JPH0365927A

JPH0365927A - 液晶表示パネルの検査装置およびその検査方法

Info

Publication number: JPH0365927A
Application number: JP1203393A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Takahara; 博司高原
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1989-08-05
Filing date: 1989-08-05
Publication date: 1991-03-20
Anticipated expiration: 2011-01-29
Also published as: JPH087349B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明はアクティブマトリックス型液晶表示パネルの良
否の検査を行なう液晶表示パネルの検査装置および、そ
の検査方法に関するものである。

従来の技術近年、液晶表示装置の絵素数増大に伴って、走査線数が
増え、従来から用いられている単純マトリックス型液晶
表示パネルでは表示コントラストや応答速度が低下する
ための各絵素にスイッチング素子を配置したアクティブ
マトリックス型液晶表示パネルが利用されつつある。前
記液晶表示パネルには数万個以上の薄膜トランジスタ（
以後、ＴＰＴと呼ぶ）を形成する必要がある。現在の技
術では前記ＴＰＴおよび信号線などをすべて無欠陥で形
成することは困難であるため、液晶表示パネル形成後、
検査を行ない良否の判定を行なう必要がある。また、修
正が可能な液晶表示パネルは欠陥モードと欠陥箇所を検
出し、レーザーなどで加工を行なう。以上のことから、
液晶表示パネルの検査が高速に行なえ、欠陥モード、欠
陥箇所を検出できる液晶表示パネルの検査装置およびそ
の検査方法が待ち望まれている。

以下、従来の液晶表示パネルの検査装置について図面を
参照しながら説明する。

第８図は従来の液晶表示パネルの検査装置のブロック図
である。第８図において、８０１は液晶表示パネル、８
０６は前記液晶表示パネルの積載台、８０２　ａ　、　
８０２　ｂはプローブ、８０３　ａ　、　８０３　ｂは
ＸＹステージなどで構成され、前記プローブの位置決め
を行なうプローブ位置決めステージ、８０４は位置決め
ステージ８０２　ａ　、　８０２　ｂの制御を行なうコ
ントローラ、８０５は抵抗計である。

以上のように構成された液晶表示パネル検査装置につい
てその動作を説明する。まず、液晶表示パネル８０１は
積載台８０６に乗せられ、角度、位置などが調整され位
置決めされる。次にコントローラ８０４は位置決めステ
ージ８０３　ａ　、８０３　ｂにＸ、　Ｙ座標などの位
置決め信号を転送する。位置決めステージ８０３　ａ　
、　８０３　ｂは前記位置決め信号にもとづき、移動を
行ない、プローブ８０２　ａ　、　８０２　ｂを液晶表
示パネル８０１のゲート信号線または、ソース信号線の
引き出し電極（図示せず）に位置決めする。

位置決めが完了すると位置決め完了信号を、コントロー
ラ８０４に送出する。

コントローラ８０４は位置決め完了信号を認識すると、
抵抗計８０５に対して抵抗値測定開始信号を送出する。

抵抗計８０５はプローブ８０２　ａ　、　８０２　ｂ間
の抵抗値を測定する。測定された抵抗値はコントローラ
８０４に送られ、前記抵抗値により液晶表示パネルに欠
陥が発生しないないかを判定される。

上記と同様の動作により、すべてのゲート信号線とソー
ス信号線にプローブを圧接し、液晶表示パネルは検査さ
れる。

以下、従来の液晶表示パネルの検査方法について説明す
る。第９図は従来の液晶表示パネル検査装置を用いてそ
の検査方法の説明図である。第９図において、Ｇ１〜Ｇ
４はゲート信号線、８１〜Ｓ、はソース信号線、Ｔ　Ｍ
　ｒ　＋〜ＴＭ、、、ＴＳ、〜ＴＳ４４は薄膜トランジ
スタ（以後、ＴＰＴと呼ぶ）Ｐ、〜Ｐ４４は絵素電極、
９０１はソース信号線Ｓ。

