JPH037873Y2 - - Google Patents
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- JPH037873Y2 JPH037873Y2 JP13842183U JP13842183U JPH037873Y2 JP H037873 Y2 JPH037873 Y2 JP H037873Y2 JP 13842183 U JP13842183 U JP 13842183U JP 13842183 U JP13842183 U JP 13842183U JP H037873 Y2 JPH037873 Y2 JP H037873Y2
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- JP
- Japan
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- adhesive
- lamp
- cap
- coating
- exposed
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- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、特に半導体デバイスの生産工程にお
いて好適に使用されるランプに関するものであ
る。
いて好適に使用されるランプに関するものであ
る。
半導体デバイスの生産工程においては、半導体
素子の汚染を防止するために作業室内を無塵状態
に保持する必要があり、作業者のみならず生産に
使用される装置においても塵埃の発生源とならな
いことが要求される。
素子の汚染を防止するために作業室内を無塵状態
に保持する必要があり、作業者のみならず生産に
使用される装置においても塵埃の発生源とならな
いことが要求される。
ところで、半導体デバイスの生産工程において
用いられる光源、例えば半導体ウエハーのフオト
エツチングにおける露光用光源としては例えば第
１図に示す超高圧水銀灯が用いられる。このラン
プは、ランプ本体１の封止部１１の端部１１１
に、封止部１１の外径より若干大きい内径を有す
る筒状のキヤツプ２を被装し、このキヤツプ２の
内部に充填した接着剤３によつてキヤツプ２を封
止部１１に固着すると共に、キヤツプ２の外端面
２１に形成された端子４と、ランプ本体１内の電
極（図示せず）に内部リード１２および金属箔１
３を介して接続される外部リード１４とを電気的
に接続して構成されている。
用いられる光源、例えば半導体ウエハーのフオト
エツチングにおける露光用光源としては例えば第
１図に示す超高圧水銀灯が用いられる。このラン
プは、ランプ本体１の封止部１１の端部１１１
に、封止部１１の外径より若干大きい内径を有す
る筒状のキヤツプ２を被装し、このキヤツプ２の
内部に充填した接着剤３によつてキヤツプ２を封
止部１１に固着すると共に、キヤツプ２の外端面
２１に形成された端子４と、ランプ本体１内の電
極（図示せず）に内部リード１２および金属箔１
３を介して接続される外部リード１４とを電気的
に接続して構成されている。
しかしながら、このような構成のランプにおい
ては、接着剤３がキヤツプ２の開口端２２におい
て露出するため、この露出部３１から接着剤３の
微粉末が飛散し、作業室内を汚染するという欠点
を有する。すなわち、接着剤３は耐熱性が要求さ
れることから一般にはセメント系のものが使用さ
れるが、セメント系接着剤は固化した後は脆く、
その表面から除々に風化され易いものである。そ
して、接着剤３はランプの点灯によつて加熱さ
れ、また露出部３１から紫外線などの光線の照射
を受けるために、風化と同様の現象の進行が著し
く、露出部３１から接着剤３の微細な欠落片より
成る塵埃を生じ、半導体デバイスの生産工程にお
いて支障をきたすようになる。
ては、接着剤３がキヤツプ２の開口端２２におい
て露出するため、この露出部３１から接着剤３の
微粉末が飛散し、作業室内を汚染するという欠点
を有する。すなわち、接着剤３は耐熱性が要求さ
れることから一般にはセメント系のものが使用さ
れるが、セメント系接着剤は固化した後は脆く、
その表面から除々に風化され易いものである。そ
して、接着剤３はランプの点灯によつて加熱さ
れ、また露出部３１から紫外線などの光線の照射
を受けるために、風化と同様の現象の進行が著し
く、露出部３１から接着剤３の微細な欠落片より
成る塵埃を生じ、半導体デバイスの生産工程にお
いて支障をきたすようになる。
本考案は、このような背景の下になされたもの
であつて、接着剤の微粉末が飛散せず、作業室内
を汚染することがなく、しかも優れた耐久性を有
するランプを提供することを目的とし、その特徴
とするところは、ランプ本体の封止部の端部に、
内部に接着剤を充填したキヤツプを被着して構成
されるランプにおいて、前記キヤツプの開口端に
おける、接着剤の露出部の表面を耐熱性塗料より
成る被膜により被覆した点にある。
であつて、接着剤の微粉末が飛散せず、作業室内
を汚染することがなく、しかも優れた耐久性を有
するランプを提供することを目的とし、その特徴
とするところは、ランプ本体の封止部の端部に、
内部に接着剤を充填したキヤツプを被着して構成
されるランプにおいて、前記キヤツプの開口端に
おける、接着剤の露出部の表面を耐熱性塗料より
成る被膜により被覆した点にある。
以下、図面を参照しながら本考案の一実施例に
ついて詳細に説明する。
ついて詳細に説明する。
第２図は本考案の一実施例の要部を示す拡大縦
断平面図である。なお、第１図と同一部分につい
ては同一符号を付して示し、その説明を省略す
る。
断平面図である。なお、第１図と同一部分につい
ては同一符号を付して示し、その説明を省略す
る。
本実施例においては、ランプ本体１の封止部１
１の端部１１１に装着されるキヤツプ２の開口端
２２における、接着剤３の露出部３１の表面全体
に耐熱塗料より成る被膜６を形成する。
１の端部１１１に装着されるキヤツプ２の開口端
２２における、接着剤３の露出部３１の表面全体
に耐熱塗料より成る被膜６を形成する。
ここに被膜６は(イ)耐熱性が高く、300℃以上の
高温にも耐え得ること、(ロ)経時的劣化が小さく、
劣化による塵埃の発生がないこと、(ハ)セメント系
接着剤およびキヤツプ（一般には金属製）との接
着力が大きいことなどが条件とされる。
高温にも耐え得ること、(ロ)経時的劣化が小さく、
劣化による塵埃の発生がないこと、(ハ)セメント系
接着剤およびキヤツプ（一般には金属製）との接
着力が大きいことなどが条件とされる。
この被膜６を構成する耐熱性塗料は、上記の各
条件を満足するものであれば特に制限されるもの
ではないが、ケイ酸ソーダを主成分とする無機系
塗料が好適である。例えば市販品
「OKITSUMO」（三重油脂化工（株）社製）、
「SUNTOMO」（三井物産化工機販売（株）社
製）などを好ましいものとして例示することがで
きる。
条件を満足するものであれば特に制限されるもの
ではないが、ケイ酸ソーダを主成分とする無機系
塗料が好適である。例えば市販品
「OKITSUMO」（三重油脂化工（株）社製）、
「SUNTOMO」（三井物産化工機販売（株）社
製）などを好ましいものとして例示することがで
きる。
被膜６の膜厚は、塗工性、機械的強度などの点
を考慮すると、30〜40μm程度が好ましい。
を考慮すると、30〜40μm程度が好ましい。
本考案は以上のような構成を有し、被膜６によ
つて接着剤３の露出面が被覆されているので接着
剤３の微粉末が大気中に飛散することがなく、ま
た、被膜６は高い耐熱性を有し、それ自身は高熱
あるいは紫外線などの外的要因によつても劣化し
にくく塵埃の発生源となることがないので、作業
室内を汚染することがない。加えて、ランプの点
灯によつて発生する紫外線などの光線は被膜６に
よつて遮られ、接着剤３に直接照射されることが
ないので、これらの光線による接着剤３の劣化が
抑制され、耐久性が向上する。そして、被膜６に
よつて接着剤３が露出しないことからランプの体
栽が良い。
つて接着剤３の露出面が被覆されているので接着
剤３の微粉末が大気中に飛散することがなく、ま
た、被膜６は高い耐熱性を有し、それ自身は高熱
あるいは紫外線などの外的要因によつても劣化し
にくく塵埃の発生源となることがないので、作業
室内を汚染することがない。加えて、ランプの点
灯によつて発生する紫外線などの光線は被膜６に
よつて遮られ、接着剤３に直接照射されることが
ないので、これらの光線による接着剤３の劣化が
抑制され、耐久性が向上する。そして、被膜６に
よつて接着剤３が露出しないことからランプの体
栽が良い。
本考案に係るランプとしては、高圧水銀灯もし
くは超高圧水銀灯を始めとする各種半導体露光用
光源、などを挙げることができる。
くは超高圧水銀灯を始めとする各種半導体露光用
光源、などを挙げることができる。
以上のように本考案に係るランプは、ランプ本
体の封止部の端部に、内部に接着剤を充填したキ
ヤツプを被着して構成されるランプにおいて、前
記キヤツプの開口端における、接着剤の露出部の
表面を耐熱性塗料より成る被膜により被覆したこ
とを特徴とする構成であるから、接着剤の微粉末
が飛散せず、作業室内を汚染することがなく、し
かも優れた耐久性を有する。
体の封止部の端部に、内部に接着剤を充填したキ
ヤツプを被着して構成されるランプにおいて、前
記キヤツプの開口端における、接着剤の露出部の
表面を耐熱性塗料より成る被膜により被覆したこ
とを特徴とする構成であるから、接着剤の微粉末
が飛散せず、作業室内を汚染することがなく、し
かも優れた耐久性を有する。
第１図は従来のランプの一例を示す説明用部分
縦断平面図、第２図は本考案の一実施例の要部を
示す説明用拡大縦断平面図である。 １……ランプ本体、１１……封止部、１１１…
…端部、１２……内部リード、１３……金属箔、
１４……外部リード、２……キヤツプ、２１……
外端面、２２……開口端、３……接着剤、３１…
…露出部、４……端子、６……被膜。
縦断平面図、第２図は本考案の一実施例の要部を
示す説明用拡大縦断平面図である。 １……ランプ本体、１１……封止部、１１１…
…端部、１２……内部リード、１３……金属箔、
１４……外部リード、２……キヤツプ、２１……
外端面、２２……開口端、３……接着剤、３１…
…露出部、４……端子、６……被膜。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ランプ本体の封止部の端部に、内部に接着剤を
充填したキヤツプを被着して構成されるランプに
おいて、 前記キヤツプの開口端における、接着剤の露出
部の表面を耐熱性塗料より成る被膜により被覆し
たことを特徴とするランプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13842183U JPS6046640U (ja) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | ランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13842183U JPS6046640U (ja) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | ランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6046640U JPS6046640U (ja) | 1985-04-02 |
| JPH037873Y2 true JPH037873Y2 (ja) | 1991-02-27 |
Family
ID=30310588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13842183U Granted JPS6046640U (ja) | 1983-09-08 | 1983-09-08 | ランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6046640U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003105939A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Sharp Corp | 太陽電池モジュールおよびその取付構造並びに住宅 |
-
1983
- 1983-09-08 JP JP13842183U patent/JPS6046640U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6046640U (ja) | 1985-04-02 |
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