JPH0380285B2 - - Google Patents

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JPH0380285B2
JPH0380285B2 JP57114082A JP11408282A JPH0380285B2 JP H0380285 B2 JPH0380285 B2 JP H0380285B2 JP 57114082 A JP57114082 A JP 57114082A JP 11408282 A JP11408282 A JP 11408282A JP H0380285 B2 JPH0380285 B2 JP H0380285B2
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JP
Japan
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signal
circuit
output
focus
envelope
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JP57114082A
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Koichi Kudo
Hidehiro Ogawa
Atsushi Kawahara
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Nikon Corp
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Nippon Kogaku KK
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Publication of JPH0380285B2 publication Critical patent/JPH0380285B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B3/00Focusing arrangements of general interest for cameras, projectors or printers
    • G03B3/10Power-operated focusing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Focusing (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、高精度なピントずれ検出装置に関
し、光学顕微鏡、カメラ等の自動合焦装置として
用いるに最適なものである。
従来、例えば、特開昭56−74208号で開示され
ている如き自動焦点検出装置が知られている。こ
のものは、イメージセンサによる標本像の映像信
号を得、該映像信号からコントラストに応じた大
きさのエツジ信号(高周波成分)を得、該エツジ
信号を積分してピントずれに応じた信号を得てい
た。
このような装置では、イメージセンサの受光面
にピントが合つてくる(ピントずれが零に近づい
てくる)につれて、上述のエツジ信号のピーク値
は次第に大きく、幅は次第に狭い信号になつてく
る。そして、一般的な傾向としてはエツジ信号を
積分する積分回路の出力信号は、ピントの合つた
位置に向かつて上昇し、ピントの合つた位置で最
大値をとるが、標本によつては、ピントの合つた
位置で若干減少を示すような場合が生じ、合焦精
度を悪くする原因となる虞れがあつた。また、受
光面上のコントラストが小さく、例えば濃淡の境
界が1つの如き場合には、積分回路による積分量
が少ないためにS/Nが悪く、ピントずれ信号が
得られないという問題点もあつた。
本発明の目的は、どよのうな対象物に対しても
高精度にピントずれ信号を得ることのできるピン
トずれ検出装置を提供することにある。
以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を
説明する。
第1図は、本発明のピントずれ量の検出装置
を、顕微鏡の自動合焦装置に応用した場合の第1
実施例、第2図は第1図のタイミング装置及び抽
出関数発生回路の詳細ブロツク図、第3図は第1
図、第2図の動作を説明するためのタイミングチ
ヤートである。
ステージ1上の標本2は、対物レンズ3、ハー
フミラー4を介して光源5により落射照明され
る。標本2の像は、対物レンズ3を光軸方向へ移
動せしめることにより図示なき焦点板、フイルム
面等に結像させることができる。ハーフミラー4
の透過光は、光路分割プリズム6によつて紙面内
で2光路に分割された後、該各々の光路中にまた
がつて配設されたイメージセンサ8上に入光す
