JPH1090359A - 波形プローブ装置およびこれを用いる検査方法 - Google Patents
波形プローブ装置およびこれを用いる検査方法Info
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- JPH1090359A JPH1090359A JP8244667A JP24466796A JPH1090359A JP H1090359 A JPH1090359 A JP H1090359A JP 8244667 A JP8244667 A JP 8244667A JP 24466796 A JP24466796 A JP 24466796A JP H1090359 A JPH1090359 A JP H1090359A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 多ピン化、ピン間の距離の微細化が進む波形
プローブ装置において、探針と検体との接触を確認する
と共に検体の検査部位を正確かつ簡便に把握できる波形
プローブ装置およびその検査方法を提供する。 【解決手段】 検体の回路状態を調べるために用いる探
針３に接続する信号検出器１とは別に、前記探針３に接
続され、前記検体の電気的特性変化を起こすための電気
的特性変化電圧電源２を備える。前記電気的特性変化電
圧印加により、前記検体に起こる電気的特性変化を手掛
かりとして前記探針３が接触している前記検体の検査部
位を特定する。探針３と接触している検体である液晶パ
ネルにおいて駆動電極のコネクタを介し液晶セルに電圧
が印加され、液晶セルの表示特性が変化する。この変化
を目視等で確認することにより、前記探針３と液晶パネ
ルとの接触を確認すると共に液晶パネルの検査部位を特
定する。
プローブ装置において、探針と検体との接触を確認する
と共に検体の検査部位を正確かつ簡便に把握できる波形
プローブ装置およびその検査方法を提供する。 【解決手段】 検体の回路状態を調べるために用いる探
針３に接続する信号検出器１とは別に、前記探針３に接
続され、前記検体の電気的特性変化を起こすための電気
的特性変化電圧電源２を備える。前記電気的特性変化電
圧印加により、前記検体に起こる電気的特性変化を手掛
かりとして前記探針３が接触している前記検体の検査部
位を特定する。探針３と接触している検体である液晶パ
ネルにおいて駆動電極のコネクタを介し液晶セルに電圧
が印加され、液晶セルの表示特性が変化する。この変化
を目視等で確認することにより、前記探針３と液晶パネ
ルとの接触を確認すると共に液晶パネルの検査部位を特
定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は探針を検体に接触さ
せて得られた電気信号に基づいて検体を検査する波形プ
ローブ装置およびこれを用いる検査方法に関するもので
ある。
せて得られた電気信号に基づいて検体を検査する波形プ
ローブ装置およびこれを用いる検査方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】現在波形プローブ装置はＤＲＡＭウエハ
ーの回路チェック、液晶基板の回路チェックなどに広く
使われている。図４に従来の波形プローブ装置を示す。
図４において、８はテスターやオシロスコープといった
信号検出装置、９は探針、１０は検体である。従来の波
形プローブ装置を用いた検査は、基本的に前記探針９を
前記検体１０の端子や配線に接触させ、前記探針９を介
して前記信号検出装置８と接続し、前記検体１０の回路
の導通確認や能動素子の機能特性確認などを行なってい
た。
ーの回路チェック、液晶基板の回路チェックなどに広く
使われている。図４に従来の波形プローブ装置を示す。
図４において、８はテスターやオシロスコープといった
信号検出装置、９は探針、１０は検体である。従来の波
形プローブ装置を用いた検査は、基本的に前記探針９を
前記検体１０の端子や配線に接触させ、前記探針９を介
して前記信号検出装置８と接続し、前記検体１０の回路
の導通確認や能動素子の機能特性確認などを行なってい
た。
【０００３】この波形プローブ装置において、近年の高
密度実装技術の向上により検体となる回路の素子、配線
の端子間距離が微細になる一方で、検査工程時間の短縮
の要請から、一度に検査する部位を増やすために、波形
プローブ装置の探針の多ピン化およびピン間距離の微細
化が進んいる。従来の波形プローブ装置のニードル型探
