JPH0433997B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0433997B2 JPH0433997B2 JP56195514A JP19551481A JPH0433997B2 JP H0433997 B2 JPH0433997 B2 JP H0433997B2 JP 56195514 A JP56195514 A JP 56195514A JP 19551481 A JP19551481 A JP 19551481A JP H0433997 B2 JPH0433997 B2 JP H0433997B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- rotor
- outlet
- fluid
- pump chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
- Rotary-Type Compressors (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、機械的なポンプ、特に、大型の無給
油で作動する高真空の多段式真空ポンプに関す
る。
油で作動する高真空の多段式真空ポンプに関す
る。
特定の産業、例えば、食品加工産業では、機械
的なポンプまたは圧縮機で供給される空気その他
のガスは、油および粒子を含んではならない。
的なポンプまたは圧縮機で供給される空気その他
のガスは、油および粒子を含んではならない。
公知の無給油の機械的な回転ポンプでは、相補
状の輪郭を有する一対の共働する動バランスされ
たロータの各々は、対応する一対の平行軸にポン
プ室内で装着されている。各軸は、ロータの回転
運動を同期させるタイミングギヤを有している。
使用の際、一方の軸はモータで駆動され、タイミ
ングギヤは、軸とこれに関連するロータとを回転
し、それにより、ポンプ室の入口から出口へ流体
を圧送する。
状の輪郭を有する一対の共働する動バランスされ
たロータの各々は、対応する一対の平行軸にポン
プ室内で装着されている。各軸は、ロータの回転
運動を同期させるタイミングギヤを有している。
使用の際、一方の軸はモータで駆動され、タイミ
ングギヤは、軸とこれに関連するロータとを回転
し、それにより、ポンプ室の入口から出口へ流体
を圧送する。
しかし、従来の回転ポンプは、出口での流体の
逆流を有効に阻止することができず、このような
不当な流体の逆流によりポンプ効率の低下等の問
題があつた。
逆流を有効に阻止することができず、このような
不当な流体の逆流によりポンプ効率の低下等の問
題があつた。
本発明の目的は、圧送チヤンバ内で潤滑剤を使
用することなく高真空を達成できると共に、圧送
される流体を少くとも大気圧に圧縮できる多段式
真空ポンプを提供することである。
用することなく高真空を達成できると共に、圧送
される流体を少くとも大気圧に圧縮できる多段式
真空ポンプを提供することである。
本発明によると、多段式真空ポンプは、入口と
出口とを有し圧送すべき流体を流通させるポンプ
室と、該ポンプ室を貫通して延び異なる輪郭を有
する少くとも２対のロータを回転運動せしめるべ
く直列に支持する一対の平行な軸と、該ロータの
回転運動と同期させる装置と、前記軸の少くとも
一方を駆動する装置とを備え、前記ポンプ室の出
口に最も近い１対のロータはクロー型の輪郭を有
し、前記ポンプ室の出口には圧送すべき流体の該
出口を通る流通を制御するよう一方向弁を備えて
いる。
出口とを有し圧送すべき流体を流通させるポンプ
室と、該ポンプ室を貫通して延び異なる輪郭を有
する少くとも２対のロータを回転運動せしめるべ
く直列に支持する一対の平行な軸と、該ロータの
回転運動と同期させる装置と、前記軸の少くとも
一方を駆動する装置とを備え、前記ポンプ室の出
口に最も近い１対のロータはクロー型の輪郭を有
し、前記ポンプ室の出口には圧送すべき流体の該
出口を通る流通を制御するよう一方向弁を備えて
いる。
最初に第１図を参照すると、一対の平行軸３
（１つのみ示す）が貫通するポンプ室２を有する
公知の機械的なポンプ１を示す。各軸３は一緒に
回転するロータ４を支持する。ロータ４は、点線
で示す如くほぼ８の字形状の相補状輪郭、即ちル
ーツ型の輪郭を有している。その右端では、各軸
３は、タイミングギヤ７を担持し、その左端で
は、一方の軸３が流体継手６を介しモータ５で駆
動される。
（１つのみ示す）が貫通するポンプ室２を有する
公知の機械的なポンプ１を示す。各軸３は一緒に
回転するロータ４を支持する。ロータ４は、点線
で示す如くほぼ８の字形状の相補状輪郭、即ちル
ーツ型の輪郭を有している。その右端では、各軸
３は、タイミングギヤ７を担持し、その左端で
は、一方の軸３が流体継手６を介しモータ５で駆
動される。
使用の際、モータ５が流体継手６を介して一方
の軸３を駆動すると、他方の軸３は、タイミング
ギヤ７によつて一方の軸３に同期して回転され
る。ロータ４の輪郭は、圧送すべき流体がポンプ
室２の入口８に吸込まれ出口（図示せず）を介し
てポンプ室２から出るように、選択してある。
の軸３を駆動すると、他方の軸３は、タイミング
ギヤ７によつて一方の軸３に同期して回転され
る。ロータ４の輪郭は、圧送すべき流体がポンプ
室２の入口８に吸込まれ出口（図示せず）を介し
てポンプ室２から出るように、選択してある。
この公知の機械的なポンプは、極めて有用であ
り、処理装置、炉、風胴、宇宙シユミレータ、大
容量のおおまかな排気、包装、拡散ポンプの支
援、および油蒸気のブースターポンプ等に幅広く
使用されている。
り、処理装置、炉、風胴、宇宙シユミレータ、大
容量のおおまかな排気、包装、拡散ポンプの支
援、および油蒸気のブースターポンプ等に幅広く
使用されている。
第２図から第４図までを参照すると、本発明の
多段式真空ポンプ２１は、高真空の用途に好適で
あり、一対の平行軸２３（１つのみが示される）
が貫通するポンプ室２２を有する点で第１図の公
知のポンプと同じである。各軸２３は、４つのロ
ータ３４Ａ，３４Ｂ、３４Ｃ，３４Ｄを一体回転
可能に支持する。ロータ３４Ａから３４Ｄの各対
は、相補状のロータ輪郭を有し、夫々の軸２３に
タンデム駆動するように配置される。一方の軸２
３は、継手２６を介しモータ（図示せず）で駆動
される。各軸２３には、継手２６に隣接してタイ
ミングギヤ２７を装着してある。
多段式真空ポンプ２１は、高真空の用途に好適で
あり、一対の平行軸２３（１つのみが示される）
が貫通するポンプ室２２を有する点で第１図の公
知のポンプと同じである。各軸２３は、４つのロ
ータ３４Ａ，３４Ｂ、３４Ｃ，３４Ｄを一体回転
可能に支持する。ロータ３４Ａから３４Ｄの各対
は、相補状のロータ輪郭を有し、夫々の軸２３に
タンデム駆動するように配置される。一方の軸２
３は、継手２６を介しモータ（図示せず）で駆動
される。各軸２３には、継手２６に隣接してタイ
ミングギヤ２７を装着してある。
ポンプ室２２は、仕切壁２８，２９，３０で４
つの離隔した区画に分割され、各区画に一対のロ
ータ３４Ａ〜３４Ｄがそれぞれ位置する。
つの離隔した区画に分割され、各区画に一対のロ
ータ３４Ａ〜３４Ｄがそれぞれ位置する。
ポンプ室２２は、ロータ３４Ａで占められる区
画に直接連通する入口３１と、ロータ３４Ｄで占
められる区画に直接連通する出口３２Ａ，３２Ｂ
とを有している。出口３２Ａから圧送される流体
の流れは、既知のフラツプ弁の如き薄い弾性部材
から成る一方向弁３３Ａにより制御され、出口３
２Ｂから圧送される流体は、同様な一方向弁（図
示せず）で制御される。即ち、図示の例では、第
２，３図に示すように、一方向弁３３Ａは、ロー
タ３４Ｄが位置したポンプ室区画とは反対側の出
口３２Ａの壁にこの出口を閉じた状態で配置して
あり、ポンプ室からの流体の所定圧力を受けたと
きに出口３２Ａを開いて流体を流出させる（第２
図矢印）が、出口３２Ａからポンプ室への流体の
逆流入は阻止するものであり、一種の逆止め弁で
ある。出口３２Ｂに関する一方向弁３２Ｂも同じ
構成のものでよい。
画に直接連通する入口３１と、ロータ３４Ｄで占
められる区画に直接連通する出口３２Ａ，３２Ｂ
とを有している。出口３２Ａから圧送される流体
の流れは、既知のフラツプ弁の如き薄い弾性部材
から成る一方向弁３３Ａにより制御され、出口３
２Ｂから圧送される流体は、同様な一方向弁（図
示せず）で制御される。即ち、図示の例では、第
２，３図に示すように、一方向弁３３Ａは、ロー
タ３４Ｄが位置したポンプ室区画とは反対側の出
口３２Ａの壁にこの出口を閉じた状態で配置して
あり、ポンプ室からの流体の所定圧力を受けたと
きに出口３２Ａを開いて流体を流出させる（第２
図矢印）が、出口３２Ａからポンプ室への流体の
逆流入は阻止するものであり、一種の逆止め弁で
ある。出口３２Ｂに関する一方向弁３２Ｂも同じ
構成のものでよい。
通路３６，３７，３８は、ポンプ室２２の一区
画から次の隣接する区画へ圧送される流体の流通
用の通路である。
画から次の隣接する区画へ圧送される流体の流通
用の通路である。
入口３１に最も近いロータ３４Ａの輪郭は、ロ
ータ３４Ａが「最小残余量」（最小すきま容積）
を有する如く定められる。同様なことは、ロータ
３４Ａが位置する区画に直接に隣接する区画内の
ロータ３４Ｂについても言える。ここで「最小残
余量」とは、共働するロータの相互作用の際、排
気が済んでロータの入口側にロータが回転して戻
るときに、ロータ間のガスの保有量が事実上最小
となるように、共働するロータの輪郭を形成する
ことを意味する。排気後の残余の流体がロータの
入口側へ戻つたときには、その流体が膨脹して、
ポンプの体積効率を減少するので、ロータの輪郭
をこのように形成することは、極めて重要であ
る。このような「最小残余量」を有するロータの
輪郭は、例えば第４図に示すようなルーツ型の輪
郭である。
ータ３４Ａが「最小残余量」（最小すきま容積）
を有する如く定められる。同様なことは、ロータ
３４Ａが位置する区画に直接に隣接する区画内の
ロータ３４Ｂについても言える。ここで「最小残
余量」とは、共働するロータの相互作用の際、排
気が済んでロータの入口側にロータが回転して戻
るときに、ロータ間のガスの保有量が事実上最小
となるように、共働するロータの輪郭を形成する
ことを意味する。排気後の残余の流体がロータの
入口側へ戻つたときには、その流体が膨脹して、
ポンプの体積効率を減少するので、ロータの輪郭
をこのように形成することは、極めて重要であ
る。このような「最小残余量」を有するロータの
輪郭は、例えば第４図に示すようなルーツ型の輪
郭である。
出口３２Ａ，３２Ｂに最も近い各ロータ３４Ｄ
は第３図に示すような公知のいわゆるクロー
（claw）形式の輪郭を有している。同様なこと
は、ロータ３４Ｄが位置する区画に直接に隣接す
る区画内のロータ３４Ｃについても言える。クロ
ー型の輪郭をもつたロータがそのポンプ室の入口
と共働してポンプ作用を行うとき、既知のよう
に、ロータのすきま容積内の流体が入口と直通し
て再膨脹することが阻止されるから、一ポンプ室
を横切つて約30：１の圧力比を得ることが可能と
なる。
は第３図に示すような公知のいわゆるクロー
（claw）形式の輪郭を有している。同様なこと
は、ロータ３４Ｄが位置する区画に直接に隣接す
る区画内のロータ３４Ｃについても言える。クロ
ー型の輪郭をもつたロータがそのポンプ室の入口
と共働してポンプ作用を行うとき、既知のよう
に、ロータのすきま容積内の流体が入口と直通し
て再膨脹することが阻止されるから、一ポンプ室
を横切つて約30：１の圧力比を得ることが可能と
なる。
使用の際、モータが一方の軸２３を駆動する
と、両方の軸２３は、タイミングギヤ２７により
同期して駆動され、これにより、対をなす輪郭付
きロータ３４Ａ〜３４Ｄを同期的に駆動する。圧
送すべき流体は、入口３１に入り、矢印で示す如
く出口３２Ａ，３２Ｂを経て出るまで、継続的に
通路３６，３７，３８を介して圧送される。
と、両方の軸２３は、タイミングギヤ２７により
同期して駆動され、これにより、対をなす輪郭付
きロータ３４Ａ〜３４Ｄを同期的に駆動する。圧
送すべき流体は、入口３１に入り、矢印で示す如
く出口３２Ａ，３２Ｂを経て出るまで、継続的に
通路３６，３７，３８を介して圧送される。
ポンプ２１を高真空の用途に使用した場合、ロ
ータ３４Ｄの行程容積部は主として低圧力となつ
ているから、出口３２Ａ，３２Ｂから出るガスは
逆流を阻止するようにしなければ、行程容積部内
へ逆流してしまう。ガスが出口３２Ａ，３２Ｂを
通つて行程容積部へ逆流したり、またロータ３４
Ｄのすきま容積部からガスが再膨脹したりするこ
とが許されると、ガスは反復的に圧縮されること
になり、このため動力を過剰に消費し、ポンプの
温度を上昇させ、ポンプの騒音を増し、到達可能
な真空度が制限される。従つてロータ３４Ｄはそ
のポンプ室への入口と共働してすきま容積内のガ
スが入口内へ再膨脹することを阻止することので
きるクロー型の輪郭を有し、そして行程容積部へ
のガスの逆流を阻止するために一方向弁（例えば
３３Ａ）が設けられる。
ータ３４Ｄの行程容積部は主として低圧力となつ
ているから、出口３２Ａ，３２Ｂから出るガスは
逆流を阻止するようにしなければ、行程容積部内
へ逆流してしまう。ガスが出口３２Ａ，３２Ｂを
通つて行程容積部へ逆流したり、またロータ３４
Ｄのすきま容積部からガスが再膨脹したりするこ
とが許されると、ガスは反復的に圧縮されること
になり、このため動力を過剰に消費し、ポンプの
温度を上昇させ、ポンプの騒音を増し、到達可能
な真空度が制限される。従つてロータ３４Ｄはそ
のポンプ室への入口と共働してすきま容積内のガ
スが入口内へ再膨脹することを阻止することので
きるクロー型の輪郭を有し、そして行程容積部へ
のガスの逆流を阻止するために一方向弁（例えば
３３Ａ）が設けられる。
離隔した２つの出口３２Ａ，３２Ｂは予圧縮を
避ける位置に配置されている。予圧縮はやはり動
力を消費するので好ましくなく、これは弁作用が
圧送されるガスの圧力で起るのではなくロータ３
４Ｄの形状および運動によつてのみ引起される場
合に発生する。従つて一方向弁の１つは、圧送さ
れるガスの圧力で作動するようになつている。
避ける位置に配置されている。予圧縮はやはり動
力を消費するので好ましくなく、これは弁作用が
圧送されるガスの圧力で起るのではなくロータ３
４Ｄの形状および運動によつてのみ引起される場
合に発生する。従つて一方向弁の１つは、圧送さ
れるガスの圧力で作動するようになつている。
第２図から第４図までを参照して説明したポン
プは、高真空を達成できると共に、簡単なユニツ
トとして構成できる。ポンプは、ポンプ室内に潤
滑剤を使用することなく高真空（充分に0.1ミリ
バール以下）を達成できる。ポンプは、低圧で大
きいポンプ能力を維持でき、圧送される流体を少
くとも大気圧に圧縮できる。
プは、高真空を達成できると共に、簡単なユニツ
トとして構成できる。ポンプは、ポンプ室内に潤
滑剤を使用することなく高真空（充分に0.1ミリ
バール以下）を達成できる。ポンプは、低圧で大
きいポンプ能力を維持でき、圧送される流体を少
くとも大気圧に圧縮できる。
上述の実施例では、ロータ３４Ａ，３４Ｂのみ
が「最小残余体積」を有するものとして説明した
が、ロータ３４Ｃは、ポンプの用途により「最小
残余体積」を与える輪郭を有してもよい。
が「最小残余体積」を有するものとして説明した
が、ロータ３４Ｃは、ポンプの用途により「最小
残余体積」を与える輪郭を有してもよい。
第１図は公知の機械的なポンプの一部を分解し
て示した斜視図、第２図は本発明の機械的な４段
式ポンプの縦断面図、第３図は第２図の機械的な
ポンプの出口に隣接する横断面図、第４図は第２
図の機械的なポンプの入口に隣接する別の横断面
