JPH0366772A - 放射線硬化性粘着テープ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、各種半導体を製造する工程において使用する
粘着テープに関し、さらに詳しくいえば、例えばパター
ンを形成したウェハを一つ一つのパターン毎に切断し半
導体素子として分割する際に使用する半導体ウェハ固定
用の放射線硬化性粘着テープに関するものである。

（従来の技術） 従来、回路パターンの形成された半導体ウェハを素子小
片に切断分離するダイシング加工を行う際は、放射線硬
化性粘着テープを用いるビックアップ方式が提案されて
いる。これは放射線、例えば紫外線のような光、または
電子線のような電離性放射線を透過する支持体と、この
支持体上に塗工された放射線照射により硬化する性質を
有する粘着剤層とからなる半導体ウェハ固定用粘着テー
プにより、ダイシング加工時の素子固定粘着力を強粘着
力とし、半導体ウェハを素子小片に切断分離後、支持体
側より放射線照射を行い放射線硬化性粘着剤層を硬化さ
せて、素子固定粘着力を大幅に低下させ素子小片の大き
さに関係なく、例えば２５ｒｒ＋ｒｒｒ以上の大きな素
子であっても容易にピックアップする事が出来るように
した方式である。

この方式は、放射線透過性の支持体上に放射線硬化性粘
着剤を塗工した半導体ウェハ固定用粘着テープの粘着剤
中に含まれる放射線硬化性化合物を放射線照射によって
硬化させ粘着剤に三次元網状化ｆｌ造を与えて、その流
動性を著しく低下させる原理に基づくものである。この
ような粘着テープ及び粘着剤としては、特開昭６０−１
９６９５６号、特開昭６０−２０１６４２号、特開昭６
１−２８５７２号、特開昭６２−１０１８０号等に開示
されたものがある。

（発明が解決しようとする課題） しかし、このような粘着テープでは放射線硬化性化合物
の硬化反応により粘着剤を硬化させて三次元網状化構造
を与え粘着力を低下させるため、ダイシング加工時に有
していた粘着テープのゴム状弾性がピックアップ時には
殆ど無くなってしまう結果となる。このため、従来行わ
れていた粘着テープの放射状延伸ができなくなるという
問題が生じている。このテープの延伸は回転丸刃により
切断分離された素子小片間の間隙が小さいので、素子小
片を粘着テープよりピックアップする際に、隣合う他の
素子小片に接触して回路面に損傷を与えることを防ぐ目
的で行われるものである。

一方、この問題を解決するため、特開昭６２−５９６８
４号に開示されるように透光性で伸縮性を有するフィル
ム状支持体に放射線硬化性粘着剤を塗工してなる粘着テ
ープが提案されている。この粘着テープでは例えば、ポ
リブテン、ポリウレタン、１．２−ポリブタジェン等に
代表される樹脂が用いられている。これらの樹脂はいず
れも放射線照射前においては素子間隙を素子同士の接触
を防止するに足るだけの引き伸ばしが可能であるが、素
子小片のピックアップの際、画像認識をともなうピック
アップ装置にて必要とされる素子小片の大幅な間隙量を
とろうとするヒ、フィルム自体のネッキング（フィルム
延伸時、力の伝播性不良による部分的な伸びの発生）や
放射線照射後の延伸では放射線照射によるフィルム劣化
が起こりゴム状弾性を失ってしまうため、それは実際上
不可能であった。また、この粘着テープの粘着剤は特開
昭６Ｃ）−１９６９５号に開示されたものと同じであり
、放射線照射後の粘着剤は、三次元網状化構造により、
ゴム状弾性が全くないものとなる。