に発生した断線欠陥、９０２はゲート信号線Ｇ２に発生
した断線欠陥、９０３はゲート信号線Ｇ２とソース信号
線Ｓ４の交点部に発生した短絡（以後、クロスショート
と呼ぶ）である。なお、第９図において、液晶表示パネ
ルの信号線数などは作用を容易にするために非常に少な
く措かれている。以上のことは以下の図面でも同様であ
る。ここで、検査方法の一例として、まず液晶表示パネ
ルの信号線の断線欠陥の検査方法について説明する。

ソース信号線の断線の検出方法はプローブ８０２ａ。

８０２　ｂをソース信号線Ｓｌの両辺に位置決め圧接す
る。次に、抵抗計８０５を動作させ、ソース信号線の抵
抗値を測定する。もし、信号線の断線が発生していた場
合、抵抗計には通常よりも高抵抗が測定されるために信
号線の断線を検出できる。同様にプローブ８０２　ａ　
、　８０２　ｂをソース信号線Ｓ２に移動させ、抵抗計
８０５で抵抗値を測定し断線の有無を検査する。以上の
動作をすべてのソース信号線に対して行なうことにより
、ソース信号線の断線検査を行なえる。ゲート信号線の
断線の検査も同様にプローブ８０２　ａ　、　８０２　
ｂをゲート信号線の両端に圧接し、抵抗値を測定するこ
とにより行なうことができる。第９図に示す液晶表示パ
ネル８０１には断線箇所９０１．９０２が発生している
ため、ソース信号線Ｓｔおよびゲート信号線Ｇ２の抵抗
値を測定した際、高抵抗値が測定されることより断線欠
陥を検出できる。

次にクロスショートの検査方法について説明する。まず
、プローブ８０２ａをゲート信号線Ｇ、に、プローブ８
０２ｂをソース信号線Ｓｌに圧接する。

次にプローブ８０２　ａ　、　８０２　ｂ間の抵抗値を
抵抗計８０５で測定する。次に、プローブ８０２ａは固
定しておき、プローブ８０２　ｂを順次ソース信号線Ｓ
！からＳｎ（ただしｎは整数）に圧接し、各圧接状態で
の抵抗値を測定する。ゲート信号線Ｇ、に対する各ソー
ス信号線間の抵抗値の測定が終了すると、プローブ８０
２ａをゲート信号線Ｇｔに圧接し、同様にプローブ８０
２ｂをソース信号線ＳｌからＳｎまで圧接していき、各
圧接状態での抵抗値を測定する。以上の動作をすべての
ゲート信号線およびソース信号線に行なうことにより各
交点での抵抗値を測定する。第９図に示す液晶表示パネ
ルでクロスショート９０３が発生しているため、プロー
ブ８０２ａをゲート信号線Ｇ！にプローブ８０２ｂをソ
ース信号線Ｓ４に圧接したとき、抵抗計８０５に通常よ
りも低い抵抗値が測定されることにより、クロスショー
ト９０３を検出することができる。

発明が解決しようとする課題しかしながら、従来の液晶表示パネルの検査装置および
その検査方法では、以下の課題がある。

まず第１に、すべてのゲート信号線とソース信号線にプ
ローブを圧接する必要があるために、位置決めに長時間
を要し、検査時間が長いという問題点がある。第２に、
クロスショートを検査するため、ゲート信号線にプロー
ブを位置決めする位置決めステージと、ソース信号線に
プローブを位置決めする位置決めステージの２台以上必
要になり、検査装置の設備コストが高くつくという問題
点がある。第３に、信号線の断線検査において信号線の
断線は検出できるが、断線箇所は検出できないという問
題点がある。前記断線箇所の検出とは、ソース信号線Ｓ
、の断線９０１がゲート信号線Ｇ２とＧ、の間にあるこ
との検出である。断線箇所を検出できれば、前記箇所を
光ＣＶＤ技術などにより、断線箇所に導電物を堆積させ
、接続をとることにより修正でき、製造歩溜りを大幅に
向上できる。

