JPH0366566A - アルミニウム及びアルミニウム合金の表面処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用骨！ＩＦ］ この発明は、アルミニウム及びアルミニウム合金の表面
処理方法、特に、研削材と流体とを混合して構成してい
るスラリイを噴射用ノズル部において圧縮空気と混合し
て噴射させる液体ホーニング処理方法、又は、研削材を
圧力流体により噴射させるブラスト処理方法により、ア
ルミニウム（以下、Ａｌ！と表示する）又はアルミニウ
ム合金（以下、ＡＱ金合金表示する）材の表面を清浄化
するアルミニウム及びアルミニウム合金の表面処理方法
に関するものである。

［従来の技術］ 第３図は例えば「最新、表面処理技術総覧、最新表面処
理技術総覧編集委員全編」に記載されている従来の液体
ホーニング装置を示す断面図である。

図において、符号（１）はスラリイホッパー、（２）は
研削材例えば珪砂と水とを混合して構成しているスラリ
イ、（３）はスラリイ（２）を圧送し噴射させるための
圧縮空気、（４）はスラリイ（２）及び圧縮空気（３）
を送給する耐圧ホース、（５）は圧縮空気（３）により
スラリイ（２）をＡｔ２又はＡＣ合金等の被清浄表面へ
噴射するためのノズル、（６）は上記の研削材、（７）
は研削材（６）をスラリイ化するための水、（８）は圧
縮空気（３）をノズル（５）へ送るための導管である。

次にこの液体ホーニング方法における動作について説明
する。

研削材（６）及び水（７）を混合してスラリイ化される
と共に、圧縮空気（３）により搬送されてきたスラリイ
（２）は、ノズル（５）において圧縮空気（３）と混合
され、この圧縮空気（３）によりＡＱ又は７１合金材で
ある被研削物の表面に向けて噴射され、こりれによって
、被研削物表面を物理的に研削し清浄化する。

被研削物がＡＱ又はＡ２合金材の場合、Ａ、　１２及び
ＡＩ２合金は、その性質が活性なため、スラリイ（２）
中の水や酸素により、その表面に粗な酸化物層を生成す
る。

一般的に液体ホーニング装置を用いて行うＡｉ！及びＡ
ｉ７合金の清浄化の場合には、スラリイ（２）中の水及
び酸素により、上記したように、Ａ１２又はＡ、　ｆ）
合金材は、その表面に粗な酸化物層を形成する。

一方、第４図に示すものは、上記文献に示されている従
来のブラスト装置を示す断面図である。

図において、符号（１１）は研削材ホッパー、（１２）
は研削材例えばカラスビーズ、（１３）は研削材（ｔ２
）を送給するための耐圧ホース、（１５）は研削材（１
２）を圧縮空気（１３）と共に被研削材である／ｌ又は
Ａ２合金材の表面へ噴射するためのノズルである。

次にこのブラスト方法による動作について説明する。

圧縮空気（１３）により搬送された研削材（１２）は、
ノズル（１５）より被研削物であるＡｔ２又はＡ１２合
金材の表面に噴射され、こりれによって、被研削物表面
を物理的に研削し清浄化する。

被研削物がＡｔ２又はＡｉ！合金の場合、Ａ１２又はＡ
Ｉ２合金は、その性質が活性なため、一般大気中で湿度
を含む酸素により、その表面に粗な酸化物層を生成する
。

大気中で圧縮空気を用いて行なうブラスト法による場合
、圧縮空気及び大気中の湿度により、上記したように、
ＡＣ又はＡ２合金材は、その表面に粗な酸化物層を形成
する。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のように、ＡＱ又はＡ（合金材の表面を清浄にする
場合、液体ホーニング方法による場合であっても、ある
いは又、ブラスト方法による場合であっても、従来の清
浄されたＡＱ又はＡ２合金材の表面は、粗な酸化物層で
覆われているため、大気中の湿気、あるいは、各種ガス
、例えば、Ｏｔ、Ｎ＝、ＳＯｘ、ＮＯｘ等を吸着しやす
く、このような表面状態を有するＡｔ２又はＡ１２合金
材で作った真空用機器は、真空下でアウトガスが多く発
生し、目的とする真空度が得られにくいという問題点が
あり、このような問題点を解決すべ〈従来の表面処理方
法は課題を有していた。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされ
たもので、Ａｔ７又はＡ＆合金材の表面を清浄にすると
共に、緻密な酸化物層を形成させるＡＣ及びＡ２合金材
の表面処理方法を得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明に係るＡｊ及びＡ１２合金材の表面処理方法は
、液体ホーニングによる場合の第１発明にあっては、研
削材をスラソイ化する流体を、Ａｔ２に対して不活性な
流体としているものであり、また、ブラストによる場合
の第２発明にあっては、研削材を噴射させる圧力流体を
、Ａｔ２に対して不活性な流体としているものである。

［作　用］ この発明は、上記のように構成され、それぞれ、スラリ
イ化のための流体も、また、圧力流体も、Ａｔ２に対し
て不活性な流体とし、液体ホーニング方法にあっては水
を使用せず、また、ブラスト方法にあっては、湿度を有
する空気を使用しないので、ＡＱ又はＡ１７合金材の表
面には阻な酸化物層はできず、緻密で安定な酸化物層を
形成する。

［実施例］ 以下、この発明をその一実施例を示す図に基づいて説明
する。

なお、符号（１）〜（８）（８）、（１１）（１２）（
１４）（１５）で示すものは、従来方法において同一符
号により示したものと同−又は同等のものである。

第１発明の実施要領を示す第１図において、符号（２１
〉は、研削材（６）をスラリイ化するための温材である
、Ａ１２に対して不活性な流体、例えば、エチルアルコ
ールであって、エチルアルコール（２１）と研削材（６
）とを混合してスラリイ（２）を構成している。

