JPH0368237B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0368237B2 JPH0368237B2 JP61118967A JP11896786A JPH0368237B2 JP H0368237 B2 JPH0368237 B2 JP H0368237B2 JP 61118967 A JP61118967 A JP 61118967A JP 11896786 A JP11896786 A JP 11896786A JP H0368237 B2 JPH0368237 B2 JP H0368237B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- chamber
- pump chamber
- mechanical
- duct
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0021—Systems for the equilibration of forces acting on the pump
- F04C29/0028—Internal leakage control
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、オイル レス機械ポンプに関し、
各々、ポンプ室（ａ pumping chamber）内に
かみ合い回転子を含む少くとも２つの段を有する
オイルレス機械ポンプに関する。
各々、ポンプ室（ａ pumping chamber）内に
かみ合い回転子を含む少くとも２つの段を有する
オイルレス機械ポンプに関する。
このような機械ポンプについての１つの問題
は、隣接した段と段との間に生じうるガス圧力の
著しい差から生ずる。
は、隣接した段と段との間に生じうるガス圧力の
著しい差から生ずる。
このような場合、ポンプ圧送されたガスの逆漏
れの高い発生率が、段と段との間で越り易い。特
に、逆漏れのこの高い発生率は、隣接したポンプ
室を仕切る段の内壁の孔と駆動軸との間の環状の
隙間を通して起り易い。
れの高い発生率が、段と段との間で越り易い。特
に、逆漏れのこの高い発生率は、隣接したポンプ
室を仕切る段の内壁の孔と駆動軸との間の環状の
隙間を通して起り易い。
段の内壁の環状隙間によるガスの逆漏れば、ポ
ンプ出口からポンプ入口へのガスの逆流を効果的
に生じさせ、再びポンプ圧送されるべきガスの体
積を効果的に増大させ、ポンプの体積効率即ち得
られる真空度を著しく減少させる。
ンプ出口からポンプ入口へのガスの逆流を効果的
に生じさせ、再びポンプ圧送されるべきガスの体
積を効果的に増大させ、ポンプの体積効率即ち得
られる真空度を著しく減少させる。
係属中の英国特許出願No.2111126Aには、各々
独立のポンプ室内にかみ合い回転子を含む複数の
ポンプ段をもつ機械的真空ポンプが開示され、か
つクレームされている。この先行出願のポンプの
特徴としては、内部潤滑がないこと、及びポンプ
の出口端に、かみ合い瓜型の回転子を有する少く
とも２つの隣接した段があることである。
独立のポンプ室内にかみ合い回転子を含む複数の
ポンプ段をもつ機械的真空ポンプが開示され、か
つクレームされている。この先行出願のポンプの
特徴としては、内部潤滑がないこと、及びポンプ
の出口端に、かみ合い瓜型の回転子を有する少く
とも２つの隣接した段があることである。
内部の環状隙間に内部潤滑剤が存在しないこと
に関連して生ずる比較的高いガスの圧縮が、逆漏
れの発生率を更に高める。
に関連して生ずる比較的高いガスの圧縮が、逆漏
れの発生率を更に高める。
従つて、本発明の１つの目的は、このような逆
漏れが、特に乾式機械ポンプにおいて得られる真
空度に及ぼす悪影響を減少させようとすることで
ある。
漏れが、特に乾式機械ポンプにおいて得られる真
空度に及ぼす悪影響を減少させようとすることで
ある。
本発明は、その最も広い観点によれば、少なく
とも２つのポンプ室を有し、各ポンプ室は一対の
軸に取付けられた噛合する一対の回転子を収容
し、該一対の軸は１つのポンプ室を他の１つのポ
ンプ室から仕切る壁に設けられた孔を貫通し、そ
れにより孔と軸との間に環状の〓間を形成し、前
記仕切り壁には、高圧のポンプ室の出口側の環状
の〓間と該高圧のポンプ室の入口側とを連結する
ダクトが設けられていることを特徴とする機械ポ
ンプを提供する。
とも２つのポンプ室を有し、各ポンプ室は一対の
軸に取付けられた噛合する一対の回転子を収容
し、該一対の軸は１つのポンプ室を他の１つのポ
ンプ室から仕切る壁に設けられた孔を貫通し、そ
れにより孔と軸との間に環状の〓間を形成し、前
記仕切り壁には、高圧のポンプ室の出口側の環状
の〓間と該高圧のポンプ室の入口側とを連結する
ダクトが設けられていることを特徴とする機械ポ
ンプを提供する。
本発明の好ましい実施態様では、前記ダクトは
高圧のポンプ室の出口側を該ポンプ室の入口ポー
