JPH0373347A - インクジェット記録装置 - Google Patents
インクジェット記録装置Info
- Publication number
- JPH0373347A JPH0373347A JP21047389A JP21047389A JPH0373347A JP H0373347 A JPH0373347 A JP H0373347A JP 21047389 A JP21047389 A JP 21047389A JP 21047389 A JP21047389 A JP 21047389A JP H0373347 A JPH0373347 A JP H0373347A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- ink
- inkjet recording
- electrode
- substrate
- Prior art date
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- Granted
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- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技１じと艷
本発明は、インクジェット記録装置、より詳細には、イ
ンクジェット記録装置におけるヘッド部の構造に関する
。
ンクジェット記録装置におけるヘッド部の構造に関する
。
史来枝先
圧電効果を利用してインクキャビティ内のインクをイン
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ている３例えば、特開昭６０−９０７７０号公報には、
振動板上に圧電素子を設け、該圧電素子を剛性部材によ
って剛体的に保持するようにしたインクジェット記録ヘ
ッドが開示されている。また、特開昭６２−５６１５０
号公報には、圧電体プレート自身にキャビティ溝を形成
し。
クノズルから液滴状に噴射させることは古くから知られ
ている３例えば、特開昭６０−９０７７０号公報には、
振動板上に圧電素子を設け、該圧電素子を剛性部材によ
って剛体的に保持するようにしたインクジェット記録ヘ
ッドが開示されている。また、特開昭６２−５６１５０
号公報には、圧電体プレート自身にキャビティ溝を形成
し。
該圧電体プレートにカバープレーｈを接合し、キャビテ
ィ溝で複数列のインクキャビティを構成するようにした
インクジェット記録ヘッドが開示されている。しかし、
上記両公報には、ともに圧電素子から外部への電極−の
とり出しについての開示はなく１通常のはんだ付等によ
るリード線の引き出しが想定されているに過ぎず、集積
化された時の電極の配線、接続処理が大変で、加工１組
立が困難で、コスト高になる欠点があった。
ィ溝で複数列のインクキャビティを構成するようにした
インクジェット記録ヘッドが開示されている。しかし、
上記両公報には、ともに圧電素子から外部への電極−の
とり出しについての開示はなく１通常のはんだ付等によ
るリード線の引き出しが想定されているに過ぎず、集積
化された時の電極の配線、接続処理が大変で、加工１組
立が困難で、コスト高になる欠点があった。
且−一直
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
特に、高密度に集積化された電気的アクチュエート手段
から、外部への電気的接続において、構成部品を単純化
し、かつ、少量化することで加工性、組立性を向上させ
、コストの低減を図るとともに、信頼性の向上に寄与す
ることを目的としてなされたものである。
特に、高密度に集積化された電気的アクチュエート手段
から、外部への電気的接続において、構成部品を単純化
し、かつ、少量化することで加工性、組立性を向上させ
、コストの低減を図るとともに、信頼性の向上に寄与す
ることを目的としてなされたものである。
遭−一」叉
本発明は、上記目的を遠戚するために、流路の長手方向
に対して互いに間隔をあけた多数の平行流路と液滴噴射
のために該各流路に接続された各ノズルと、該流路に給
液する供給手段とを有し。
に対して互いに間隔をあけた多数の平行流路と液滴噴射
のために該各流路に接続された各ノズルと、該流路に給
液する供給手段とを有し。
ある流路のアクチュエート部ンが選択された時にその選
択された流路の壁面の少なくとも一面が長手方向に垂直
な変位を生じされる圧電素子の駆動によって対応接続さ
れているノズルから、液滴を吐出させるインクジェット
記録装置において、流路に対応するように圧電素子を実
質的に独立分割するようにスリットを設け、該圧電素子
を接合保持する基板上に設けられた電極パターンを、該
圧電素子のスリット加工と同時に、パターン分離するこ