次に上記実施例の動作について説明する。

エチルアルコール（２１）とを適量にスラリイホッパ（
１）に投入し、必要に応じて撹拌してスラリイ（２）を
作る。次いで、このスラリイ（２）を圧縮空気（３）に
より圧送する。

圧縮空気（３）により搬送されてきたスラリイ（２）は
ノズル（５）で圧縮空気（３）と混合され、被研削物で
あるＡｆｆ又はＡＱ合金材の表面に噴射され、被研削物
表面を物理的に研削し清浄化する。

この場合、ＡＱに対して不活性な流体であるエチルアル
コール（２１）を使用し、腐食性の強い水を使用してい
ないため、被研削物であるＡＱ又はＡ５合金材の表面は
、水と反応して粗な酸化物を形成することなく、圧縮空
気（３）中の酸素の酸化によって形成される緻密な酸化
物層で覆われる。

従って、このように形成された緻密な酸化物層は、ガス
の吸収も少なく、その結果、真空下におけるアウトガス
量も少ないので、例えば、ＡＱ又はＡ１２合金材からな
る超高真空機器であっても、所望の真空度を得ることが
できる。

また、上記実施例では、研削材（６）をスラリイ化する
ためのＡＱ２に対して不活性な流体として、エチルアル
コールを用いたが、これに限らず、メチルアルコール、
その他、Ａ１２に対して不活性な流体ならば、いかなる
ものを用いてもよく、その場合、上記実施例と同様の効
果を奏する。

次に第２発明の実施要領を示す第２図において、符号（
２２）は、研削材（１２）を圧送し、ノズル（１５）か
ら噴射させるための、Ａｌ１に対して不活性な流体例え
ば、乾燥されているアルゴン及び酸素の混合気体である
。

なお、（２３）は、被研削物を大気と遮断するための容
器であり、被研削物をこの中に入れて研削する。

次に上記実施例の動作について説明する。

加圧乾燥したアルゴン酸素混合気体（２２）により搬送
された研削材（１２）はノズル（ｉ５）より容器（２３
）中のＡＱ２又はＡ＆合金材の被研削物表面の噴射され
、被研削物表面を物、理的に研削し清浄化する。

アルゴン・酸素混合気体（２２）及びこの混合気体（２
２）で充満される容器（２３）中は、乾燥状態にあるの
で、被研削物であるＡｅ又はＡ　Ｉ　Ａｙ金材の表面は
、湿気と反応して粗な酸化物層を形成することなく、混
合気体（２２）中の酸素によって緻密な酸化物層を形成
し、この酸化物層によって被研削物表面は覆われる。

従って、このようにして形成された緻密な酸化物層は、
ガスの吸収も少なく、その結果、真空下におけるアウト
ガス量も少ないので、例えば、Ａｆｆ又はＡｊ合金材か
らなる超高真空機器であっても、所望の真空度を得るこ
とができる。

なお、上記実施例では、研削材（１２）の圧送、噴射用
としてＡＱ２に対して不活性な流体として、アルゴンと
酸素との混合気体を用いたが、これに限らず、アルゴン
の代わりにヘリウム、ネオン等のＡＱに対して不活性ガ
スを用いてもよく、その場合、上記実施例と同様の効果
を奏する。

［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、第１発明にあっては
、研削材のスラリイ化のために腐食化の強い水を使用す
ることなく、ＡＱ２に対して不活性な流体を使用し、ま
た、第２発明にあっては、研削材を圧送、噴射するため
の流体として、大気中の空気を使用することなく、ＡＱ
２に対して不活性な流体を使用しているので、表面処理
後のＡ、　（又はＡ１２合金材の表面は、清浄にされる
と共に、緻密な酸化物層が形成されており、従って、ガ
スの吸収も少なく、その結果、たとえ、真空機器に使用
される場合であっても、アウトガスも発生しないアルミ
ニウム及びアルミニウム合金の表面処理方法が得られる
効果を有している。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１発明における一実施要領による
液体ホーニング方法を示す構造図、第２図はこの発明の
第２発明における一実施例要領によるブラスト方法を示
す構成図、第３図は従来の液体ホーニング方法によるＡ
Ｑ、Ａ１２合金材の表面処理方法の構成図、第４図は従
来のブラスト方法によるＡ（、Ａ１２合金材の表面処理
方法の構成図を示す。 （２）・・スラリイ、（３）・・圧縮空気、（５）・・
ノズル、（６）（１２）・・研削材、（２１）・・不活
性流体くエチルアルコール）　、（２２）・・不活性流
体（アルゴン・酸素混合気体）。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 第１図 第２詐 事件の表示 特願平 １−１９９４９２号 発明の名称 アルミニウム及びアルミニウム合金の 表面処理方法 補正をする者 事件との関係　　特許出願人 住　所　　　　　東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
名　称　　＜６０１）三菱電機株式会社代表者　志岐守
哉

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）研削材と流体とを混合して構成しているスラリイ
   を噴射用ノズル部において圧縮空気と混合して噴射させ
   る液体ホーニング処理方法により、アルミニウム又はア
   ルミニウム合金材の表面を清浄化するアルミニウム及び
   アルミニウム合金の表面処理方法における上記スラリイ
   を構成する流体が、アルミニウムに対する不活性流体で
   あることを特徴とするアルミニウム及びアルミニウム合
   金の表面処理方法。
2. （２）研削材を圧力流体により噴射させるブラスト処理
   方法により、アルミニウム又はアルミニウム合金材の表
   面を清浄化するアルミニウム及びアルミニウム合金の表
   面処理方法における上記圧力流体が、アルミニウムに対
   する不活性流体であることを特徴とするアルミニウム及
   びアルミニウム合金の表面処理方法。