JPS6320472A - シ−ル装置 - Google Patents
シ−ル装置Info
- Publication number
- JPS6320472A JPS6320472A JP16375086A JP16375086A JPS6320472A JP S6320472 A JPS6320472 A JP S6320472A JP 16375086 A JP16375086 A JP 16375086A JP 16375086 A JP16375086 A JP 16375086A JP S6320472 A JPS6320472 A JP S6320472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strip
- shaped
- sealing
- shaped material
- sealing members
- Prior art date
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- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明は、鋼板、フィルム等の帯状材を真空又は高圧
処理室で連続的に処理するためのシール装置に関するも
のである。
処理室で連続的に処理するためのシール装置に関するも
のである。
［従来の技術］
従来、ブロアー、タービン等の回転軸のシール機構とし
てラビリンスシールが知られている。
てラビリンスシールが知られている。
［発明の解決しようとする問題点］
上記ラビリンスシールを、帯状材を例えば真空処理室に
導く過程で大気とのシール装置として用いようとすると
、第４図に示す構成となる。帯状材１を上下から挟んで
シール材２，２が多段に設けられている。シール材２．
２の先端と帯状材１との隙間３はできるだけ小さいこと
が望ましい。しかし隙間３を小さくすると搬送される帯
状材１と接触して帯状材に疵をつけるおそれがある。ま
た、この図に示す直通型のラビリンスシールでは「吹抜
け」と呼ばれる流れ４が多くシール効果がよくない等の
問題がある。
導く過程で大気とのシール装置として用いようとすると
、第４図に示す構成となる。帯状材１を上下から挟んで
シール材２，２が多段に設けられている。シール材２．
２の先端と帯状材１との隙間３はできるだけ小さいこと
が望ましい。しかし隙間３を小さくすると搬送される帯
状材１と接触して帯状材に疵をつけるおそれがある。ま
た、この図に示す直通型のラビリンスシールでは「吹抜
け」と呼ばれる流れ４が多くシール効果がよくない等の
問題がある。
この発明は、上記のような問題点を解消できるようにし
たシール装置を提供することを目的とするものである。
たシール装置を提供することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段、作用］帯状材を上下か
ら挟むように該帯状材の進行方向に直交して配設された
弾性材からなる板状のシール材の帯状材に向く先端部を
変形しやすいように順次薄肉にすると共に、漏洩流体に
対向する面に該漏洩流体の流れを乱す凹状溝を形成する
。
ら挟むように該帯状材の進行方向に直交して配設された
弾性材からなる板状のシール材の帯状材に向く先端部を
変形しやすいように順次薄肉にすると共に、漏洩流体に
対向する面に該漏洩流体の流れを乱す凹状溝を形成する
。
弾性体からなるシール材の先端部が変形しゃすいように
順次薄肉になっているので、帯状材に接触することがあ
っても、帯状材に疵をつけることがない。又漏洩流体の
流れを乱す凹状溝が形成されているので、吹抜けを防止
することができる。
順次薄肉になっているので、帯状材に接触することがあ
っても、帯状材に疵をつけることがない。又漏洩流体の
流れを乱す凹状溝が形成されているので、吹抜けを防止
することができる。
［実施例］
本発明の一実施例を第１図により説明する。シール装置
ｌＯは、帯状材ｌを上下から挟むように、帯状材の進行
方向に直交して設けられている。シール装ａｉｏは、ベ
ース１１に弾性材からなる板状シール材１２を設けて構
成されている。板状シール１２の材料は、ゴム、 ＰＴ
ＦＦ、ポリエチレン材、カーボン材などが適当であり、
その硬度はゴム硬度で６０°〜９０＠となっている。そ
して板状シール１２の帯状材ｌに向く先端部１３は変形
しゃすいように順次薄肉に形成されている。また漏洩流
体４に対向する面にこの漏洩流体の流れを乱す凹状溝１
４が形成されている。
ｌＯは、帯状材ｌを上下から挟むように、帯状材の進行
方向に直交して設けられている。シール装ａｉｏは、ベ
ース１１に弾性材からなる板状シール材１２を設けて構
成されている。板状シール１２の材料は、ゴム、 ＰＴ
ＦＦ、ポリエチレン材、カーボン材などが適当であり、
その硬度はゴム硬度で６０°〜９０＠となっている。そ
して板状シール１２の帯状材ｌに向く先端部１３は変形
しゃすいように順次薄肉に形成されている。また漏洩流
体４に対向する面にこの漏洩流体の流れを乱す凹状溝１
４が形成されている。
板状シール１２は、前後の圧力差によって大きく変形し
ない程度の剛性をもっている。そして、シール材１２の
先端部１３は、変形しやすい形状となっているので、帯
状材ｌが接触した場合にも、帯状材に大きな力をかける
ことはない。そこでシール材先端部と帯状材との隙間を
小さくして、シール効率を向上させることができる。ま
た、漏洩流体４の流れを乱す凹状溝１４が形成されてい