針、メンブレン型探針のいずれにおいても多ピン化およ
び探針間距離の微細化が進んでいる。
密度実装技術の向上により検体となる回路の素子、配線
の端子間距離が微細になる一方で、検査工程時間の短縮
の要請から、一度に検査する部位を増やすために、波形
プローブ装置の探針の多ピン化およびピン間距離の微細
化が進んいる。従来の波形プローブ装置のニードル型探
針、メンブレン型探針のいずれにおいても多ピン化およ
び探針間距離の微細化が進んでいる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように波形プロー
ブ装置の探針の多ピン化、ピン間の距離の微細化、検体
回路素子／配線間の微細化が進み、例えば液晶表示パネ
ルの列電極、行電極の配線端子ピッチは数十ミクロン以
下となってきている。このような状況下での実際の検査
工程において、前記波形プローブ装置の探針９と検体１
０の回路との接触確認が問題となっている。前記波形プ
ローブ装置の探針９の全てについて前記検体１０の回路
との良好な接触が保証されないと、波形不良が検出され
ても回路導通状態の不良によるものか、前記波形プロー
ブ装置の探針９と検体１０の回路との接触不良によるも
のかの判定が保証できない。また前記波形プローブ装置
の探針９が接触し、検査している前記検体１０の検査部
位が正確かつ簡便に分からないと検査精度および品質が
保証されず、かつ検査工程時間の短縮は望めない。従来
は前記探針９に適当な荷重をかけ、前記検体１０の表面
を引っ掻くように押し付けて接触を図っていた。
ブ装置の探針の多ピン化、ピン間の距離の微細化、検体
回路素子／配線間の微細化が進み、例えば液晶表示パネ
ルの列電極、行電極の配線端子ピッチは数十ミクロン以
下となってきている。このような状況下での実際の検査
工程において、前記波形プローブ装置の探針９と検体１
０の回路との接触確認が問題となっている。前記波形プ
ローブ装置の探針９の全てについて前記検体１０の回路
との良好な接触が保証されないと、波形不良が検出され
ても回路導通状態の不良によるものか、前記波形プロー
ブ装置の探針９と検体１０の回路との接触不良によるも
のかの判定が保証できない。また前記波形プローブ装置
の探針９が接触し、検査している前記検体１０の検査部
位が正確かつ簡便に分からないと検査精度および品質が
保証されず、かつ検査工程時間の短縮は望めない。従来
は前記探針９に適当な荷重をかけ、前記検体１０の表面
を引っ掻くように押し付けて接触を図っていた。
【０００５】本発明は、波形プローブ装置の探針が確実
に接触すると共に検査している検体の部位を正確かつ簡
便に把握できる波形プローブ装置およびその検査方法を
提供することを目的とする。
に接触すると共に検査している検体の部位を正確かつ簡
便に把握できる波形プローブ装置およびその検査方法を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による波形プローブ装置は、前記検体の回路
状態を調べるために用いる検出手段とは別に、前記探針
に接続され、前記検体の電気的特性変化を起こすための
電気的特性変化電圧印加手段を備える。
に、本発明による波形プローブ装置は、前記検体の回路
状態を調べるために用いる検出手段とは別に、前記探針
に接続され、前記検体の電気的特性変化を起こすための
電気的特性変化電圧印加手段を備える。
【０００７】本発明による前記波形プローブ装置を使っ
た検査方法は、前記探針と検体との間で生じる電気的変
化量を検出することにより前記検体の回路状態を調べる
検査に際し、前記電気的特性変化用電圧印加手段により
前記探針が接触している検体に電圧を印加し、電気的特
性変化を起こさせ、その電気的特性変化を手掛かりとし
て前記探針と検体との接触を確認すると共に前記探針が
接触している検体の検査部位を特定する。
た検査方法は、前記探針と検体との間で生じる電気的変
化量を検出することにより前記検体の回路状態を調べる
検査に際し、前記電気的特性変化用電圧印加手段により
前記探針が接触している検体に電圧を印加し、電気的特
性変化を起こさせ、その電気的特性変化を手掛かりとし
て前記探針と検体との接触を確認すると共に前記探針が
接触している検体の検査部位を特定する。
【０００８】また本発明による前記波形プローブ装置を
使った検査方法は、前記検体が液晶表示パネルである場
合には、前記電気的特性変化電圧により起こる液晶セル
の表示の変化を手掛かりとすることにより、前記波形プ
