JPH036488B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、一眼レフカメラ等の焦点合わせ用
ピント板に具えるフオーカシングスクリーンを製
造する際に用いられるフオーカシングスクリーン
用母型の作製方法に関するものである。

（従来の技術） 従来、一眼レフカメラ等の焦点合わせ用ピント
板に具えるためのフオーカシングスクリーンを製
造する方法として、表面に凹凸形状を有する成形
型を作製し、例えばアクリル樹脂を始めとするプ
ラスチツク光学材料に、上述した凹凸形状を転写
成形する技術が知られている。

この成形型を作製する方法として、例えば金属
板の表面に砂等を慴擦して凹凸部を形成すること
が成されていた。しかしながら、成形型の概略的
断面によつて示す第２図からも理解できるよう
に、この方法により得られる成形型１１の凹凸部
１３は、その大部分が尖頭形状を以つて形成され
る。これがため、この凹凸部１３を転写して製造
されるフオーカシングスクリーン（図示せず）で
は、入射する光が急角度で曲げられ、フアインダ
ーを介して得られる像の明度が低く、かつ粒状性
が目立つという欠点が有つた。

上述した欠点を改善するため、光学的に凹凸部
を形成したフオーカシングスクリーン用母型（以
下、単に母型と称する場合も有る。）を作製し、
さらに、電鋳法により、母型の凹凸部を転写した
成形型を用いて光学材料を成形してフオーカシン
グスクリーンを製造する技術が開発され、実用に
供されている。

このような製造技術において、フオーカシング
スクリーンの表面形状を規定する母型の形状は、
電鋳法により転写される成形型を介して、製品と
してのフオーカシングスクリーンに正確に反映さ
れる。これがため、上述の製造技術においては、
母型の作製技術が重要となり、係る技術として、
例えば特開昭57−148728号公報、或いは特開昭59
−208536号公報に開示されるものが知られてい
る。

これらの技術のうち、特開昭57−148728号公報
で提案されている母型の作製技術によれば、例え
ばレジスト材を塗布した基板やゼラチン乾板とい
つた感光材の表面に、マスク上に画成した規則的
な微細パターンを投影し、所定の現像（或いはブ
リーチ）処理を行ない、上述した感光材を凹凸部
として形成して母型が作製される。

このようにして得られる母型では、例えば微細
パターンを画成したマスクと、感光材料を塗布し
た感光材との距離Δtを所定の値に変化させて露
光することにより、母型表面に形成される凹凸部
の形状を変化せしめることが可能である。

以下、図面を参照して、上述した公報に開示さ
れる技術につき説明する。

第３図Ａ〜Ｃは、母型の模式的断面により示す
説明図である。これら図中、同一の機能を有する
構成成分には同一の符号を付して示す。

まず始めに、マスクと感光材とを密着させ、前
述した距離Δtを実質的にＯとして露光させた場
合には、第３図Ａから理解できるように、基板１
５上に形成される凹凸部１７ａの形状は、図示し
ていないマスクの微細パターンの平面形状を正確
に転写し、夫々の凹凸部１７ａは平坦部１９を有
し、かつ稜線が直角な角度を以つて、母型２１が
構成される。

また、距離Δtを約20μm程度として露光させる
場合には、マスクを介して感光材表面に結ばれる
像の輪郭が、回析光によつてボケる。これがた
め、第３図Ｂに示すように、凹凸部１７ｂの形状
は、上述した平坦部１９を有すると共に、稜線を
斜面とする母型２３が得られる。

さらに、距離Δtを上述の値よりも大きくし、
回析の度合を大きくすれば、第３図Ｃに示すよう
に、上述の平坦部１９は消失し、母型２５を構成
する凹凸部１７ｃは、連続した緩やかな曲線とな
る。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上述した従来の技術では、光学
的な手法によつてのみ母型を形成するため、設計
に応じた所望の凹凸部を得ることが難しいという
問題点が有つた。

即ち、まず、第３図Ａ及びＢから理解できるよ
うに、平坦部１９を含む凹凸部１７ａ及び１７ｂ
では、製品としてのフオーカシングスクリーンを
通過した光の直進成分が多くなり、ボケが不十分
となる。