とによって、圧電素子から外部への独立した電気的接続
をすることを特徴としたものである。
択された流路の壁面の少なくとも一面が長手方向に垂直
な変位を生じされる圧電素子の駆動によって対応接続さ
れているノズルから、液滴を吐出させるインクジェット
記録装置において、流路に対応するように圧電素子を実
質的に独立分割するようにスリットを設け、該圧電素子
を接合保持する基板上に設けられた電極パターンを、該
圧電素子のスリット加工と同時に、パターン分離するこ
とによって、圧電素子から外部への独立した電気的接続
をすることを特徴としたものである。
以下本発明の実施例に基づいて説明する。
第１図は、本発明によるインクジェット記録装置の一実
施例を説明するための斜視図、第２図は。
施例を説明するための斜視図、第２図は。
第１図のｎ−ｎ線断面図、第３図は、第１図のｍ−ｍ線
断面図で、図中、工は流路板、２は圧電素子、３は基板
、４は郷動ＩＣ，１１は流路。
断面図で、図中、工は流路板、２は圧電素子、３は基板
、４は郷動ＩＣ，１１は流路。
１２は共通液室、工３はインク供給路、１４はノズル（
オリフィス）、１５は充填材、１６は圧電素子電極、１
７ａ〜１７ｃは電極で、基板３上に接合保持された圧電
素子２は個別に７クチユエーシヨン可能なように実質的
にスリットによって分離され、スリット部には充填材１
５が埋設されている。流路板ｌには圧電素子２のアクチ
ュエート部に対応して、平行な流路上１が設けられ、圧
電素子２と接合している。流路１１の一方の延長上にノ
ズル１４が、また他の一方には、共通液室１２およびイ
ンク供給路１３が接続し、インクタンクより（図示せず
）各インク流路１１にインクが給液される。
オリフィス）、１５は充填材、１６は圧電素子電極、１
７ａ〜１７ｃは電極で、基板３上に接合保持された圧電
素子２は個別に７クチユエーシヨン可能なように実質的
にスリットによって分離され、スリット部には充填材１
５が埋設されている。流路板ｌには圧電素子２のアクチ
ュエート部に対応して、平行な流路上１が設けられ、圧
電素子２と接合している。流路１１の一方の延長上にノ
ズル１４が、また他の一方には、共通液室１２およびイ
ンク供給路１３が接続し、インクタンクより（図示せず
）各インク流路１１にインクが給液される。
選択された圧電素子２に電気信号が入力されると、当該
圧電素子２は厚み方向への変位をおこし、対応するイン
ク流路１１に容積変化を与える。これによるインク流路
１１内の圧力が増加し、それによってインク液がノズル
１４より吐出する。
圧電素子２は厚み方向への変位をおこし、対応するイン
ク流路１１に容積変化を与える。これによるインク流路
１１内の圧力が増加し、それによってインク液がノズル
１４より吐出する。
第４図及び第５図は、本発明によるインクジェット記録
ヘッドの詳細な構成を説明するための斜視図、第６図は
、第５図の■−■線断面図で、基板３は通常シリコン、
セラミック、ガラス、樹脂等よりなり、電極は、通常、
圧電素子、駆動ＩＣ電極接続用電極１７ａと、外部リー
ド線接続用電極１７ｂと、グランド電極用電極１７ｃと
から成り、これら電極が基板３上にバターニングされて
施されている。このように、電極がパターニングされた
基板３上に、概略の位置決めによって圧電素子２をたと
えば、接着等の手段により接合する（第４図）。つぎに
この圧電素子２にスリット２０の加工をたとえば切削加
工等により行う（第５図）、スリット２０の巾を３０〜
４０μｍ、圧電素子２の巾を８０〜９０μｍ程度で加工
することにより８本／ｍ程度の集積化が可能となる。こ
れは通常のダイシングソー等により十分加工可能である
。
ヘッドの詳細な構成を説明するための斜視図、第６図は
、第５図の■−■線断面図で、基板３は通常シリコン、
セラミック、ガラス、樹脂等よりなり、電極は、通常、
圧電素子、駆動ＩＣ電極接続用電極１７ａと、外部リー
ド線接続用電極１７ｂと、グランド電極用電極１７ｃと
から成り、これら電極が基板３上にバターニングされて
施されている。このように、電極がパターニングされた
基板３上に、概略の位置決めによって圧電素子２をたと
えば、接着等の手段により接合する（第４図）。つぎに
この圧電素子２にスリット２０の加工をたとえば切削加
工等により行う（第５図）、スリット２０の巾を３０〜
４０μｍ、圧電素子２の巾を８０〜９０μｍ程度で加工
することにより８本／ｍ程度の集積化が可能となる。こ
れは通常のダイシングソー等により十分加工可能である
。
第６図は、上述のごとく、スリット２０を形成した後の
図で、このスリット加工によって圧電素子２が実質的に
分離されるのと同時に電極パターンも分離・独立される
。つまり、このとき圧電素子２と同時に基板３も一部加
工することになる。
図で、このスリット加工によって圧電素子２が実質的に
分離されるのと同時に電極パターンも分離・独立される