る。イメージセンサ8の受光面の左半分は焦点
板、フイルム面等の配設される面と等価な基準面
Sの後ろ側に、イメージセンサ8の受光面の右半
分は、上述の如き面Sの前側になる如く、イメー
ジセンサ8の位置が調整されている。イメージセ
ンサ8の左半分からの光電変換信号はいわゆる後
ピン信号に、右半分からの光電変換信号はいわゆ
る前ピン信号に相当する。光路分割プリズム6と
イメージセンサ8の受光面の右半分との間には負
レンズ7が挿入されており、イメージセンサ8上
の左半分と右半分で像の大きさを一致させる働き
を成している。イメージセンサ8の左半分と右半
分とで像の大きさを一定にするためには、負レン
ズ7の代わりに、両光路がテレセントリツク系に
なる如く光学系を構成しても良い。
イメージセンサ8は周知の如く、スタートパル
ス発生器9とパルス発生回路10とによつて駆動
される。すなわち、イメージセンサ8はスタート
パルス発生器9からのスタートパルスに引き続い
て入力されるパルス発生回路10からのパルスに
よつて各エレメントが順次駆動され、このパルス
に同期した映像信号を時系列に出力していく。増
幅器11は、イメージセンサ8からの映像信号を
増幅してサンプルホールド回路12に入力せしめ
る。サンプルホールド回路12は図示してはいな
いが、パルス発生回路10からのパルスに基づい
て順次増幅器11からの映像信号をサンプルホー
ルドする。サンプルホールド回路12の出力信号
は微分回路13に入力される。微分回路13の微
分信号は絶対値回路14にて極性を揃えられ、コ
ントラストに応じた信号となる。絶対値回路14
の出力信号は掛算器15の一方の入力端子に入力
される。掛算器15の他方の入力端子には抽出関
数発生回路16からの抽出関数が入力される。掛
算器15は両入力端子の信号を掛け合わせて積分
器17と包絡線化回路20に入力せしめる。積分
器17は、タイミング装置18からの信号に基づ
いて、イメージセンサ8からの信号のうち受光面
上の左半分から得られる信号、すなわち後ピン信
号に相当した掛算器15からの信号と、右半分か
ら得られる信号、すなわち前ピン信号に相当した
掛算器15からの信号とを交互に積分してサンプ
ルホールド回路19に入力せしめる。サンプルホ
ールド回路19は、タイミング装置18からの信
号に基づいて、積分器17の積分信号を後ピン信
号と前ピン信号とで交互にサンプルホールドす
る。一方、包絡線化回路20の出力信号は、積分
器21に入力され、積分される。積分器21は、
タイミング装置18からの信号に基づいて、イメ
ージセンサ8からの信号のうち受光面上の左半分
から得られる信号に相当した包絡線化回路20の
出力信号と、右半分から得られる信号に相当した
包絡線化回路20の出力信号とを交互に積分す
る。サンプルホールド回路19の出力信号と積分
器21の出力信号とは割算器22にて割算が行な
われる。この際、割算器22における割算は、サ
ンプルホールド回路19の出力信号が分母になる
ように行なわれる。割算器22の出力信号はコン
トラスト信号、像面輝度に対するゲインコントロ
ールが行なわれた信号である。すなわち、このよ
うなゲインコントロールによれば、積分値がピン
トの合つた位置で若干減少を示すような場合に
は、ピントの合つた位置での信号は特に強調さ
れ、合焦精度が良くなる。割算器22の出力信号
は、第1サンプルホールド回路23と第2サンプ
ルホールド回路24に入力される。第1サンプル
ホールド回路23はイメージセンサ8の左半分か
らの信号用、第2サンプルホールド回路24はイ
メージセンサ8の右半分からの信号用であつて、
タイミング装置18からのサンプル信号によつて
各々の信号が振り分けて入力される如く成つてい
る。第1サンプルホールド回路23、第2サンプ
ルホールド回路24の出力信号は各々加算器25
に入力されると共に、第1割算回路26の一方の
入力端子及び第2割算回路27の一方の入力端子
に入力されている。第1割算回路26、第2割算
回路27の他方の入力端子には加算器25の出力
信号が入力されている。第1割算回路26、第2
割算回路27は、加算器25からの加算信号を分
母として割算を行なう。第1割算回路26、第2
割算回路27の出力信号は、従来技術で行なつて
いる如くコントラストに対してゲインコントロー
ルされた信号である。差動増幅回路28は、第1
割算回路26、第2割算回路27からの割算信号
の差に対応した信号(ピントずれ量に対応した信
号である)をモータ制御回路29へ入力せしめ
る。モータ制御回路29は、ピントずれ量が零に
なるようにモータMを駆動し、対物レンズ3を光
軸方向へ移動せしめる。勿論、ステージ1を移動
せしめても良い。それによつて自動合焦が可能と
なる。
タイミング装置18は、スタートパルス発生器
9、タイミングパルス発生回路10、第1デジタ