さらに、第３図Ｃに示すように、連続した緩や
かな曲線から成る凹凸部１７ｃでは、同図中、27
の符号を付して示す変曲点において、上述した平
坦部１９と同様な現象を生じ、光の拡散効率が低
下して、不十分なボケ味となる。

この発明の目的は、上述した従来の問題点を解
消するフオーカシングスクリーン用母型の作製方
法を提供し、以つて良好なボケを実現可能なフオ
ーカシングスクリーンを簡単かつ容易に製造する
ことに有る。

（問題点を解決するための手段） この目的の達成を図るため、この発明のフオー
カシングスクリーン用母型の作製方法によれば、
基板に被着された感光材料に対して、マスクに画
成した規則的な微細パターンを投影・露光した後
現像処理を行なつて凹凸部を形成するフオーカシ
ングスクリーン用母型の作製方法において、 微細パターンに対応する部分が平坦で、平坦部
間の稜線が斜面である凹凸部を一旦形成した後、
凹凸部を硬化後の感光材料に流動性を与える温度
で、斜面に繋がる縁部を僅かに流動させるように
所要時間加熱処理する ことを特徴としている。

（作 用） この発明のフオーカシングスクリーン用母型の
作製方法の構成によれば、光学的な手法により得
られる凹凸部に対して、当該凹凸部を構成する縁
部に流動性を生ぜしめる温度を以つてその部分を
僅かに流動させる時間だけ加熱処理を行なう。こ
れがため、前述した平坦面を解消し、かつ変曲点
の無い凹凸部を形成することが可能となる。

（実施例） 以下、図面を参照して、この発明のフオーカシ
ングスクリーン用母型の作製方法の実施例につき
説明する。

尚、以下の説明で参照する図面は、この発明が
理解できる程度に概略的に示してあるに過ぎず、
この発明は、これら図示例にのみ限定されるもの
ではないことを理解されたい。

また、以下の説明においては、説明の理解を容
易とするため、従来周知の工程をも含めて、詳細
に説明する。

第１図Ａ〜Ｄは、母型を得るための各作製工程
毎に、概略的に示す説明図である。尚、図中、既
に説明した構成成分と同一の機能を有する構成成
分については同一の符号を付して示す。また、こ
れら図においては、実施例で用いた種々の構成成
分を図示するに当つて、マスクの要部平面により
示す第１図Ａを除き、母型を構成する基板１５の
断面により示した第３図Ａ〜Ｃと同様にして示
す。

まず始めに、第１図Ａを参照して、この実施例
で用いたマスクにつき簡単に説明する。

この実施例で用いたマスク２９はガラス板で構
成され、クロム（Cr）から成るドツト状の微細
パターン３１を、約15〜25（μm）程度のピツチｐ
及び約10〜16（μm）の直径で印刷して作製した。

次に、露光工程につき、第１図Ｂを参照して説
明する。

まず、露光に先立つて、ガラスから成る基板１
５上に、約２〜３（μm）程度の膜厚範囲内の所定
の厚さで、感光材料３３としてのポシ型レジスト
材料を均一に塗布し、感光材３５を作製する。

次に、前述した公報に開示される技術と同様
に、マスク２９の微細パターン３１側表面と、感
光材３５の感光材料３３側表面とを対向させて位
置合わせを行なう。この際、マスク２９と感光材
３５との距離Δtは約20（μm）として行なつた。

然る後、同図中、一連の矢印ａを付して示す光
をマスク２９の側から感光材３５に向かつて照射
し、微細パターン３１を感光材料３３の表面に投
影することにより露光を行なう。

上述した工程を経た後、現象処理を行ない、露
光後の感光材料３３を所定の形状を有する凹凸部
として形成する。

上述した露光工程で得られる凹凸部の形状は、
第３図Ａ〜Ｃを参照して、既に説明したような形
状を有する。これら３つの形状の凹凸部のうち、
この発明の方法を用いて、前述したような平坦面
を解消し、かつ変曲点の無い凹凸部を形成するた
めの露光後の凹凸部の形状としては種々のものが
考えられる。

