JPH0370898B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〈技術分野〉 本発明は、半導体ウエーハの表面の如き硬脆材
料の表面を研削するのに適した多層ブレード式研
削ホイールに関する。

〈従来技術〉 特開昭56−107869号公報には、半導体ウエーハ
の表面の如き硬脆材料の表面を研削するのに適し
た多層ブレード式研削ホイールが開示されてい
る。かかる研削ホイールは、中心軸線を中心とし
て回転駆動される支持部材と、この支持部材の環
状自由端縁部に同心状に配設され少なくとも２枚
のブレードとを具備する。ブレードの各々は、上
記中心軸線に対して例えば135度である所要角度
をなして支持部材の環状自由端縁部から突出する
研削部を有する。径方向に隣接して位置する２枚
のブレードのうちの、径方向内側に位置するブレ
ードの上記研削部の先端は、上記中心軸線の方向
に見て、径方向外側に位置するブレードの上記研
削部の先端を越えて突出している。

而して、上記の通りの公知の多層ブレード式研
削ホイールは、硬脆材料の表面の研削に好都合に
使用することができるものであるが、後に更に詳
述する如く、研削精度の一層の向上、ブレードの
整形の容易化等の見地から、各ブレード間の相対
的位置関係、各ブレードの先端面の形状等に改良
すべき点が存在することが判明した。

〈発明の目的〉 本発明は上記事実に鑑みてなされたものであ
り、その主目的は、上記の通りの公知の多層ブレ
ード式研削ホイールに改良を加えて研削精度を一
層向上せしめることである。

本発明の他の目的は、上記の通りの公知の多層
ブレード式研削ホイールに改良を加えて、研削精
度を一層向上せしめると共に、ブレードの整形を
容易化せしめることである。

〈発明の要約〉 本発明によれば、環状自由端縁部を有し且つ中
心軸線を中心として回転駆動される支持部材と、
該環状自由端縁部に同心状に配設された少なくと
も２枚のブレードとを具備し、該ブレードの各々
は該中心軸線に対して100乃至160度である角度α
をなして該環状自由端縁部から突出する研削部を
有し、隣接して位置する２枚のブレードのうち
の、径方向内側に位置するブレードの該研削部の
先端は、該中心軸線の方向に見て長さｌだけ、径
方向外側に位置するブレードの該研削部の先端を
越えて突出している多層ブレード式研削ホイール
において； 該長さｌは、径方向内側に位置するブレードの
該研削部の厚さｔ以下（ｌ≦ｔ）である、ことを
特徴とする多層ブレード式研削ホイールが提供さ
れる。

本発明の多層ブレード式研削ホイールの好適実
施態様においては、隣接して位置する２枚のブレ
ードの研削部は径方向に見て間隔ｓを置いて配設
されており、上記間隔ｓは、径方向外側に位置す
るブレードの研削部の厚さｔ以上（ｓ≧ｔ）、特
に上記厚さｔの５倍以上（ｓ≧5t）である。ま
た、隣接して位置する少なくとも２枚のブレード
の研削部の先端面は、上記中心軸線に対して90度
より小さく70度以上、特に75度以上、殊に80度以
上の角度βをなす共通平面内に位置する。

更に、本発明の多層ブレード式研削ホイールの
好適実施態様においては、同心状に配設された少
なくとも３枚のブレードを具備する。そして、隣
接して位置する３枚のブレードのうちの、径方向
内側に位置するブレードの研削部の先端面は、上
記中心軸線に対して90度より小さく70度以上、特
に75度以上、殊に80度以上の角度β₁をなす平面内
に位置し、径方向中間及び径方向内側に位置する
２枚のブレードの研削部の先端面は、上記中心軸
線に対して90度より小さく上記角度β₁より大きい
角度β₂をなす共通平面内に位置する。また、隣接
して位置する３枚のブレードのうちの、径方向内
側に位置するブレードの研削部と径方向中間に位
置するブレードの研削とは径方向に見て間隔s₁を
置いて配設されており、径方向中間に位置するブ
レードの研削部と径方向内側に位置するブレード
の研削部とは径方向に見て間隔s₂を置いて配設さ
れており、上記間隔s₂は上記間隔s₁よりも小さい
（s₂＜s₁）。