図である。 ２２…ポンプ室、２３…軸、２８，２９，３０
…仕切壁、３１…入口、３２Ａ，３２Ｂ…出口、
３３Ａ…一方向弁、３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃ，３
４Ｄ…ロータ、３６，３７，３８…通路。
て示した斜視図、第２図は本発明の機械的な４段
式ポンプの縦断面図、第３図は第２図の機械的な
ポンプの出口に隣接する横断面図、第４図は第２
図の機械的なポンプの入口に隣接する別の横断面
図である。 ２２…ポンプ室、２３…軸、２８，２９，３０
…仕切壁、３１…入口、３２Ａ，３２Ｂ…出口、
３３Ａ…一方向弁、３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃ，３
４Ｄ…ロータ、３６，３７，３８…通路。
Claims (1)
- １ 入口と出口とを有し圧送すべき流体を流通さ
せるポンプ室と、該ポンプ室を貫通して延び異な
る輪郭を有する少くとも２対のロータを回転運動
せしめるべく直列に支持する一対の平行な軸と、
該ロータの回転運動を同期させる装置と、前記軸
の少くとも一方を駆動する装置とを備えた多段式
真空ポンプにおいて、前記ポンプ室２２の出口３
２Ａ，３２Ｂに最も近い１対のロータ３４Ｄはク
ロー型の輪郭を有し、前記ポンプ室の出口３２
Ａ，３２Ｂには圧送すべき流体の該出口３２Ａ，
３２Ｂを通る流通を制御するよう一方向弁３３Ａ
が設けられていることを特徴とするポンプ。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB8039073A GB2088957B (en) | 1980-12-05 | 1980-12-05 | Rotary positive-displacement fluidmachines |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57146093A JPS57146093A (en) | 1982-09-09 |
| JPH0433997B2 true JPH0433997B2 (ja) | 1992-06-04 |
Family
ID=10517780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19551481A Granted JPS57146093A (en) | 1980-12-05 | 1981-12-04 | Mechanical pump |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57146093A (ja) |
| DE (1) | DE3147824C2 (ja) |
| FR (1) | FR2495701B1 (ja) |
| GB (1) | GB2088957B (ja) |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2111126A (en) * | 1981-12-09 | 1983-06-29 | British Oxygen Co Ltd | Rotary positive-displacement fluid-machines |
| US4504201A (en) * | 1982-11-22 | 1985-03-12 | The Boc Group Plc | Mechanical pumps |
| EP0116356B1 (de) * | 1983-02-15 | 1987-05-06 | Otto Dr. Zimmermann | Rotationskolbenmaschine |
| DE3312117A1 (de) * | 1983-04-02 | 1984-10-04 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Zweiwellen-vakuumpumpe mit innerer verdichtung |
| JPS61252889A (ja) * | 1985-04-23 | 1986-11-10 | Anretsuto:Kk | 多段式高圧用ル−ツブロワ− |
| GB8513684D0 (en) * | 1985-05-30 | 1985-07-03 | Boc Group Plc | Mechanical pumps |
| GB2185288A (en) * | 1986-01-11 | 1987-07-15 | Fleming Thermodynamics Ltd | Screw type compression and expansion machine |
| JPS6319090U (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-08 | ||
| DE3775553D1 (de) * | 1987-05-15 | 1992-02-06 | Leybold Ag | Zweiwellenpumpe. |
| EP0290662B1 (de) * | 1987-05-15 | 1993-03-31 | Leybold Aktiengesellschaft | Zweiwellenvakuumpumpe mit Schöpfraum |
