JPH0378058U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0378058U JPH0378058U JP14010089U JP14010089U JPH0378058U JP H0378058 U JPH0378058 U JP H0378058U JP 14010089 U JP14010089 U JP 14010089U JP 14010089 U JP14010089 U JP 14010089U JP H0378058 U JPH0378058 U JP H0378058U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clamper
- shafts
- board
- drive shafts
- drive
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係る基板保持
装置を示す縦断面図である。第２図は、第１図の
線−方向に見た図である。第３図は、第１図
の線−方向に見た図である。第４図は、ピニ
オン間の連結手段の他の例を示す図である。第５
図は、従来の基板保持装置の一例を示す縦断面図
である。 ２……基板、４……基板台、６……クランパー
、８……クランパー軸、１０……ばね、１２……
連結板、１８ａ，１８ｂ……アクチユエータ、３
２……駆動軸、３２１……ラツク部、３４……ピ
ニオン、４０……タイミングベルト、４２……連
結軸。
装置を示す縦断面図である。第２図は、第１図の
線−方向に見た図である。第３図は、第１図
の線−方向に見た図である。第４図は、ピニ
オン間の連結手段の他の例を示す図である。第５
図は、従来の基板保持装置の一例を示す縦断面図
である。 ２……基板、４……基板台、６……クランパー
、８……クランパー軸、１０……ばね、１２……
連結板、１８ａ，１８ｂ……アクチユエータ、３
２……駆動軸、３２１……ラツク部、３４……ピ
ニオン、４０……タイミングベルト、４２……連
結軸。
Claims (1)
- 基板を載せるための基板台と、基板の周縁部を
この基板台に対して押さえ付けるための環状のク
ランパーと、前記基板台を上下動自在に貫通して
いて先端部に前記クランパーが取り付けられた複
数本のクランパー軸と、この各クランパー軸を前
記基板台の下方に弾性的に押し下げる複数のばね
と、前記各クランパー軸間を連結する連結板と、
前記基板台の中心に対してほぼ対称な位置に設け
られていて前記クランパー軸を二群に分けて昇降
させるためのものでありかつラツク部をそれぞれ
有する２本の駆動軸と、この各駆動軸をそれぞれ
上下に駆動する二つのアクチユエータと、前記各
駆動軸のラツク部にそれぞれ噛み合う二つのピニ
オンと、この両ピニオン間を連結してその回転を
互いに同期させる連結手段とを備えることを特徴
とする基板保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14010089U JPH0718756Y2 (ja) | 1989-12-01 | 1989-12-01 | 基板保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14010089U JPH0718756Y2 (ja) | 1989-12-01 | 1989-12-01 | 基板保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0378058U true JPH0378058U (ja) | 1991-08-07 |
| JPH0718756Y2 JPH0718756Y2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=31687098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14010089U Expired - Lifetime JPH0718756Y2 (ja) | 1989-12-01 | 1989-12-01 | 基板保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718756Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003123682A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-04-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2013093279A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機ｅｌデバイス製造装置 |
| JP2019165140A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日新電機株式会社 | クランプ機構及び当該クランプ機構を備える基板保持装置 |
| CN112410745A (zh) * | 2020-10-26 | 2021-02-26 | Tcl华星光电技术有限公司 | 夹持装置及夹持装置的控制方法 |
-
1989
- 1989-12-01 JP JP14010089U patent/JPH0718756Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003123682A (ja) * | 2001-10-18 | 2003-04-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2013093279A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機ｅｌデバイス製造装置 |
| JP2019165140A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日新電機株式会社 | クランプ機構及び当該クランプ機構を備える基板保持装置 |
| WO2019181775A1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日新電機株式会社 | クランプ機構及び当該クランプ機構を備える基板保持装置 |
| CN112410745A (zh) * | 2020-10-26 | 2021-02-26 | Tcl华星光电技术有限公司 | 夹持装置及夹持装置的控制方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0718756Y2 (ja) | 1995-05-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |