JPH0377080A - 配線層のエレクトロマイグレーション寿命測定法及びそれに用いる装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【産業上の利用分野１ 本発明は、半導体集積回路などに用いている配Ｉｉ層の
評価パラメータの１つとしてのエレクトロマイグレーシ
ョン寿命を測定する方法、及びそれに用いる装置に関す
る。 【従来の技術】 従来、第８図を伴って次に述べる配線層のエレクトロマ
イグレーション寿命測定法、及びそれに用いる配線層の
エレクトロマイグレーション寿命測定装置が提案されて
いる。 まず、従来提案されている配線層のエレクトロマイグレ
ーション寿命測定用装置について述べるに、測定せんと
する配線層として用意された配線層１が接続される接続
端子Ｐ１及びＰ２を有する。 また、それら接続端子Ｐ１及び１２間に接続される配線
層１に、接続端子Ｐ１及びＰ２を通じて電流を供給させ
る電流供給路Ｌ１及びＬ２を有する。 さらに、接続端子Ｐ１及び１２間に配線層１が接続され
ているとき、電流供給路Ｌ１及びＬ２を通じて配Ｉｉ１
層１に、一方向に供給する第９図に示すような一定値■
、を有する直流電流Ｉを出力する電流源２を有する。 また、接続端子Ｐ１及び１２間の電圧または抵抗を測定
する電圧または抵抗測定器３を有する。 さらに、電圧または抵抗測定器３からの、接続端子Ｐ１
及び１２間に配置ｉＩ層１を接続し且つ電流源２から直
流電流Ｉを出力させたときに得られる測定出力Ｓから、
配線層１への直流電流１の供給開始時点ｔｏから配線層
１がｉｓする時点ｔＳまでの時間下を、測定せんとする
配線層のエレクトロマイグレーション寿命として測定し
、その測定出力Ｅを出力する時間測定器４を有する。 以上が、従来提案されている配線層のエレク］−ロマイ
グレーション寿命測定用装置の構成である。 次に、上述した従来の配線層のエレクトロマイグレーシ
ョン寿命測定用装置を用いた従来提゛案されている配線
層のエレクトロマイグレーション寿命測定法を述べるに
、測定せんとする配ｍｓとして配線Ｉｌｌを用意する。 そして、その配線層１を、第８図に示すように、配置１
層のエレクトロマイグレーション寿命測定用装置の接続
端子Ｐ１及び１２間に接続して、その配線Ｂ１に、電流
源１から、第９図で上述した直ｉ電流Ｉを、その配線層
１が断線す・るまで一方向に供給する。 しかるとぎは、接続端子Ｐ１及び１２間でみた電圧また
は抵抗の値が、配ＩＩ層１に直流電流Ｉを供給開始した
ときの時点ｔ。と配線層１が断線したときの時点ｔ、と
で変化することから、電圧または抵抗測定器３からの測
定出力Ｓが、配線層１に直流電流Ｉを供給開始したとき
の時点ｔ。と配線層１が断線したときの時点ｔ、とで変
化していることを表している出力で得られる。 また、そのような測定出力Ｓが電圧または抵抗測定器３
から得られれば、時間測定器４からの測定出力Ｅが、時
点ｔ。及びｔＳ間の時間Ｔを表している出力で得られる
。 従って、そのような時間測定器４から得られる測定出力
Ｅによって、配ＩＱ層１に直流電流Ｉを供給開始した時
点ｔ０から配線層１が断線する時点ｔ、までの時間Ｔを
、測定せんとする配ＷＡＮのエレクトロマイグレーショ
ン寿命として測定する。 以上が、従来提案されている配線層のエレクトロマイグ
レーション寿命測定法である。

【発明が解決しようとする課題】

上述した従来の配線層のエレクトロマイグレーション寿
命測定法によれば、測定せんとする配線層としての配線
１ｉ１１に直流電流Ｉを供給開始してから、配線層１が
断線するまでの間において、配線層が、それに流される
直流電流Ｉによって、ジュール発熱を伴い、その配線層
１内に温度勾配が生ずることから、配置［の断線は、サ
ーマルマイグレーション効果の加味されたエレクトロマ
イグレーション効果によるものである。 従って、上述した従来の配線層のエレクトロマイグレー
ション寿命測定法の場合、エレクトロマイグレーション
寿命が、サーマルマイグレーション効果にもとすく誤差
を含んでいるものとして得られる、という欠点を有して
いた。 よって、本発明は、上述した欠点のない配線層のエレク
トロマイグレーション寿命測定法、及びそれに用いる装
置を提案せんとするものである。

【課題を解決するための手段］ 本願第１番目の発明による配線層のエレクトロマイグレ
ーション寿命測定法は、■測定せんとする配ｌｌｌ１ｉ
として、同じ２つの第１及び第２の配線層を用意し、そ
して、■（１）上記第１の配線層に、第１の直流電流を
、第１の方向に連続的に供給することを、当該第１の配
線層が断線するまで行い、その断線までの時間Ｔ１を測
定することと、（ｉｉ）上記第２の配線層に、上記第１
の直流電流と同じ値の第２の直流電流を、第１の方向に
連続的に供給し、次で上記第１の方向とは逆の第２の方
向に連続的に供給することとを、当該第２の配線層が断
線するまで順次交互に繰返し行い、その断線までの時間
Ｔ２を測定することとを、時間的に前後してまたは同時
的に行い、次で、■上記時間Ｔ１及びＴ２がら、 ＴＥ＝Ｔ、　　・Ｔ２／（Ｔ２＝Ｔ、）で表される時間
ＴＥを測定せんとする配線層のエレクトロマイグレーシ
ョン寿命として測定する。 本願第３番目の発明による配線層のエレクトロマイグレ
ーション寿命測定用装置は、■測定せんとする配線層と
して用意された第１及び第２の配線層が選択的に接続さ
れる第１及び第２の接続端子と、■それら第１及び第２
の接続端子間に選択的に接続される第１及び第２の配線
層に、上記第１及び第２の接続端子を通じて電流を供給
させる電流供給路と、■（ｉ）上記第１及び第２の接続
端子間に上記第１の配線層が接続されているとき、上記
電流供給路を通じて上記第１の配線層に第１の方向に供
給する第１の直流電流を出力し、（ｉｉ）上記第１及び
第２の接続端子間に上記第２の配線層が接続されている
とき、上記電流供給路を通じて上記第２の配線層に第１
の方向に供給し、次で第１の方向とは逆の第２の方向に
供給することを交互順次に繰返す時間測定器第１の直流