ルスイツチ30、第2デジタルスイツチ31から
の信号を入力し、抽出関数発生回路16、積分器
17、サンプルホールド回路19、積分器21、
第1サンプルホールド回路23、第2サンプルホ
ールド回路24にタイミング信号を入力し、各々
の差動期間を制御する。
タイミング装置18は、第2図に示した如く、
セレクタ180、プリセツタプルカウンタ18
1、カウンタ182、出力回路183を有してい
る。プリセツタブルカウンタ181、カウンタ1
82はスタートパルス発生器9からのスタートパ
ルスによつてリセツトされる。プリセツタブルカ
ウンタ181は、制御端子から入力されるプリセ
ツト値を全計数可能値から引いた数(所定値と称
す)だけ、パルス発生回路10からのパルスを計
数する。所定値の計数が終了すると、プリセツタ
ブルカウンタ181はキヤリー信号をカウンタ1
82に出力するとともに、キヤリー信号によつて
ゲートGを介してリセツトされる。カウンタ18
2はキヤリー信号を計数し、該計数値を出力回路
183に入力せしめる。出力回路183は主とし
て上記キヤリー信号を番地指定信号とする読出し
専用の記憶回路(ROM)を有し、この記憶回路
の所定番地からの信号によつて積分器17、サン
プルホールド回路19、積分器21、第1サンプ
ルホールド回路23、第2サンプルホールド回路
24、抽出関数発生回路16の変換装置160の
作動タイミングが制御される。
なお、変換装置160は、プリセツタブルカウ
ンタ181の計数値を出力回路183から信号を
生じている間のみ出力するゲートと、ゲートに接
続され、上記計数値を所定の値に変換する例えば
読出し専用の記憶回路を有し、変換装置160か
ら出力されるプリセツタブルカウンタ181の計
数値に対応したデジタル値はD/Aコンバータ1
61にてアナログ値に変換されて、抽出関数発生
回路16から出力される。
このような構造であるから、スタートパルス発
生器9からスタートパルス(第3図a)が生ずる
と、パルス発生回路10から順次出力されるパル
ス(第3図b)によつて、イメージセンサ8の各
エレメントが駆動され、イメージセンサ8から
は、第3図kの如き各々のエレメントに入射した
光の強さに応じた信号が出力される。この信号
は、増幅器11にて増幅された後、サンプルホー
ルド回路12にて第3図lの如き信号となり、そ
の後、微分回路13にて第3図mの如き信号とな
り、絶対値回路14にて第3図nの如き信号とな
る。
一方、プリセツタブルカウンタ181、カウン
タ182は、スタートパルスによつてリセツトさ
れる。出力回路183は、カウンタ182の計数
値零によつてセレクタ180の端子Aを選択する
如く、セレクタ180に選択信号を入力せしめ
る。いま、デイジタルスイツチ30,31共に、
値零が設定されているとすると、プリセツタブル
カウンタ181は、全計数可能値(第3図の例で
は22…第3図bのパルス22毎にキヤリー信号
(第3図cが出る)を設定値として計数する。プ
リセツタブルカウンタ181は、全計数可能値の
パルスを計数するとカウンタ182にキヤリー信
号を出力する(第3図c)ので、カウンタ182
の計数値は1となる。カウンタ182の計数値が
1となると、出力回路183は、第3図jの信号
を変換回路160、積分器17,21に第3図i
の信号をサンプルホールド回路19に、第3図h
の信号P1を第1サンプルホールド回路23に入
力せしめる。ここで、出力回路183の信号の作
成の仕方の一例を詳述しておくと、第3図h,
i,jの信号は、第3図fの信号が基本となつて
いる。すなわち、前述の出力回路183に設けた
記憶回路からの信号によつて矩形波発生回路が駆
動され、カウンタ182の計数値1で第3図fの
如き信号がこの発生回路から出力される如く構成
し、第3図fの信号を第3図bの1パルス分だけ
遅延回路等で遅延させた信号を第3図gの信号と
成しまた、第3図gの信号を第3図bの1パルス
分だけさらに遅延回路で遅延させた信号を第3図
jと成す。また、第3図fの信号の立ち下りで第
3図iの信号を、第3図gの信号の立ち下りで第
3図hの信号を、夫々波形整形回路にて作成する
如く形成されている。
従つて、スタートパルスが時刻t0で生じた後、
第3図bのパルスが22個生ずると、(時刻t1)、プ
リセツタブルカウンタ181はキヤリー信号を1
つ出力し(第3図c)、出力回路183は第3図
jの信号を出力する。タイミング回路18からの
第3図jの信号によつて、抽出関数発生回路16
は抽出関数を出力する。抽出関数発生回路16が
第3図jの信号と相似な信号を出力するとすれ
ば、掛算器15の出力信号は、第3図oの如く成
る。積分器17の出力信号は第3図oの信号を積
分した第3図pの如き信号となる。サンプルホー
ルド回路19は、第3図iの信号(時刻t2で立ち
上がる)にて第3図pの信号をサンプルホールド
