JPH0378563B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 物品の方向検出装置を複数組設け、各組の方向
検出装置が検出した方向の中で両外側を示してい
る方向を同数ずつ除外して残つた方向からの物品
の方向を検出するようにして、物品の縁の欠陥に
よる方向検出の誤りを排除するようにしたもので
ある。

〔産業上の利用分野〕

プリント配線基板あるいはプリント配線基板製
作のためのフオトマスクパターン、レジストパタ
ーンなどをビデオカメラあるいは光走査装置によ
り撮像して、外観検査を自動的に行う装置におい
ては、被検査物品の方向を所定の方向に保つか、
あるいは、実質的に所定の方向にあるように撮像
したパターンを回転させる必要があり、いずれに
しても物品の方向を検出しなければならない。

本発明は、これら物品の縁を基準にしてその物
品の方向を検出するための方式に関する。

〔従来の技術〕

従来のこの種装置としては、物品の画像上の所
定の円周上に位置する画素の情報によつて物品の
縁の方向を検出するものがあつた。

これは、第２図に示すように、例えば45度ずつ
離れて円周上に位置する８個の画素Ａ〜Ｈの情報
が、 Ａ・ｂ・ｃ・ｄ・ｅ・ｆ・ｇ・ｈ Ａ・Ｂ・ｃ・ｄ・ｅ・ｆ・ｇ・Ｈ Ａ・Ｂ・Ｃ・ｄ・ｅ・ｆ・Ｇ・Ｈ Ａ・Ｂ・Ｃ・Ｄ・ｅ・Ｆ・Ｇ・Ｈ のいずれかであれば、この物品の縁は画素Ａ−Ｅ
を結ぶ線とほぼ直角であり、また同様に Ａ・
ｂ・ｃ・ｄ・ｅ・ｆ・ｇ・Ｈ Ａ・Ｂ・ｃ・ｄ・ｅ・ｆ・Ｇ・Ｈ Ａ・Ｂ・Ｃ・ｄ・ｅ・Ｆ・Ｇ・Ｈ のいずれかであれば、この物品の縁は画素Ａ−
Ｈ、Ｂ−Ｇ、Ｃ−Ｆなどを結ぶ線にほぼ平行であ
ることが判る。

ここに、大文字は物品が存在することを示す情
報、小文字は物品が存在しないことを示す情報で
ある。

なお、検出方向の精度は、画素を選ぶ角度間隔
が狭ければ狭い程向上することは明らかであろ
う。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記の従来技術においては、物品の縁に突起あ
るいは欠失などの異常があると、縁の方向を誤つ
て検出することになる。

すなわち、第２図に点線で示したような突起が
物品の縁に存在すると、物品の縁の方向は画素Ｂ
−Ｇを結ぶ線に平行であるにもかかわらず、画素
Ｃ−Ｇを結ぶ線と平行なものとして検出されるこ
とになる。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、被検査物品の画像情報から、複数の
同心円の円周上の同方向に夫々位置する画素の情
報を夫々選択保持する記憶素子を設け、同一の円
周上に位置する画素についてこの記憶素子が記憶
している情報から物品の方向を検出する方向検出
器を円周毎に設けると共に、これらの方向検出器
からの方向情報が供給される方向選出器を設け
る。

そして、この方向選出器は、各方向検出器から
の方向情報の中で最外側の方向情報を除外する
か、あるいは各方向検出器からの方向情報を平均
することにより、物品の方向を検出するようにし
た。

〔作用〕

第３図に示すように、第１列乃至第３列の３つ
の同心円上に夫々45度の間隔で８つの画素A₁−
H₁，A₂−H₂，A₃−H₃が方向検出のために選ば
れているとき、線Ｘ−Ｙで示した下縁を持つ物品
の像によつて第１列の画素A₁，B₁，H₁、第２列
の画素A₂，B₂，H₂および第３列の画素A₃，B₃，
H₃はいずれも物品の存在を感知するので、前述
の従来技術におけると同様に物品の縁と直角の方
向（説明の便宜上、以下縁と直角の方向を物品の
方向として用いる。）を各列ともＩの方向にある
ものとして検出する。

しかしながら、同図にイで示すような突起が物
品に存在すると、第１列の画素はA₁，B₁，G₁，
H₁が物品の存在を感知し、物品の方向がＩと
の中間にあるものとして物品の方向を検出してし
まう。