| DE3786917D1 (de) * | 1987-05-15 | 1993-09-09 | Leybold Ag | Ein- oder mehrstufige zweiwellenvakuumpumpe. |
| JPS6477782A (en) * | 1987-09-19 | 1989-03-23 | Ebara Corp | Rotary machine of roots type |
| JPH01247787A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-10-03 | Leybold Ag | 多段真空ポンプ |
| GB8808608D0 (en) * | 1988-04-12 | 1988-05-11 | Boc Group Plc | Dry pump with booster |
| GB8809621D0 (en) * | 1988-04-22 | 1988-05-25 | Boc Group Plc | Dry pump with closed loop filter |
| DE59010310D1 (de) | 1990-03-27 | 1996-06-05 | Leybold Ag | Mehrstufige trockenverdichtende Vakuumpumpe und Verfahren zu ihrem Betrieb |
| DE19503716C1 (de) * | 1995-02-04 | 1996-03-28 | K Busch Gmbh Druck & Vakuum Dr | Zweiwellige Drehkolbenpumpe zur gleichzeitigen Erzeugung von Unterdruck und von Überdruck |
| DE19809957A1 (de) * | 1998-03-07 | 1999-09-09 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Mehrwellenvakuumpumpe |
| JP2000170679A (ja) * | 1998-12-04 | 2000-06-20 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 多段ルーツポンプ及び多段ポンプ装置 |
| GB9902083D0 (en) | 1999-01-29 | 1999-03-24 | Boc Group Plc | Vacuum pump systems |
| JP3758550B2 (ja) | 2001-10-24 | 2006-03-22 | アイシン精機株式会社 | 多段真空ポンプ |
| JP3941484B2 (ja) | 2001-12-03 | 2007-07-04 | アイシン精機株式会社 | 多段式真空ポンプ |
| US6666666B1 (en) * | 2002-05-28 | 2003-12-23 | Denis Gilbert | Multi-chamber positive displacement fluid device |
| DE202017001029U1 (de) * | 2017-02-17 | 2018-05-18 | Leybold Gmbh | Mehrstufige Wälzkolbenpumpe |
| CN107420306B8 (zh) * | 2017-09-13 | 2021-10-08 | 上海伊莱茨真空技术有限公司 | 三轴模块化干式真空泵 |
| KR102254882B1 (ko) * | 2020-06-01 | 2021-05-24 | 한국원자력연구원 | 유체 이송 장치 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB596064A (en) * | 1945-07-17 | 1947-12-24 | Stothert & Pitt Ltd | Improvements in or relating to rotary pumps |
| US1743583A (en) * | 1927-04-18 | 1930-01-14 | Wiltse Appliance Co | Pump |
| AT140808B (de) * | 1933-06-07 | 1935-02-25 | Franz Dr Ing Heinl | Maschine mit umlaufenden Kolben. |
| GB479199A (en) * | 1936-08-01 | 1938-02-01 | Edward Dodson | Improvements in or connected with rotary pumps |
| GB877023A (en) * | 1958-10-27 | 1961-09-13 | Hidekuni Yokota | Improvements in or relating to rotary fluid prime movers |