電流と同じ値の第２の直流電流を出力する電流源と、■
上記第１及び第２の接続端子間の電圧または抵抗を測定
する電圧または抵抗測定器と、■（ｉ）上記電圧または
抵抗測定器からの、上記第１及び第２の接続端子間に上
記第１の配線層を接続し且つ上記電８ｉ源から上記第１
の直ｉ電流を出力させたときに得られる測定出力から、
上記第１の配線層への上記第１の直流電流の供給開始時
点から上記第１の配線層が断線する時点まで時間Ｔ１を
測定し、且つ（１１）上記電圧または抵抗測定器からの
、上記第１及び第２の接続端子間に上記第２の配線層を
接続し且つ上記電流源から上記第２の直流電流を出力さ
ぜたときに得られる測定出力から、上記第２の配線層へ
の上記第２の直流電流の供給開始時点から上記第２の配
線層が断線する時点まで時間Ｔ２を測定するとともに、
（ｉｉｉ）上記時間Ｔ１及びＴ　から、ＴＥ＝Ｔ１・Ｔ
２／（Ｔ１−１２〉で表される時間ＴＥを測定せんとす
る配線層のエレクトロマイグレーション寿命として測定
する時間測定器とを有する。 本願第３番目の発明による配線層のエレクトロマイグレ
ーション寿命測定用装置は、■測定せんとする配線層と
して用意された第１及び第２の配線層の一端がそれぞれ
接続される第１及び第２の接続端子と、■上記第１及び
第２の配ａ層の他端がそれぞれ接続される第３及び第４
の接続端子または上記第１及び第２の配線層の他端がと
もに接続される第５の接続端子と、■上記第１及び第２
の接続端子を選択する選択スイッチと、■上記第１の接
続端子及び上記第３または第５の接続端子間、及び上記
第２の接続端子及び上記第４または第５の接続端子間に
上記選択スイッチを通じてそれぞれ接続される第１及び
第２の配線層に、上記選択スイッチを通じ且つ上記第１
の接続端子及び上記第３または第５の接続端子、及び上
記第２の接続端子及び上記第４または第５の接続端子を
それぞれ通じて電流を供給させる電流供給路と、■（ｉ
）上記第１の接続端子及び上記第３または第５の接続端
子間に上記選択スイッチを通じて上記第１の配線層が接
続されているとき、上記電流供給路を通じて上記第１の
配線層に第１の方向に供給する第１の直流電流を出力し
、（１１）上記第２の接続端子及び上記第４または第５
の接続端子間に上記選択スイッチを通じて上記第２の配
線層が接続されているとき、上記電流供給路を通じて上
記第２の配線層に第１の方向に供給し、次で第２の方向
に供給することを交互順次に繰返す上記第１の直流電流
と同じ値の第２の直流電流を出力する電流源と、■上記
第１の接続端子及び上記第３または第５の接続端子間、
及び上記第２の接続端子及び上記第４または第５の接続
端子間の電圧または抵抗を測定する電圧または抵抗測定
器と、■（１）上記電圧または抵抗測定器からの、上記
第１の接続端子及び上記第３または第５の接続端子間に
上記第１の配線層を接続し且つ上記電流源から上記第１
の直流電流を出力させたときに得られる出力から、上記
第１の配線層への上記第１の直流１！流の供給開始時点
から上記第１の配線層が断線する時点まで時間Ｔ１を測
定し、且つ（ｉｉ）上記電圧または抵抗測定器からの、
上記第２の接続端子及び上記第４または第５の接続端子
間に上記第２の配線層を接続し且つ上記電流源から上記
第２の直流電流を出力させたときに得られる出力から、
上記第２の配線層への上記第２の直流電流の供給開始時
点から上記第２の配線層が断線する時点まで時間Ｔ２を
測定するとともに、（ｉｉｉ）上記時間Ｔ　及びＴ２か
ら、ＴＥ＝Ｔ１　・Ｔ２／（Ｔ１−１２〉で表される時
間ＴＥを測定せんとする配線層のエレクトロマイグレー
ション寿命として測定する時間測定器とを有する。 本願第４番目の発明による配線層のエレクトロマイグレ
ーション寿命測定用装置は、■測定せんとする配線層と
して用意された第１及び第２の配線層の一端がそれぞれ
接続される第１及び第２の接続端子と、■上記第１及び
第２の配線層の他端がそれぞれ接続される第３及び第４
の接続端子または上記第１及び第２の配ｌｉｔ層の他端
がともに接続される第５の接続端子と、■上記第１の接
続端子及び上記第３または第５の接続端子間に接続され
る第１の配線層に、上記第１の接続端子及び上記第３ま
たは第５の接続端子を通じて電流を供給させる第１の電
流供給路と、■上記第２の接続端子及び上記第４または
第５の接続端子間に接続される第２の配線層に、上記第
２の接続端子及び上記第４または第５の接続端子を通じ
て電流を供給させる第２の電流供給路と、■（ｉ）上記
第１の電流供給路を通じて上記第１の配線層に第１の方
向に供給する第１の直流電流を出力し、且つ（ｉｉ）上
記第２の電流供給路を通じて上記第２の配線層に第１の
方向に供給し、次で第２の方向に供給することを交互順
次に繰返す上記第１の直流電流と同じ値の第２の直流電
流を出力する電流源と、■上記第１の接続端子及び上記
第３または第５の接続端子間の電圧または抵抗を測定す
る第１の電圧または抵抗測定器と、■上記第２の接続端
子及び上記第４または第５の接続端子間の電圧または抵
抗を測定する第２の電圧または抵抗測定器と、■ｍ上記
第１の電圧または抵抗測定器からの、上記電流源から上
記第１の直流電流を出力させたときに得られる出力から
、上記第１の配線層への上記第１の直流電流の供給開始
時点から上記第１の配線層が断線する時点まで時間Ｔ１
を測定し、且つ（ｉｉ）上記第２の電圧または抵抗測定
器からの、上記電流源から上記第２の直流電流を出力さ
せたときに得られる出力から、上記第２の配線層への上
記第２の直流電流の供給開始時点から上記第２の配線層
が断線する時点まで時間Ｔ２を測定するとともに、（ｉ
ｉｉ）上記時間Ｔ１及びＴ２から、ＴＥ＝Ｔ１・Ｔ　　
／（Ｔ１＝Ｔ２）で表される時間ＴＥを測足せんとする
配線層のエレクトロマイグレーション寿命として測定す
る時間測定器とを有する。 【作用・効果】 本願第１番目の発明による配線層のエレクトロマイグレ
ーション寿命測定法による場合、第１の直流電流が供給
される第１の配線層に関する時間Ｔ１の測定は、第８図
で前述した従来の配線層のエレクトロマイグレーション
寿命測定法における時間Ｔの測定と同様であるので、そ
の時間Ｔ１は、第８図で前述した従来の配線層のエレク
トロマイグレーション寿命測定法の場合と同様に、サー
マルマイグレーション効果を加味したエレクトロマイグ
レーション効果にもとすいた時間を表している。 一方、第２の直流電流が供給される第２の配線層に関す
る時間Ｔ２の測定は、第２の配線層に第２の直流電流を
第１及び第２の方向に順次交互に繰返し供給して行って
いることから、第２の直ｉ電流を第２の配線層に第１の
方向に流すときと第２の方向に流すときとで、エレクト
ロマイグレーション効果が相殺されるため、そ（７）Ｉ
Ｉ間Ｔ２は、実質的にサーマルマイグレーション効果の
みにもとすいた時間を表している。 しかしながら、時間Ｔ１及びＴ２にもとすく測定せんと
する配線層のエレクトロマイグレーション寿命として測
定される時間ＴＥは、Ｔ１・Ｔ２／　（Ｔ２＝Ｔ１）で
表される時間で測定されるので、次に述べる理由で、実
質的にエレクトロマイグレーション効果の加味されてい
ないエレクトロマイグレーション効果のみにもとずく時
間を表している。 すなわち、いま、第１の配線層に第１の直流電流を供給
した場合において、第１の配線層がエレクトロマイグレ
ーション効果のみによって断線に到る速度をＶ□とし、
また、第２の配線層に第２の直流電流を供給した場合に
おいて、第２の配線層がエレクトロマイグレーション効
果（上述したようにエレクトロマイグレーション効果は
伴わないので）によって断線に到る速度をＶ、とすると
き、一般に、第１及び第２の配線層が断線に到る場合、
上述した時間Ｔ２及びＴ［をそれぞれサーマルマイグレ
ーション効果及びエレクトロマイグレーション効果のみ
にもとすく時間として用いることによって、ｖＥ＝ＴＥ
＝ｖ１　・Ｔ２−Ｑ ・・・・・・・・・（１） Ｑ＝　　（Ｖ　　Ｅ　＋Ｖ　　□　）　　・　Ｔ　１　
　　　　　・・・　・・・　・・・　く　２　）の関係
が成立し、よって、（１）及び（２）式％式％（３ が得られ、従って、 ＴＥ＝Ｔ１　・Ｔ２／（Ｔ２−１１） （４） が得られるからである。 以上のことから、本願第１番目の発明による配線層のエ
レクトロマイグレーション寿命測定法によれば、時間Ｔ
Ｅが表している配線層のエレクトロマイグレーション寿
命を、サーマルマイグレーション効果にもとすく誤差を
含んでいないものとして正確に得ることができる。 また、本願第２番目の発明による配線層のエレクトロマ
イグレーション寿命測定用装置によれば、第１及び第２
の接続端子間に、まず、第１の配線層を接続すれば、そ
の第１の配線層に、電流源から、第１の直流電流を、第
１の配線層がｌ１４１！するまで、供給させることがで
き、そして、この場合、第１及び第２の接続端子間でみ
た電圧または抵抗の餡が、第１の配線層に第１の直流電
流を供給したときの時点と第１の配線層が１ＩｉＩ！シ
たときの時点とで変化することから、電圧または抵抗測
定器からの、第１の配線層に第１の直流電流を供給開始
した時点と第１の配線層が断線したときの時点とで変化
していることを表している測定出力が得られ、また、そ
のような測定出力が電圧または抵抗測定器から得られれ
ば、時間測定器において、第１の配線層に第１の直流電
流を供給開始した時点と第１の配線層が断線したときの
時点の間の時間Ｔ１を表している測定出力を得ることが
できる。 また、第１及び第２の接続端子間に、第２の配ｔｌ；Ａ
層を接続すれば、その第２の配線層に、電流源から、第
２の直流電流を供給させることができ、そして、この場
合、第１及び第２の接続端子間でみた電圧または抵抗の
値が、第２の配線層に第２の直流電流を供給したときの
時点と第２の配Ｉ１層が断線したときの時点とで変化す
ることから、電圧または抵抗測定器から、第２の配線層
に第、２の直流電流を供給開始した時点と第２の配Ｗａ
Ｓが断線したときの時点とで変化していることを表して
いる測定出力が得られ、また、そのような測定出力が電
圧または抵抗測定器から得られれば、時間測定器におい
て、第２の配線層に第２の直ｖｔ電流を供給開始した時
点と第２の配線層が断線したときの時点の間の時間Ｔ２
を表している測定出力を得ることかできる。 さらに、時間測定器において、上述した時間Ｔ１及びＴ
２をそれぞれ表している測定出力が得られれば、それら
時間Ｔ　及びＴ２から、ＴＥ＝Ｔ１　・Ｔ２／（Ｔ２＝
Ｔ１）で表される時間ＴＥを表している測定出力を得る
ことかできる。 従って、本願第２番目の発明による配線層のエレクトロ
マイグレーション寿命測定用装置によれば、上述した本
願第１番目の発明による配線層のエレクトロマイグレー
ション寿命測定法に用い得る。 また、本願第３番目の発明による配線層のエレクトロマ
イグレーション寿命測定用装置によれば、第１の接続端
子及び第３または第５の接続端子間に第１の配線層を接
続し、また、第２の接続端子及び第４または第５の接続
端子間に第２の配線層を接続し、そして、その状態から
、選択スイッチによって、まず、例えば第１の接続端子
を選択すれば、第１の配線層に、電流源から、第１の直
流電流を、第１の配線層が断線するまで、供給させるこ
とができ、そして、この場合、第１の接続端子及び第３
または第５の接続端子間でみた電圧または抵抗の饋が、
第１の配線層に第１の直流電流を供給したときの時点と
第１の配線層が断線したときの時点とで変化することか
ら、電圧または抵抗測定器から、第１の配線層に第１の
直流電流を供給開始した時点と第１の配線層が断線した
ときの時点とで変化していることを表している測定出力
が得られ、また、そのような測定出力が電圧または抵抗
測定器から得られれば、時間測定器において、第１の配
線層に第１の直流電流を供給開始した時点と第１の配線
層が断線したときの時点の間の時間Ｔ１を表している測
定出力を得ることができる。 また、次に、選択スイッチによって、第２の接続端子を
選択すれば、第２の配線層に電流源から、第２の直流電
流を供給させることができ、そして、この場合、第２の
接続端子及び第４または第５の接続端子間でみた電圧ま
たは抵抗の値が、第２の配線層に第２の直流電流を供給
したときの時点と第２の配線層が断線したときの時点と
で変化することから、電圧または抵抗測定器から、第２
の配ＩＩＡ層に第２の直流電流を供給開始した時点と第
２の配線層が断線したときの時点とで変化していること
を表している測定出力が得られ、また、そのような測定
出力が電圧または抵抗測定器から得られれば、時間測定
器において、第２の配線層に第２の直流電流を供給開始
した時点と第２の配線層が断線したときの時点の間の時
間Ｔ２を表している測定出力を得ることができる。 さらに、時間測定器において、上述した時間Ｔ１及びＴ
２をそれぞれ表している測定出力が得られれば、それら
時間Ｔ　及びＴ２から、ＴＥ＝Ｔ１・Ｔ２／（Ｔ２−１
１）で表される時間ＴＥを表している測定出力を得るこ
とができる。 従って、本願第３番目の発明による配線層のエレクトロ
マイグレーション寿命測定用装置によれば、上述した本
願第１番目の発明による配線層のエレクトロマイグレー
ション寿命測定法に用い得る。 また、本願第４番目の発明による配ＩｉＩ層のエレクト
ロマイグレーション寿命測定用装置によれば、第１の接
続端子及び第３または第５の接続端子間に第１の配線層
を接続し、また、第２の接続端子及び第４または第５の
接続端子間に第２の配線層を接続すれば、第１の配線層
に、電流源から、第１の直流電流を、第１の配線層が断
線するまで、供給させることができ、そして、この場合
、第１の接続端子及び第３または第５の接続端子間でみ
た電圧または抵抗の値が、第１の配線層に第１の直流電
流を供給したときの時点と第１の配線層が断線したとき
の時点とで変化することから、第１の電圧または抵抗測
定器から、第１の配線層に第１の直流電流を供給開始し
た時点と第１の配線層が断線したときの時点とで変化し
ていることを表している測定出力が得られ、また、その
ような測定出力が第１の電圧または抵抗測定器から得ら
れれば、時間測定器において、第１の配線層に第１の直
流電流を供給開始した時点と第１の配線層が断線したと
きの時点の間の時間Ｔ１を表している測定出力を得るこ
とができる。 また、第１の配Ｉｉ層に電流源から第１の直流電流を供
給させると同時的にまたは前後して、第２の配Ｉｉ層に
、電流源から、第２の直流電流を、供給させることがで
き、そして、この場合、第２の接続端子及び第４または
第５の接続端子間でみた電圧または抵抗の値が、第２の
配線層に第２の６１ｍ流を供給したときの時点と第２の
配線層が断線したときの時点とで変化することから、第
２の電圧または抵抗測定器から、第２の配Ｉｉ層に第２
の直流電流を供給開始した時点と第２の配線層が断線し
たときの時点とで変化していることを表している測定出
力が得られ、また、そのような測定出力が第２の電圧ま
たは抵抗測定器から得られれば、時間測定器において、
第２の配線層に第２の直流電流を供給開始した時点と第
２の配線層が断線したときの時点の間の時間Ｔ２を表し
ている測定出力が得られる。 さらに、時間測定器において、上述した時間Ｔ１及びＴ
２をそれぞれ表している測定出力が得られれば、それら
時間Ｔ　及びＴ２から、Ｔ［＝Ｔ１　・Ｔ２／（Ｔ２−
１１）で表される時間ＴＥを表している測定出力を得る
ことができる。 従って、本願第４番目の発明による配Ｉｉ層のエレクト
ロマイグレーション寿命測定用装置によれば、上述した
本願第１番目の発明による配線層のエレクトロマイグレ
ーション寿命測定法に用い得る。

【実施例１】 次に、第１図を伴って本発明による配線層のエレクトロ
マイグレーション寿命測定法、及びそれに用いる装置の
第１の実施例を述べよう。 まず、本発明による配線層のエレクトロマイグレーショ
ン寿命測定用装置の第１の実施例について述べるに、測
定せんとする配線層として用意された２つの配線層１１
及び１２が選択的に接続される接続端子Ｐ１及びＰ２を
有する。 また、それら接続端子Ｐ１及び１２間に選択的に接続さ
れる配線層１１及び１２に、接続端子Ｐ１及びＰ２を通
じて電流を供給させる電流供給路Ｌ１及びＬ２を有する
。 さらに、接続端子Ｐ１及び１２間に配線Ｈ１１が接続さ
れているとき、電流供給路Ｌ１及びＬ２を通じて配線１
１１１１に第１の方向に供給する第２図に示すような一
定値Ｉ８を有する直流電流■１を出力し、また、接続端
子Ｐ１及び１２間に配［１Ｍ１１２が接続されていると
き、電流供給路Ｌ１及びＬ２を通じて配線層１１に第１
の方向に供給し、次に第１の方向とは逆に第２の方向に
供給する第３図に示すような直流電流１１と同じ値１．
の直流電流Ｉ２を出力する電流ｇｉ２を有する。 また、接続端子Ｐ１及び１２間の電圧または抵抗を測定
する電圧または抵抗測定器３を有する。 さらに、電圧または抵抗測定器３からの、接続端子Ｐ１
及び１２間に配線Ｍ１１を接続し且つ電流源２から直流
電流Ｉを出力させたときに得られる測定出力Ｓ１から、
配線層１１への直流電流Ｉの供給開始時点ｔ。から配線
層１が断線する時点ｔ　までの時間Ｔ１を測定し、電圧
または抵抗測定器３からの、接続端子Ｐ１及び１２間に
配線層１２を接続し且つ電流源２から電流電流１２を出
力させたときに得られる測定出力Ｓ２から、配線層１２
への直流電流■２の供給開始時点ｔ　まで時間Ｔ２を測
定するとともに、時間Ｔ　及びＴ２から、ＴＥ＝Ｔ１　
・Ｔ゛２　／　（ＴＩ　＝Ｔ２　）で表される時［ＴＥ
を、測定せんとする配線層のエレクトロマイグレーショ
ン寿命として測定し、その測定出力Ｅを出力する時間測
定器４を有する。 以上が、本発明による配線層のエレクトロマイグレーシ
ョン寿命測定用装置の第１の実施例の構成である。 次に、上述した本発明による配線層のエレクトロマイグ
レーション寿命測定用装置を用いた本発明による配線層
のエレクトロマイグレーション寿命測定法の第１の実施
例を述べるに、測定せんとする配線層として、同じ２つ
の配線層１１及び１２を用意する。 そして、まず、例えば配［１１１１１を、第１図に示す