〈発明の好適具体例〉 以下、本発明に従つて構成された多層ブレード
式研削ホイールの好適具体例を図示している添付
図面を参照して更に詳述する。

第１図を参照して説明すると、全体を番号２で
示す研削ホイールは、全体として環状の支持部材
４を具備している。この支持部材４は、アルミニ
ウムの如き適宜の金属材料から形成することがで
きる。研削の際に使用される冷却水等による支持
部材４の腐食が問題になる場合には、支持部材４
の全体或いは一部を銅、チタン、真鍮、ステンレ
ススチールの如き耐食性に優れた金属材料から形
成することもできる。

支持部材４の環状自由端縁部、即ち図示の場合
は下端部には、複数枚、図示の場合は３枚のブレ
ード６ａ，６ｂ及び６ｃが同心状に配設されてい
る。第１図と共に第２図を参照して説明すると、
支持部材４の下端部には、径方向内側に位置する
傾斜面８ａ，８ｂ及び８ｃと径方向外側に位置す
る弧状断面の切欠き１０ａ，１０ｂ及び１０ｃに
よつて規定された３個の環状突出部１２ａ，１２
ｂ及び１２ｃが同心状に形成されている。そし
て、かかる３個の環状突出部１２ａ，１２ｂ及び
１２ｃの夫々にブレード６ａ，６ｂ及び６ｃが配
設されている。ブレード６ａ，６ｂ及び６ｃの
各々は、環状突出部１２ａ，１２ｂ及び１２ｃの
夫々の内側傾斜面８ａ，８ｂ及び８ｃに沿つて延
びる被固着乃至被接着部１４ａ，１４ｂ及び１４
ｃと、環状突出部１２ａ，１２ｂ及び１２ｃの
夫々の下端を越えて下方に向つて半径方向外方に
突出している研削部１６ａ，１６ｂ及び１６ｃと
を有する。

ブレード６ａ，６ｂ及び６ｃの各々は、周方向
に連続して延びる環状体であるのが好都合であ
る。また、ブレード６ａ，６ｂ及び６ｃの各々の
研削部１６ａ，１６ｂ及び１６ｃには、周方向に
適宜の間隔を置いて多数のスロツト１８ａ，１８
ｂ及び１８ｃが形成されているのが好都合であ
る。ブレード６ａ，６ｂ及び６ｃは、ニツケルイ
オンを含む電解液等を使用するそれ自体は公知の
電着法によつて、望ましくは支持部材４の所定位
置上に直接的に、超砥粒をボンドして所要形状に
せしめると同時に固着する、ことによつて好都合
に形成することができる。超砥粒としては、立方
晶窒化硼素砥粒等を使用することもできるが、天
然又は合成ダイヤモンド砥粒を使用するのが好ま
しい。超砥粒の粒度は、要求される研削面の仕上
げ精度、研削深さ等の諸条件に応じて適宜に選択
することができる。