このため粘着テープの延伸は放射線照射前に行うことが
必要とされている。しかし、この方法では従来より各半
導体メーカーにて使用され〔いる素子小片のピックアッ
プ装置では対応することが不可能であった。（ピックア
ップ装置に延伸する機構が組み込まれており、通常、放
射線照射は粘着テープを延伸する工程以前となる。）本
発明は、上記の問題点を解決した放射線硬化性粘着テー
プを提供することを目的とする。すなわち放射線照射後
の粘着テープにおいてゴム状弾性（柔軟性）を維持する
とヒもに、素子固定粘着力の低減をも可能とした、放射
線照射後に粘着テープ延伸を行うことのできる放射線硬
化性粘着テープを提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明者らはこのような従来の放射線硬化性粘着テープ
の欠点を克服するため種々検討を重ねた結果、放射線透
過性で、かつゴム状弾性を有するフィルム状支持体上に
、放射線硬化性粘着剤層を設けてなる放射線硬化性粘着
テープの放射線硬化後の引張強伸度特性において５０％
モジュラスと２５％モジュラスの比が少なくとも１．２
であり、かつ２５％モジュラスが１００ｋｇ／ｃｎｆ以
下となる場合に、放射線照射後粘着テープの延伸による
素子間隙の拡大が可能となることを見いだした。また、
これは、所定のゴム状弾性を有するフィルム状支持体を
用い、これに塗工するアクリル系粘着剤中に、所定比率
である種の放射線重合性シアヌレート化合物またはイソ
シアヌレート化合物と放射線重合性炭素−炭素二重結合
を二個有する直鎖状のポリエステル系またはポリオール
系のウレタンアクリレート化合物を用いることにより、
粘着剤が放射線硬化によって硬化し、三次元網状化構造
を生成すると同時に、上記ゴム状柔軟性を維持すること
ができ、放射線照射後に、素子固定粘着力の安定した降
下を引き起こすだけでなく、粘着テープの延伸による素
子間隙の拡大が可能となることを見出し、この知見に基
づき本発明を完成するに至った。

すなわち本発明は、放射線透過性で、かつゴム状弾性を
有するフィルム状支持体上に、放射線硬化性粘着剤層を
設けてなる放射線硬化性粘着テープにおいて該粘着テー
プの放射線硬化後の引張強伸度特性において５０％モジ
ュラスと２５％モジュラスの比が少なくとも１．２であ
り、かつ２５％モジュラスが１００ｋｇ／ｃｒｆ以下と
なる放射線硬化性粘着テープで、放射線透過性でありゴ
ム状弾性を有するフィルム状支持体上に、アクリル系粘
着剤１００重量部に対し炭素−炭素二重結合を有するシ
アヌレート化合物及びインシアヌレート化合物の群から
選ばれた少なくとも一種の化合物１０〜２００重量部と
炭素−炭素二重結合を二個有する直鎖状のポリエステル
系またはポリオール系のウレタンアクリレート化合物５
〜１００重量部とを含有する放射線硬化性粘着剤層を設
けてなることを特徴とする放射線硬化性粘着テープを提
供するものである。

なお、ここで放射線とは、紫外線のような光線、または
電子線などの電離性放射線をいう。

本発明に用いられるアクリル系粘着剤はアクリル酸又は
メタクリル酸のエステルを主な構成単位とする単独重合
体またはアクリル酸又はメタクリル酸あるいはそのエス
テルあるいはその酸アミドなどおよびその他の共重合性
コモノマーとの共重合体またはこれら重合体の混合物で
ある。そのモノマーおよびコモノマーとしては例えばア
クリル酸もしくはメタクリル酸のアルキルエステル、例
えばメチルエステル、エチルエステル、ブチルエステル
、２−エチルヘキシルエステル、オクチルエステル、グ
リシジルエステル、ヒドロキシメチルエステル、２−ヒ
ドロキシエチルエステル、ヒドロキシプロピルエステル
、およびアクリル酸もしくはメタクリル酸のアミドおよ
びＮ−置換アミド例えばＮ−ヒドロキシメチルアクリル
酸アミドもしくはメタクリル酸アミドなどがあげられる
。

これに必要に応じてポリイソシアネート化合物またはア
ルキルエーテル化メラミン化合物の如き架橋剤が配合さ
れたものを使用できる。

本発明の放射線硬化性粘着剤に用いられるシアヌレート
またはイソシアヌレート化合物は、分子内にトリアジン
環またはイソトリアジン環を有し、さらに放射線重合性
の炭素−炭素二重結合を有する化合物であり、モノマー
、オリゴマーまたはこれらの混合物であっても差し支え
ない。トリアジン環またはイソトリアジン環を有する化
合物は一般にハロシアン化合物、ジアニリン化合物、ジ
イソシアネート化合物などを原料として常法の環化反応
によって合成することができる。さらにこのようにして
合成された化合物に放射線重合性炭素−炭素二重結合含
有基、例えばビニル基、アリル基、アクリロキシ基もし
くはメタクリロキシ基などを含む官能基を導入して本発
明に使用される化合物が得られる。

本発明では上記の点以外はシアヌレートまたはイソシア
ヌレート化合物については特に制限はないがトリアジン
環又はイントリアジン環に導入された炭素−炭素二重結
合含有基がいわゆる剛直な分子構造、例えば芳香環、異
部環基等を含まないものが望ましい、その理由はこれら
によって放射線重合性化合物に過度の剛直性を与えては
、この発明の粘着剤が放射線硬化によって過度に脆化す
るからである。したがって炭素−炭素二重結合とトリア
ジン環またはイソトリアジン環との間の結合基は原子の
自由回転性に富む基を含むことが好ましい。これらの基
を例示すると、アルキレン基、アルキリデン基などの脂
肪族基などであり、これらには−〇−１−ＯＣＯ−１−
ＣＯＯ−−Ｎ　ＨＣ０−１−ＮＨＣＯＯ−結合などを有
していてもよい。なおこの結合基が−Ｏ−を介してトリ
アジン環に結合する場合には、この−〇−に結合する３
つのアルキレン基、アルキリデン基などのうち少なくと
も一つはその炭素数は２以上がよい。

これらのシアヌレートまたはイソシアヌレート化合物の
具体例としては、２−プロペニル、ジー３−ブテニルシ
アヌレート、２−ヒドロキシエチル　ビス（２−アクリ
ロキシエチル）インシアヌレート、トリス（アクリロキ
シエチル）インシアヌレート、トリス（メタクリロキシ
エチル）イソシアヌレート、ビス（２−アクリロキシエ
チル）２−　（５−アクリロキシ）へキシロキシエチル
イソシアヌレート、トリス（１４３−ジアクリロキシー
２−プロピルーオキシカルボニルアミノ−〇−ヘキシル
）イソシアヌレート、トリス（ｉ−アクリロキシ−３−
メタクリロキシ−２−プロピル−オキシカルボニルアミ
ノ−ｎ−ヘキシル）イソシアヌレートなどがあげられる
。

本発明に用いられる上記シアヌレート化合物またはイソ
シアヌレート化合物のモノマーまたはオリゴマーの繰り
返し単位当りの放射線重合性炭素−炭素二重結合の数は
通常少なくとも２個有するのがよく、より好ましくは２
〜６個がよい。この二重結合の数が２個未満では放射線
照射により粘着強度を低下せしめるに十分な架橋度が得
られず、また６個を越えては放射線硬化後の粘着剤の脆
化を過度にすることがある。

本発明の放射線硬化性粘着剤中のシアヌレ−１・化合物
又はイソシアヌレート化合物の配合量は通常上記アクリ
ル系粘着剤１００重量部に対して１０〜２００重量部で
ある。この配合量が少なすぎると放射線硬化性粘着剤の
放射線照射による三次元網状化が不十分となり、アクリ
ル系粘着剤の流動性阻止を制御することができず、容易
に素子をピックアップすることができる程度に素子固定
粘着力が低下せず好ましくない、また逆にこの配合量が
多すぎるとアクリル系粘着剤に対する可塑化効果が大き
く、ダイシング時の回転丸刃による切断衝撃力または洗
浄水の水圧に耐え得るだけの十分な素子固定粘着力が得
られなくなる。

また本発明の放射線硬化性粘着剤に用いられるウレタン
アクリレート化合物は、放射線重合性の炭素−炭素二重
結合を２個有し、放射線硬化後の物性においてゴム状弾
性を持つ化合物であり、その分子構造として、直鎖状の
脂肪族からなり分子内にウレタン結合を有するポリエス
テルまたはボノオール等のウレタンアクリレート系化合
物であり、モノマーまたはオリゴマーであっても差し支
えない。このような化合物としては例えば、メタクリル
酸、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキ
シエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアク
リレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレ−１・、
ジメチルアミノエチルアクリレート、ジメチルアミノエ
チルメタクリレート、ジメチルアミノエチルアクリレー
ト、ジエチルアミノエチルメタクリレート、ポリエチレ
ングリコールアクリレート等と多価イソシアネート化合
物、例えば２．４−トリレンジイソシアネート、２．６
−）リレンジイソシアネート、１，３−キシリレンジイ
ソシアネート、１．４−キシレンジイソシアネート、ジ
フェニルメタン−４，４−ジイソシアネート等を原料と
して合成することができる。

このウレタンアクリレート系化合物は、その分子構造中
にいわゆる剛直な分子構造、例えば芳香環、異部環基等
を含まないものが好ましい。その理由は、これらによっ
て放射線重合性化合物に剛直性を与えては、この発明の
粘着剤が放射線硬化により過度に脆化し、素子ピックア
ップ時の粘着テープ延伸による素子間隙の引き延ばしが
十分に行えないからである。したがって末端の炭素−炭
素二重結合間の結合基は、原子の自由回転性に富む基を
含むことが好ましい。これらの基を例示すれば、アルキ
レン基、アルキリデン基等の脂肪族基等であり、これら
には、−〇−１−ＯＣＯ−−ＣＯＯ−１−ＮＨＣＯ−−
ＮＨＣＯＯ−結合等を有していてもよい。

本発明の放射線硬化性粘着テープにおける放射線硬化後
のゴム状弾性とは、通常、引張強伸度測定（ＪＩＳ−２
０２３７）にて５０％モジュラス（２０℃）と２５％モ
ジュラス（２０℃）の比で少なくとも１，２以上であり
、２５％モジュラス（２０℃）で１００ｋｇ／Ｃポ以下
となるものである。

本発明の放射線硬化性粘着剤中のウレタン系アクリレー
ト化合物の配合量は、通常アクリル系粘着剤１００重量
部に対して５〜１００重量部であり、なおかつ、シアヌ
レート化合物又はイソシアヌレート化合物の配合量に対
して、１００％以下、好ましくは５０％以下とするのが
よい。

ただし、この配合量が少なすぎると、放射線硬化性粘着
剤の放射線照射による三次元網状化構造に適度な柔軟性
を付与することができず、素子同士の間隙を十分に引き
延ばすことができなくなり、素子損傷の原因となり好ま
しくない。また逆にこの配合量が多すぎると、アクリル
系粘着剤に対する可塑化効果が大きくなるとともに、放
射線硬化性粘着剤の放射線照射による三次元網状化が不
十分となり素子固定粘着力が十分に低下せず好ましくな
い。

なお、本発明の放射線硬化性粘着テープを紫外線照射に
よって硬化させる場合には、光重合開始剤、例えばイソ
プロピルベンゾインエーテル、インブチルベンゾインエ
ーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、クロロチ
オキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオ
キサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチ
ルケタール、α−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケ
トン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等を併用
することができる。これらのうち１種あるいは２種以上
を粘着剤層に添加することによって、硬化反応時間また
は紫外線照射量が少なくとも効率よく硬化反応を進行さ
せ、素子固定粘着力を低下させることができる。

さらに本発明に用いられる放射線硬化性粘着剤には、必
要に応じて放射線照射後の素子固定粘着力を良好に低下
させるため放射線硬化性のシリコンアクリレート又はシ
リコンメタアクリレートあるいは被着体である半導体ウ
ェハの表面に金属物質のコーティングされている特殊処
理面に対しても同様に素子固定粘着力を低下させるため
、イオン封鎖剤等を、またタッキファイヤ−１粘度調整
剤、界面活性剤などあるいはその他の改質剤および慣用
成分を配合することができる。

本発明に使用される放射線透過性のゴム状弾性を有する
フィルム状支持体としては、少なくとも二種以上の樹脂
にて構成されるものが好ましい。

これは例えばゴム状弾性を有する樹脂層（以下樹脂層Ａ
という）に他の樹脂層（以下樹脂層Ｂという）を組合せ
てゴム状弾性を有するフィルム状支持体を形成したもの
である。樹脂層Ｂの機能はフィルム状支持体の強伸度特
性を調整することで、放射状延伸の均一性を付与して延
伸性に優れた粘着テープを与えることにあり、支持体と
放射線硬化性粘着剤との接着性を良好とし、さらに支持
体の背面層に使用することでブロッキングを防止すると
ともに樹脂層Ａの放射線による劣化を防ぐことにある。

本発明において、フィルム状支持体のゴム状弾性は通常
、引張強伸度測定（ＪＩＳ−２０２３７）における５０
％モジュラス（２０℃）と２５％モジュラス（２０℃）
の比で少なくとも１．２以上、より好ましくは１．５以
上であり、２５％モジュラス（２０℃）で７０ｋｇ１ｃ
ｒｄ以下となるものである。