ローブの探針と前記液晶表示パネルとの接触を確認する
と共に前記探針が接触している前記液晶パネルの検査部
位を特定する。
使った検査方法は、前記検体が液晶表示パネルである場
合には、前記電気的特性変化電圧により起こる液晶セル
の表示の変化を手掛かりとすることにより、前記波形プ
ローブの探針と前記液晶表示パネルとの接触を確認する
と共に前記探針が接触している前記液晶パネルの検査部
位を特定する。
【０００９】かかる構成および検査方法により、前記探
針が接触している検体の検査部位に電気的特性変化を起
こすことができる、例えば液晶表示パネルであれば液晶
セルへの電圧印加による液晶の表示の特性変化が起こ
る。この特性変化を手掛かりにすることにより、検査し
ている検体の検査部位とその接触状態を正確かつ簡便に
把握できる。
針が接触している検体の検査部位に電気的特性変化を起
こすことができる、例えば液晶表示パネルであれば液晶
セルへの電圧印加による液晶の表示の特性変化が起こ
る。この特性変化を手掛かりにすることにより、検査し
ている検体の検査部位とその接触状態を正確かつ簡便に
把握できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照しつつ説明する。
図面を参照しつつ説明する。
【００１１】図１に、本発明の第１の実施形態に係わる
波形プローブ装置の構成図を示す。１はオシロスコープ
等の波形信号測定器、２は検体に電気的特性変化を与え
るための電圧を印加する電気的特性変化電圧電源、３は
探針、４は切替スイッチであって、探針３に接続される
装置を、波形信号測定器１または電気的特性変化用電圧
電源２のいずれかに切り替える。なお、図１では探針３
は１つしか描かれていないが、複数あっても良く、複数
ある場合のピンの配置も横１列など検体および一度に行
なう検査箇所の形状に合わせて自由である。また切替ス
イッチ４による探針３の接続状態として上記の２つの状
態に加え、何もつながれない遮断状態への切り替えがあ
っても良い。
波形プローブ装置の構成図を示す。１はオシロスコープ
等の波形信号測定器、２は検体に電気的特性変化を与え
るための電圧を印加する電気的特性変化電圧電源、３は
探針、４は切替スイッチであって、探針３に接続される
装置を、波形信号測定器１または電気的特性変化用電圧
電源２のいずれかに切り替える。なお、図１では探針３
は１つしか描かれていないが、複数あっても良く、複数
ある場合のピンの配置も横１列など検体および一度に行
なう検査箇所の形状に合わせて自由である。また切替ス
イッチ４による探針３の接続状態として上記の２つの状
態に加え、何もつながれない遮断状態への切り替えがあ
っても良い。
【００１２】図２は、本発明の第１の実施の形態に係る
検体である前記液晶表示パネル５と前記プローブ装置の
探針３を接触させている様子を描いた図である。６は液
晶表示パネル５の駆動電極のコネクタ、７は液晶パネル
内に形成されている液晶セルである。なお液晶表示パネ
ルの駆動電極のコネクタ６の形状、接触している探針３
の形状は図２の形状に限らない。
検体である前記液晶表示パネル５と前記プローブ装置の
探針３を接触させている様子を描いた図である。６は液
晶表示パネル５の駆動電極のコネクタ、７は液晶パネル
内に形成されている液晶セルである。なお液晶表示パネ
ルの駆動電極のコネクタ６の形状、接触している探針３
の形状は図２の形状に限らない。
【００１３】このように、前記液晶表示パネル５の駆動
電極のコネクタ６と前記探針３は接触が図られている
が、この段階では、前記両者の完全な接触が図られてい
るか否かはまだ保証されていない。
電極のコネクタ６と前記探針３は接触が図られている
が、この段階では、前記両者の完全な接触が図られてい
るか否かはまだ保証されていない。
【００１４】次に、図３に、上記本発明に係る波形プロ
ーブ装置を使った検査方法のフローチャートを示す。
ーブ装置を使った検査方法のフローチャートを示す。
【００１５】まずステップ３１において、前記図２で示
したように、前記探針３を検査したい前記液晶表示パネ
ル５の駆動電極のコネクタ６の位置に合わせ、接触させ
る。この時検査工程の短縮の目的で同時に検査する箇所
が複数あるときは、それらの同時に検査すべき本数分、
それぞれの位置に合わせて前記探針３を複数個配置し、
検査したい前記液晶表示パネル５の駆動電極のコネクタ
６との接触を同様に試みる。この段階では前記図２を用
いた説明でも述べたように、前記両者の完全な接触が図
られているか否かはまだ保証されていない。