上記ブレード６ａ，６ｂ及び６ｃの各々におい
ては、研削部１６ａ，１６ｂ及び１６ｃが、支持
部材４の中心軸線２０（第１図）に対して角度
α_a，α_b及びα_cをなして、支持部材４の上記環状突
出部１２ａ，１２ｂ及び１２ｃから突出している
ことが重要である。図示の具体例においては、支
持部材４の上記環状突出部１２ａ，１２ｂ及び１
２ｃにおける傾斜面８ａ，８ｂ及び８ｃも中心軸
線２０に対して角度α_a，α_b及びα_cをなして傾斜せ
しめられており、ブレード６ａ，６ｂ及び６ｃの
各々の研削部１６ａ，１６ｂ及び１６ｃのみなら
ず、被固着乃至被接着部１４ａ，１４ｂ及び１４
ｃも中心軸線２０に対して角度α_a，α_b及びα_cをな
して延びている。ブレード６ａ，６ｂ及び６ｃの
各々の研削部１６ａ，１６ｂ及び１６ｃと中心軸
線２０とが形成する上記角度α_a，α_b及びα_cは、
100乃至160度、好ましくは110乃至150度、特に好
ましくは120乃至140度であるのが適切である。角
度α_a，α_b及びα_cが過大になると、研削の際の研削
抵抗が過大になりブレード６ａ，６ｂ及び６ｃに
よる硬脆材料の所謂切れあじが低下し、逆に角度
α_a，α_b及びα_cが過小になると、研削の際にブレー
ド６ａ，６ｂ及び６ｃに作用する研削面に垂直な
方向の力に対するブレード６ａ，６ｂ及び６ｃの
強度が弱くなり、研削面上でブレード６ａ，６ｂ
及び６ｃが上下に振動し研削面に大きなうねりが
生成される傾向がある。ブレード６ａ，６ｂ及び
６ｃの各々の研削部１６ａ，１６ｂ及び１６ｃが
夫々中心軸線２０に対して形成する角度α_a，α_b及
びα_cは実質上同一であるのが一般に好都合である
が、所望ならば相互に異ならせることもできる。

また、ブレード６ａ，６ｂ及び６ｃの各々にお
ける研削部１６ａ，１６ｂ及び１６ｃは、その先
端面２２ａ，２２ｂ及び２２ｃが上記中心軸線２
０に対して角度βをなして延びるように整形され
ていると共に、径方向中間に位置する中間ブレー
ド６ｂの研削部１６ｂの先端面２２ｂは、径方向
最外側に位置する外側ブレード６ａの先端面２２
ａよりも所定長さl₁だけ中心軸線２０の方向に突
出せしめられ、そしてまた、径方向最内側に位置
する内側ブレード６ｃの研削部１６ｃの先端面２
２ｃは、中間ブレード６ｂの研削部１６ｂの先端
面２２ｂよりも所定長さl₂だけ中心軸線２０の方
向に突出せしめられていることが望ましい（これ
らの点については、後に更に言及する）。

ブレード６ａ，６ｂ及び６ｃの各々の研削部１
６ａ，１６ｂ及び１６ｃの、最先端部２４ａ，２
４ｂ及び２４ｃを除く部分の厚さta，tb及びtc
は、一般に、0.08乃至0.90mm、特に0.10乃至0.70
mmであるのが好ましい。上記厚さta，tb及びtcが
過大になると研削精度が低下する傾向があり、逆
に過小になるとブレード６ａ，６ｂ及び６ｃの強
度が過小になる傾向がある。上記厚さta，tb及び
tcは相互に実質上同一でもよいし、相互に異なつ
ていてもよい。また、各研削部１６ａ，１６ｂ及
び１６ｃの、最先端部２４ａ，２４ｂ及び２４ｃ
を除く部分の厚さは、一般に実質上均一であるの
が好ましいが、例えば先端に向つて漸次薄くする
こともできる。

上述した通りの多層ブレード式研削ホイール２
を使用して硬脆材料の平面を研削する場合には、
研削ホイール２が研削機の回転軸に装着され、中
心軸線２０を中心として回転せしめられる。第３
図を参照して説明すると、図示の具体例において
は、研削ホイール２の支持部材４が取付部材２６
に固定され、そしてこの取付部材２６が研削機の
回転軸２８に固定される。全体として略円盤状の
取付部材２６は、中央ハブ部３０、この中央ハブ
部３０から下方に向つて半径方向外方に延びる傾
斜部３２及び外側環状フランジ部３４を有する。
研削ホイール２の支持部材４は、その上面を取付
部材２６の外側環状フランジ部３４の下面に当接
せしめて、周方向に間隔を置いた複数個の位置で
止めねじ３６にて両者を締結することによつて、
取付部材２６に固定される。取付部材２６の中央
ハブ部３０には、下方に向つて漸次小径にせしめ
られている貫通開口３８が形成されている。回転
軸２８の下端部も、下方に向つて漸次小径にせし
められている。回転軸２８に取付部材２６の中央
ハブ部３０を被嵌し、そして中央ハブ部３０の下
面を越えて下方に突出するところの回転軸２８の
最下端部に締結具４０を装着することによつて、
回転軸２８に取付部材２６が固定される。締結具
４０の上面には円形凹部が形成されており、かか
る円形凹部の内周壁上部には雌螺条が形成されて
おり、一方回転軸２８の最下端部は小径円筒形状
であつてその外周面には対応する雄螺条が形成さ
れており、上記雌螺条と上記雄螺条とを螺合する
ことによつて回転軸２８の最下端部に締結具４０
が固着される。回転軸２８の中心部には孔４２が
形成されている。また、締結具４０には、上記円
形凹部の下部から放射状に延びる複数個の孔４４
が形成されている。研削の際には、例えば通常の
水でよい冷却液が孔４２に供給され、次いで孔４
４を通して締結具４０から放射状に噴射される。
かかる冷却液は遠心力によつて放射状に流れてブ
レード６ａ，６ｂ及び６ｃの研削部１６ａ，１６
ｂ及び１６ｃのスロツト１８ａ，１８ｂ及び１８
ｃを通つて流れる。

第４図を参照して説明すると、例えば高純度シ
リコン、ガリウムひ素又はガリウムりん等の半導
体材料から成る略円板形状の半導体ウエーハであ
る硬脆材料４６は、その研削すべき平面を上方に
向けて研削機の保持具（図示していない）に保持
される。保持具は、例えばその表面に硬脆材料４
６を吸着保持するそれ自体は周知の形態のもので
よい。保持具上に保持された硬脆材料４６と回転
軸２８（第３図）に接着された研削ホイール２と
は、研削ホイール２の中心軸線２０（第１図及び
第３図）が硬脆材料４６の研削すべき平面に対し
て略垂直になるように位置付けられる。更に詳し
くは、一般に、矢印４８で示すところの硬脆材料
４６に対する研削ホイール２の相対的移動方向に
見て前端におけるブレード６の下端よりも後端に
おけるブレード６の下端が数十μｍ程度高くなる
ように極く僅かだけ硬脆材料４６の研削すべき平
面に対して研削ホイール２の中心軸線２０（第１
図及び第３図）を傾斜せしめて位置付けられる。
そして、回転軸２８が回転駆動され、かくして研
削ホイール２が中心軸線２０を中心として回転せ
しめられる。加えて、保持具を矢印５０で示す方
向に移動せしめることによつて、或いはこれに代
えて又はこれに加えて回転軸２８を矢印４８で示
す方向に移動せしめることによつて、研削ホイー
ル２と硬脆材料４６とが矢印４８及び５０で示す
方向、即ち研削ホイール２の中心軸線２０に略垂
直で且つ硬脆材料４６の研削すべき平面に実質上
平行な方向に相対的に移動せしめられる。かくす
ると、第４図から容易に理解される如く、最初に
外側ブレード６ａが硬脆材料４６に作用して研削
深さd₁で研削し、次いで中間ブレード６ｂが硬脆
材料４６に作用して研削深さd₂＝l₁で研削し、し
かる後に内側ブレード６ｃが硬脆材料４６に作用
して研削深さd₃＝l₂で研削し、かくして合計研削
深さｄ＝d₁＋d₂＋d₃で硬脆材料４６の平面が研削
される。

而して、上述した通りの多層ブレード式研削ホ
イール２による研削おいては、次の事実が注目さ
れねばならない。即ち、外側ブレード６ａによる
研削深さd₁は、研削ホイール２と硬脆材料４６の
上下方向の相対的位置を調整することによつて適
宜に調整することが可能である。しかしながら、
中間ブレード６ｂによる研削深さd₂は、外側ブレ
ード６ａの研削部１６ａの先端面２２ａと中間ブ
レード６ｂの研削部１６ｂの先端面２２ｂとの中
心軸線２０の方向における間隔l₁によつて一義的
に規定され、内側ブレード６ｃによる研削深さd₃
は、中間ブレード６ｂの研削部１６ｂの先端面２
２ｂと内側ブレード６ｃの研削部１６ｃの先端面
２２ｃとの中心軸線２０の方向における間隔l₂に
よつて一義的に規定される。他方、本発明者等の
経験によれば、ブレードによる研削深さがブレー
ドの研削部の厚さ、更に詳しくは最先端部を除い
た部分の厚さを越えると、硬脆材料４６の研削さ
れた平面に所謂荒れが発生して精度が低下する傾
向がある。かような次第であるので、良好な研削
を遂行するためには、外側ブレード６ａの研削部
１６ａの先端面２２ａと中間ブレード６ｂの研削
部１６ｂの先端面２２ｂとの中心軸線２０の方向
における間隔l₁は、中間ブレード６ｂの研削部１
６ｂの厚さtb以下（l₁＝tb）に設定し、中間ブレ
ード６ｂの研削部１６ｂの先端面２２ｂと内側ブ
レード６ｃの研削部１６ｃ先端面２２ｃとの中心
軸線２０の方向における間隔l₂は、内側ブレード
６ｃの研削部１６ｃの厚さtc以下（l₂≦tc）に設
定することが重要である。

更にまた、上述した通りの多層ブレード式研削
ホイール２においては、外側ブレード６ａの研削
部１６ａと中間ブレード６ｂの研削部１６ｂとの
径方向における間隔s₁は、中間ブレード６ｂの研
削部１６ｂの厚さtb以上（s₁≧tb）、特に５倍以
上（s₁≧5tb）に設定され、中間ブレード６ｂの
研削部１６ｂと内側ブレード６ｃの研削部１６ｃ
との径方向における間隔s₂は、内側ブレード６ｃ
の研削部１６ｃの厚さtc以上（s₂≧tc）、特に５
倍以上（s₂≧5tc）に設定されていることが好ま
しい。上記間隔s₁及びs₂が過剰に小さくなると、
研削の際に生じる研削屑や研削粉が上方へ逃げに
くくなるため研削抵抗が大きくなり、また硬脆材
料４６の研削された平面の精度が劣化する傾向が
ある。

上述した通りの多層ブレード式研削ホイール２
においては、更に、次の点が注目されるべきであ
る。外側ブレード６ａの研削部１６ａの先端面２
２ａと中側ブレード６ｂの研削部１６ｂの先端面
２２ｂと内側ブレード６ｃの研削部１６ｃの先端
面２２ｃとは、原理的には相互に平行であるのが
好ましい。しかしながら、先端面２２ａ，２２ｂ
及び２２ｃを相互に平行にせしめる場合には、ブ
レードの整形が比較的困難になる。この点につい
て更に詳述すると、研削ホイール２の製作におい
ては、例えば上述した電着法等によつて支持部材
４の環状突出部１２ａ，１２ｂ及び１２ｃにブレ
ード６ａ，６ｂ及び６ｃを配設した後に、一般
に、ブレード６ａ，６ｂ及び６ｃの研削部１６
ａ，１６ｂ及び１６ｃの先端面２２ａ，２２ｂ及
び２２ｃを所要の通りの形状に整形するために、
例えば研削、ホイール２をその中心軸線２０を中
心として回転せしめながらブレード６ａ，６ｂ及
び６ｃの研削部１６ａ，１６ｂ及び１６ｃの先端
面２２ａ，２２ｂ及び２２ｃに所要の砥石（かか
る砥石は例えば固定カーボランダム系砥粒製或い
は固定アランダム系砥粒製でよい）を接触せし
め、かくして先端面２２ａ，２２ｂ及び２２ｃを
研磨することが必要である。然るに、先端面２２
ａ，２２ｂ及び２２ｃを相互に平行にせしめるた
めには、先端面２２ａと先端面２２ｂとの間及び
先端面２２ｂと先端面２２ｃとの間には中心軸線
２０の方向に上記間隔l₁及びl₂が存在する故に、
先端面２２ａ，２２ｂ及び２２ｃに対して夫々別
個に砥石を接触せしめることが必要であるが、先
端面２２ａ，２２ｂ及び２２ｃの各々は環状であ
ること並びに先端面２２ａ，２２ｂ及び２２ｃの
各々の半径方向幅及び半径方向間隔は比較的小さ
いこと等に起因して、先端面２２ａ，２２ｂ及び
２２ｃに対して夫々別個に砥石を接触せしめるこ
とは不可能ではないにしても相当困難であり、そ
してまた先端面２２ａ，２２ｂ及び２２ｃの研磨
に相当な時間を要す。

これに対して、第２図に２点鎖線で示す如く、
先端面２２ａ，２２ｂ及び２２ｃに対して共通の
砥石５２を接触せしめて先端面２２ａ，２２ｂ及
び２２ｃを同時に研磨するようになせば、容易に
理解される如く、整形操作を充分容易且つ迅速に
遂行することができる。かような整形操作を遂行
すると、第２図を参照することによつて理解され
る如く、必然的に、先端面２２ａ，２２ｂ及び２
２ｃが共通平面５４内に位置することになるが、
本発明者等の経験によれば、上記共通平面５４が
研削ホイール２の中心軸線２０に対して形成する
角度βが90度より小さく70度以上（90度＞β≧70
度）、好ましくは90度＞β≧75度、特に好ましく
は90度＞β≧80度であるならば、充分に満足し得
る結果を得ることができることが判明した。上記
角度βが90度以上の場合には先端面２２ａ，２２
ｂ及び２２ｃ間における中心軸線２０の方向の上
記間隔l₁及びl₂が零乃至負の値になつてしまう。
逆に上記角度βが70度に満たないと、先端面２２
ａ，２２ｂ及び２２ｃの各々が中心軸線２０に対
して形成する角度βが過小になり、研削精度が低
下する傾向がある。

而して、半導体ウエーハの如き硬脆材料４６の
表面の研削においては、合計研削深さｄ＝d₁＋d₂
＋d₃を過剰に小さくせしめることなく、研削され
た表面の精度を充分に高くせしめることが望まれ
ることが少なくない。かような要望を満足せしめ
るには、外側ブレード６ａによる研削深さd₁及び
中間ブレード６ｂによる研削深さd₂に対して、最
後に硬脆材料４６の表面に作用し、従つて仕上げ
研削を遂行する内側ブレード６ｃによる研削深さ
d₃を相当小さくする（d₁≧d₂＞d₃＞０）ことが必
要である。かような場合には、次の通りのブレー
ド整形手順を遂行することができる。第５図を参
照して説明すると、最初に、２点鎖線５２Ａで示
す如く、共通の砥石を使用してブレード６ａ，６
ｂ及び６ｃの研削部１６ａ，１６ｂ及び１６ｃの
先端面２２ａ，２２ｂ及び２２ｃを研磨し、かく
して先端面２２ａ，２２ｂ及び２２ｃが中心軸線
２０に対して角度β₁をなす共通平面５４Ａ内に位
置するようにせしめる。上記角度β₁は、第２図を
参照して説明した角度βと同様、90度＞β₁≧70
度、好ましくは90度＞β₁≧75度、特に好ましくは
90度＞β₁≧80度である。しかる後に、２点鎖線５
２Ｂで示す如く、共通の砥石を使用して外側ブレ
ード６ａを除く中間ブレード６ｂ及び内側ブレー
ド６ｃの研削部１６ｂ及び１６ｃの先端面２２ｂ
及び２２ｃを研磨し、かくして先端面２２ｂ及び
２２ｃが共通平面５４Ｂ内に位置するようにせし
める。共通平面５４Ｂが中心軸線２０となす角度
β₂は、90度＞β₂＞β₁であることが重要である。角
度β₂が角度β₁よりも大きい（β₂＞β₁）ならば、２
点鎖線５２Ｂで示す如く共通の砥石を使用して中
間ブレード６ｂ及び内側ブレード６ｃの研削部１
６ｂ及び１６ｃの先端面２２ｂ及び２２ｃを研磨
する際に、共通の砥石が外側ブレード６ａの研削
部１６ａに作用せしめられることはない。上述し
た通りのブレード整形手順を遂行すれば、第５図
から容易に理解される如く、外側ブレード６ａの
研削部１６ａの先端面２２ａと中間ブレード６ｂ
の研削部１６ｂの先端面２２ｂとの中心軸線２０
の方向における間隔l₁、従つて中間ブレード６ａ
による研削深さd₂（第４図）を低減せしめること
なく、中間ブレード６ｂの研削部１６ｂの先端面
２２ｂと内側ブレード６ｃの研削部１６ｃの先端
面２２ｃとの中心軸線２０の方向における間隔
l₂、従つて内側ブレード６ｃによる研削深さd₃
（第４図）を低減せしめることができる。かくし
て、上述した要件（d₁≧d₂＞d₃＞０）を充足する
ことができる。

上述した要件（d₁≧d₂＞d₃＞０）を充足するた
めには、上記の通りの成形手順を遂行することに
加えて、或いはこれに代えて、外側ブレード６ａ
の研削部１６ａと中間ブレード６ｂの研削部１６
ｂとの径方向における間隔s₁に対して、中間ブレ
ード６ｂの研削部１６ｂと内側ブレード６ｃの研
削部１６ｃとの径方向における間隔s₂を比較的小
さくする（s₂＜s₁）こともできる。かくすると、
第５図に２点鎖線５４Ａで示す通りの共通の砥石
を使用した１回の整形操作のみによつても、外側
ブレード６ａの研削部１６ａの先端面２２ａと中
間ブレード６ｂの研削部１６ｂの先端面２２ｂと
の中心軸線２０の方向における間隔l₁、従つて中
間ブレード６ｂによる研削深さｄ（第４図）を低
減せしめることなく、中間ブレード６ｂの研削部
１６ｂの先端面２２ｂと内側ブレード６ｃの研削
部１６ｃの先端面２２ｃとの中心軸線２０の方向
における間隔l₂、従つて内側ブレード６ｃによる
研削深さd₃（第４図）を低減せしめることができ
る。かくして、上述した要件（d₁≧d₂＞d₃＞０）
を充足することができる。

以上、添付図面を参照して本発明に従つて改良
された多層ブレード式研削ホイールの具体例につ
いて詳細に説明したが、本発明はかかる具体例に
限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱す
ることなく種々の変形乃至修正が可能であること
は多言を要しない。