。つまり、このとき圧電素子２と同時に基板３も一部加
工することになる。
また、基板３の前面（第６図Ｍ部）は、グランド電極１
７ｃを分離しないようにするため加工をしないようにす
るのがよい。
７ｃを分離しないようにするため加工をしないようにす
るのがよい。
このあとで、駆動ＩＣ４（分離した電極のパターンのピ
ッチに合わせて電極が配置されている。）をチップフロ
ーなどによって取付る。基板３の材質を適当に選択する
ことによって、駆動ＩＣ４の放熱を十分に行うことも可
能となる。
ッチに合わせて電極が配置されている。）をチップフロ
ーなどによって取付る。基板３の材質を適当に選択する
ことによって、駆動ＩＣ４の放熱を十分に行うことも可
能となる。
また、前述のスリット加工において、外部ＩＪ−ド線接
続用のパターンも同一ピッチで分離独立されるので、必
要に応じて選択的にワイヤー、ボンディング等により使
用することができる。
続用のパターンも同一ピッチで分離独立されるので、必
要に応じて選択的にワイヤー、ボンディング等により使
用することができる。
第７図（、）、（ｂ）は圧電索子２の電極構成の例を示
す図で、（ａ）図は圧電素子が単層の場合、（ｂ）図は
積層のもので、２ａはグランド電極、２ｂはホット電極
を示し、圧電素子は（ｂ）図に示すように！１層タイプ
のものと使用することも可能である。
す図で、（ａ）図は圧電素子が単層の場合、（ｂ）図は
積層のもので、２ａはグランド電極、２ｂはホット電極
を示し、圧電素子は（ｂ）図に示すように！１層タイプ
のものと使用することも可能である。
勿−一−−果
以上の説明から明らかなように、本発明によると、同時
加工することにより、圧電素子の実効巾と基板上の電極
パターンの巾とが同一となって分離されるので、電気的
接続のアライメントが簡易化され、また、各個別に分割
された圧電素子の電極面が十分な面積をもって基板の電
極面に接合されるので、電気的接続の信頼性があがる。
加工することにより、圧電素子の実効巾と基板上の電極
パターンの巾とが同一となって分離されるので、電気的
接続のアライメントが簡易化され、また、各個別に分割
された圧電素子の電極面が十分な面積をもって基板の電
極面に接合されるので、電気的接続の信頼性があがる。
集積化された電極の配線、接続処理の構成が単純化され
、加工・組立性を容易にし、コストの低減を図れる。
、加工・組立性を容易にし、コストの低減を図れる。
基板上に駆動ＩＣ体を直載することでヘッド本体が小型
軽量化が可能となり、信頼性が向上する。
軽量化が可能となり、信頼性が向上する。
等の利点がある。
第１図は、本発明によるインクジェット記録装置の一実
施例を説明するための斜視図、第２図は、第工図のｎ−
ｎ線断面図、第３図は、第１図の＋ｎ−ｍｎ−ｍ線断面
図同第４図５図は、本発明によるインクジェット記録ヘ
ッドの威作過程を説明するための斜視図、第６図は、第
５図の■−■線断面図、第７図は、圧電素子の構成例を
示す図である。 １・・流路板、２・・・圧電素子、３・・・基板、４・
・・駆動ＩＣ１１１・・・流路、１２・・・共通液室、
１３・・・インク供給路、１４・・・ノズル（オリフィ
ス）、１５・・・充填材、１６・・・圧電素子電極、１
７ａ〜１７ｃ・・・電極。 第３図
施例を説明するための斜視図、第２図は、第工図のｎ−
ｎ線断面図、第３図は、第１図の＋ｎ−ｍｎ−ｍ線断面
図同第４図５図は、本発明によるインクジェット記録ヘ
ッドの威作過程を説明するための斜視図、第６図は、第
５図の■−■線断面図、第７図は、圧電素子の構成例を
示す図である。 １・・流路板、２・・・圧電素子、３・・・基板、４・
・・駆動ＩＣ１１１・・・流路、１２・・・共通液室、
１３・・・インク供給路、１４・・・ノズル（オリフィ
ス）、１５・・・充填材、１６・・・圧電素子電極、１
７ａ〜１７ｃ・・・電極。 第３図
Claims (1)
- １、流路の長手方向に対して互いに間隔をあけた多数の
平行流路と液滴噴射のために該各流路に接続された各ノ
ズルと、該流路に給液する供給手段とを有し、ある流路
のアクチュエーションが選択された時に該選択された流
路の壁面の少なくとも一面が長手方向に垂直な変位を生
じさせられる圧電素子の駆動によって対応するノズルか
ら、液滴を吐出させるインクジェット記録装置において
、前記流路に対応するように圧電素子を実質的に独立分
割するようにスリットを設け、該圧電素子を接合保持す
る基板上に設けられた電極パターンを該圧電素子のスリ
ット加工と同時にパターン分離することによって、圧電
素子から外部への独立した電気的接続としたことを特徴
