JPH036673A

JPH036673A - パターン検査方法およびその装置

Info

Publication number: JPH036673A
Application number: JP1140539A
Authority: JP
Inventors: Kyoichi Yahata; 矢幡　恭一
Original assignee: Casio Computer Co Ltd
Current assignee: Casio Computer Co Ltd
Priority date: 1989-06-02
Filing date: 1989-06-02
Publication date: 1991-01-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明はプリント基板上の配線パターンの外観検査など
に適用されるパターン検査方法およびその装置に関する
。

［従来の技術］従来、フィルム基板やハード基板などの回路基板に形成
される配線パターンについて、配線の断線、ショート、
太り、細りなどの外観検査が実施されているが、このよ
うな検査には、配線パターン外観を画像データとして取
り込み、これを基準パターンと比較して良否を判断する
パターン検査処理による方法が多（採用されている。

しかして、従来、この種の検査方法として、２台のＴＶ
左カメラ用い、一方のＴＶ左カメラＸ１ｙ、θテーブル
上の被検査部材の位置マークを読取り、この位置データ
にしたがってｘＳｙ、θテーブルを移動して、位置マー
クをパターン検査処理手段の基準位置に一致させ、この
状態から他方のＴＶ左カメラより被検査物の画像を読み
取るようにしたもの、あるいは被検査物の位置マークと
画像データを同時に読取り、これらデータを、−旦メモ
リに格納して位置マークと画像データの位置ずれ分を補
正するようにしたものがある。

［発明が解決しようとする課題］ところが、前者は被検査部材の位置マークを画像処理の
ための基準位置に一致させるため、事前にＸ　％　Ｙ　
ｓ　θテーブルを移動するようにしているので、パター
ン検査の精度を高めることができるものの、作業能率が
悪（、しかもテーブルの駆動機構などが複雑になるため
、価格的にも不利になる欠点があった。また、後者は位
置マークと画像データを格納したメモリ内容に対して位
置ずれを補正するようにしているので、前者に比ベテー
プルの駆動機構などを必要としない分、価格的には有利
であるが、読み取った画像データを一旦メモリに格納し
た上位置ずれ補正を行うものであるため、リアルタイム
処理に比べると、まだ処理速度は十分とは言えなかった
。また、このように画像データをメモリに格納するもの
は、メモリ内容に対する位置ずれの補正が複雑となり、
時間が掛かるなど作業能率の低下も避けられなかった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、パターン検
査を精度を維持しながら極めて高速に処理することがで
き、しかも価格的にも有利なパターン検査方法およびそ
の装置を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］本発明は、被検査パターンに対応して付される位置マー
クを検出し、この検出されたマーク位置について予め設
定された基準マーク位置に対する各種位置ずれデータを
算出し、この位置ずれデータに基づいて予め被検査パタ
ーンに対応して記憶されている基準パターンのアドレス
を補正するとともに、この補正アドレスにより読み出さ
れる基準パターンデータと上記被検査パターンの画像デ
ータとの不一致を検出するようにしている。また、マー
ク位置について予め設定された基準マーク位置に対して
算出される位置ずれデータは、基準マークの位置座標デ
ータに対するＸ％Ｙ方向および回転方向の各位置ずれ量
である。さらに、補正アドレスはマーク位置の基準マー
クの位置座標データに対するｘＳｙ方向および回転方向
の各位置ずれ量の補正量パラメータと上記被検査パター
ンの画像データに対応するアドレスに基づいてアフィン
変換を利用して求めるようにしている。

一方、本発明は、被検査パターンに対応して付される位
置マークを検出する位置マーク検出手段と、この位置マ
ーク検出手段より検出されたマーク位置について予め設
定された基準マーク位置に対する位置ずれデータを算出
する位置ずれ算出手段と、この位置ずれ算出手段にて算
出された位置ずれデータに基づいて予め彼検査パターン
に対応してＳ己憶されている基準パターンのアドレスを
補正するアドレス補正手段と、上記被検査パターンより
画像データを出力する画像データ出力手段と、この画像
データ出力手段より出力される画像データと上記アドレ
ス補正手段で補正されたアドレスにより読み出される基
準パターンデータとの不一致を判断する不一致判断手段
よりなっている。

［作用］この結果、マーク位置について予め設定された基準マー
ク位置に対して算出される位置ずれデータにもとづいて
予め被検査パターンに対応して記憶されている基準パタ
ーンのアドレスを補正し、被検査パターンの画像データ
と補正されたアドレスにより読み出される基準パターン
データとの不一致が判断されるようになるので、彼検査
パターン検査を精度よく、しかもリアルタイムで能率よ
く行うことができるようになる。

［実施例］以下、本発明の一実施例を図面にしたがい説明する。

第１図は同実施例の回路構成を示すものである。

図において、１は被検査部材である回路基板で、この回
路基板１は第２図に示すように帯状のフレキシブル基板
よりなり、この回路基板１上に多数の配線パターン１ａ
を形成するとともに、゛各間線パターン１ａに対応して
位置マーク１ｂを有している。そして、このような回路
基板ｌは、配線パターン１ａの検査とともに、第２図に
示された長平方向に移送されるようになっている。

このような回路基板１に対抗してＣＯＤカメラなどの映
像カメラ２および補正用カメラ３を配設している。ここ
で、映像カメラ２は回路基板１の配線パターン１ａの映
像を取り込むとともに、この画像データを外部同期信号
φ５Ｔに同期して出力するようにしている。また、補正
用カメラ３は位置マーク１ｂの映像を取り込むようにし
ている。

この場合、映像カメラ２および補正用カメラ３は第２図
に示すように回路基板１の移動方向と直交する方向に二
層構造で設けられた支持部４．５に、それぞれ図示矢印
方向に移動自在に設けられている。

そして、映像カメラ２より出力される画像データは前処
理部６で前処理されＡ／Ｄ変換部７でデジタルデータに
変換されたのち、時間補正回路８に与えられる。この時
間補正回路８はＡ／Ｄ変換部７の出力を後述するアドレ
ス補正処理に必要な時間だけ遅延させるもので、その遅
延出力を不一致ドツト検出回路９に与えるようにしてい
る。

一方、補正用カメラ３に取り込まれた位置マーク１ｂの
映像出力は前処理部１０で前処理されＡ／Ｄ変換部１１
でデジタルデータに変換されたのち、Ｓ／Ｐ変換部１２
に与えられる。Ｓ／Ｐ変換部１２はＡ／Ｄ変換部７より
与えられるシリアルデータをパラレルデータに変換する
ものである。

そして、このＳ／Ｐ変換部１２のパラレルデータを位置
ずれ算出部１３に与えるようにしている。

位置ずれ算出部１３には、マーク位置設定部１４の出力
が与えられている。このマーク位置設定部１４は配線パ
ターン１ａに付されたマーク位置１ｂに対して予め設定
される基準マークの位置座標データＸ。、’ｌｏを記憶
したもので、制御部ＣＴＲの指令により、位置座標デー
タＸ。、ｙ。

を出力するようになっている。

位置ずれ算出部１３では、位置座標データＸ。、ｙｏに
基づいて補正用カメラ３より取り込まれた位置マーク１
ｂの位置ずれを算出するものである。

この場合、位置ずれ算出部１３は、マーク位置設定部１
４の基準位置マークの座標データＸ。、Ｙｏに対して位
置マーク１ｂのＸ方向の位置ずれＭｋｌｌ　−、ｙ方向
の位置ずれ量ｇ、および回転方向の位置ずれ量θをそれ
ぞれ算出する。Ｘ方向の位置ずれｍｌ、、ｙ方向の位置
ずれＥｉＮ　、および回転方向の位置ずれ量θを位置座
標データｘ０、ｙｏと画像位置Ｘ。　　Ｙｏ　−から求
めることは、既に知られており、ここでは省略する。各
位置ずれＪ４ＬＤ　ｔ　、Ω、およびθが算出されると
、位置ずれ算出部１３において、さらに補正量を求める
演算が実行される。

