JPH0367442U - - Google Patents

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JPH0367442U
JPH0367442U JP12930189U JP12930189U JPH0367442U JP H0367442 U JPH0367442 U JP H0367442U JP 12930189 U JP12930189 U JP 12930189U JP 12930189 U JP12930189 U JP 12930189U JP H0367442 U JPH0367442 U JP H0367442U
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wafer
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peeling device
tape
release tape
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  • Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案によるウエハの保護シート剥が
し装置の第１実施例を示す斜視図、第２図は本考
案によるウエハの保護シート剥がし装置の第２実
施例を示す斜視図、第３図は従来のウエハの保護
シート剥がし装置を示す斜視図である。 １……ウエハ、２……保護シート、３……カセ
ツト、４……空カセツト、５，６……搬送体、７
，８……チヤツク、９……ウエハ吸着テーブル、
１０，１１……駆動手段、１２，１７……剥離テ
ープ接着部、１３……シート剥離部、１４……剥
離テープ、１５……供給体、１６……巻き取り体
。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエハの一側面を保護する保護シートを剥
    離テープに接着させて、保護シートをウエハから
    剥がすウエハの保護シート剥がし装置において、
    前記剥離テープを保護シートに接着させる剥離テ
    ープ接着部と、保護シートが貼られているウエハ
    を保持して前記剥離テープ接続部に対して上下動
    可能かつ横動可能なウエハ吸着テーブルとを備え
    たことを特徴とするウエハの保護シート剥がし装
    置。 (2) 前記剥離テープ接着部を保護テープに対し
    て横動可能にしたことを特徴とする請求項(1)記
    載のウエハの保護シート剥がし装置。 (3) 前記剥離テープ接着部に加熱部を備えたこ
    とを特徴とする請求項(1)記載のウエハの保護シ
    ート剥がし装置。 (4) 前記ウエハ吸着テーブルに加熱部を備えた
    ことを特徴とする請求項(1)記載のウエハの保護
    シート剥がし装置。
JP1989129301U 1989-11-07 1989-11-07 ウエハの保護シート剥がし装置 Expired - Lifetime JPH0749796Y2 (ja)

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JPH0749796Y2 JPH0749796Y2 (ja) 1995-11-13

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JPH0749796Y2 (ja) 1995-11-13

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