以下、第１図Ｃを参照して、上述した露光工程
の後に得られる露光後の凹凸部の好適形状につき
詳細に説明する。

第１図Ｃは、既に説明した第３図Ｂに示す凹凸
部１７ｂを形成した場合を示す説明図である。

この図及び前述した説明からも理解できるよう
に、この発明を適用して好適な露光後の凹凸部１
７ｂは、少なくとも平坦部１９と、当該部１９を
画定する縁部２７とを形成する条件で形成する。
ここで言う条件とは、前述した距離Δtの値のみ
ならず、露光量、感光材料３３の膜厚、当該材料
３３の現像条件、当該材料３３のγ値またはその
他の条件を示し、任意好適に選択して設定する。

次に、上述した凹凸部１７ｂに対して加熱処理
を行なうことにより、第１図Ｄに示すような断面
形状が連続した円弧状の凹凸部３９とし、この実
施例に係る母型４１が得られた。

この加熱処理の条件につき詳細に説明すれば、
感光材料３３に使用したレジスト材料の、硬化後
における流動温度に近い値として加熱温度を設定
し、この実施例の場合には、約150〜200℃の範囲
内で行なつた。さらに、時間条件は、上述の温度
範囲とした場合には、約５〜10分間の時間範囲と
するのが好適である。

上述した温度条件及び時間条件として加熱処理
することにより、第１図Ｃに示す凹凸部１７ｂの
表面層がそれより深い層を除いて軟化し、僅かな
流動性をもつようになる。そして、表面層、特
に、凹凸部１７ｂの縁部３７に僅かな体積移動
（重力による下降移動）を生じ、このため平坦部
と縁部は形状が平均化し、凹凸部３９の夫々がほ
ぼ均一な断面形状を有する、円弧状の凸部の形態
をなしている母型４１として形成することができ
た。

このような母型４１を用いて成形型を得た後、
従来と同様な光学材料の成形を行なつたところ、
拡散性に優れ、粒状性の無い、明るいフオーカシ
ングスクリーンを製造することができた。

以上、この発明の実施例につき説明したが、こ
の発明は上述の実施例にのみ限定されるものでは
ない。

例えば、上述の実施例では感光材料としてポジ
型のレジスト材料を用いた場合につき説明した
が、これに限定されるものではなく、ネガ型のレ
ジスト材料であつても良い。この他、少なくと
も、第１図Ｃとして例示したように、平坦部と縁
部とを以つて凹凸部が形成される材料であり、か
つ当該平坦部と縁部とが加熱処理を経た後、変曲
点の無い曲面形状として形成し得るものであれ
ば、上述の材料に限定されるものではない。

これら材料、形状、配置関係、数値的条件及び
その他の条件は、この発明の目的の範囲内で、設
計に応じた任意好適な変形及び変更を行ない得る
こと明らかである。

（発明の効果） 上述した説明からも明らかなように、この発明
のフオーカシングスクリーン用母型の作製方法に
よれば、光学的な手法により得られる凹凸部に対
して加熱処理を行ない、前述した平坦面を解消
し、かつ変曲点の無い凹凸部を形成することが可
能となる。

従つて、この発明の作製方法により得られるフ
オーカシングスクリーン用母型を利用することに
より、明度を損なうことなく、かつ粒状性を解消
し、良好なボケ味を以つて光を効率良く拡散せし
める優れたフオーカシングスクリーンを簡単かつ
容易に製造することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ〜Ｄは、この発明の実施例の説明に供
する図、第２図及び第３図Ａ〜Ｃは、従来技術の
説明に供する図である。 １１……成形型、１３，１７ａ，１７ｂ，１７
ｃ，３９……凹凸部、１５……基板、１９……平
坦部、２１，２３，２５，４１……母型、２７…
…変曲点、２９……マスク、３１……微細パター
ン、３３……感光材料、３５……感光材、３７…
…縁部、ａ……露光時に用いる光。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 基板に被着された感光材料に対して、マスク
   に画成した規則的な微細パターンを投影・露光し
   た後現像処理を行なつて凹凸部を形成するフオー
   カシングスクリーン用母型の作製方法において、 前記微細パターンに対応する部分が平坦で、平
   坦部間の稜線が斜面である凹凸部を一旦形成した
   後、前記凹凸部を硬化後の感光材料に流動性を与
   える温度で、前記斜面に繋がる縁部を僅かに流動
   させるように所要時間加熱処理することを特徴と
   するフオーカシングスクリーン用母型の作製方
   法。