ここで、第３図を参照してＸＳｙアドレスの各補正量を
アフィン変換を利用して求めると、回転補正項は回転方
向の位置ずれ量θよりで与えられ、直線補正項はＸ方向の位置ずれ量ｐ、、ｙ
方向の位置ずれ量！、より、となる。

そして、上式のマトリクス内の項を演算処理することに
より、補正後のアドレスは、で与えられる。これにより実補正マトリクスは、Ｘ−ｃ
ｏｓθｘ−ｓｉｎθｙ＋（１゜ＣＯＳθ−０，ｓｉｎθ
）・・（３）Ｙ−ｓｉｎθＸ＋ＣＯ５θ”／＋（ｇ、ｓｉｎθ＋ｌ、
ｃｏｓθ）・・・（４）が求められる。（３）式、（４）式に示された各項目中
、ｘ、ｙを除く項目については補正用カメラ３で読み取
った現在の被検査パターンに対しては算出することが可
能である。すなわち、補正アドレスＸに対してはｃｏｓ
θ、−５ｉｎθおよび（Ｊ７．ｃｏｓθ−ｇ、ｓｉｎθ
）、また、補正アドレスＹに対してはｓｉｎθ、ｃｏｓ
θおよび（ｊ７．ｓｉｎθ＋Ｎｙｃｏｓθ）を予め算出
しておくことができる。

ここで、第１図に戻って、位置ずれ算出部１３において
位置ずれ量ｐｘ、ｐ　　　θが算出された後、上述の（
３）（４）式に対応する各項目、ＣＯ８θ、−ｓ　ｉｎ
θ、（ρ　ｃｏｓθ−Ω　ｓｉｎθ）　　ｓｉｎθ、（
ΩｘｓｉｎＯ＋、Ｑ、ｃｏｓθ）が算出され、これらの
各演算結果はレジスタ１４１に書き込まれる。

レジスタ１４１の出力は、走査アドレス作成部１５のア
ドレスデータＸとともにＸアドレス補正部１６、アドレ
スデータｙとともにｙアドレス補正部１７に与えられる
。

ここで、走査アドレス作成部１５は制御部ＣＴＲの指令
により外部同期信号φ、Ｔに同期してアドレスデータＸ
ｓＹを出力するもので、ここでは映像カメラ２より出力
される配線パターン１ａの画像データのアドレスに対応
するようになっている。

第４図（ａ）はＸアドレス補正部１６の具体的な回路構
成図を示すものである。この場合、走査アドレス作成部
１５のアドレスＸとレジスタ１４１に書き込まれた回転
方向の位置ずれ量θに基づくｃ−ｏｓθを乗算器１６１
で乗算するとともに、走査アドレス作成部１５のアドレ
スソと上記回転方向の位置ずれ量θに基づ（−ｓｉｎθ
を乗算器１６２で乗算し、これら乗算器１６１．１６２
の出力を加算器１６３で加算し、この加算結果と（、Ｑ
ｍｃｏｓθ−ｇ、ｓｉｎθ）を加算器１６４に与え、加
算することにより補正アドレスＸを得るようにしている
。

また、第４図（ｂ）はｙアドレス補正部１７の具体的な
回路構成図を示すものである。この場合、走査アドレス
作成部１５のアドレスｙとレジスタ１４１に書き込まれ
た回転方向の位置ずれ量θに基づ（ｓｉｎθを乗算器１
７１で乗算するとともに、走査アドレス作成部１５のア
ドレスｙと上記回転方向の位置ずれ量θに基づ＜ｃｏｓ
θを乗算器１７２で乗算し、これら乗算器１７１．１７
２の出力を加算器１７３で加算し、この加算結果と（Ω
ｘｓｉｎθ十ｇ、ｃｏｓθ）を加算器１７４に与え、加
算することにより補正アドレスＹを得るようにしている
。第４図（ａ）および（ｂ）から明らかなようにＸアド
レス補正部１６およびｙアドレス補正部１７は、それぞ
れ乗算−加算−加算の演算回路を有するため、被検査パ
ターンのＸ、ｙ位置における画像データに対して、この
演算処理時間分遅延してしまう。映像カメラ２と不一致
ドツト検出回路９の間に配された時間補正回路８はこの
各補正部１６．１７における遅延とタイミングを合わせ
るために必要とされるものである。例えば、１つの演算
器の処理時間を５０〜１００ナノ秒とずれば、時間補正
回路８は１５０〜３００ナノ秒の時刻遅延をさせるもの
である。

第１図に戻って、Ｘアドレス補正部１６およびｙアドレ
ス補正部１７からの補正アドレスＸＳＹは基準パターン
設定部１８に与えられる。ここで基準パターン設定部１
８は検出すべき配線パターン１ａに対応する基準パター
ンを予め記憶したもので、補正アドレスＸ、Ｙにより基
準パターンデータを出力するようにしている。

そして、この基準パターン設定部１８のパターンデータ
は不一致ドツト検出回路９に与えられる。

この不一致ドツト検出回路９は第５図に示すように基僧
パターン設定部１８のパターンデータＡと時間補正回路
８を介して与えられる配線パターン１ａの画像データＢ
との不一致状態を画像データのアドレスに対応するドツ
ト単位で検出するもので、これらの不一致の検出を有効
エリア設定部１つに設定された有効エリアＣ内について
実行するようにしている。

第６図は、不一致ドツト検出回路９の具体的な回路構成
図を示すものである。この場合、配線パターン１ａの画
像データＢを排他的論理和回路９１の一方の入力端子に
与えるとともに、インバータ９２を介してアンド回路９
３の第２の入力端子、さらにアンド回路９４の第２の入
力端子に与え、基準パターン設定部１８のパターンデー
タＡを排他的論理和回路９１の他方の入力端子に与える
とともに、アンド回路９３の第３の入力端子およびイン
バータ９５を介してアンド回路９４の第３の入力端子に
与えるようにしている。そして、排他的論理和回路９１
の出力をアンド回路９６の一方の入力端子に与え、この
アンド回路９６の他方の入力端子、上記アンド回路９３
．９４の第１の入力端子に有効エリア設定部１９の設定
出力が与えられるようにしている。この有効エリア設定
部１９の設定出力は有効エリアに対してｒＨＪレベルの
出力を発生するようにしている。これにより、第５図に
示すように有効エリア設定部１９に設定された有効エリ
アＣ内について、パターンデータＡと画像データＢの不
一致ドツトが検出され、これらパターンデータＡと画像
データＢがともに存在するドツト部分では、アンド回路
９３．９４．９６のいずれもｒＨＪレベルの出力を発生
することがなく、パターンデータＡのみが存在すると、
排他的論理和回路９１のｒＨＪレベル出力によりアンド
回路９６より不一致ドツトの旨のｒＨＪ　レベルの出力
を発生するとともに、アンド回路９３より細りドツトの
旨のｒＨＪレベルの出力を発生し、画像データＢのみが
存在すると、排他的論理和回路９１のｒＨＪレベル出力
によりアンド回路９６より不一致ドツトの旨のｒＨＪ　
レベルの出力を発生するとともに、アンド回路９４より
太りドツトの旨のｒＨＪレベルの出力を発生するように
している。

そして、このような不一致ドツト検出回路９からの出力
は、不一致ドツト位置記憶部２０、細りドツト位置記憶
部２１、太りドツト位置記憶部２２にそれぞれ書き込み
信号として与えられる。

また、不一致ドツト位置記憶部２０、細りドツト位置記
憶部２１、太りドツト位置記憶部２２にはＸアドレス補
正部１６およびｙアドレス補正部１７から出力される補
正アドレスＸ、Ｙがデータバスによって接続される。こ
のため、アンド回路９６から不一致ドツト信号が出力さ
れる都度、その時の不一致ドツトの位置を示す補正アド
レスＸ１Ｙが不一致ドツト位置記憶部２０に記憶される
。

同様にして、アンド回路９３から細りドツト信号が出力
される都度、その時の細りドツトの位置を示す補正アド
レスＸＳＹが細りドツト位置記憶部２１に記憶され、ま
た、アンド回路９４から太りドツト信号が出力される都
度、その時の太りドツトの位置を示す補正アドレスＸ、
Ｙが大すトット位置記憶部２２に記憶される。

この場合、不一致ドツト位置記憶部２０、細りドツト位
置記憶部２１、太りドツト位置記憶部２２は図示しない
画像処理用プロセッサＤＳＰにより制御され高速にアク
セスされる。また、これら不一致ドツト位置記憶部２０
、細りドツト位置記憶部２１、太りドツト位置記憶部２
２の出力は良否判断部２３に与えられる。この良否判断
部２３は各位置記憶部２０〜２２から送出される不一致
ドツト、細りドツト、太りドツトの位置情報から、これ
らの分布を算出し、予め設定された許容範囲内に存在す
るか否かにより配線パターン１ａの良否を判断するよう
にしている。そして、この良否判断部２３の判断結果は
表示部２４に与えられ、ここに表示されるようになって
いる。

一方、不一致ドツト検出回路９からの出力は、カウンタ
２５にも与えられる。このカウンタ２５は不一致ドツト
数、細りドツト数、太りドツト数をカウントするもので
、各カウント数はこれら不一致ドツト数記ｔａ部２６、
細りドツト数記憶部２７、太りドツト数記憶部２８に記
憶した上、上記画像処理用プロセッサＤＳＰに与えるよ
うにしている。これにより各位置記憶＃２０〜２２に紀
億されている位置情報としての補正アドレスＸ１Ｙの数
が把握されることになるので、この位置情報を良否判別
部２３に読み出す際、記憶部２６〜２８に記憶された数
だけ読み出した時点で画像処理用プロセッサＤＳＰによ
る各記憶部２０〜２２に対するアクセスを終了すること
ができ、処理を能率的にできる。

次に、このように構成した実施例の動作を説明する。

まず、補正用カメラ３により検査すべき配線パターン１
ａに対応する位置マーク１ｂの映像が取り込まれる。補
正用カメラ３に取り込まれた映像出力は、前処理部１０
で前処理されＡ／Ｄ変換部１１でデジタルデータに変換
された後、Ｓ／Ｐ変換部１２でパラレルデータに変換さ
れ、位置ずれ算出部１３に与えられる。そして、この位
置ずれ算出部１３で、マーク位置設定部１４の位置座標
データＸ。、ｙｏに基づいて位置ずれが算出される。こ
の場合、第３図に示すように位置座標データＸ。、ｙｏ
に対する基準位置マーク１ｂの位置ずれは、Ｘ方向の位
置ずれ１．、ｙ方向の位置ずれΩ、および回転方向の位
置ずれθのそれぞれが算出される。位置ずれ算出部１３
では、これら位置マーク１ｂのＸ方向の位置ずれΩ８ｙ
方向の位置ずれｐ　および回転方向の位置ずれθが算出
され、さらにＣＯＳθ、−５ｉｎθ、（Ω、ｃｏｓθ−
ｇ、ｓｉｎθ）、ｓｉｎθ、（Ｒ，ｓｉｎθ＋０．ｃｏ
ｓθ）を算出され、レジスタ１４１に書き込まれる。

レジスタ１４１の出力は、外部同期信号φ、Ｔに同期し
て出力される走査アドレス作成部１５のアドレスデータ
Ｘ１ｙとともにＸアドレス補正部１６、ｙアドレス補正
部１７に格別に与えられ、ここで上述したアフィン変換
を利用したアドレス補正が実行され、補正アドレスＸ、
Ｙが求められる。この場合、Ｘアドレス補正部１６では
、第４図（ａ）に示すように、走査アドレス作成部１５
のアドレスデータＸとレジスタ１４１からの回転方向の
位置ずれ量θに基づ＜ｃｏｓθを乗算器１６１に与え、
ここでＣＯＳθＸを求め、次いて、走査アドレス作成部
１５のアドレスｙと上記回転方向の位置ずれ量θに基づ
（−ｓｉｎθを乗算器１６２に与え、ここで−５ｉｎθ
ｙを求め、これら乗算器１６１．１６２の出力を加算器
１６３で加算し、この加算結果と（Ω、ｃｏｓθ−Ω　
ｓｉｎθ）を加算器１６４で加算することにより、上述
した（３）式の補正アドレスＸが得られることになる。

また、ｙアドレス補正部１７についても、　第４図（ｂ
）に示すように、走査アドレス作成部１５のアドレスｙ
とレジスタ１４１からの回転方向の位置ずれ量θに基づ
＜ｓｉｎθを乗算器１７１に与え、ここでｓｉｎθＸを
求め、次いで、走査アドレス作成部１５のアドレスｙと
上記回転方向の位置ずれ量θに基づ（ＣＯＳθを乗算器
１７２に与え、ここでｃｏｓθｙを求め、これら乗算器
１７１．１７２の出力を加算器１７３で加算し、この加
算結果と（Ｎ、ｓｔｎθ＋ｌ、ｃｏｓθ）を加算器１７
４で加算することにより、上述した（４）式の補正アド
レスＹが得られることになる。

そして、これらＸアドレス補正部１６およびｙアドレス
補正部１７の補正アドレスＸＳＹは基準パターン設定部
１８に与えられ、これら補正アドレスＸ、Ｙに対応する
基準パターンデータが基準パターン設定部１８より読み
出され、不一致ドツト検出回路９に出力される。

一方、映像カメラ２により取り込まれた配線パターン１
ａの映像出力は、画像データとして外部同期信号φＳＴ
に同期して出力される。この場合、外部同期信号φＳＴ
により出力される画像データは、走査アドレス作成部１
５より外部同期信号φ’ｉＴに同期して出力されるアド
レスｘＳＶに対応するものである。そして、この画像デ
ータは前処理部６で前処理され、Ａ／Ｄ変換部７でデジ
タルデータに変換された後、時間補正回路８てアドレス
補正処理に必要な時間だけ遅延され不一致ドツト検出回
路９に与えられる。

この状態で、不一致ドツト検出回路９により基■パター
ン設定部１８の基準パターンデータＡと時間補正回路８
からの画像データＢとの不一致状態が、画像データＢの
アドレスｘ、ｙに対応するドツト単位で検出されるよう
になる。

ここで、有効エリアＣ内に基準パターン設定部１８の基
準パターンデータＡと時間補正回路８の画像データＢが
第５図に示すような関係で位置されているものとすると
、まず、図示Ｄｉで示す部分では、第６図において、有
効エリア設定部１９よりｒＨＪレベルの出力が与えられ
、基準パターンデータＡとしてｒＨＪ　レベル入力、画
像データＢとしてｒＨＪレベル入力が与えられるので、
排他的論理和回路９１を始め、アンド回路９３．９４．
９６の出力はいずれも「Ｌ」レベルのままであり、不一
致ドツトは検出されない。次に、図示Ｄ２で示す部分で
は、第６図において、有効エリア設定部１９よりｒＨＪ
レベルの出力が与えられ、基準パターンデータＡとして
「Ｌ」レベル入力、画像データＢとしてｒＨＪレベル入
力が与えられる。すると、排他的論理和回路９１よりｒ
ＨＪレベル出力が発生されるので、アンド回路９６がり
ｒＨＪレベルとなり、不一致ドツト検出出力が発生され
、同時に、アンド回路９４がｒＨＪレベルとなり太りド
ツトの旨の検出出力が発生される。

そして、これらアンド回路９６および９４から信号が出
力される都度、不一致ドツトおよび太りドツトの位置情
報である補正アドレスＸ％Ｙが不一致１１ト位置件記憶
部２０および太りドツト位置記憶部２２に記憶されるよ
うになる。また、図示Ｄ３で示す部分では、第６図にお
いて、有効エリア設定部１９よりｒＨＪレベルの出力が
与えられ、基準パターンデータＡとしてｒＨＪレベル入
力、画像データＢとしてｒＬＪレベル人力が与えられる
。すると、排他的論理和回路９１よりｒＨＪレベル出力
が発生されるので、アンド回路９６がｒＨＪレベルとな
り、不一致ドツト検出出力が発生され、同時に、アンド
回路９３がｒＨＪレベルとなり、細りドツトの旨の検出
出力が発生される。

そして、；れらアンド回路９６および９３から信号が出
力される都度、不一致ドツトおよび細りドツトの位置情
報である補正アドレスＸＳＹが不一致１１ト位置件記憶
部２０および細りドツト位置記憶部２１に記憶されるよ
うになる。

そして、良否判断部２３において、太りドツト記憶部２
２から送出される太りドツトの分布および細りドツト位
置記憶部２１から送出される細りドツトの分布に基づき
配線パターンの良否が判断され、この結果が表示部２４
に表示される。また、これら不一致ドツト数、細りドツ
ト数および太りドツト数はカウンタ２５でもカウントさ
れ、このカウント値が不一致ドツト数記憶部２６、細り
ドツト数記憶部２７、太りドツト数記憶部２８において
記憶される。このため各記憶部２６〜２８に対する位置
情報の読み出しの際、各記憶部２６〜２８に記憶された
カウント値に達した時点をもって、不一致位置情報の読
み出し処理を終了することができ、能率的となる。

したがって、このようにずれば配線パターンに付された
マーク位置を読取り、このマーク位置について、予め設
定される基準マーク位置に対する位置ずれを、Ｘ方向の
位置ずれり、、Ｘ方向の位置ずれ１ｙおよび回転方向の
位置ずれθについて求め、これら位置ずれデータと配線
パターンの画像データのアドレスに対応する走査アドレ
スＸ１ｙを補正量パラメータとしてアフィン変換を利用
して補正アドレスＸＳＹを求め、これら補正アドレスＸ
、Ｙにより基準パターン設定部より基準パターンデータ
を読み出し、この基準パターンデータと配線パターンの
画像データとの不一致を判断するとともに、この不一致
状態から配線パターンの良否を判断するようにしたので
、映像カメラより順次取り込まれる配線パターンの良否
判断をリアルタイムで能率よく実現することができる。

しかも基準マーク位置に対するマーク位置のずれに、Ｘ
方向の位置ずれ１）、、Ｘ方向の位置ずれｇ、および回
転方向の位置ずれθの各要素を考慮しており、これらに
基づいて基準パターン設定部に対する補正アドレスＸ、
Ｙがアフィン変換で求められるので、基準パターンデー
タと配線パターンの画像データとの不一致判断を高精度
に行うことができる。また、従来のものに比べ、ＸＳ！
／、θテーブルおよびこのテーブルの駆動機構などを必
要としないので、価格的にも有利にできる。

なお、本発明は上記実施例にのみ限定されず、要旨を変
更しない範囲で適宜変形して実施できる。

例えば、上述の実施例では２台のカメラを用いたが、１
台のみでも実施できる。この場合、最初に位置マークを
読取り、ｓｉｎθ、ＣＯ８θ、ｇｘｌＭｙを算出してお
き、配線パターンの読取りと同時にリアルタイム処理を
行うようにする。この場合は、Ａ／Ｄ変換部７の後に、
時間補正回路８とＳ／Ｐ変換部１２との接続を切換える
スイッチング素子を設ける必要がある。また、上述では
、配線パターンの外観検査に適用した場合を述べたが、
これ以外のパターン検査にも適用することが可能である
。