本発明に使用されるフィルム状支持体中の樹脂層Ａとし
ては、ゴム状弾性を有する熱可塑性樹脂が好ましく用い
られ、例えば、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレ
ート、ジノニルフタレート、ジイソデシルフタレートの
ようなフタル酸エステル、その他ポリエステル系可塑剤
、エポキシ系可塑剤、トリメリット系可塑剤を添加した
軟質ポリ塩化ビニル、ウレタン−塩化ビニル共重合体、
エチレン−塩化ビニル共重合体、酢酸ビニル−塩化ビニ
ル共重合体、エチレン−酢酸ビニル−塩化ビニル共重合
体等の塩化ビニル系共重合体、及びこれらの混合物、ま
たは他の樹脂及びエラストマーとの混合物などがあげら
れる。上記の共重合体は、グラフト共重合体を含むこと
はもちろんであり、上記混合物はいわゆるアロイを含む
ことももちろんである。

さらに、二次可塑剤兼安定剤としてエポキシ化大豆油は
エポキシ化アマニ油等のエポキシ化植物油を添加するこ
ともできる。他の安定剤、滑剤、加工助剤としては公知
のものが使用できる。

その他のゴム状弾性を有する熱可塑性樹脂としては結晶
化度が５−５０％、好ましくは１５〜２５％であり、１
．２結合を９０％以上含む平均分子量が８万以上のシン
ジオタクチック１，２−ポリブタジェン、ビカット軟化
点７０℃以下、ショアーＤ型硬度が５５以下のポリブテ
ン−１、ショアーＤ型硬度が５５以下の熱可塑性ポリウ
レタン、ポリエステルエラストマー、スチレン−ブタジ
ェン−スチレン又はスチレン−イソプレン−スチレンブ
ロックコーポリマーを水素添加した飽和熱可塑性エラス
トマーさらにこれとポリエチレン、ポリプロピレン又は
エチ１／ンーαエチレン共重合体との混合物が使用でき
る。

本発明に用いられるフィルム状支持体には例えばゴム状
弾性を有する熱可塑性樹脂に組合わせて他の樹脂を用い
ることができるが、この樹脂層Ｂは放射線透過性で柔軟
性を有することが必要である。このような樹脂として使
用し得るものとしては、低密度ポリエチレン、直鎖低密
度ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレ
ン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリメチ
ルベンテン、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エ
チレン−アクリル酸メチル共重合体、エチレン−アクリ
ル酸共重合体、アイオノマーなとのα−オレフィン単独
重合体又は共重合体あるいはこれらの混合物等が挙げら
れ、フィルム状支持体の要求特性に応じて任意に選ぶこ
とができる。

この際、樹脂層Ａ、すなわちゴム状弾性を有する熱可塑
性樹脂、が中間層となり、樹脂層Ｂが円外層となるのが
好ましい、この場合フィルム状支持体の放射線硬化性粘
着剤層の接着面及び支持体背面の樹脂層としては、前出
の樹脂より任意に選ぶことができるが、接着面に対して
はエチレン系共重合体の共重合樹脂含量が５％以上（重
量％を示す。以下同様）のものを使用し、支持体背面に
は、接着面とのブロッキング等を防止するため低密度ポ
リエチレン、直鎖低密度ポリエチレン、ポリプロピレン
等の単独重合体又唸エチレン系共乗合体の共重合樹脂含
量が接着面のそれと同じかあるいは少ないものを使用す
ることが好ましい。またフィルム表面に微細な凹凸を施
したマット処理面とすることも有効である。

フィルム状支持体の厚みは、強伸度特性、放射線透過性
の観点から通常３０〜３００μｍが適当である。このう
ち樹脂層Ａの厚さは、フィルム状支持体の要求特性に応
じて任意に設定されるが、通常フィルム状支持体の総厚
に対して３０％以上が好ましく、５０〜９０がより好ま
しい。

このフィルム状支持体の製法としては、従来公知の共押
出法、ラミネート法などが用いられ、この際通常のラミ
ネートフィルムの製造において普通に行われているよう
に、樹脂層Ａと樹脂層Ｂとの間に接着剤を塗布してもよ
い。このような接着剤としては、エチレン−酢酸ビニル
共重合体又はこれをマレイン酸変性したもの等、公知の
接着剤を使用することができる。