トに連結する。
高圧のポンプ室の出口側を該ポンプ室の入口ポー
トに連結する。
この場合、本発明を、係属中の英国特許出願に
開示され、クレームされたタイプの機械的真空ポ
ンプ、即ちポンプの出口における２つの隣接した
ポンプ段が、各々、逆向きに取付けられた瓜型回
転子のかみ合い対を有する機械的真空ポンプに実
施したときに本発明は特定の利点を示す。
開示され、クレームされたタイプの機械的真空ポ
ンプ、即ちポンプの出口における２つの隣接した
ポンプ段が、各々、逆向きに取付けられた瓜型回
転子のかみ合い対を有する機械的真空ポンプに実
施したときに本発明は特定の利点を示す。
前記ダクトは、仕切り壁に設けられ、少なくと
も部分的に前記軸に外接する環状の溝を含み、且
つ高圧ポンプ室の入口ポートに連通するのが適当
である。
も部分的に前記軸に外接する環状の溝を含み、且
つ高圧ポンプ室の入口ポートに連通するのが適当
である。
かくしてガス漏れは、先の段、すなわち低圧の
段の入口側に入る代わりに、高圧の段の入口側へ
戻される。
段の入口側に入る代わりに、高圧の段の入口側へ
戻される。
本発明の実施態様を、添付図面を参照して例示
として以下詳細に説明する。
として以下詳細に説明する。
図面の第１図を参照すると、１で全体的に指示
した機械ポンプはポンプハウジング２を有し、一
対の平行な駆動軸３がこのポンプ ハウジング２
を貫通している。軸３は、３対の回転子４，５，
６を該軸３と共に回転するように支持している。
回転子４，５，６は、第２図により明瞭に示され
ているように、補足し合うかみ合い対をなして、
夫々の軸３に縦に並んで配列されている。
した機械ポンプはポンプハウジング２を有し、一
対の平行な駆動軸３がこのポンプ ハウジング２
を貫通している。軸３は、３対の回転子４，５，
６を該軸３と共に回転するように支持している。
回転子４，５，６は、第２図により明瞭に示され
ているように、補足し合うかみ合い対をなして、
夫々の軸３に縦に並んで配列されている。
再び第１図を参照すると、ポンプ ハウジング
２は、図示のように、隔壁８，９によつて、３つ
の問題をへだてた独立のポンプ室１０，１１，１
２に分割され、各ポンプ室（pumping chamber）
は、ガスのポンプ圧送を生じさせる一対のかみ合
い回転子を包含している。
２は、図示のように、隔壁８，９によつて、３つ
の問題をへだてた独立のポンプ室１０，１１，１
２に分割され、各ポンプ室（pumping chamber）
は、ガスのポンプ圧送を生じさせる一対のかみ合
い回転子を包含している。
ポンプ ハウジングの一端において、軸３の
各々はタイミングギヤ１３を担持し、ハウジング
の他端において、軸の１つが、技術分野でよく知
られているタイプの適当な継手（図示せず）を介
してモータに連結されることによつて駆動可能で
ある。
各々はタイミングギヤ１３を担持し、ハウジング
の他端において、軸の１つが、技術分野でよく知
られているタイプの適当な継手（図示せず）を介
してモータに連結されることによつて駆動可能で
ある。
第２図からわかるように、ポンプ室１０内のか
み合つた一対の回転子４は、技術分野でよく知ら
れているまゆ型であり、多段ポンプ１の第１高真
空段即ち入口段の一部を形成する。
み合つた一対の回転子４は、技術分野でよく知ら
れているまゆ型であり、多段ポンプ１の第１高真
空段即ち入口段の一部を形成する。
まゆ型回転子４の輪郭は、ポンプ圧送されたガ
スのキヤリオーバ（carry over）体積を最少に
するようになつている。このことは、協働する回
転子４が、それらの相互作用中、回転子の排気側
で捕えられ、回転子の入口側へ運ばれるガスの体
積を実際上最少値に保つような輪郭であることを
意味する。室１０の排気側から入口側へ持ち越さ
れたガスは、膨張する傾向があり、従つてポンプ
の体積効率を減少させる。
スのキヤリオーバ（carry over）体積を最少に
するようになつている。このことは、協働する回
転子４が、それらの相互作用中、回転子の排気側
で捕えられ、回転子の入口側へ運ばれるガスの体
積を実際上最少値に保つような輪郭であることを
意味する。室１０の排気側から入口側へ持ち越さ
れたガスは、膨張する傾向があり、従つてポンプ
の体積効率を減少させる。
ポンプ室１０から排気されたガスは、ポンプ室
１０と１１との間の隔壁を形成する壁９に設けら
れ、室１１の入口開口部５４で終る適当なダクト
を経てポンプ室１１の入口に入る。
１０と１１との間の隔壁を形成する壁９に設けら
れ、室１１の入口開口部５４で終る適当なダクト
を経てポンプ室１１の入口に入る。
第１図を再び参照すると、ポンプ室１１内の回
転子５は、技術分野でよく知られているかみ合い
瓜型である。入口開口部５４から中間圧力室１１
に入るガスは、ポンプ室１１，１２との間の隔壁
を形成する壁８に設けられ、ポンプ室１２の入口
開口部としても作用する出口開口部２２へポンプ
輸送される。図示していないけれども、ポンプ室
の入口開口部及び出口開口部は、弓形スロツトの
形である。
転子５は、技術分野でよく知られているかみ合い
瓜型である。入口開口部５４から中間圧力室１１
に入るガスは、ポンプ室１１，１２との間の隔壁
を形成する壁８に設けられ、ポンプ室１２の入口
開口部としても作用する出口開口部２２へポンプ
輸送される。図示していないけれども、ポンプ室
の入口開口部及び出口開口部は、弓形スロツトの
形である。
比較的高圧のポンプ室１２に入るガスは、一対
のかみ合い回転子６によつて室１２の排気口１４
に、そして、必要ではないが好ましくは、係属中
の英国特許出願No.2111126Aに開示されクレーム
された方法でポンプ効率を改善するのに有効な一
方向弁１６を経て大気に圧送される。
のかみ合い回転子６によつて室１２の排気口１４
に、そして、必要ではないが好ましくは、係属中
の英国特許出願No.2111126Aに開示されクレーム
された方法でポンプ効率を改善するのに有効な一
方向弁１６を経て大気に圧送される。
図示したポンプが乾式ポンプ、即ち内部流体潤
滑設備を含まないポンプである場合には、ポンプ
室１２内の一対のかみ合い回転子６によつて圧縮
されたガスは、主として隔壁８，９の孔と軸３と
の間の環状隙間を通してポンプ室１１の中へ逆漏
れする傾向がある。
滑設備を含まないポンプである場合には、ポンプ
室１２内の一対のかみ合い回転子６によつて圧縮
されたガスは、主として隔壁８，９の孔と軸３と
の間の環状隙間を通してポンプ室１１の中へ逆漏
れする傾向がある。
このようなガスの逆漏れは、対の回転子５，６
の逆向きのために、このようなガスがポンプ室１
１の入口側へ膨張するので、体積でポンプ効率に
特に影響を及ぼす。
の逆向きのために、このようなガスがポンプ室１
１の入口側へ膨張するので、体積でポンプ効率に
特に影響を及ぼす。
この逆漏れの効果を改善するために、隔壁８
は、第１図に示すように、軸の領域に、円周方向
に連続な溝５１を備えている。溝５１は、これ又
隔壁８に設けられたダクト又は孔５２を介して互
に連通し、かつ移送口（出口開口部）２２と連通
している。
は、第１図に示すように、軸の領域に、円周方向
に連続な溝５１を備えている。溝５１は、これ又
隔壁８に設けられたダクト又は孔５２を介して互
に連通し、かつ移送口（出口開口部）２２と連通
している。
ポンプの運転中、ガスがポンプ室１０，１１，
１２を通して低圧端から高圧端へ圧送されている
とき、室１２の最高圧力の出口端で回転子６によ
つて圧縮されたガスは、隔壁８内の環状隙間を通
して、特に高圧の送り出し側出口１４に最も近い
隙間（図の上端に示す）を通してポンプ室１１の
中へ漏れる傾向がある。
１２を通して低圧端から高圧端へ圧送されている
とき、室１２の最高圧力の出口端で回転子６によ
つて圧縮されたガスは、隔壁８内の環状隙間を通
して、特に高圧の送り出し側出口１４に最も近い
隙間（図の上端に示す）を通してポンプ室１１の
中へ漏れる傾向がある。
このような逆漏れガスは、ポンプ室１１の入口
側へ漏れる代りに、溝５１によつて捕捉され、ダ
クト又は孔５２及びこれと協働する溝５１を通過
し、移送口２２に入り、室１２で再びポンプ作用
を受ける。溝５１とダクト５２を通るガス迂回効
果として、逆漏れガスを、ポンプ室１１と１２の
両方にではなく、ポンプ室１２にだけ再循環さ
せ、体積ポンプ効率の損失を著しく減少させるこ
とになる。
側へ漏れる代りに、溝５１によつて捕捉され、ダ
クト又は孔５２及びこれと協働する溝５１を通過
し、移送口２２に入り、室１２で再びポンプ作用
を受ける。溝５１とダクト５２を通るガス迂回効
果として、逆漏れガスを、ポンプ室１１と１２の
両方にではなく、ポンプ室１２にだけ再循環さ
せ、体積ポンプ効率の損失を著しく減少させるこ
とになる。
本発明を、ポンプ室１１と１２との間の軸シー
ルに設けた溝５１を参照して説明したけれども、
本発明は、他の隣接するポンプ室にも等しく適用
でき、実際、逆漏れがポンプ効率の損失を引き起
すようなポンプの他の領域に等しく適用しうるこ
とが理解されよう。本発明を乾式真空ポンプを参
照して説明したけれども、内部潤滑設備を有する
が、その潤滑設備がガスの逆漏れを防ぐのに十分
でない真空ポンプや機械ポンプにも等しく適用し
うることが理解されよう。
ルに設けた溝５１を参照して説明したけれども、
本発明は、他の隣接するポンプ室にも等しく適用
でき、実際、逆漏れがポンプ効率の損失を引き起
すようなポンプの他の領域に等しく適用しうるこ
とが理解されよう。本発明を乾式真空ポンプを参
照して説明したけれども、内部潤滑設備を有する
が、その潤滑設備がガスの逆漏れを防ぐのに十分
でない真空ポンプや機械ポンプにも等しく適用し
うることが理解されよう。
第１図は、各々一対のかみ合い回転子を収容し
た３つの室を有する乾式機械的真空ポンプの断面
側面図である。第２図は、第１図のポンプ内に組
込まれる回転子の斜視図である。 １……機械ポンプ、４，５，６……回転子、３
……軸、１０，１１，１２……ポンプ室、８，９
……隔壁、５１……溝、５２……ダクト、孔、５
１……入口開口部、２２……出口開口部。
た３つの室を有する乾式機械的真空ポンプの断面
側面図である。第２図は、第１図のポンプ内に組
込まれる回転子の斜視図である。 １……機械ポンプ、４，５，６……回転子、３
……軸、１０，１１，１２……ポンプ室、８，９
……隔壁、５１……溝、５２……ダクト、孔、５
１……入口開口部、２２……出口開口部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 少なくとも２つのポンプ室を有し、各ポンプ
室は一対の軸に取付けられた噛合する一対の回転
子を収容し、該一対の軸は１つのポンプ室を他の
１つのポンプ室から仕切る壁に設けられた孔を貫
通し、それにより孔と軸との間に環状の〓間を形
成し、前記仕切り壁には、高圧のポンプ室の出口
側の環状の〓間と該高圧のポンプ室の入口側とを
連結するダクトが設けられていることを特徴とす
る機械ポンプ。 ２ 前記ダクトは高圧のポンプ室の出口側を該ポ
ンプ室の入口ポートに連結することを特徴とする
特許請求の範囲第１項に記載の機械ポンプ。 ３ 前記ダクトは、仕切り壁に設けられ、少なく
とも部分的に前記軸に外接する環状の溝を含むこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項
に記載の機械ポンプ。 ４ 前記ダクトは、仕切り壁に設けられ、軸に外
接する環状の溝に連結する孔を含むことを特徴と
する特許請求の範囲第３項に記載の機械ポンプ。 ５ 前記孔は高圧ポンプ室の入口ポートに連通す
ることを特徴とする特許請求の範囲第４項に記載
の機械ポンプ。 ６ 前記ダクトは、ポンプ出口端の高圧ポンプ室
に設けられていることを特徴とする特許請求の範
囲第１項乃至第５項の何れか１項に記載の機械ポ
ンプ。 ７ 前記ポンプ出口端の高圧ポンプ室は噛み合い
爪型の回転子を受け入れることを特徴とする特許
請求の範囲第６項に記載の機械ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB8513684 | 1985-05-30 | ||
| GB858513684A GB8513684D0 (en) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | Mechanical pumps |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6217389A JPS6217389A (ja) | 1987-01-26 |
| JPH0368237B2 true JPH0368237B2 (ja) | 1991-10-25 |
Family
ID=10579927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61118967A Granted JPS6217389A (ja) | 1985-05-30 | 1986-05-23 | 機械ポンプ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6217389A (ja) |
| DE (1) | DE3617889A1 (ja) |
| FR (1) | FR2582741A1 (ja) |
| GB (2) | GB8513684D0 (ja) |
| IT (1) | IT1188739B (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62153592A (ja) * | 1985-12-26 | 1987-07-08 | Ulvac Corp | ２段ガスバラストポンプの減圧軸封装置 |
| JPS63239389A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-05 | Anretsuto:Kk | 半割り型ケ−シング使用の多段式ル−ツロ−タの軸シ−ル |
| NL9001875A (nl) * | 1990-07-17 | 1992-02-17 | Bombas Stork S A | Lobbenrotorpomp. |
| JP2533605Y2 (ja) * | 1991-03-29 | 1997-04-23 | 株式会社島津製作所 | 位相差ポンプ |
| DE19756838C1 (de) * | 1997-12-19 | 1999-04-15 | K Busch Gmbh Druck & Vakuum Dr | Drehkolbenpumpe |
| JP2002221177A (ja) * | 2001-01-24 | 2002-08-09 | Toyota Industries Corp | 真空ポンプにおける軸封構造 |
| JP2008008302A (ja) * | 2001-09-06 | 2008-01-17 | Ulvac Japan Ltd | 多段式容積移送型ドライ真空ポンプの省エネ方法 |
| JP2004278381A (ja) * | 2003-03-14 | 2004-10-07 | Toyota Industries Corp | ギヤポンプ |
| GB0515905D0 (en) | 2005-08-02 | 2005-09-07 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
| DE202011104491U1 (de) | 2011-08-17 | 2012-11-20 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Wälzkolbenpumpe |
| FR3094762B1 (fr) * | 2019-04-05 | 2021-04-09 | Pfeiffer Vacuum | Pompe à vide de type sèche et installation de pompage |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB596064A (en) * | 1945-07-17 | 1947-12-24 | Stothert & Pitt Ltd | Improvements in or relating to rotary pumps |
| DE415913C (de) * | 1922-04-01 | 1925-07-10 | Siemens Schuckertwerke G M B H | Einrichtung an Drehkolbenpumpen fuer gasfoermige Koerper zur Verminderung der Undichtigkeitsverluste durch Umstroemen |
| GB790799A (en) * | 1955-08-15 | 1958-02-19 | Edwards High Vacuum Ltd | Improvements in or relating to multi-stage rotary vacuum pumps |
| SE302815B (ja) * | 1965-01-13 | 1968-08-05 | Svenska Rotor Maskiner Ab | |
| US3976405A (en) * | 1974-10-29 | 1976-08-24 | Cominco Ltd. | Pump |
| JPS5163506U (ja) * | 1974-11-15 | 1976-05-19 | ||
| GB1570512A (en) * | 1976-09-04 | 1980-07-02 | Howden Compressors Ltd | Meshing-screw gas-compressing apparatus |
| JPS5468510A (en) * | 1977-11-11 | 1979-06-01 | Kobe Steel Ltd | Gas leak preventive method for self-lubricating screw compressor |
| DE2754612A1 (de) * | 1977-12-08 | 1979-06-13 | Allweiler Ag | Schraubenspindelpumpe |
| US4199304A (en) * | 1978-03-13 | 1980-04-22 | Ford Motor Company | Positive displacement compact slipper pump |
| JPS55104588A (en) * | 1979-02-02 | 1980-08-11 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | Underwater blower |
| GB2088957B (en) * | 1980-12-05 | 1984-12-12 | Boc Ltd | Rotary positive-displacement fluidmachines |
| DE3047699A1 (de) * | 1980-12-18 | 1982-07-01 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Waelzkolbenpumpe mit druckausgleichskammer |
| GB2111126A (en) * | 1981-12-09 | 1983-06-29 | British Oxygen Co Ltd | Rotary positive-displacement fluid-machines |