とするインクジェット記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21047389A JP2807497B2 (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 | インクジェット記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21047389A JP2807497B2 (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 | インクジェット記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0373347A true JPH0373347A (ja) | 1991-03-28 |
| JP2807497B2 JP2807497B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=16589925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21047389A Expired - Fee Related JP2807497B2 (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 | インクジェット記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2807497B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5517225A (en) * | 1991-12-26 | 1996-05-14 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
| US5761783A (en) * | 1994-03-29 | 1998-06-09 | Citizen Watch Co., Ltd. | Ink-jet head manufacturing method |
| US5764257A (en) * | 1991-12-26 | 1998-06-09 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
| JP2003519027A (ja) * | 2000-01-07 | 2003-06-17 | ザール テクノロジー リミテッド | 液滴付着装置 |
-
1989
- 1989-08-14 JP JP21047389A patent/JP2807497B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5517225A (en) * | 1991-12-26 | 1996-05-14 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
| US5630274A (en) * | 1991-12-26 | 1997-05-20 | Seiko Epson Corporation | Method of making an ink jet recording head |
| US5764257A (en) * | 1991-12-26 | 1998-06-09 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
| EP0795404A3 (en) * | 1991-12-26 | 2000-11-02 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head |
| US6286942B1 (en) | 1991-12-26 | 2001-09-11 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head with mechanism for positioning head components |
| US5761783A (en) * | 1994-03-29 | 1998-06-09 | Citizen Watch Co., Ltd. | Ink-jet head manufacturing method |
| US6039440A (en) * | 1994-03-29 | 2000-03-21 | Citizen Watch Co., Ltd. | Ink-jet head |
| JP2003519027A (ja) * | 2000-01-07 | 2003-06-17 | ザール テクノロジー リミテッド | 液滴付着装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2807497B2 (ja) | 1998-10-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |