JPH0373638B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0373638B2 JPH0373638B2 JP16375086A JP16375086A JPH0373638B2 JP H0373638 B2 JPH0373638 B2 JP H0373638B2 JP 16375086 A JP16375086 A JP 16375086A JP 16375086 A JP16375086 A JP 16375086A JP H0373638 B2 JPH0373638 B2 JP H0373638B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing
- strip
- strip material
- sealing device
- shaped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、鋼板、フイルム等の帯状材を真空
又は高圧処理室で連続的に処理するためのシール
装置に関するものである。
又は高圧処理室で連続的に処理するためのシール
装置に関するものである。
［従来の技術］
従来、ブロアー、タービン等の回転軸のシール
機構としてラビリンスシールが知られている。
機構としてラビリンスシールが知られている。
［発明の解決しようとする問題点］
上記ラビリンスシールを、帯状材を例えば真空
処理室に導く過程で大気とのシール装置として用
いようとすると、第４図に示す構成となる。帯状
材１を上下から挟んでシール材２，２が多段に設
けられている。シール材２，２の先端と帯状材１
との〓間３はできるだけ小さいことが望ましい。
しかし〓間３を小さくすると搬送される帯状材１
と接触して帯状材に疵をつけるおそれがある。ま
た、この図に示す直通型のラビリンスシールでは
「吹抜け」と呼ばれる流れ４が多くシール効果が
よくない等の問題がある。
処理室に導く過程で大気とのシール装置として用
いようとすると、第４図に示す構成となる。帯状
材１を上下から挟んでシール材２，２が多段に設
けられている。シール材２，２の先端と帯状材１
との〓間３はできるだけ小さいことが望ましい。
しかし〓間３を小さくすると搬送される帯状材１
と接触して帯状材に疵をつけるおそれがある。ま
た、この図に示す直通型のラビリンスシールでは
「吹抜け」と呼ばれる流れ４が多くシール効果が
よくない等の問題がある。
この発明は、上記のような問題点を解消できる
ようにしたシール装置を提供することを目的とす
るものである。
ようにしたシール装置を提供することを目的とす
るものである。
［問題点を解決するための手段、作用］
帯状材を上下から挟むように該帯状材の進行方
向に直交して配設された弾性材からなる板状のシ
ール材の帯状材に向く先端部を変形しやすいよう
に順次薄肉とすると共に、漏洩流体に対向する面
に該漏洩流体の流れを乱す凹状溝を形成する。
向に直交して配設された弾性材からなる板状のシ
ール材の帯状材に向く先端部を変形しやすいよう
に順次薄肉とすると共に、漏洩流体に対向する面
に該漏洩流体の流れを乱す凹状溝を形成する。
弾性体からなるシール材の先端部が変形しやす
いように順次薄肉になつているので、帯状材に接
触することがあつても、帯状材に疵をつけること
がない。又漏洩流体の流れを乱す凹状溝が形成さ
れているので、吹抜けを防止することができる。
いように順次薄肉になつているので、帯状材に接
触することがあつても、帯状材に疵をつけること
がない。又漏洩流体の流れを乱す凹状溝が形成さ
れているので、吹抜けを防止することができる。
［実施例］
本発明の一実施例を第１図により説明する。シ
ール装置１０は、帯状材１を上下から挟むよう
に、帯状材の進行方向に直交して設けられてい
る。シール装置１０は、ベース１１に弾性材から
なる板状シール材１２を設けて構成されている。
板状シール１２の材料は、ゴム、PTFF、ポリエ
チレン材、カーボン材などが適当であり、その硬
度はゴム硬度で60゜〜90゜となつている。そして板
状シール１２の帯状材１に向く先端部１３は変形
しやすいように順次薄肉に形成されている。また
漏洩流体４に対向する面にこの漏洩流体の流れを
乱す凹状溝１４が形成されている。
ール装置１０は、帯状材１を上下から挟むよう
に、帯状材の進行方向に直交して設けられてい
る。シール装置１０は、ベース１１に弾性材から
なる板状シール材１２を設けて構成されている。
板状シール１２の材料は、ゴム、PTFF、ポリエ
チレン材、カーボン材などが適当であり、その硬
度はゴム硬度で60゜〜90゜となつている。そして板
状シール１２の帯状材１に向く先端部１３は変形
しやすいように順次薄肉に形成されている。また
漏洩流体４に対向する面にこの漏洩流体の流れを
乱す凹状溝１４が形成されている。
板状シール１２は、前後の圧力差によつて大き
く変形しない程度の剛性をもつている。そして、
シール材１２の先端部１３は、変形しやすい形状
となつているので、帯状材１が接触した場合に
も、帯状材に大きな力をかけることはない。そこ
でシール材先端部と帯状材との〓間を小さくし
て、シール効率を向上させることができる。ま
た、漏洩流体４の流れを乱す凹状溝１４が形成さ
れているから、図に示すように漏洩流体に対向す