ように、配線層のエレクトロマイグレーション寿命測定
用装置の接続端子Ｐ１及び１２間に接続して、その配線
層１１に、電流ｌＩ！！２から、第２図で上述した直流
電流■１を、その配線層１１が断線するまで一方向に供
給する。 しかるときは、接続端子Ｐ１及び１２間でみた電圧また
は抵抗の値が、配線層１１に直流電流

【を供給開始した
ときの時点ｔ。と配線層１１が断線したときの時点ｔ、
とで変化することから、電圧または抵抗測定器３からの
測定出力Ｓ１が、配置［１に直流電流１１を供給開始し
たときの時点ｔ。と配線１１１が断線したときの時点ｔ
、とで変化していることを表している出力で得られる。 また、そのような測定出力Ｓ１が電圧または抵抗測定器
３から得られれば、時間測定器４において、時点ｔ　及
びｔ　間の時間Ｔ１を表しＳ ている測定出力を得ることができる。 マタ、次ニ、配！１ＡＪｉ１１２ヲ、配線Ｆｍ１１１：
え、配Ｉｉ層のエレクトロマイグレーション寿命測定用
装置の接続端子Ｐ１及び９２間に接続して、ソ（７）配
置１’１２Ｇ：、電流源２から、第３図で上述した直流
ＩＩｌ流■２を、その配線層１２が断線するまで一方向
に供給する。 しかるときは、接続端子Ｐ１及び９２間でみた電圧また
は抵抗の値が、配線層１２に直流電流Ｉを供給開始した
ときの時点ｔｏと配５１１ｍ１２が断線したときの時点
ｔ、とで変化することから、電圧または抵抗測定器３か
らの測定出力Ｓ２が、配ｍ層１２に直流電流■１を供給
開始したときの時点ｔ。と配線層１１が断線したときの
時点ｔ、とで変化していることを表している出力で得ら
れる。 また、そのような測定出力Ｓ２が電圧または抵抗測定器
３から得られれば、時間測定器４において、時点ｔ　及
びｔ　間の時間Ｔ２を表しＳ でいる測定出力を得ることができる。 さらに、上述したように、時間測定器４において、上述
した時間Ｔ１及びＴ２が得られることから、Ｔ　　＝Ｔ
　　＝Ｔ　　／（Ｔ１＝Ｔ２）で１２ 表される時間下、を表している測定出力Ｅを得ることが
できる。 従って、そのような時間測定器４から得られる測定出力
Ｅによって、それが表している時間ＴＥを、測定せんと
する配線層のエレクトロマイグレーション寿命として測
定する。 以上が、本発明による配線層のエレクトロマイグレーシ
ョン寿命測定法である。 このような本発明による配Ｉｍｍのエレクトロマイグレ
ーション寿命測定法による場合、直流電流１１が供給さ
れる配線層１１に関する時間Ｔ１の測定は、第８図で前
述した従来の配線層のエレクトロマイグレーション寿命
測定法におけるＩＩＩＩＩＴの測定と同様であるので、
その時間Ｔ１は、第８図で前述した従来の配置１５１の
エレクトロマイグレーション寿命測定法の場合と同機に
、サーマルマイグレーション効果を加味したエレクト０
マイグレーシヨン効果にもとすいた時間を表している。 一方、直流電流Ｉ２が供給される配線層１２に関する時
間Ｔ２の測定は、配置１１１１１１２に直流電流■２を
第１及び第２の方向に順次交互に繰返し供給して行って
いることから、直流型ｉｒ２を配線層１２に第１の方向
に流すときと第２の方向に流すときとで、エレクトロマ
イグレーション効果が相殺されるため、その時間Ｔ２は
、実質的にサーマルマイグレーション効果のみにちとす
いた時間を表している。 しかしながら、時間Ｔ　及びＴ２にもとすく測定せんと
する配線層のエレクトロマイグレーション寿命として測
定される時間ＴＥは、Ｔ１・Ｔ　／（Ｔ２＝Ｔ１〉で表
される時間で測定されるので、次に述べる理由で、実質
的にエレクトロマイグレーション効果の加味されていな
いエレクトロマイグレーション効果のみにもとすく時間
を表している。 すなわち、いま、配ａ層１１に直流電流１１を供給した
場合において、配線層１１がエレクトロマイグレーショ
ン効果のみによって断線に到る速度を■１とし、また、
配線層１２に直流電流Ｉ２を供給した場合において、配
線層１２がエレクトロマイグレーション効果（上述した
ようにエレクトロマイグレーション効果は伴わないので
）によって断線に到る速度をＶ、とするとき、一般に、
配置［１及び１２が断線に到る場合、上述した時間Ｔ　
及びＴＥをそれぞれサーマルマイグレーション効果及び
エレクトロマイグレーション効果のみにもとすく時間と
して用いることによって、 Ｖ　　＝Ｔ　　−Ｖ　　＝Ｔ２＝Ｑ ＥＴ ・・・・・・・・・（１） Ｑ＝（Ｖ　　＋Ｖ　　）・Ｔ　　　・・・・・・・・・
（２）ＥＴ　　　　Ｔ の関係が成立し、よって、（１）及び（２〉式％式％（
３） が得られ、従って、 ＴＥ−１１・Ｔ２／（Ｔ２＝Ｔ１） ・・・・・・・・・　（４〉 が得られるからである。 以上のことから、本発明による配線層のエレクトロマイ
グレーション寿命測定法の第１の実施例によれば、時間
ＴＥが表している配線層のエレクトロマイグレーション
寿命を、サーマルマイグレーション効果にもとすく誤差
を含んでいないものとして正確に得ることができる。 また、第１図に示す本発明による配線層のエレクトロマ
イグレーション寿命測定用装置の第１の実施例によれば
、上述したところから明らかなように、上述した本発明
による配線層のエレクトロマイグレーション寿命測定法
の第１の実施例に用い得る。 【実施例２］ 次に、第４図を伴って本発明による配線層のエレクトロ
マイグレーション寿命測定法、及びそれに用いる装置の
第２の実施例を述べよう。 第４図において、第１図との対応部分には同一符号を付
し、詳細説明を省略する。 まず、本発明による配線層のエレクトロマイグレーショ
ン寿命測定用装置の第２の実施例について述べるに、第
１図で上述した本発明による配ＷＡｌｉのエレクトロマ
イグレーション寿命測定用装置の第１の実施例において
、その「接続端子Ｐ２Ｊが「接続端子Ｐ３Ｊと読み替え
られ、従って、配線層１１が接続される接続端子Ｐ１及
びＰ２を有し、また、配線層１２が接続される接続端子
Ｐ２及びＰ４を有し、さらに、接続端子Ｐ１及びＰ２を
選択する選択スイッチ５を有し、従って、電流供給路Ｌ
１及びＬ２が選択スイッチ５を通じて接続端子Ｐ１及び