例えば、所望ならば、ブレードの研削部の周方
向断面形状を波形にせしめ、かくして自由端部の
剛性を増大せしめることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従つて改良された多層ブレ
ード式研削ホイールの一具体例を、一部で断面で
示す側面図。第２図は、第１図の多層ブレード式
研削ホイールにおけるブレードを示す部分断面
図。第３図は、第１図の多層ブレード式研削ホイ
ールを研削機の回転軸に装着した状態を、一部を
断面で示す側面図。第４図は、第１図の多層ブレ
ード式研削ホイールによつて硬脆材料の平面を研
削する状態を示す部分断面図。第５図は、本発明
に従つて改良された多層ブレード式研削ホイール
の他の具体例におけるブレードを示す部分断面
図。 ２……多層ブレード式研削ホイール、４……支
持部材、６ａ，６ｂ及び６ｃ……ブレード、１６
ａ，１６ｂ及び１６ｃ……ブレードの研削部、２
２ａ，２２ｂ及び２２ｃ……ブレードの研削部の
先端面。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 環状自由端縁部を有し且つ中心軸線を中心と
   して回転駆動される支持部材と、該環状自由端縁
   部に同心状に配設された少なくとも２枚のブレー
   ドとを具備し、該ブレードの各々は該中心軸線に
   対して100乃至160度である角度αをなして該環状
   自由端縁部から突出する研削部を有し、隣接して
   位置する２枚のブレードのうちの、径方向内側に
   位置するブレードの該研削部の先端は、該中心軸
   線の方向に見て長さｌだけ、径方向外側に位置す
   るブレードの該研削部の先端を越えて突出してい
   る多層ブレード式研削ホイールにおいて； 該長さｌは、径方向内側に位置するブレードの
   該研削部の厚さｔ以下（ｌ≦ｔ）である、ことを
   特徴とする多層ブレード式研削ホイール。 ２ 隣接して位置する２枚のブレードの該研削部
   は径方向に見て間隔ｓを置いて配設されており、
   該間隔ｓは、径方向外側に位置するブレードの該
   研削部の厚さｔ以上（ｓ≧ｔ）である、特許請求
   の範囲第１項記載の多層ブレード式研削ホイー
   ル。 ３ 該間隔ｓは、径方向外側に位置するブレード
   の該研削部の厚さｔの５倍以上（ｓ≧5t）であ
   る、特許請求の範囲第２項記載の多層ブレード式
   研削ホイール。 ４ 隣接して位置する少なくとも２枚のブレード
   の該研削部の先端面は、該中心軸線に対して90度
   より小さく70度以上の角度β（90度＞β≧70度）
   をなす共通平面内に位置する、特許請求の範囲第
   １項から第３項までのいずれかに記載の多層ブレ
   ード式研削ホイール。 ５ 該角度βは90度より小さく75度以上（90度＞
   β≧75度）である、特許請求の範囲第４項記載の
   多層ブレード式研削ホイール。 ６ 角度βは90度より小さく80度以上（90度＞β
   ≧80度）である、特許請求の範囲第５項記載の多
   層ブレード式研削ホイール。 ７ 同心状に配設された少なくとも３枚のブレー
   ドを具備し、隣接して位置する３枚のブレードの
   うちの、径方向外側に位置するブレードの該研削
   部の先端面は、該中心軸線に対して90度より小さ
   く70度以上の角度β₁（90度＞β₁≧70度）をなす平
   面内に位置し、径方向中間及び径方向内側に位置
   する２枚のブレードの該研削部の先端面は、該中
   心軸線に対して90度より小さく該角度β₁より大き
   い角度β₂（90度＞β2＞β₁）をなす共通平面内に位
   置する、特許請求の範囲第１項から第３項までの
   いずれかに記載の多層ブレード式研削ホイール。 ８ 該角度β₁は90度より小さく75度以上（90度＞
   β₁≧75度）である、特許請求の範囲第７項記載の
   多層ブレード式研削ホイール。 ９ 該角度β₁は90度より小さく80度以上（90度＞
   β₁≧80度）である、特許請求の範囲第８項記載の
   多層ブレード式研削ホイール。 １０ 同心状に配設された少なくとも３枚のブレ
   ードを具備し、隣接して位置する３枚のブレード
   のうちの、径方向外側に位置するブレードの該研
   削部と径方向中間に位置するブレードの該研削部
   とは径方向に見て間隔s₁を置いて配設されてお
   り、径方向中間に位置するブレードの該研削部と
   径方向内側に位置するブレードの該研削部とは径
   方向に見て間隔s₂を置いて配設されており、該間
   隔s₂は該間隔s₁よりも小さい（s₂＜s₁）、特許請求
   の範囲第１項から第９項までのいずれかに記載の
   多層ブレード式研削ホイール。 １１ 該角度αは110乃至150度である、特許請求
   の範囲第１項から第１０項までのいずれかに記載
   の多層ブレード式研削ホイール。 １２ 該角度α120乃至140度である、特許請求の
   範囲第１１項記載の多層ブレード式研削ホイー
   ル。 １３ 該ブレードの各々の該研削部の厚さｔは
   0.08乃至0.90mmである、特許請求の範囲第１項か
   ら第１２項までのいずれかに記載の多層ブレード
   式研削ホイール。 １４ 該厚さｔは0.10乃至0.70mmである、特許請
   求の範囲第１３項記載の多層ブレード式研削ホイ
   ール。