る過流が発生するので、吹抜けを低減してシール
効果を向上させることができる。
く変形しない程度の剛性をもつている。そして、
シール材１２の先端部１３は、変形しやすい形状
となつているので、帯状材１が接触した場合に
も、帯状材に大きな力をかけることはない。そこ
でシール材先端部と帯状材との〓間を小さくし
て、シール効率を向上させることができる。ま
た、漏洩流体４の流れを乱す凹状溝１４が形成さ
れているから、図に示すように漏洩流体に対向す
る過流が発生するので、吹抜けを低減してシール
効果を向上させることができる。
なお、シール材の材質としてゴル等のエラスト
マ弾性体を使用すると、熱に対して弱くなる。従
つて帯状材が高温である場合に熱変形しやすくな
る。そこで、第２図に示すように、シール材の弾
性変形を妨げないように先端部に冷却管１５を埋
設して、シール材の温度を適温にコントロールで
きるようにする。
マ弾性体を使用すると、熱に対して弱くなる。従
つて帯状材が高温である場合に熱変形しやすくな
る。そこで、第２図に示すように、シール材の弾
性変形を妨げないように先端部に冷却管１５を埋
設して、シール材の温度を適温にコントロールで
きるようにする。
次に本発明シール装置１０の適用例を第３図に
示す。帯状材１を真空処理室２１で連続処理する
ために、処理室２１の入側および出側に差動排気
装置２２が設けられている。差動排気装置２２の
各真空間をシールするためにシール装置１０が用
いられている。こうして、処理すべき帯状材に疵
をつけることなく、シール性を向上させ、差動排
気装置の真空ポンプの所要動力を低減させること
ができる。
示す。帯状材１を真空処理室２１で連続処理する
ために、処理室２１の入側および出側に差動排気
装置２２が設けられている。差動排気装置２２の
各真空間をシールするためにシール装置１０が用
いられている。こうして、処理すべき帯状材に疵
をつけることなく、シール性を向上させ、差動排
気装置の真空ポンプの所要動力を低減させること
ができる。
［発明の効果］
この発明は上記のようなもので、帯状材の連続
処理に際し、処理材に疵をつけることなく、シー
ル性を向上させることができる。
処理に際し、処理材に疵をつけることなく、シー
ル性を向上させることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第
２図は変形例の縦断面図、第３図は本発明品を適
用した帯状材の連続処理設備の説明図、第４図は
ラビリンスシールを帯状材のシールに適用する場
合の説明図である。 １……帯状材、１０……シール装置、１２……
板状シール材、１３……先端部、１４……凹状
溝、１５……冷却管。
２図は変形例の縦断面図、第３図は本発明品を適
用した帯状材の連続処理設備の説明図、第４図は
ラビリンスシールを帯状材のシールに適用する場
合の説明図である。 １……帯状材、１０……シール装置、１２……
板状シール材、１３……先端部、１４……凹状
溝、１５……冷却管。
Claims (1)
- １ 鋼板、フイルム等の帯状材を真空又は高圧処
理室で連続的に処理するためのシール装置で、帯
状材を上下から挟むように該帯状材の進行方向に
直交して配設された弾性材からなる板状のシール
材の帯状材に向く先端部を変形しやすいように順
次薄肉とすると共に、漏洩流体に対向する面に該
漏洩流体の流れを乱す凹状溝を形成したことを特
徴とするシール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16375086A JPS6320472A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | シ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16375086A JPS6320472A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | シ−ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320472A JPS6320472A (ja) | 1988-01-28 |
| JPH0373638B2 true JPH0373638B2 (ja) | 1991-11-22 |
Family
ID=15779982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16375086A Granted JPS6320472A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | シ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6320472A (ja) |
-
1986
- 1986-07-14 JP JP16375086A patent/JPS6320472A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6320472A (ja) | 1988-01-28 |
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