを位置決めする位置決め用ピンを備えたバーンイン
   ボード用ＩＣ挿入装置。 ３、請求項１記載の支持部材は、バネを介して前記ユニ
   ットベースに摺動自在に支持され、前記バーンインボー
   ドに対接する面に低摩擦力の倣い用部材を備えたバーン
   インボード用ＩＣ挿入装置。 ４、請求項３記載の支持部材は、前記低摩擦力の倣い用
   部材の代りに圧縮空気を前記バーンインボードに向って
   噴出するための空気穴を備えたバーンインボード用ＩＣ
   挿入装置。５、請求項３記載の支持部材は、前記低摩擦
   力の倣い用部材の代りに回転自在な倣い用球面受けを備
   えたバーンインボード用ＩＣ挿入装置。 ６、バーンインするＩＣを挿入するためのソケットを搭
   載するバーンインボードと、該バーンインボードの周辺
   部の前記ソケットを搭載しない面を支持する支持部材お
   よび前記バーンインボードの周辺部のソケット搭載面を
   押える押え部材を支持するユニットベースと、該ユニッ
   トベースに支持され、前記バーンインボードを前記ソケ
   ットを搭載しない面をその反対側面に向って押圧して前
   期バーンインボードの反りを矯正する反り矯正手段と、
   該反り矯正手段の上方に設置され、光学的に不良ソケッ
   トを含む未使用ソケットを検出する未使用ソケット検出
   手段を備えたバーンインボード用ＩＣ挿入装置。 ７、請求項１記載のバーンインボードと、ユニットベー
   スと、反り矯正手段を備えたバーンインボード用ＩＣ抜
   取装置。 ８、請求項２記載の位置決め穴と位置決め用ピンとを備
   えたバーンインボード用抜取装置。 ９、請求項３記載の支持部材を備えたバーンインボード
   用ＩＣ抜取装置。 １０、請求項４記載の支持部材を備えたバーンインボー
   ド用ＩＣ抜取装置。 １１、請求項５記載の支持部材を備えたバーンインボー
   ド用ＩＣ抜取装置。 １２、請求項６記載の未使用ソケット検出手段を備えた
   バーンインボード用ＩＣ抜取装置。