課題を解決するための手段上記課題を解決するため、本発明の液晶表示パネルの検
査装置は、液晶表示パネルのソース信号線の一端と接続
をとる複数のプローブと、プローブをソース信号線の端
子電極に位置決めするための位置決めステージと、プロ
ーブに選択的に電圧を印加あるいはプローブから電圧を
入力状態に切り換えるスイッチと、液晶表示パネルのゲ
ート信号線に信号を印加する走査ドライブＩＣを制御す
る回路とを具備するものである。また、本発明の液晶表
示パネルの検査方法は、一画素に複数のＴＰＴを形威し
た液晶表示パネルにおいて、前記複数のＴＰＴを動作状
態にすることにより、第１のソース信号線と前記第１の
ソース信号線に隣接した第２のソース信号線間に電流経
路を形威し、前記第１のソース信号線に印加した信号を
第２のソース信号線から検出することに信号線の欠陥を
検出するものである。

作用本発明の液晶表示パネルの検査装置は、走査ドライブＩ
Ｃによりゲート信号線に電圧を印加するため、ゲート信
号線にはブロービングの必要がない。また、検査方法は
第１のソース信号線の一端方向から信号を印加し、前記
ソース信号線に隣接したソース信号線の同一前記一端方
向から検出するものである。したがって、信号線の断線
を信号線の両端にプローブを圧接せずに信号線の一端方
向からのブロービングで検出できる。

実施例以下、本発明の液晶表示パネルの検査装置の一実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。第１図は本発明の
一実施例における液晶表示パネルの検査装置のブロック
図である。第１図において、１０１は液晶表示パネル、
１０２は液晶表示パネル１０１上に形成されたゲート信
号線に信号を印加するためのゲート走査ＩＣ１１０３は
前記ゲート走査ＩＣを制御し、任意のゲート信号線にＴ
ＰＴをオンさせる電圧（以後、オン電圧と呼ぶ）および
ＴＰＴをオフさせる電圧（以後、オフ電圧と呼ぶ）の印
加位置をコントロールできるゲート走査ｔＣ制御手段、
１０４はプローブカード、１０５は前記プローブカード
１０４に取り付けられ液晶表示パネルの、ソース信号線
との電気的接続手段としてのプローブビン、１０６はプ
ローブビン１０５をソース信号線に位置決めするための
位置決め手段であり、たとえば、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸可動のプ
ローバなどが概当する。１０８は所定電圧を発生させる
直流電源などの信号発生手段、１０７は前記信号発生手
段からの電圧をプローブピン１０５に印加する状態とプ
ローブピン１０５からの信号を次段の入力端子選択手段
に印加する状態を切り換えるアナログスイッチなどから
構成される入出力切換手段、１０９はアナログスイッチ
などから構成され、複数の入力端子から１つの入力端子
を選択し、出力端子に接続する機能を持つ入力端子選択
手段、１１０は前記入力端子選択手段からの出力信号に
もとづいて、液晶表示パネルの欠陥の有無を判定する判
定手段、１１１は上記個々の手段を制御する制御手段で
ある。さらに本発明の液晶表示パネルの検査装置を理解
するため、各ブロックを第２図〜第７図を用いて説明す
る。まず、第２図はゲート走査ＩＣ制御手段１０３のブ
ロック図である。第２図においてＤＡＴＡ端子はゲート
走査ＩＣにオン電圧および、オフ電圧を出力させるため
のデータ信号を出力するための端子、クロック（ＣＬＯ
ＣＫ）端子は前記データ信号をラッチし、かつゲート走
査ＩＣのオン電圧あるいはオフ電圧位置をシフトさせる
ためのクロックを出力するための端子、イネイブル（Ｅ
ＮＡＢＬＥ）は端子ゲート走査ＩＣの出力をすべてオフ
電圧出力に制御するための端子、エスピー（ＳＰ）端子
はゲート走査ＩＣのオン電圧またはオフ電圧の出力位置
を右あるいは左方向にシフトさせる制御端子である。ゲ
ート走査ＩＣ制御手段は制御手段１１１からオン電圧を
出力するゲート信号線番号を受は取ると、前記４つの出
力端子よりデータを出力し、ゲート走査ＩＣの指定ゲー
ト信号線にオン電圧を出力させる。第３図は第１図のプ
ローブカード１０４およびプローブビン１０５部の斜視
図である。第３図において、３０１はプローブピン１０
５および入出力切換手段１０７の入力端子とを接続する
ための配線、３０２はプローブカード１０４の取り付は
板、３０３はＺ軸方向の位置の微調整を行なうためのネ
ジ（以後、Ｚ軸微調ネジと呼ぶ）、３０４はＸ軸方向の
位置の微調整を行なうためのネジ（以後、Ｘ軸微調ネジ
と呼ぶ）、３０５は支持柱であり、前記支持柱はＸ、Ｙ
、Ｚ軸方向に可動できる位置決め手段に接続されている
。プローブピン１０５と液晶パネルのソース信号線の引
き出し線４０１との接続状態を第４図に示す。なお、図
面においてプローブピン１０５の数は５本としたがこれ
に限定されるものではなく、通常数１０本以上形形成れ
る。第５図は入出力切換手段１０７のブロック図である
。第５図においてＸ１〜Ｘ、は前記配線３０１が接続さ
れる入出力端子、Ｙ、〜Ｙ、は入力端子選択手段１０９
の入力端子に接続される出力端子、Ｓ、〜Ｓｓはアナロ
グスイッチである。アナログスイッチＳＷ、〜ＳＷ、は
制御手段１１１からの切換信号にもとづいて印加電圧Ｅ
を入出力端子Ｘｎ　（ｎは１〜５の整数）あるいは入出
力端子ＸｎをＹｎ　（ｎは１〜５の整数）と個々に接続
する。

