JPH0371700U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0371700U JPH0371700U JP13167989U JP13167989U JPH0371700U JP H0371700 U JPH0371700 U JP H0371700U JP 13167989 U JP13167989 U JP 13167989U JP 13167989 U JP13167989 U JP 13167989U JP H0371700 U JPH0371700 U JP H0371700U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capillary
- stand
- sample
- tracing
- wire bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
第１図は本考案によるワイヤボンデイング装置
の実施例を示す斜視図、第２図はワイヤボンデイ
ングを行う試料の概略平面図、第３図は第１図の
マニピユレータの詳細な正面図、第４図は第３図
のマニピユレータのトレース台の平面図、第５図
は第３図の手動操作部材の断面図、第６図は第４
図のトレース台の断面図、第７図はワイヤボンデ
イングを説明する説明図、第８図は従来技術によ
り形成されたボンデイングワイヤループの平面図
、第９図は従来技術により形成されたボンデイン
グワイヤループの正面図である。 １２……装置本体、１６……基台面、２４……
キヤピラリ、２６……ボンデイングワイヤ、３０
……試料台、３２……試料、３４……マニピユレ
ータ、３６……ボンデイングスイツチ、４０，４
２……光源、５０……トレース台、５２……ガイ
ド部、５２ａ……ガイド溝、５４……手動操作部
材、６５，６６……ソレノイド、７２……ボール
、７６……スプリングクランプ。
の実施例を示す斜視図、第２図はワイヤボンデイ
ングを行う試料の概略平面図、第３図は第１図の
マニピユレータの詳細な正面図、第４図は第３図
のマニピユレータのトレース台の平面図、第５図
は第３図の手動操作部材の断面図、第６図は第４
図のトレース台の断面図、第７図はワイヤボンデ
イングを説明する説明図、第８図は従来技術によ
り形成されたボンデイングワイヤループの平面図
、第９図は従来技術により形成されたボンデイン
グワイヤループの正面図である。 １２……装置本体、１６……基台面、２４……
キヤピラリ、２６……ボンデイングワイヤ、３０
……試料台、３２……試料、３４……マニピユレ
ータ、３６……ボンデイングスイツチ、４０，４
２……光源、５０……トレース台、５２……ガイ
ド部、５２ａ……ガイド溝、５４……手動操作部
材、６５，６６……ソレノイド、７２……ボール
、７６……スプリングクランプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 試料台と、該試料台上の試料にボンデイング
ワイヤを供給するキヤピラリと、基台面上で手動
操作されるマニピユレータと、該試料台と該キヤ
ピラリとの間で相対運動を行わせるために該試料
台と該キヤピラリの一方を該マニピユレータに連
動させる手段とを備え、該試料台と該キヤピラリ
とが第１の相対位置にあるときに第１ボンドを行
い、該マニピユレータの操作によつて該試料台と
該キヤピラリとが該第１の相対位置から移動した
第２の相対位置にあるときに第２ボンドを行うよ
うにしたワイヤボンデイング装置において、該マ
ニピユレータが装置基台面に対して移動可能なト
レース台と、該トレース台に設けられたガイド部
に沿つて移動可能に該トレース台に取りつけられ
た手動操作部材と、該手動操作部材を該トレース
台に対して解除可能に固定する解除可能な固定手
段とからなることを特徴とするワイヤボンデイン
グ装置。 ２ マニピユレータに連動して回動するトレース
マーク用ライトを設け、資料台とキヤピラリとの
相対移動方向を明示するようにした請求項１に記
載のワイヤボンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13167989U JPH0371700U (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13167989U JPH0371700U (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0371700U true JPH0371700U (ja) | 1991-07-19 |
Family
ID=31679170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13167989U Pending JPH0371700U (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0371700U (ja) |
-
1989
- 1989-11-14 JP JP13167989U patent/JPH0371700U/ja active Pending
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