したように、前記探針３を検査したい前記液晶表示パネ
ル５の駆動電極のコネクタ６の位置に合わせ、接触させ
る。この時検査工程の短縮の目的で同時に検査する箇所
が複数あるときは、それらの同時に検査すべき本数分、
それぞれの位置に合わせて前記探針３を複数個配置し、
検査したい前記液晶表示パネル５の駆動電極のコネクタ
６との接触を同様に試みる。この段階では前記図２を用
いた説明でも述べたように、前記両者の完全な接触が図
られているか否かはまだ保証されていない。
【００１６】次に、ステップ３２において、切替スイッ
チ４を切り替えて前記探針３を電気的特性変化電圧電源
２に接続する。これにより前記探針３を介して、接触し
ている前記液晶表示パネル５の駆動電極のコネクタ６に
電気的特性変化を起こさせるための電圧が印加される。
チ４を切り替えて前記探針３を電気的特性変化電圧電源
２に接続する。これにより前記探針３を介して、接触し
ている前記液晶表示パネル５の駆動電極のコネクタ６に
電気的特性変化を起こさせるための電圧が印加される。
【００１７】次に、ステップ３３では、前記ステップ２
において印加された前記電気的特性変化電圧は、前記駆
動電極のコネクタ６を介して接続されている液晶セル７
に印加される。ここで印加される前記電圧が前記液晶セ
ル７の電気的特性変化、つまり封入液晶の偏光現象を引
き起こす電圧であるとすると、前記液晶セル７の表示反
転など視覚的変化を起こすことになる。
において印加された前記電気的特性変化電圧は、前記駆
動電極のコネクタ６を介して接続されている液晶セル７
に印加される。ここで印加される前記電圧が前記液晶セ
ル７の電気的特性変化、つまり封入液晶の偏光現象を引
き起こす電圧であるとすると、前記液晶セル７の表示反
転など視覚的変化を起こすことになる。
【００１８】次にステップ３４において、前記液晶セル
７の表示状態の変化を目視等で確認する。これにより、
表示が抜けている列などがあれば前記探針３と前記液晶
表示パネル５の駆動電極のコネクタ６の接触不良と判断
できる。この方法により、測定すべきすべてのコネクタ
６と探針３との接触の確認を行なう。
７の表示状態の変化を目視等で確認する。これにより、
表示が抜けている列などがあれば前記探針３と前記液晶
表示パネル５の駆動電極のコネクタ６の接触不良と判断
できる。この方法により、測定すべきすべてのコネクタ
６と探針３との接触の確認を行なう。
【００１９】なお、前記液晶セル７の表示状態の変化の
確認手段は目視による確認手段に限られず、撮像手段で
取り込んだ画像をパターン認識させる確認手段であって
も良い。
確認手段は目視による確認手段に限られず、撮像手段で
取り込んだ画像をパターン認識させる確認手段であって
も良い。
【００２０】次にステップ３５において、前記液晶表示
パネル５内の素子のスイッチング検査などプローブ装置
を用いた通常の検査を継続して行なう。
パネル５内の素子のスイッチング検査などプローブ装置
を用いた通常の検査を継続して行なう。
【００２１】以上の検査手順に従えば、プローブ装置を
用いた検査の際に、検体との良好な接触が保証される。
用いた検査の際に、検体との良好な接触が保証される。
【００２２】
【発明の効果】以上のように、本発明の波形プローブ装
置および波形プローブ装置を使った検査方法によれば、
検査している検体の検査部位とその接触状態を正確かつ
簡便に把握でき、検査精度および品質の保証、および検
査工程時間の短縮ができる。
置および波形プローブ装置を使った検査方法によれば、
検査している検体の検査部位とその接触状態を正確かつ
簡便に把握でき、検査精度および品質の保証、および検
査工程時間の短縮ができる。
【図１】本発明の第１の実施形態に係る波形プローブ装
置のシステム構成図
置のシステム構成図
【図２】本発明の第１の実施形態に係る波形プローブ装
置の探針３と検体である液晶表示パネル５の駆動電極の
コネクタ６との接触の様子を描いた図
置の探針３と検体である液晶表示パネル５の駆動電極の
コネクタ６との接触の様子を描いた図
【図３】本発明の第１の実施形態に係る波形プローブ装
置を使った検査方法の手順を示したフローチャート
置を使った検査方法の手順を示したフローチャート
【図４】従来の実施例における波形プローブ装置のシス
テム構成図
テム構成図
１ 信号検出器 ２ 電気的特性変化電圧電源 ３ 探針 ４ 切替スイッチ ５ 液晶表示パネル ６ コネクタ ７ 液晶セル ８ 信号検出器 ９ 探針 １０ 検体
Claims (3)
- 【請求項１】 探針と、前記探針に接続され、前記探針
を検体表面に接触させて走査したときに前記物質と前記
探針との間で生じる電気的変化量を検出する信号検出装
置を備えた波形プローブ装置において、 前記検体の回路状態を調べるために用いる検出手段とは
別に、前記探針に接続され、前記検体の電気的特性変化
を起こすための電気的特性変化電圧印加手段を備えるこ
とを特徴とする波形プローブ装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の波形プローブ装置を使
った検査方法であって、前記探針と検体との間で生じる
電気的変化量を検出することにより前記検体の回路状態
を調べる検査に際し、前記電気的特性変化用電圧印加手
段により前記探針が接触している検体に電圧を印加し、
電気的特性変化を起こさせ、その電気的特性変化を手掛
かりとして前記探針と検体との接触を確認すると共に前
記探針が接触している検体の検査部位を特定する検査方
法。 - 【請求項３】 前記検体が液晶表示パネルであって、前
記電気的特性変化電圧により起こる液晶セルの表示の変
化を手掛かりとすることにより、前記波形プローブの探
針と液晶表示パネルとの接触を確認すると共に前記探針
が接触している液晶パネルの検査部位を特定する請求項
２に記載の波形プローブ装置を使った検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8244667A JPH1090359A (ja) | 1996-09-17 | 1996-09-17 | 波形プローブ装置およびこれを用いる検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8244667A JPH1090359A (ja) | 1996-09-17 | 1996-09-17 | 波形プローブ装置およびこれを用いる検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090359A true JPH1090359A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17122167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8244667A Pending JPH1090359A (ja) | 1996-09-17 | 1996-09-17 | 波形プローブ装置およびこれを用いる検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1090359A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010151790A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-07-08 | Hioki Ee Corp | 基板検査装置 |
| WO2020020380A1 (zh) * | 2018-07-23 | 2020-01-30 | 清华大学 | 有源植入式医疗仪器自动遍历测试的方法和设备 |
| CN116338413A (zh) * | 2023-05-30 | 2023-06-27 | 之江实验室 | 晶上系统的测试方法及测试装置 |
-
1996
- 1996-09-17 JP JP8244667A patent/JPH1090359A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010151790A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-07-08 | Hioki Ee Corp | 基板検査装置 |
| WO2020020380A1 (zh) * | 2018-07-23 | 2020-01-30 | 清华大学 | 有源植入式医疗仪器自动遍历测试的方法和设备 |
| CN116338413A (zh) * | 2023-05-30 | 2023-06-27 | 之江实验室 | 晶上系统的测试方法及测试装置 |
| CN116338413B (zh) * | 2023-05-30 | 2023-08-04 | 之江实验室 | 晶上系统的测试方法及测试装置 |
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