| GB1248032A (en) * | 1967-09-21 | 1971-09-29 | Edwards High Vacuum Int Ltd | Rotary mechanical vacuum pumps of the intermeshing screw type |
| DE2007880A1 (de) * | 1970-02-20 | 1971-09-02 | Brown, Arthur Corning N Y (VStA) | Rotationsverdrangungsmaschine |
| JPS47218U (ja) * | 1971-10-05 | 1972-05-22 | ||
| JPS5267810A (en) * | 1975-12-03 | 1977-06-04 | Aisin Seiki Co Ltd | High vacuum pump |
| JPS5518883Y2 (ja) * | 1976-09-09 | 1980-05-02 | ||
| CH621854A5 (en) * | 1977-06-06 | 1981-02-27 | Balzers Hochvakuum | Roots pump |
| JPS55144885U (ja) * | 1979-04-04 | 1980-10-17 |
-
1980
- 1980-12-05 GB GB8039073A patent/GB2088957B/en not_active Expired
-
1981
- 1981-12-03 DE DE19813147824 patent/DE3147824C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1981-12-04 JP JP19551481A patent/JPS57146093A/ja active Granted
- 1981-12-04 FR FR8122770A patent/FR2495701B1/fr not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57146093A (en) | 1982-09-09 |
| GB2088957A (en) | 1982-06-16 |
| DE3147824C2 (de) | 1995-03-23 |
| DE3147824A1 (de) | 1982-06-24 |
| FR2495701B1 (fr) | 1987-12-18 |
| GB2088957B (en) | 1984-12-12 |
| FR2495701A1 (fr) | 1982-06-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0433997B2 (ja) | ||
| US4854825A (en) | Multi-stage vacuum pump | |
| CN101238294B (zh) | 真空泵 | |
| US4504201A (en) | Mechanical pumps | |
| KR100485429B1 (ko) | 진공펌프 | |
| JP2001207984A (ja) | 真空排気装置 | |
| GB2111126A (en) | Rotary positive-displacement fluid-machines | |
| US3527548A (en) | Screw compressor with capacity control | |
| JPH079239B2 (ja) | スクリュー真空ポンプ | |
| US5244352A (en) | Multi-stage vacuum pump installation | |
| JPH0368237B2 (ja) | ||
| US4295794A (en) | Selective mode multi-stage vacuum pump | |
| US4431387A (en) | Hermetic refrigeration rotary motor-compressor | |
| US5846066A (en) | Vacuum pumps with claw-type rotor and roots-type rotor near the outlet | |
| GB2065776A (en) | Rotary-piston Fluid-machines | |
| RU207017U1 (ru) | Компрессор | |
| US2956735A (en) | Rotary compressor | |
| CN1030854C (zh) | 流体压缩机 | |
| KR0127833B1 (ko) | 회전실린더 압축기장치 | |
| JP2002174174A (ja) | 真空排気装置 | |
| US3371857A (en) | Multistage vacuum pump | |
| US3235172A (en) | Vacuum pump | |
| RU2022175C1 (ru) | Двухроторный вакуумный насос | |
| AU2003100461A4 (en) | "Batman" rotary pump | |
| JP2592504B2 (ja) | 抽気管とバイパス管を備えたスクロール圧縮機 |