JPH0377467U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0377467U JPH0377467U JP13794389U JP13794389U JPH0377467U JP H0377467 U JPH0377467 U JP H0377467U JP 13794389 U JP13794389 U JP 13794389U JP 13794389 U JP13794389 U JP 13794389U JP H0377467 U JPH0377467 U JP H0377467U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas circulation
- voltage
- circulation path
- collection electrode
- laser device
- Prior art date
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- Pending
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- Lasers (AREA)
Description
第１図はこの考案を実施した三軸直交形炭酸ガ
ス循環形レーザ装置の説明図、第２図は第１図の
放電部付近の拡大説明図である。 図面の主要な部分を表わす符号の説明、１……
三軸直交形炭酸ガス循環形レーザ装置、３……放
電部、５……陽極板、９……棒状陰極、１７……
捕集電極、２５……風洞壁（ガス循環路）。
ス循環形レーザ装置の説明図、第２図は第１図の
放電部付近の拡大説明図である。 図面の主要な部分を表わす符号の説明、１……
三軸直交形炭酸ガス循環形レーザ装置、３……放
電部、５……陽極板、９……棒状陰極、１７……
捕集電極、２５……風洞壁（ガス循環路）。
Claims (1)
- 放電部のガス流の下流側に、陰極のスパツタリ
ングによつて発生する微粒子を捕集する捕集電極
を設け、ガス循環路と捕集電極間に高圧直流電圧
を、捕集電極が負側になるように印加すると共に
、ガス循環路側を接地してなる微粒子の捕集装置
を備えたことを特徴とするガス循環形レーザ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13794389U JPH0377467U (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13794389U JPH0377467U (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0377467U true JPH0377467U (ja) | 1991-08-05 |
Family
ID=31685076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13794389U Pending JPH0377467U (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0377467U (ja) |
-
1989
- 1989-11-30 JP JP13794389U patent/JPH0377467U/ja active Pending