［発明の効果コ本発明は、マーク位置について予め設定された基準マー
ク位置に対して算出される位置ずれデータにもとづいて
予め被検査パターンに対応して記憶されている基準パタ
ーンのアドレスを補正し、被検査パターンの画像データ
と補正されたアドレスにより読み出される基準パターン
との不一致が判断されるようになるので、被検査パター
ンの検査を精度よく、しかもリアルタイムで能率よく行
うことができる。また、Ｘ５Ｙｓ　θテーブルなどを使
用しないので、検査速度を速めることができるとともに
、テーブルの駆動機構なども必要としないので、価格的
にも安価にできる。また、基準マーク位置に対するマー
ク位置のずれに、Ｘ方向の位置ずれ、Ｘ方向の位置ずれ
および回転方向の位置ずれなどの各要素を考慮しており
、これらに補正量パラメータに基づいて基準パターン設
定部に対する補正アドレスが求められるので、被検査パ
ターンの画像データと基準パターンとの不一致判断を高
精度に行うことができ、信頼性の高いパターン外観検査
を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の回路構成を示すブロック図
、第２図は同実施例に用いられる映像カメラおよび補正
用カメラの取り付は状態を説明するための構成図、第３
図は同実施例の位置マークの位置ずれ算出部の算出結果
を説明するだめの図、第４図は同実施例に用いられるＸ
アドレス補正部およびのＸアドレス補正部を示す回路図
、第５図は同実施例に用いられる不一致ドツト検出回路
の動作を説明するための図、第６図は同不一致ドツト検
出回路を示す回路図である。１・・・回路基板、１ａ・・・配線パターン、１ｂ・・
・位置マーク、２・・・映像カメラ、３・・・補正用カ
メラ、８・・・時間補正回路、９・・・不一致ドツト検
出回路、１３・・・位置ずれ算出部、１４・・・マーク
位置設定部、１５・・・走査アドレス作成部、１６・・
・Ｘアドレス補正部、１７・・・Ｘアドレス補正部、１
８・・・基準パターン設定部、１９・・・有効エリア設
定部、２０・・・不一致ドツト位置記憶部、２１・・・
細りドツト位置記憶部、２２・・・太りドツト位置記憶部、３・・・良否判断部、２４・・・表示部、５・・・カウンタ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）　被検査パターンに対応して付される位置マーク
を検出し、この検出されたマーク位置について予め設定
された基準マーク位置に対する位置ずれデータを算出し
、この位置ずれデータに基づいて予め被検査パターンに
対応して記憶されている基準パターンのアドレスを補正
するとともに、この補正アドレスにより読み出される基
準パターンデータと上記被検査パターンの画像データと
の不一致を判断することを特徴とするパターン検査方法
。
（２）　マーク位置について予め設定された基準マーク
位置に対して算出される位置ずれデータは基準マークの
位置座標データに対するｘ、ｙ方向および回転方向の各
位置ずれ量であることを特徴とする請求項１記載のパタ
ーン検査方法。
（３）　補正アドレスはマーク位置の基準マークの位置
座標データに対するｘ、ｙ方向および回転方向の各位置
ずれ量と上記被検査パターンの画像データに対応するア
ドレスを補正量パラメータとしてアフィン変換を利用し
て求めるようにしたことを特徴とする請求項２記載のパ
ターン検査方法。
（４）　基準パターンデータと被検査パターンの画像デ
ータとの不一致判断は基準パターンデータが「有」で画
像データが「無」の場合と基準パターンデータが「無」
で画像データが「有」の場合で区別して行うようにした
ことを特徴とする請求項１、２または３記載のパターン
検査方法。
（５）　被検査パターンに対応して付される位置マーク
を検出する位置マーク検出手段と、この位置マーク検出
手段より検出されたマーク位置について予め設定された
基準マーク位置に対する位置ずれデータを算出する位置
ずれ算出手段と、この位置ずれ算出手段にて算出された
位置ずれデータに基づいて予め被検査パターンに対応し
て記憶されている基準パターンのアドレスを補正するア
ドレス補正手段と、上記被検査パターンより画像データ
を出力する画像データ出力手段と、この画像データ出力
手段より出力される画像データと上記アドレス補正手段
で補正されたアドレスにより読み出される基準パターン
データとの不一致を判断する不一致判断手段とを具備し
たことを特徴とするパターン検査装置。