JPH0367139A

JPH0367139A - 圧力検出器

Info

Publication number: JPH0367139A
Application number: JP20315689A
Authority: JP
Inventors: Hideya Yagoura; 御秡如　英也
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1989-08-04
Filing date: 1989-08-04
Publication date: 1991-03-22
Anticipated expiration: 2013-11-11
Also published as: JP2823889B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、例えば圧力センサが半導体素子である場合に
使用して好適な圧力検出器に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種の圧力検出器は第４図に示すように構成さ
れている。これを同図に基づいて説明すると、同図にお
いて、符号１および２で示ずものは上下２つに分割され
た検出器ボディである。これら雨検出器ボディ１，２の
うち上部の検出器ボディ１内は、隔壁３によって左右２
つのセンサ室４．５に画成されている。一方、下部の検
出器ボディ２内は、前記両センサ室４．５に各々半導体
圧力センサ６，７を介して隣接しかつ外部に開口する２
つの導圧路８．９が設けられている。これら両温圧路８
，９は、各々連絡路ｉｏ、　ｉｉによって前記センサ室
５．４に連通されている。１２は前記雨検出器ボディ１
，２間に介装され前記半導体圧力センサ６，７にワイヤ
１３．１４によって接続するリードフレームである。な
お、図中符号Ａ、Ｂは前記両温圧路８，９に対する被測
定流体ａ、ｂの導入方向を示す。なお、６ａおよび６ｂ
は前記半導体圧力センサ６，７のダイアフラム部である
。

このように構成された圧力検出器においては、各圧力Ｐ
、、　Ｐ、が互いに異なる２つの被測定流体ａ。

ｂを導圧路８，９に導入することにより、半導体圧力セ
ンサ６，７の各出力の和として流体圧を検出することが
でき、外部の振動等によるノイズに対して強い検出器を
得ることかできる。

このとき、導圧路８内に導入された被測定流体ａは、半
導体圧力センサ６の裏面に圧力を印加すると共に、連絡
路１０からセンサ室５内に流入して半導体圧力センサ７
の表面に圧力を印加する。

一方、導圧路９内に導入された被測定流体すは、半導体
圧力センサ７の裏面に圧力を印加すると共に、連絡路１
１からセンサ室４内に流入して半導体圧力センサ６の表
面に圧力を印加する。

ここで、被測定流体ａ、ｂの圧力り、Ｐｚがｐ、＞Ｐ２
である場合に、半導体圧力センサ６，７のダイアフラム
部６ａ、　７ａは、上側と下側に凸状態となる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、この種の圧力検出器においては、半導体圧力
センサ６，７の表面（ダイアフラム面）が被測定流体ａ
、ｂに晒される構造であるため、被測定流体ａ、ｂが腐
蝕性を有する場合には半導体圧力センサ６，７が劣化し
易くなり、長期間に亘り半導体圧力センサ６．７の信頼
性を維持することができないという問題があった。また
、半導体圧力センサ６，７およびワイヤ１３．１４を保
護する必要上、コーテイング材が通常使用されるが、こ
のコーテイング材がダイアフラム部６ａ、　７ａに流れ
出して圧力センサとしての感圧能力が低下するという問
題もあった。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、圧力
センサの長寿命化を図ることができると共に、圧力セン
サとしての感圧能力を高めることができる圧力検出器を
提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る圧力検出器は、隔壁によって画成された２
つのセンサ室およびこれら両センサ室に各圧力センサを
介して隣接する２つの導圧路を有する検出器ボディを備
え、この検出器ボディの両センサ室に連通ずる通路を隔
壁に設け、この通路および両センサ室に圧力媒体液を内
封したものである。

また、本発明の別の発明に係る圧力検出器は、圧力セン
サを内蔵するセンサ室およびこのセンサ室の内外に開口
する開口部を有する検出器ボディと、この検出器ボディ
に開口部を閉塞するように設けられ流体圧を受けるダイ
ヤフラムとを備え、このダイヤフラムから圧力センサの
一側に流体圧を伝達する圧力媒体液をセンサ室に内封し
たものである。

〔作　用〕

本発明においては、圧力媒体液の選択によって圧力セン
サのダイアフラム面を外部から保護することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細に
説明する。

第１図は本発明に係る圧力検出器を示す断面図である。

同図において、符号２１で示すものは円筒状の検出器ボ
ディで、上下に分割形成された２つのケース２２．２３
からなり、内部には隔壁２４によって画成された２つの
センサ室２５．２６およびこれら両センサ室２５．２６
に各々半導体圧力センサ２７．２８を介して隣接する２
つの導圧路２９．３０が設けられている。この検出器ボ
ディ２１の隔壁２４には、前記両センサ室２５．２６に
連通ずる通路３１が設けられている。そして、この通路
３１および前記両センサ室２５、２６には圧力媒体液３
２が内封されている。３３は例えばリードフレームやワ
イヤボード等の基板で、前記両ケース２２．２３間に介
装され、かつ前記半導体圧力センサ２７．２Ｂにワイヤ
３４．３５を介して接続されている。なお、図中符号Ａ
、Ｂは前記両温圧路２９．３０に対する被測定流体ａ、
ｂの導入方向を示す。また、２７ａおよび２８ａは前記
半導体圧力センサ２７．２８のダイアフラム部である。

このように構成された圧力検出器においては、圧力媒体
液３２を選択することにより半導体圧力センサ２７．２
８のダイアフラム面を外部から保護することができるか
ら、半導体圧力センサ２７．２８の劣化を防止すること
ができる。

また、本実施例において、圧力媒体液３２の選択によっ
て半導体圧力センサ２７．２８のダイヤフラム面を保護
できることは、従来必要とした半導体圧力センサ２７．
２８およびワイヤ３４．３５のコーテイング材が不要に
なる。

次に、本発明による圧力検出器の圧力検出について説明
する。

すなわち、各圧力Ｐ、、　ＰＺが互いに異なる２つの被
測定流体ａ、ｂを導圧路２９．３０に導入することによ
り、半導体圧力センサ２７．２８の各出力の和として流
体圧を検出することができる。

このとき、導圧路２９内に導入された被測定流体ａは、
半導体圧力センサ２７の裏面に圧力を印加する。

一方、導圧路３０内に導入された被測定流体すは、半導
体圧力センサ２８の裏面に圧力を印加する。

ここで、被測定流体ａ、ｂの圧力ｐ、、　ｐ２がｐ、＞
Ｐ２である場合には、この差圧力ΔＰによって半導体圧
力センサ２７．２８のダイアフラム部２７ａ　、　２８
ａが上側と下側に凸状態となる。

因に、本実施例における圧力検出器の組立方法について
説明する。

すなわち、先ず基板３３に半導体圧力センサ２７゜２８
をワイヤ３４．３５によって接続し、次いでこれを上下
両ケース２２．２３のうち下部のケース２３に固定し、
しかる後センサ室２５．２６が気密空間となるようにケ
ース２２を取り付けてから、センサ室２５．２６および
通路３１内に圧力媒体液３２を封入することにより行わ
れる。

なお、本実施例においては、半導体圧力センサ２７、２
Ｂのダイヤフラム面を水平方向に位置付ける場合を示し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、第２図
に示すように各ダイヤフラム面を互いに対向させて鉛直
方向に位置付けても実施例と同様の効果を奏する。同図
において、符号５１〜５３は３つの検出器ボディ、５４
はこれら検出器ボディ５１〜５３のうち中央部の検出器
ボディ５２内に設けられ通路５５を有する隔壁、５６お
よび５７はこの隔壁５４によって画成されたセンサ室、
５８および５９はこれら両センサ室５６．５７に各々半
導体圧力センサ６０、６１を介して隣接する導圧路、６
２および６３はこれら両温圧路５８．５９に連通ずる導
圧孔である。また、６４は接着層である。

このように構成された圧力検出器においては、通路５５
の全長を短縮することができるから、検出時の圧力損失
を小さくすることができる。

次に、本発明の別の発明に係る圧力検出器について説明
する。

第３図は本発明の別の発明に係る圧力検出器を示す断面
図である。同図において、符号７１は半導体圧力センサ
７２を内蔵するセンサ室７３およびこのセンサ室７３の
内外に開口する開口部７４を有する検出器ボディ、７５
はこの検出器ボディ７１に開口部７４を閉塞するように
設けられ流体圧を受けるダイアフラム、７Ｇはこのダイ
アフラム７５から半導体圧力センサ７２の一例（ダイア
プラム面）に流体圧を伝達する圧力媒体液である。なお
、半導体圧力センサ７２は台座７７上に取り付けられて
おり、この台座７７と半導体圧力センサ７２間に形成さ
れる空間部７８には基準圧力となるガス（図示せず）が
内封されている。また、７９および８０はリードフレー
ムとワイヤ、８１は半導体圧力センサ７２のダイアフラ
ム部である。なお、８２は流体圧の導入方向である。

このように構成された圧力検出器においては、圧力媒体
液７６を選択することにより半導体圧力センサ７２のダ
イアフラム面を外部から保護することができるから、半
導体圧力センサ７２の劣化を防止することができる。

また、本実施例において、圧力媒体液７６の選択によっ
て半導体圧力センサ７２のダイアフラム面を保護できる
ことは、従来必要とした半導体圧力センサ７２およびワ
イヤ８０のコーテイング材が不要になる。

なお、本発明における圧力検出器による圧力検出時には
、ダイアフラム７５で受けた流体圧が圧力媒体液７６を
介して半導体圧力センサ７２のダイアフラム面に伝達さ
れる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、隔壁によって画成
された２つのセンサ室およびこれら両センサ室に各圧力
センサを介して隣接する２つの導圧路を有する検出器ボ
ディを備え、この検出器ボディの両センサ室に連通ずる
通路を隔壁に設け、この通路および両センサ室に圧力媒
体液を内封したので、また本発明の別の発明に係る圧力
検出器は、圧力センサを内蔵するセンサ室およびこのセ
ンサ室の内外に開口する開口部を有する検出器ボディと
、この検出器ボディに開口部を閉塞するように設けられ
流体圧を受けるダイヤフラムとを備え、このダイヤフラ
ムから圧力センサの一側に流体圧を伝達する圧力媒体液
をセンサ室に内封したので、圧力媒体液を選択すること
により圧力センサのダイアフラム面を外部から保護する
ことができる。したがって、圧力センサの劣化を防止す
ることができるから、圧力センサの長寿命化を図ること
ができる。また、圧力媒体液の選択によって圧力センサ
のダイヤフラム面を保護できることは、従来必要とした
圧力センサ等のコーテイング材が不要になるから、コー
テイング材のダイアフラム部への流出がなくなり、圧力
センサとしての感圧能力を高めることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る圧力検出器の一実施例を示す断面
図、第２図は他の実施例を示す断面図、第３図は本発明
の別の発明に係る圧力検出器を示す断面図、第４図は従
来の圧力検出器を示す断面図である。２１・・・・検出器ボディ、２２．２３・・・・ケース
、２４・・・・隔壁、２５．２６・・・・センサ室、２
７、２８・・・・半導体圧力センサ、２９．３０・・・
・導圧路、３１・・・・通路、３２・・・・圧力媒体液
。代　　　理　　　人　　　大　岩　増　雄第１図第　２　図第３図２

Claims

【特許請求の範囲】

（１）隔壁によって画成された２つのセンサ室およびこ
れら両センサ室に各々圧力センサを介して隣接する２つ
の導圧路を有する検出器ボディを備え、この検出器ボデ
ィの両センサ室に連通する通路を前記隔壁に設け、この
通路および前記両センサ室に圧力媒体液を内封したこと
を特徴とする圧力検出器。
（２）圧力センサを内蔵するセンサ室およびこのセンサ
室の内外に開口する開口部を有する検出器ボディと、こ
の検出器ボディに前記開口部を閉塞するように設けられ
流体圧を受けるダイヤフラムとを備え、このダイヤフラ
ムから前記圧力センサの一側に流体圧を伝達する圧力媒
体液を前記センサ室に内封したことを特徴とする圧力検
出器。