第６図は入力端子選択手段１０９のブロック図である。

第６図において６０１はバッファ、６０２は複数入力端
子から１出力端子を選択するアナログスイッチである。

前記入力端子選択手段１０９は制御手段ｌｌｌからの入
力信号線選択信号により所定Ｙｎ（ｎは１〜５の整数）
端子と００端子とを接続する。

以下、本発明の液晶表示パネルの検査装置の動作につい
て第１図を用いて説明する。まず、制御手段１１１は位
置決めデータを位置決め手段１０６に選出する。位置決
め手段１０６は前記データにもとづき移動を行ない、プ
ローブピン１０５を液晶表示パネル４０１の引き出し電
極４０１に圧接し電気的接続を取る。次に、制御手段１
１１は入出力切換手段１０７に切換信号を、入力端子選
択手段に入力端子選択信号を送出し、最も端に位置する
第１のプローブピン１０５に電圧を印加し、前記第１の
プローブピン１０５に隣接する第２のプローブピン１０
５から信号を人力し、入力端子選択手段１０９の○。端
子に出力できる状態に制御する。次にゲート走査ＩＣ制
御手段１０３を制御し、所定ゲート信号線にオン電圧を
印加する。その際、第２プローブビンに印加される信号
を０゜端子より取り出し、判定手段１１０で液晶表示パ
ネルの欠陥の有無を判定し、判定手段１１０は結果を制
御手段１１１に送出する。

以上の動作を今後は第２のプローブピンに電圧を印加し
、前記第２のプローブピンに隣接した第３のプローブピ
ンより信号を入力できるようにスイッチを制御し同様の
処理を行なう。すべてのプローブピン１０５に対して上
記の処理が終了すると、位置決め手段１０６を移動させ
、プローブピン１０５を他のソース信号線の引き出し電
極４０１に圧接する。

以下、本発明の液晶表示パネルの検査方法の一実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。第７図は本発明の
液晶表示パネルの検査方法の一実施例を説明するための
説明図である。第７図において、ＲＩ−Ｒ，ｌはピック
アップ抵抗、７０１．７０２は信号線の断線箇所、７０
３はクロスショートである。

はじめに、ソース信号線の断線の検査方法について説明
する。まず、プローブピン１０５をソース信号線に圧接
する。次にスイッチＳＷ１およびＳＷｔなどを制御し、
ソース信号線Ｓ、に電圧Ｅを印加し、ソース信号線Ｓ２
と出力端子Ｏｏとを接続する０次にゲート走査ＩＣ制御
手段１０３を制御し、ゲート信号線Ｇ、と０２にオン電
圧を、他のゲート信号線にオフ電圧を印加する。すると
ＴＦＴのＴＭ、およびＴ　Ｓ　＋　＋はオン状態となり
、ＳＷ。