| JPS59213984A (ja) * | 1983-05-20 | 1984-12-03 | Nippon Piston Ring Co Ltd | ベ−ン形回転圧縮機の軸受装置 |
-
1985
- 1985-05-30 GB GB858513684A patent/GB8513684D0/en active Pending
-
1986
- 1986-05-09 GB GB08611363A patent/GB2175956A/en not_active Withdrawn
- 1986-05-23 JP JP61118967A patent/JPS6217389A/ja active Granted
- 1986-05-27 IT IT20580/86A patent/IT1188739B/it active
- 1986-05-28 DE DE19863617889 patent/DE3617889A1/de active Granted
- 1986-05-29 FR FR8607733A patent/FR2582741A1/fr active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IT8620580A1 (it) | 1987-11-27 |
| DE3617889C2 (ja) | 1991-03-14 |
| DE3617889A1 (de) | 1986-12-04 |
| FR2582741A1 (fr) | 1986-12-05 |
| IT1188739B (it) | 1988-01-28 |
| IT8620580A0 (it) | 1986-05-27 |
| GB8513684D0 (en) | 1985-07-03 |
| GB2175956A (en) | 1986-12-10 |
| GB8611363D0 (en) | 1986-06-18 |
| JPS6217389A (ja) | 1987-01-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101238294B (zh) | 真空泵 | |
| JPH0433997B2 (ja) | ||
| US4504201A (en) | Mechanical pumps | |
| US8936450B2 (en) | Roots fluid machine with reduced gas leakage | |
| US12116895B2 (en) | Multistage pump body and multistage gas pump | |
| CN210239995U (zh) | 涡旋盘组件、涡旋压缩机及制冷系统 | |
| US7108492B2 (en) | Roots pump | |
| KR20210146860A (ko) | 로터리 압축기 | |
| GB2111126A (en) | Rotary positive-displacement fluid-machines | |
| JPH0428918B2 (ja) | ||
| ITMI962369A1 (it) | Compressore rotativo con apertura di scarico smussata | |
| JPS6217389A (ja) | 機械ポンプ | |
| US20060228244A1 (en) | Scroll compressor multipile isolated intel ports | |
| JP2000009072A (ja) | 複数の圧縮室を備えて多段圧縮を行うことができる回転圧縮機 | |
| US7074026B2 (en) | Multi-stage helical screw rotor | |
| US5846066A (en) | Vacuum pumps with claw-type rotor and roots-type rotor near the outlet | |
| KR102178373B1 (ko) | 과 압축 발생을 방지하는 진공펌프 하우징 및 이를 포함한 진공펌프 | |
| US4076469A (en) | Rotary compressor | |
| JP2933352B2 (ja) | 多段ルーツ型真空ポンプ | |
| JP2002070776A (ja) | 複合型真空ポンプ | |
| JP2618825B2 (ja) | インタークーラーレス空冷式４段ルーツ型真空ポンプ | |
| WO2022214232A1 (en) | Vacuum pump | |
| CN112780553A (zh) | 转子组件、压缩机和空调 | |
| RU2014499C1 (ru) | Насосная установка | |
| WO2026058204A1 (en) | Screw machine with backpressure recovery system |