るから、図に示すように漏洩流体に対向する渦流が発生
するので、吹抜けを低減してシール効果を向上させるこ
とができる。
ない程度の剛性をもっている。そして、シール材１２の
先端部１３は、変形しやすい形状となっているので、帯
状材ｌが接触した場合にも、帯状材に大きな力をかける
ことはない。そこでシール材先端部と帯状材との隙間を
小さくして、シール効率を向上させることができる。ま
た、漏洩流体４の流れを乱す凹状溝１４が形成されてい
るから、図に示すように漏洩流体に対向する渦流が発生
するので、吹抜けを低減してシール効果を向上させるこ
とができる。
なお、シール材の材質としてゴム等のエラストマ弾性体
を使用すると、熱に対して弱くなる。従って帯状材が高
温である場合に熱変形しやすくなる。そこで、第２図に
示すように、シール材の弾性変形を妨げないように先端
部に冷却管１５を埋設して、シール材の温度を適温にコ
ントロールできるようにする。
を使用すると、熱に対して弱くなる。従って帯状材が高
温である場合に熱変形しやすくなる。そこで、第２図に
示すように、シール材の弾性変形を妨げないように先端
部に冷却管１５を埋設して、シール材の温度を適温にコ
ントロールできるようにする。
次に本発明シール装置１０の適用例を第３図に示す。帯
状材ｌを真空処理室２１で連続処理するために、処理室
２１の入側および出側に差動排気装置２２が設けられて
いる。差動排気装置２２の各真空間をシールするために
シール装置１０が用いられている。
状材ｌを真空処理室２１で連続処理するために、処理室
２１の入側および出側に差動排気装置２２が設けられて
いる。差動排気装置２２の各真空間をシールするために
シール装置１０が用いられている。
こうして、処理すべき帯状材に疵をつけることなく、シ
ール性を向上させ、差動排気装置の真空ポンプの所要動
力を低減させることができる。
ール性を向上させ、差動排気装置の真空ポンプの所要動
力を低減させることができる。
［発明の効果］
この発明は上記のようなもので、帯状材の連続処理に際
し、処理材に疵をつけることなく、シール性を向上させ
ることができる。
し、処理材に疵をつけることなく、シール性を向上させ
ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は変
形例の縦断面図、第３図は本発明品を適用した帯状材の
連続処理設備の説明図、第４図はラビリンスシールを帯
状材のシールに適用する場合の説明図である。 ｌ・・・帯状材、ｌＯ・・・シール装置、１２・・・板
状シール材、１３・・・先端部、１４・・・凹状溝、１
５・・・冷却管。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第 ２ 図
形例の縦断面図、第３図は本発明品を適用した帯状材の
連続処理設備の説明図、第４図はラビリンスシールを帯
状材のシールに適用する場合の説明図である。 ｌ・・・帯状材、ｌＯ・・・シール装置、１２・・・板
状シール材、１３・・・先端部、１４・・・凹状溝、１
５・・・冷却管。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第 ２ 図
Claims (1)
- 鋼板、フィルム等の帯状材を真空又は高圧処理室で連続
的に処理するためのシール装置で、帯状材を上下から挟
むように該帯状材の進行方向に直交して配設された弾性
材からなる板状のシール材の帯状材に向く先端部を変形
しやすいように順次薄肉とすると共に、漏洩流体に対向
する面に該漏洩流体の流れを乱す凹状溝を形成したこと
を特徴とするシール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16375086A JPS6320472A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | シ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16375086A JPS6320472A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | シ−ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320472A true JPS6320472A (ja) | 1988-01-28 |
| JPH0373638B2 JPH0373638B2 (ja) | 1991-11-22 |
Family
ID=15779982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16375086A Granted JPS6320472A (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 | シ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6320472A (ja) |
-
1986
- 1986-07-14 JP JP16375086A patent/JPS6320472A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0373638B2 (ja) | 1991-11-22 |
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