本発明では、このような場合にも第２列の画素
はA₂，B₂，H₂のみが、また第３列の画素もA₃，
B₃，H₃のみが物品の存在を感知するので、第２
列および第３列はいずれも物品の方向をＩの方向
として検出しているので、一つの実施態様では、
この検出された３つの方向の中で最も外側にある
第１列が検出したＩとの中間の方向と第２列と
第３列とが検出したＩの方向の一方とを除外する
ことにより、残つたＩの方向を物品の方向として
検出する。

また、本発明の別の実施態様としては、この各
列により検出された方向情報を平均することによ
つて物品の方向をＩから（45÷３）度すなわちＩ
から反時計方向に15度の方向にあるものとして検
出するようにする。

この後者の実施態様では、同図にX′−Y′で示
したような縁を有する物品の場合には、第１例お
よび第２列の画素によつてＩの方向として、ま
た、第３列によつてＩとの中間の方向として、
夫々検出されるので、第１の実施態様におけるよ
りも寧ろ正しい物品の方向を検出することができ
る。

以上の作用の説明では、物品の縁に突起がある
場合について説明したが、縁の一部に欠失がある
場合にも同様な効果が得られることは明らかであ
ろう。

〔実施例〕

第１図は本発明の実施例を示すもので、ビデオ
カメラあるいは光走査装置により得られた被検査
物の画像パターンの中で、本発明によつて方向検
出のために用いられる画素と対応する位置にこれ
ら画素からの情報を保持するレジスタA₁−H₁，
A₂−H₂，A₃−H₃を示してある。

最も外側の同心円上に配列された第１列のレジ
スタA₁−H₁は上述のように被検査物の画像パタ
ーン上の図示の位置にある画素からの情報を保持
しており、先に述べた従来技術におけると同様に
被検査物の縁の方向に基づいてこの被検査物の方
向を第１方向検出器１により検出する。第２列の
レジスタA₂−H₂および第３列のレジスタA₃−H₃
も第１列のレジスタにおけると同様にそれぞれ第
２方向検出器２および第３方向検出器３によつて
被検査物の方向を検出する。

これら第１乃至第３方向検出器１，２，３によ
つてそれぞれ検出された被検査物の方向は、第１
の実施態様として方向選出器４において両外側の
方向を示す方向が除かれ、最後に残つた方向が被
検査物の方向として検出される。

また、第２の実施態様としては、第１乃至第３
の方向検出器１，２，３によつて得られた方向を
方向選出器４において平均することによつて物品
の方向を検出する。

この方向選出器４からの出力は、物品自体を回
転させて所定方向に向けるための制御信号とし
て、あるいは、この物品を撮像して得られた画像
を回転して実質上所定方向にある物品を撮像した
と同様な画像を得るための制御信号として用いる
ことができる。

なお、記憶素子（A₁−H₁，A₂−H₂，A₃−H₃）
は画素と対応した位置に設ける必要はなく、通常
のランダムアクセスメモリでもよいことは明らか
であろう。また、同一円周上の画素の数や同心円
の数を増加することにより検出精度を高め得るこ
とは勿論である。

〔発明の効果〕

物品の縁にある突起あるいは欠失によつても検
出した物品の方向の誤りを少なくすることがで
き、パターン検査装置を簡単化し、また検査速度
を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例、第２図は方向検出の
原理を説明する図、第３図は本発明の原理を説明
する図である。 図中、A₁−H₁，A₂−H₂，A₃−H₃は対応する
位置に配置された画素の情報を選択記憶する記憶
素子、１〜３は第１乃至第３の方向検出器、４は
方向選出器である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 物品の画像情報から、複数の同心円の円周上
   の同方向に夫々位置する画素の情報を夫々選択保
   持する記憶素子（A₁−H₁，A₂−H₂，A₃−H₃）
   と、 これらの記憶素子に記憶されている、同一の円
   周上に位置する画素（例えばA₁−H₁）の情報か
   ら物品の方向を夫々検出する方向検出器１，２，
   ３と、 これら方向検出器１，２，３から得られた方向
   情報が供給される方向選出器５とを備えることを
   特徴とする物品の方向検出方式。 ２ 方向選出器５によつて両外側を示す方向情報
   を除外して、残つた方向により物品の方向を検出
   することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の物品の方向検出方式。 ３ 方向選出器５によつて、方向検出器１，２，
   ３から得られた方向情報を平均することによつて
   物品の方向を検出することを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の物品の方向検出方式。