JPH0368748U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す正面図、第２
図は側面図、第３図は平面図で、各図はそれぞれ
一部を切り欠いで示している。第４図は他の実施
例を示す一部の正面図、第５図はその側断面図で
ある。 １……ベース、１１……ガイド溝、２……Ｘ軸
方向磁極、３……Ｘ軸テーブル、３１……Ｘ軸コ
イル、３２……ガイド片、３３……側板、３４…
…スリツト、３５……ガイドレール、３６……ス
リツト孔、３７，３８……ローラ、４……Ｙ軸方
向磁極、５……Ｙ軸テーブル、５１……突出片、
５２……Ｙ軸コイル、５３……側板、５４……ガ
イドローラ、６……ツール取付板、７，８……空
気軸受である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ ベース１上に設けたＸ軸方向磁極２と、Ｘ軸
   方向磁極によつて駆動される平板状集中巻コイル
   からなるＸ軸コイル３１をそなえたＸ軸テーブル
   ３と、前記Ｘ軸テーブル上に固着したＹ軸方向磁
   極４と、Ｙ軸方向磁極によつて駆動される平板状
   集中巻コイルからなるＹ軸コイル５２をそなえた
   Ｙ軸テーブル５をそなえたＸＹテーブル装置にお
   いて、ベース１にＸ軸方向のガイド溝１１を設け
   、Ｘ軸テーブルに前記ガイド溝に沿つて移動する
   ガイド片３２をそなえるとともに、Ｘ軸テーブル
   のＹ軸方向両側に直立させた側板３３を設け、こ
   の側板にスリツト３４とＹ軸方向に延長したガイ
   ドレール３５をそなえ、Ｙ軸テーブルに前記スリ
   ツトに挿入する突出片５１と、前記ガイドレール
   に摺触するガイドローラ５４をそなえたことを特
   徴とするＸＹテーブル装置。 ２ 前記スリツト３４が、突出片を挟持する上下
   のローラ３７，３８をそなえている実用新案登録
   請求の範囲第１項記載のＸＹテーブル装置。 ３ 前記ベース１のガイド溝１１とＸ軸テーブル
   のガイド片３２との対向面およびＸ軸テーブル３
   とＹ軸テーブル５の対向面に空気軸受を設けた実
   用新案登録請求の範囲第１項記載または第２項記
   載のＸＹテーブル装置。