→Ｓ１→ＴＭ、→Ｐ、→ＴＳ、→Ｓ２→５Ｗ２−→Ｏ０
なる電流経路ができる。しかし、断線箇所７０１がある
ため、上記電流経路ができず、したがって０２には接地
電位しか検出されない。判定手段１１０はコンパレータ
の一端子に人力された基準電圧と前記電位とを比較し、
断線が発生していることを制御手段１１１に送出する。

そこで制御手段１１１はゲート走査ＩＣ制御手段１０３
を制御し、オン電圧印加位置をシフトさせ、ゲート信号
線Ｇ２とＧ、にオン電圧を印加する。するとＴＦＴのＴ
Ｍ、およびＴＳ、、がオン状態となる。以上の動作を順
次行ない、ゲート信号線Ｇ３と６４にオン電圧を印加し
たとき、ｓｗ、’→Ｓ２→ＴＭ、、→Ｐ２１→ＴＳ、→
Ｓ２→ＳＷ２→０゜なる電流経路ができることにより、
Ｏｏに出力電圧が出力される。

以上のことより、ゲート信号線Ｇ２とＧ１間に断線箇所
があることを検出することができる。しかしながら、上
記の処理だけではソース信号線Ｓ。

上でゲート信号線Ｇ、とＧ４間に断線箇所が発生してい
た場合との判別ができない。この判別はソース信号線Ｓ
２に電圧を印加し、ソース信号線Ｓ３から信号人力状態
とした上で、ゲート信号線Ｇ１と０２にオン電圧を印加
したとき、ＳＷ２→５２−Ｔ　ＶＢｔ−Ｐ　、ｔ−Ｔ　
Ｓ　ｌ！−＋Ｓ　ｘ　→Ｓ　Ｗ３−　Ｏｏなる電流経路
ができないことから判別することができる。以上の動作
をプローブを移動させながら、ソース信号線Ｓ２に電圧
印加、Ｓ、より信号入力、ソース信号線Ｓ、に電圧印加
、Ｓ４より信号入力、ソース信号線Ｓ４に電圧印加、Ｓ
ｓより信号入力とすべてのソース信号線に対して行なう
ことにより、ソース信号線の断線および断線箇所の検出
を行なうことができる０以上のようにソース信号線の断
線検出はプローブピン１０５を圧接した箇所から見て最
も遠い画素のＴＰＴをオン状態にし、ソース信号線の断
線の有無を検出した後、断線箇所を検出する。

次にゲート信号線の断線の検出方法について説明する。

まず、プローブピン１０５をゲート走査ＩＣ１０２より
最も遠いソース信号線にプローブを圧接する。第７図の
場合、ソース信号線Ｓ、〜Ｓ。

にプローブピンを圧接する。なお、実際の液晶表示パネ
ルにはソース信号線およびゲート信号線は各２００本以
上形威形成ている。次に、スイッチＳ前２およびＳＷ３
などを制御し、ソース信号線Ｓ。

に電圧Ｅを印加し、ソース信号線Ｓ４と出力端子○。と
を接続する。次に、ゲート走査ＩＣ制御手段１０３を制
御し、ゲート信号線Ｇ、と０２にオン電圧を、他のゲー
ト信号線にオフ電圧を印加する。

するとＴ　Ｍ　ｌ　４およびＴＳ、はオン状態となり、
ＳＷｓ　→Ｓ　ｓ→Ｔ　Ｓ　ｒａ−Ｐ　ｒａ−Ｔ　Ｍ　
＋ａ＝　Ｓ　ａ　−Ｓ　Ｗｚ→Ｏ０なる電流経路ができ
、電圧が００に出力される６次に、ゲート信号線Ｇ２と
Ｇ、にオン電圧を印加する。しかし、ゲート信号線Ｇ、
に断線箇所７０２が発生しているため、オン電圧はそれ
以後伝達されない。したがってＴ　Ｍ　ｚ　ａはオンし
ない。