このフィルム状支持体上の放射線硬化性粘着剤層の厚さ
は通常２〜５０ｕｍとする。

（実施例） 以下、本発明を実施例に基づきさらに詳細に説明する。

実施例１ アクリル系粘着剤（２−エチルヘキシルアクリレートと
ｎ−ブチルアクリレートとの共重合体）１００重量部に
ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン社製、商
品名コロネートＬ）３重量部、イソシアヌレート化合物
としてトリス−２−アクリロキシエチルイソシアヌレー
ト８０重量部及びウレタンアクリレート系化合物（日本
合成化学工業社製、商品名ゴーセラックＵＶ−３０００
Ｂ）２０重量部を添加し、さらに光重合開始剤としてα
−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン１重量部を
添加混合して放射線硬化性粘着剤を調製した。この放射
線硬化性粘着剤を、平均重合度１０５０のポリ塩化ビニ
ル単独重合体１００重量部にポリエステル系可塑剤（分
量２０００）４５重量部エポキシ化大豆油５重量部を添
加した軟質ポリ塩化ビニルを中間層とし、粘着剤の接着
面に酢酸ビニル含量１５％のエチレン−酢酸ビニル共重
合体、また背面層に酢酸ビニル含量３％のエチレン−酢
酸ビニル共重合体とし、さらに中間層と円外層の接着層
として酢酸ビニル含量２５％のエチレン−酢酸ビニル共
重合体を使用し、共押出加工することによって得られた
厚さ７０μｍのフィルム状支持体の酢酸ビニル含量１５
％のエチレン−酢酸ビニル共重合体側をコロナ処理して
、乾燥後の粘着剤層厚さが１０μｍとなるように塗工し
、放射線硬化性粘着テープを得た。この粘着テープのフ
ィルム状支持体のモジュラスを第１表に示した。この粘
着テープの紫外線照射後のモジュラスを下記第２表に示
した。

上記放射線硬化性粘着テープに直径５インチの大きさの
シリコンウェハを被着体とし、ＪＩＳ−２０２３７に基
づき紫外線照射前後の粘着力を測定した（９０°剥離、
剥離速度５０ｍｍ／ｍｉｎ、以下の実施例、比較例はこ
の方法による）、この際、粘着テープに貼合するウェハ
の表面状態は、鏡面、及びラッピング＃６００仕上げ面
（表面状態がＵＳメツシュ＃６００相当の微細な凹凸を
有する）の２つの面状態とした。

さらに、上記の粘着テープに固定した直径５インチのシ
リコンウェハをグイシングソーで３×３ｍｍの大きさに
フルカットし、紫外線硬化後、ウェハ拡張装置（エアー
圧２．０　ｋ　ｇ／ｃｒｆ）にて延伸した際の素子間隙
量を測定し素子間隙の均一性をみた。これらの結果を下
記第３表に示した。

実施例２ アクリル系粘着剤（実施例１と同じもの）１００重量部
に５ポリイソシアネ一ト化合物（実施例１と同じもの）
３重量部イソシアヌレート化合物として、トリス−２−
アクリロキシエチルイソシアヌレート６０重量部及びウ
レタンアクリレート系化合物（三菱レーヨン社製、商品
名ダイヤビームＵＫ−６０３８）２０重量部、シリコン
アクリレート化合物（ＵＣＢ社製、商品名Ｅｂｅｃｒｙ
３６０）０．３重量部を添加し、さらに光重合開始剤と
してα−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン１重
量部を添加混合して、放射線硬化性粘着剤を調製した。

この放射線硬化性粘着剤を実施例１と同じフィルム状支
持体上に同様にして塗工し、放射線硬化性粘着テープを
得た。この粘着テープの紫外線照射後のモジュラスを下
記第２表に示した。

実施例３ 放射線硬化性粘着テープのフィルム状支持体として、１
，２−ポリブタジェン（日本合成ゴム■製、ＪＳＲ−Ｒ
Ｂ８２０）からなる主層（厚さ６０μｍ）を中間層とし
、その両側に副層とじて片面にエチレン−酢酸ビニル共
重合体（酢酸ビニル含量３％）を厚さ２０μｍで、他の
片面にエチレン−酢酸ビニル共重合体（酢酸ビニル含量
１０％）を２０μｍの厚さで共押出加工することによっ
て得られた厚さ１００μｍのフィルム状支持体の副層の
うち酢酸ビニル含量の多い共重合体の側にコロナ処理を
施し、この上に実施例１と同様に同じ粘着剤を乾燥後の
厚さが１０μｍとなるように塗工し、放射線硬化性粘着
テープを得た。この粘着テープのフィルム状支持体のモ
ジュラスを下記第１表に示した。また紫外線照射後のモ
ジュラスを下記第２表に示した。

比較例１ アクリル系粘着剤（実施例１と同じもの）１００重量部
に、ポリイソシアネート化合物（実施例１と同じもの）
３重量部と、イソシアヌレート化合物（実施例１と同じ
もの）８０重量部を添加し、さらに光重合開始剤（実施
例１と同じもの）１重量部を添加混合した粘着剤を用い
た以外は実施例１と同様にして放射線硬化性粘着テープ
を作製した。この粘着テープの紫外線照射後のモジュラ
スを下記第２表に示した。

比較例２ 放射線硬化性粘着テープのフィルム状支持体として、厚
さ７０ＬＬｍの高密度ポリエチレンフィルム単独層を使
用した以外は、実施例１と同様にして放射線硬化性粘着
テープを作製した。この粘着テープのフィルム状支持体
のモジュラスを測定し下記第１表に示した。

比較例３ アクリル系粘着剤（実施例１ヒ同じもの）１００重量部
に、ポリイソシアネート化合物（実施例１と同じもの）
３重量部と、インシアヌレート化合物（実施例１と同じ
もの）６０重量部及びテトラエチレングリコールジアク
リレート２０重量部を添加し、さらに光重合開始剤（実
施例１と同じもの）１重量部を添加混合した接着剤を用
いた以外は実施例１と同様にして放射線硬化性粘着テー
プを作製した。この粘着テープの紫外線照射後のモジュ
ラスを下記第２表に示した。

比較例４ アクリル系粘着剤（実施例１と同じもの）１００重量部
に、ポリイソシアネート化合物（実施例１と同じもの）
８０重量部を添加し、さらに光重合開始剤（実施例１と
同じもの）１重量部を添加混合した粘着剤を、厚さ１０
０μｍの１．２−ポリブタジエン（実施例３と同じもの
）の片面にコロナ処理を施し、この上に乾燥後の粘着剤
層厚さが１１０１Ｌとなるように塗工し、放射線硬化性
粘着テープを作製した。

この粘着テープの紫外線照射後のモジュラスを下記第２
表に示した。

この実施例２．３及び比較例１〜４の粘着テープについ
て実施例１と同様にして粘着力試験とテープ延伸試験（
素子間隔及びピックアップ装置での画像認識）を行った
。その結果を第３表に示した。

（発明の効果） 本発明の放射線硬化性粘着テープを半導体ウニ八等の切
断加工に用いた場合、回転丸刃による素子切断時に素子
小片の離脱や位置ずれが生ずることの無い十分に固定す
ることができるだけの素子固定粘着力を有し、放射線照
射後には粘着剤層が三次元網状構造をとり、なおかつ柔
軟性を有するために、素子のピックアップの際には十分
に素子固定粘着力を低下せしめることができ、また延伸
性が優れ素子小片間の間隙を均一に広げることができる
ため素子を損傷することなく容易にピックアップするこ
とができるという優れた効果を奏する。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）放射線透過性で、かつゴム状弾性を有するフィル
   ム状支持体上に、放射線硬化性粘着剤層を設けてなる放
   射線硬化性粘着テープにおいて、該粘着テープの放射線
   硬化後の引張強伸度特性における５０％モジュラスと２
   ５％モジュラスの比が少なくとも１．２であり、かつ２
   ５％モジュラスが１００ｋｇ／ｃｍ＾２以下であること
   を特徴とする放射線硬化性粘着テープ。
2. （２）放射線硬化性粘着テープのフィルム状支持体とし
   て５０％モジュラスと２５％モジュラスの比が少なくと
   も１．２であり、２５％モジュラスが７０ｋｇ／ｃｍ＾
   ２以下であるものを使用した請求項（１）記載の放射線
   硬化性粘着テープ。
3. （３）放射線硬化性粘着テープの放射線硬化性粘着剤層
   がアクリル系粘着剤１００重量部に対し炭素−炭素二重
   結合を有するシアヌレート化合物及びイソシアヌレート
   化合物の群から選ばれた少なくとも一種の化合物１０〜
   ２００重量部と炭素−炭素二重結合を二個有する直鎖状
   のポリエステルまたはポリオール系のウレタンアクリレ
   ート化合物５〜１００重量部とを含有する請求項（１）
   記載の放射線硬化性粘着テープ。