Ｐ２、及びＰ３及びＰ２に選択的に接続されることを除
いて、第４図で上述した本発明による配線層のエレクト
ロマイグレーション寿命測定用装置の第２の実施例の場
合と同様の構成を有する。 次に、本発明による配線層のエレクトロマイグレーショ
ン寿命測定法の第３の実施例について述べるに、第１図
で上述した本発明による配線層のエレクトロマイグレー
ション寿命測定法の第２の実施例において、配線ｌ１１
１及び１２に、選択スイッチ５を介して、洗濯的に直流
電流１１及び！’２がそれぞれ供給されることを除いて
、第１図で上述した本発明による配線層のエレクトロマ
イグレーション寿命測定法の第１の実施例と同様である
。 上述した本発明による配線層のエレクト０マイグレーシ
ヨン寿命測定法の第２の実施例によれば、上述した事項
を除いて、上述した本発明による配ＩＩＩＷＩのエレク
トロマイグレーション寿命測定法の第１の実施例の場合
と同様であるので、詳細説明は省略するが、上述した本
発明による配線層のエレクトロマイグレーション寿命測
定法の第１の実施例の場合と同様の作用効果が得られる
。 また、上述した本発明による配線層のエレクトロマイグ
レーション寿命測定用装置の第２の実施例によれば、上
述した事項を除いて、上述した本発明による配線層のエ
レクトロマイグレーション寿命測定用装置の第１の実施
例の場合と同様の構成を有するので、詳細説明は省略す
るが、上述した本発明による配線層のエレクトロマイグ
レーション寿命測定用装置の第２の実施例の場合と同様
の作用効果が得られる。 【実施例３】 次に、第５図を伴って本発明による配置１１１Ｍのエレ
クトロマイグレーション寿命測定法、及びそれに用いる
装置の第３の実施例を述べよう。 第５図において、第４図との対応部分には同一符号を付
し、詳細説明を省略する。 まず、本発明による配線層のエレクトロマイグレーショ
ン寿命測定用装置の第３の実施例について述べるに、第
４図で上述した本発明による配線層のエレクトロマイグ
レーション寿命測定用装置の第２の実施例において、そ
の接続端子Ｐ３及びＰ４が、第１及び第２の配線８１１
及び１２の他端がともに接続される１つの接続端子Ｐ５
に置換され、従って、「接続端子Ｐ３及びＰ４Ｊを「接
続端子Ｐ５Ｊと読み替えたことを除いて、第４図で上述
した本発明による配線層のエレクトロマイグレーション
寿命測定用装置の第２の実施例の場合と同様の構成を有
する。 次に、本発明による配線層のエレクトロマイグレーショ
ン寿命測定法の第３の実施例について述べるに、第４図
で上述した本発明による配ＨＡＦｆＩのエレクトロマイ
グレーション寿命測定法の第２の実施例において、「接
続端子Ｐ３及びＰ４Ｊを「接続端子Ｐ５Ｊと読み替えた
ことを除いて、第４図で上述した本発明による配線層の
エレクトロマイグレーション寿命測定法の第２の実施例
と同様である。 上述した本発明による配線層のエレクトロマイグレーシ
ョン寿命測定法の第３の実施例によれば、上述した事項
を除いて、上述した本発明による配線層のエレクトロマ
イグレーション寿命測定法の第２の実施例の場合と同様
であるので、詳Ｉｌｌ説明は省略するが、上述した本発
明による配線層のエレクトロマイグレーション寿命測定
法の第２の実施例の場合と同様の作用効果が得られる。 また、上述した本発明による配線層のエレクトロマイグ
レーション寿命測定用装置の第３の実施例によれば、上
述した事項を除いて、上述した本発明による配線層のエ
レクトロマイグレーション寿命測定用装置の第２の実施
例の場合と同様の構成を有するので、詳細説明は省略す
るが、上述した本発明による配線層のエレクトロマイグ
レーション寿命測定用装置の第２の実施例の場合と同様
の作用効果が得られる。

【実施例４】 次に、第６図を伴って本発明による配線層のエレクトロ
マイグレーション寿命測定法、及びそれに用いる！！置
の第４の実施例を述べよう。 第６図において、第４図との対応部分には同一符号を付
し、詳Ｉｆ説明を省略する。 まず、本発明による配線層のエレクトロマイグレーショ
ン寿命測定用装置の第３の実施例について述べるに、第
４図で上述した本発明による配線層のエレクトロマイグ
レーション寿命測定用装置の第２の実施例において、電
流供給路Ｌ１及びＬ２が、接続端子Ｐ１及びＰ２に接続
されている電流供給路Ｌ１及びＬ２、及び接続端子Ｐ３
及びＰ２に接続されている電流供給路Ｌ２１及びＬ２２
に置換され、これに応じて、電圧または抵抗測定器３が
、接続端子Ｐ１及びＰ２の電圧または抵抗を測定する電
圧または抵抗測定器３１と、接続端子Ｐ３及びＰ４の電
圧または抵抗を測定する電圧または抵抗測定器３２とに
置換されていることを除いて、第４図で上述した本発明
による配線層のエレクトロマイグレーション寿命測定用
装置の第２の実施例の場合と同様の構成を有する。 次に、本発明による配線層のエレクトロマイグレーショ
ン寿命測定法の第４の実施例について述べるに、第４図
、で上述した本発明による配置１１ｉ！のエレクトロマ
イグレーション寿命測定法の第２の実施例において、配
線層１１に直流電流１１を供給するとき「電流供給路Ｌ
１及びＬ２」を、「電流供給路１１１及びＬ１２」と読
み替え且つ「電圧または抵抗測定器３］を「電圧または
抵抗測定器３１」に読み替え、また、配線層１２に直流
電流Ｉ２を供給するとき「電流供給路Ｌ１及びＬ２Ｊを
、「電流供給路Ｌ２１及びＬ２２」と読み替え且つ「電
圧または抵抗測定器３」を「電圧または抵抗測定器３２
」に読み替えたことを除いて、第４図で上述した本発明
による配線層のエレクトロマイグレーション寿命測定法
の第２の実施例と同様である。 上述した本発明による配線層のエレクトロマイグレーシ
ョン寿命測定法の第４の実施例によれば、上述した事項
を除いて、上述した本発明による配線層のエレクトロマ
イグレーション寿命測定法の第２の実施例の場合と同様
であるので、詳Ｉｌｌ明は省略するが、上述した本発明
による配線層のエレクトロマイグレーション寿命測定法
の第２の実施例の場合と同様の作用効果が得られる。 また、上述した本発明による配線層のエレクトロマイグ
レーション寿命測定用装置の第４の実施例によれば、上
述した事項を除いて、上述した本発明による配Ｍ層のエ
レクトロマイグレーション寿命測定用装置の第２の実施
例の場合と同様の構成を有するので、詳細説明は省略す
るが、上述した本発明による配線層のエレクトロマイグ
レーション寿命測定用装置の第２の実施例の場合と同様
の作用効果が得られる。

【実施例５】 次に、第７図を伴って本発明による配線層のエレクトロ
マイグレーション寿命測定法、及びそれに用いる装置の
第５の実施例を述べよう。 第７図において、第６図との対応部分には同一符号を付
し、詳細説明を省略する。 まず、本発明による配線層のエレクトロマイグレーショ
ン寿命測定用装置の第５の実施例について述べるに、第
６図で上述した本発明による配線層のエレクトロマイグ
レーション寿命測定用装置の第４の実施例において、そ
の接続端子Ｐ３及びＰ４が、第１及び第２の配線層１１
及び１２の他端がともに接続される１つの接続端子Ｐ５
に置換され、従って、「接続端子Ｐ３及びＰ４Ｊを「接
続端子Ｐ５Ｊと読み替えたことを除いて、第６図で上述
した本発明による配線層のエレクトロマイグレーション
寿命測定用装置の第４の実施例の場合と同様の構成を有
する。 次に、本発明による配線層のエレクトロマイグレーショ
ン寿命測定法の第５の実施例について述べるに、第６図
で上述した本発明による配線層のエレクトロマイグレー
ション寿命測定法の第２の実施例において、「接続端子
Ｐ３及びＰ４Ｊを「接続端子Ｐ５Ｊと読み替えたことを
除いて、第６図で上述した本発明による配線層のエレク
トロマイグレーション寿命測定法の第２の実施例と同様
である。 上述した本発明による配線層のエレクトロマイグレーシ
ョン寿命測定法の第５の実施例によれば、上述した事項
を除いて、上述した本発明による配線層のエレクトロマ
イグレーション寿命測定法の第４の実施例の場合と同様
であるので、詳［Ｉ説明は省略するが、上述した本発明
による配線層のエレクトロマイグレーション寿命測定法
の第４の実施例の場合と同様の作用効果が得られる。 また、上述した本発明による配線層のエレクトロマイグ
レーション寿命測定用装置の第５の実施例によれば、上
述した事項を除いて、上述した本発明による配線層のエ
レクトロマイグレーション寿命測定用装置の第４の実施
例の場合と同様の構成を有するので、詳細説明は省略す
るが、上述した本発明による配ｆｉ１層のエレクトロマ
イグレーション寿命測定用装置の第４の実施例の場合と
同様の作用効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による配線層のエレクトロマイグレー
ション寿命測定法、及びそれに用いる装置の第１の実施
例を示す系統的接続図である。 第２図及び第３図は、その説明に供する電流波形を示す
図である。 第４図、第５図、第６図及び第７図は、本発明による配
線層のエレクトロマイグレーション寿命測定法、及びそ
れに用いる装置の第２、第３、第４及び第５の実施例を
示す系統的接続図である。 第８図は、従来の配線層のエレクトロマイグレーション
寿命測定法、及びそれに使用する装置を示す系統的接続
図である。 第９図は、その説明に供する電流波形を示す図である。 ２・・・・・・・・・・・・・・・電流源３・・・・・
・・・・・・・・・・抵抗測定器４・・・・・・・・・
・・・・・・時間測定器５・・・・・・・・・・・・・
・・選択スイッチ１１・・・・・・・・・・・・・・・
第１の配線層１２・・・・・・・・・・・・・・・第２
の配線層Ｉ・・・・・・・・・・・・・・・・・・直流
電流Ｌｌ　、Ｌ２、　Ｌｌｌ　、　Ｌ１２、Ｌ２２・・
・・・・・・・・・・電流供給路ＰＩ　、Ｐ２、Ｐ３、
Ｐ４、Ｐ５ ・・・・・・・・・・・・・・・接続端子２１

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、測定せんとする配線層として、同じ２つの第１及び
   第２の配線層を用意し、 上記第１の配線層に、第１の直流電流を、 、第１の方向に連続的に供給することを、当該第１の配
   線層が断線するまで行い、その断線までの時間Ｔ＿１を
   測定することと、上記第２の配線層に、上記第１の直流
   電流と同じ値の第２の直流電流を、第１の方向に連続的
   に供給し、次で上記第１の方向とは逆の第２の方向に連
   続的に供給することとを、当該第２の配線層が断線する
   まで順次交互に繰返し行い、その断線までの時間Ｔ＿２
   を測定することとを、時間的に前後してまたは同時的に
   行い、 上記時間Ｔ＿１及びＴ＿２から、Ｔ＿Ｅ＝Ｔ＿１・Ｔ２
   ／（Ｔ２−Ｔ１）で表される時間ＴＥを測定せんとする
   配線層のエレクトロマイグレーション寿命として測定す
   ることを特徴とする配線層のエレクトロマイグレーショ
   ン寿命測定法。 ２、測定せんとする配線層として用意された第１及び第
   ２の配線層が選択的に接続される第１及び第２の接続端
   子と、 上記第１及び第２の接続端子間に選択的に 接続される第１及び第２の配線層に、上記第１及び第２
   の接続端子を通じて電流を供給させる電流供給路と、 上記第１及び第２の接続端子間に上記第１ の配線層が接続されているとき、上記電流供給路を通じ
   て上記第１の配線層に第１の方向に供給する第１の直流
   電流を出力し、上記第１及び第２の接続端子間に上記第
   ２の配線層が接続されているとき、上記電流供給路を通
   じて上記第２の配線層に第１の方向に供給し、次で第１
   の方向とは逆の第２の方向に供給することを交互順次に
   繰返す上記第１の直流電流と同じ値の第２の直流電流を
   出力する電流源と、 上記第１及び第２の接続端子間の電圧また は抵抗を測定する電圧または抵抗測定器と、上記電圧ま
   たは抵抗測定器からの、上記第 １及び第２の接続端子間に上記第１の配線層を接続し且
   つ上記電流源から上記第１の直流電流を出力させたとき
   に得られる測定出力から、上記第１の配線層への上記第
   １の直流電流の供給開始時点から上記第１の配線層が断
   線する時点まで時間Ｔ＿１を測定し、且つ上記電圧また
   は抵抗測定器からの、上記第１及び第２の接続端子間に
   上記第２の配線層を接続し且つ上記電流源から上記第２
   の直流電流を出力させたときに得られる測定出力から、
   上記第２の配線層への上記第２の直流電流の供給開始時
   点から上記第２の配線層が断線する時点まで時間Ｔ＿２
   を測定するとともに、上記時間Ｔ１及びＴ＿２から、Ｔ
   ＿Ｅ＝Ｔ＿１・Ｔ＿２／（Ｔ１−Ｔ２）で表される時間
   ＴＥを測定せんとする配線層のエレクトロマイグレーシ
   ョン寿命として測定する時間測定器とを有することを特
   徴とする配線層のエレクトロマイグレーション寿命測定
   用装置。 ３、測定せんとする配線層として用意された第１及び第
   ２の配線層の一端がそれぞれ接続される第１及び第２の
   接続端子と、 上記第１及び第２の配線層の他端がそれぞ れ接続される第３及び第４の接続端子または上記第１及
   び第２の配線層の他端がともに接続される第５の接続端
   子と、 上記第１及び第２の接続端子を選択する選 択スイッチと、 上記第１の接続端子及び上記第３または第 ５の接続端子間、及び上記第２の接続端子及び上記第４
   または第５の接続端子間に上記選択スイッチを通じてそ
   れぞれ接続される第１及び第２の配線層に、上記選択ス
   イッチを通じ且つ上記第１の接続端子及び上記第３また
   は第５の接続端子、及び上記第２の接続端子及び上記第
   ４または第５の接続端子をそれぞれ通じて電流を供給さ
   せる電流供給路と、 上記第１の接続端子及び上記第３または第 ５の接続端子間に上記選択スイッチを通じて上記第１の
   配線層が接続されているとき、上記電流供給路を通じて
   上記第１の配線層に第１の方向に供給する第１の直流電
   流を出力し、上記第２の接続端子及び上記第４または第
   ５の接続端子間に上記選択スイッチを通じて上記第２の
   配線層が接続されているとき、上記電流供給路を通じて
   上記第２の配線層に第１の方向に供給し、次で第２の方
   向に供給することを交互順次に繰返す上記第１の直流電
   流と同じ値の第２の直流電流を出力する電流源と、 上記第１の接続端子及び上記第３または第 ５の接続端子間、及び上記第２の接続端子及び上記第４
   または第５の接続端子間の電圧または抵抗を測定する電
   圧または抵抗測定器と、上記電圧または抵抗測定器から
   の、上記第 １の接続端子及び上記第３または第５の接続端子間に上
   記第１の配線層を接続し且つ上記電流源から上記第１の
   直流電流を出力させたときに得られる出力から、上記第
   １の配線層への上記第１の直流電流の供給開始時点から
   上記第１の配線層が断線する時点まで時間Ｔ＿１を測定
   し、且つ上記電圧または抵抗測定器からの、上記第２の
   接続端子及び上記第４または第５の接続端子間に上記第
   ２の配線層を接続し且つ上記電流源から上記第２の直流
   電流を出力させたときに得られる出力から、上記第２の
   配線層への上記第２の直流電流の供給開始時点から上記
   第２の配線層が断線する時点まで時間Ｔ＿２を測定する
   とともに、上記時間Ｔ＿１及びＴ＿２から、Ｔ＿Ｅ＝Ｔ
   ＿１・Ｔ＿２／（Ｔ＿１−Ｔ＿２）で表される時間Ｔ＿
   Ｅを測定せんとする配線層のエレクトロマイグレーショ
   ン寿命として測定する時間測定器とを有することを特徴
   とする配線層のエレクトロマイグレーション寿命測定用
   装置。 ４、測定せんとする配線層として用意された第１及び第
   ２の配線層の一端がそれぞれ接続される第１及び第２の
   接続端子と、 上記第１及び第２の配線層の他端がそれぞ れ接続される第３及び第４の接続端子または上記第１及
   び第２の配線層の他端がともに接続される第５の接続端
   子と、 上記第１の接続端子及び上記第３または第 ５の接続端子間に接続される第１の配線層に、上記第１
   の接続端子及び上記第３または第５の接続端子を通じて
   電流を供給させる第１の電流供給路と、 上記第２の接続端子及び上記第４または第 ５の接続端子間に接続される第２の配線層に、上記第２
   の接続端子及び上記第４または第５の接続端子を通じて
   電流を供給させる第２の電流供給路と、 上記第１の電流供給路を通じて上記第１の 配線層に第１の方向に供給する第１の直流電流を出力し
   、且つ上記第２の電流供給路を通じて上記第２の配線層
   に第１の方向に供給し、次で第２の方向に供給すること
   を交互順次に繰返す上記第１の直流電流と同じ値の第２
   の直流電流を出力する電流源と、 上記第１の接続端子及び上記第３または第 ５の接続端子間の電圧または抵抗を測定する第１の電圧
   または抵抗測定器と、 上記第２の接続端子及び上記第４または第 ５の接続端子間の電圧または抵抗を測定する第２の電圧
   または抵抗測定器と、 上記第１の電圧または抵抗測定器からの、 上記電流源から上記第１の直流電流を出力させたときに
   得られる出力から、上記第１の配線層への上記第１の直
   流電流の供給開始時点から上記第１の配線層が断線する
   時点まで時間Ｔｉを測定し、且つ上記第２の電圧または
   抵抗測定器からの、上記電流源から上記第２の直流電流
   を出力させたときに得られる出力から、上記第２の配線
   層への上記第２の直流電流の供給開始時点から上記第２
   の配線層が断線する時点まで時間Ｔ＿２を測定するとと
   もに、上記時間Ｔ＿１及びＴ＿２から、Ｔ＿Ｅ＝Ｔ＿１
   ・Ｔ＿２／（Ｔ＿１−Ｔ＿２）で表される時間Ｔ＿Ｅを
   測定せんとする配線層のエレクトロマイグレーション寿
   命として測定する時間測定器とを有することを特徴とす
   る配線層のエレクトロマイグレーション寿命測定用装置
   。