したがって、ＳＷ３→Ｓ、→ＴＳ、、→Ｐｔ４→ＴＭ８
４→Ｓ４→ＳＷ２→○。なる電流経路は発生せず、Ｏ０
端子には接地電位が出力される。以上のことからゲート
信号線Ｇ３に断線が発生していることを検出できる。以
上の動作をすべてのゲート信号線に対して行ない、ゲー
ト信号線の断線を検出する。次に、ソース信号線Ｓ、に
電圧Ｅを印加し、ソース信号線Ｓ、をＯ０端子と接続し
、今後は断線が検出されたゲート信号線にオン電圧を印
加して検査を行なっていく。つまり、ゲート信号線Ｇ２
と０３のみにオン電圧を印加する。以上の動作をプロー
ブピンを移動させながら順次行なっていく。第７図の場
合では、ソース信号線Ｓ３に電圧Ｅを印加し、ソース信
号線Ｓｔを００端子と接続した時、はじめて、ＳＷ、→
Ｓ、→Ｔｓ！２→Ｐ　ｚｚ”Ｔ　Ｍｚｔ−Ｓ　ｚ　→Ｓ
　Ｗｚ　→Ｏｏなる電流経路が発生し、電圧が０゜端子
に出力する。以上のことからゲート信号線Ｇ３の曲線箇
所はソース信号線Ｓ２と３３の間に発生していることを
検出できる。

なお、クロスショートの検出も高速に容易に行なうこと
ができる。まず、ゲート走査ＩＣ制御手段１０３を制御
し、すべてゲート信号線にオフ電圧を印加する。次にプ
ローブを順次ソース信号線に圧接し検査を行なう。この
時、ＳＷ１〜ＳＷ、を制御しソース信号線から信号の入
力状態にしておく。プローブを圧接したソース信号線に
クロスショートがなければＯ０端子は接地電位となる。

ソース信号線Ｓ４にプローブを圧接した時、クロスショ
ート７０３が発生している為、０゜端子にはオフ電圧が
出力される。次に、ゲート信号線Ｇ＋にオン電圧を印加
し、前記オン電圧印加位置をゲート信号線Ｇ４の方向に
順次移動させる。今、ゲート信号線Ｇｚにオン電圧を印
加した時、０゜端子にオン電圧が出力される。以上のこ
とから、ゲート信号線Ｇ２とソース信号線Ｓ４の交点に
クロスショート７０３が発生し７ていることを検出でき
る。

なお、本発明の実施例において、ソース信号線との接続
はプローブピンを用いるとしたが、これに限定するもの
でなく、たとえば、導電ゴムコネクタなどを用いてもよ
いことはう言うまでもない。

また、プローブピンを順次移動させるとしたが、液晶表
示パネルのすべてのソース信号線に一度に接続が取れる
場合は位置決め手段１０６が必要ないことは言うまでも
ない。

また、本発明の検査対象物は液晶表示パネルとしたが、
これに限定するものではなく、たとえば、液晶の注入前
の状態つまりＴＦＴアレイの検査にも適用することがで
きる。

発明の効果本発明の液晶表示パネルの検査装置および、その検査方
法では、ゲート信号線にはゲー）・走査ＩＣを積載また
は形威し、前記ＩＣを制御することによりゲート信号線
にオン、オフ電圧を印加する。

したがって、プローブピンをソース信号線に圧接するだ
けでよい。ゆえに非常に高速な検査を行なうことができ
る。

また、ゲート信号線およびソース信号線の断線およびク
ロスショートを検査はすべてソース信号線の片端にプロ
ーブピンを圧接するだけで行なうことができる。したが
って、従来では複数の位置決めステージを要したものが
１台の位置決めステージで検査装置を構成でき、検査装
置の設備コストを低減できる。

また、従来の検査では断線箇所が検出できなかったが、
本発明では容易に検出することができ、断線箇所の修正
が可能になることから、液晶表示パネルの製造歩留りを
大幅に向上できる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第５図および第６図は本発明の液晶表
示パネルの検査装置の一実施例のブロック図、第３図、
第４図は本発明の液晶表示パネルの検査装置の一実施例
の一部斜視図、第７図は本発明の液晶表示パネルの検査
方法の一実施例を示す説明図、第８図は従来の液晶表示
パネルの検査装置のブロック図、第９図は従来の液晶表
示パネルの検査方法の説明図である。１０１、８０１・・・・・・液晶表示パネル、１０２・
・・・・・ゲート走査ＩＣ，１０３・・・・・・ゲート
走査ＩＣ制御手段、１０４・・・・・・プローブカード
、　１０５．８０２　ａ　、　８０２　ｂ・・・・・・
プローブピン、１０６・・・・・・位置決め手段、１０
７・・・・・・入出力切換手段、１０８・・・・・・信
号発生手段、１０９・・・・・・入力端子選択手段、１
１０・・・・・・判定手段、１１１・・・・・・制御手
段、３０１・・・・・・配線、３０２・・・・・・取付
は板、３０３・・・・・・Ｚ軸微調ネジ、３０４・・・
・・・ＸＩｄＩ？ＩＩ調ネジ、３０５・・・・・・支持
柱、４０１・・・・・・引き出し線、　ＳＷ、〜ＳＷＳ
・・・・・・切り換えスイッチ、　　ＸＩ−Ｘ、・・・
・・・入出力端子、Ｙ１〜Ｙ、・・・・・・入力端子、
６０１・・・・・・バッファ、６０２・・・・・・アナ
ログスイッチ、７０１．７０２゜９０１、９０２・・・
・・・断線箇所、７０３．９０３・・・・・・クロスシ
ョート、Ｒ，−Ｒ，・・・・・・抵抗、８０３　ａ　、
８０３　ｂ・・・・・・位置決めステージ、８０４・・
・・・・コントローラ、８０５・・・・・・抵抗計、８
０６・・・・・・積載台。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）液晶表示パネル上に形成されデータ信号線の一端
と電気的接続を取るための複数の接続手段と、前記接続
手段と前記液晶表示パネル上に形成されたデータ信号線
の一体と電気的接続を取るために位置決めを行なう位置
決め手段と、信号を発生させる信号発生手段と、信号を
入力する信号入力手段と、前記信号発生手段が発生する
信号を前記接続手段が接続しているデータ信号線に印加
する状態と、前記接続手段が接続しているデータ信号線
から信号を前記信号入力手段に印加する状態とを切り換
える切換手段と、前記液晶表示パネルの走査信号線に信
号を印加する回路を制御する走査回路制御手段とを具備
することを特徴とする液晶表示パネルの検査装置。
（２）液晶表示パネルは一画素に複数個のスイッチング
素子が形成されたアクティブマトリックス型液晶表示パ
ネルであることを特徴とする請求項（１）記載の液晶表
示パネルの検査装置。
（３）位置決め手段はＸ方向とＹ方向のうち少なくとも
一方と、Ｚ方向が可動できることを特徴とする請求項（
１）記載の液晶表示パネルの検査装置。
（４）一画素に複数の薄膜トランジスタを形成した液晶
表示パネルにおいて、前記複数の薄膜トランジスタを動
作状態にすることにより、第１のデータ信号線と前記第
１のデータ信号線に隣接した第２のデータ信号線間に電
流経路を形成し、前記第１のデータ信号線に印加した信
号を前記第２のデータ信号線から検出することにより、
液晶パネル上に形成された走査信号線とデータ信号線の
うち少なくとも断線欠陥を検出することを特徴とする液
晶表示パネルの検査方法。
（５）液晶表示パネルの走査信号線に信号を印加する回
路を制御することにより、一画素の複数の薄膜トランジ
スタを動作状態にすることを特徴とする請求項（４）記
載の液晶表示パネルの検査方法。
（６）第１のデータ信号線の一端方向から信号を印加し
、第２のデータ信号線の同一前記一端方向から信号を検
出することを特徴とする請求項（４）記載の液晶表示パ
ネル検査方法。
（７）動作状態にする薄膜トランジスタの位置を順次移
動させていくことにより検査を行なうことを特徴とする
請求項（４）記載の液晶表示パネルの検査方法。