JPH0369852U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0369852U JPH0369852U JP13137589U JP13137589U JPH0369852U JP H0369852 U JPH0369852 U JP H0369852U JP 13137589 U JP13137589 U JP 13137589U JP 13137589 U JP13137589 U JP 13137589U JP H0369852 U JPH0369852 U JP H0369852U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- introduction tube
- oven
- plasma generation
- heating filament
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例のイオン源の基本
的な構成を示す断面図、第２図ａは要部断面図、
ｂはその平面図、第３図ａは従来例を示す要部断
面図、ｂはその平面図である。 １……プラズマ生成容器、７……オーブン、８
……導入管、１０……給電端子、１１……孔部、
１２……加熱用フイラメント。
的な構成を示す断面図、第２図ａは要部断面図、
ｂはその平面図、第３図ａは従来例を示す要部断
面図、ｂはその平面図である。 １……プラズマ生成容器、７……オーブン、８
……導入管、１０……給電端子、１１……孔部、
１２……加熱用フイラメント。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 蒸発物質を収納して加熱するオーブンと、この
オーブン内で発生する蒸気をプラズマ生成容器内
に導く導入管とを備えたイオン源において、 前記導入管の外側に、前記プラズマ生成容器側
に開口する孔部を有する２つの給電端子を取付け
、この導入管の内側に、加熱用フイラメントの中
間部を挿入し、この加熱用フイラメントの両端部
を前記孔部に挿入して支持するようにしたことを
特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13137589U JPH0369852U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13137589U JPH0369852U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0369852U true JPH0369852U (ja) | 1991-07-11 |
Family
ID=31678889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13137589U Pending JPH0369852U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0369852U (ja) |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP13137589U patent/JPH0369852U/ja active Pending