するのでその出力信号は第3図qの如くになる。
一方、包絡線化回路20の出力信号は、第3図o
の信号の包絡線をとるので、、その出力信号は第
3図rの如くになる。積分器21は、第3図rの
信号を積分するのでその出力信号は第3図sの如
くになり、積分器17の出力信号である第3図p
の信号よりも十分大きな信号を得ることができ
る。第1サンプルホールド回路23は、時刻t3
て割算器22の出力信号をサンプルホールドす
る。
プリセツタブルカウンタ181が再び全計数値
22を計数し、カウンタ182にキヤリー信号が入
力されると、カウンタ182は計数値2となる。
計数値2では、出力回路183はセレクタ26の
端子Bを選択する如き信号をセレクタ26に入力
し、その余の制御信号を出力しない。その結果、
セレクタ180はいずれの端子も選択しない。こ
のようにして、さらにカウンタ182が計数値3
になると、前述と同様に、出力回路183から制
御信号が出力され、各回路は時刻t1〜t4と同様に
制御される(時刻t1に時刻t10が、時刻t2に時刻t20
が、時刻t3で時刻t30が、時刻t4で時刻t40が対応す
る)。時刻t1〜t4と異なる点は、時刻t30で生ずる
サンプルパルスP2が第2サンプルホールド回路
24に入力される点である。
このようにして、第1サンプルホールド回路2
3の出力信号としてイメージセンサ8の左側の受
光面上の像に対応した信号が、第2サンプルホー
ルド回路24の出力信号としてイメージセンサ8
の右側の受光面上の像に対応した信号が得られる
ことになる。
第1サンプルホールド回路23の出力信号と第
2サンプルホールド回路24の出力信号は、加算
器25、割算回路26,27によつて正規化され
て、差動増幅器28によつてピントずれに対応し
た信号が求められる。
カウンタ182の計数値が4となると、再びス
タートパルスが生じることにより前述の動作が繰
り返される。
ここで、デジタルスイツチ30に値5(勿論、
実際にはこれに対応するデジタル値)を設定した
とすると、プリセツタブルカウンタ181はスタ
ートパルスが生じた後、17パルスでキヤリー信号
を出力することになる(第3図d)。すなわち、
第3図dに示した如く、キヤリー信号の列が5パ
ルス分第3図cに対し左方へずれることになる。
従つて、第3図f,g,h,i,jの信号もそれ
ぞれ左方へ5パルス分ずれるので、抽出位置が変
化する。すなわち、イメージセンサ8上での像の
選択部分を変化させることができる。
また、デジタルスイツチ31に値5を設定した
とすると、プリセツタブルカウンタ181は、カ
ウンタ182の計数値が2と成つた後、17パルス
でキヤリー信号を出力することになるので、キヤ
リー信号の列は、第3図eの如く2番目のキヤリ
ー信号と3番目のキヤリー信号の間隔を狭めた形
となる。
すなわち、デジタルスイツチ30,31に適当
な値を設定することによつて、抽出区間を一定に
したままで、抽出位置を自由に調整でき、かつ調
整が電気的に行なえるので調整が容易に行なえ
る。
また、第3図jの抽出関数の代わりに、第4図
a,bの如く、時刻によつて大きさの変わるよう
な関数を発生する如く構成しておけば、掛算器1
5の出力信号を抽出区間の中央部を重視した信号
と成すことができるので、デジタルスイツチによ
る像抽出位置の調整が不完全であつたり、調整の
分解能が不足していたりした場合に生ずる像抽出
区間の端部における誤差成分を減少せしめること
ができる。
なお、以上説明した処よりわかる如く、上述の
実施例が従来装置と異なる点の1つは、イメージ
センサ8からの映像信号の高周波成分(エツジ信
号)のピークレベルを有効に取り出す手段として
の包絡線化回路20を設けた点である。このよう
な包絡線化回路20は、例えば第5図a,bの如
きものを用いることができるのであるが、このよ
うな回路を用いることによつて、従来、高周波成
分(エツジ信号)…微分回路13、もしくは絶対
値回路14の出力信号として取り出したもの…を
積分回路で積分することにより、エツジ信号の面
積を求めることにより生じていた不都合を解消し
たわけである。ピークレベルを有効に取り出す手
段としては、包絡線化回路20の代わりにピーク
ホールド回路等、他の回路を用いることも可能で
ある。また、絶対値回路14の出力に対し、それ
を積分する回路19の出力と、包絡線化回路20
の出力を積分する回路21の出力とを割算器22
に入力することにより、その出力、すなわちピン
トずれに応じた信号が像のコントラスト、明るさ
等による影響がなく常に一定した信号が得られる
ようになつた。
さらに、以上の実施例では1つのイメージセン
サをほぼ中央で後ピン信号用、前ピン信号用に別
けたが、各々の信号を得るために、専用のイメー
ジセンサを用いたものや、ピント位置にイメージ
センサを置いたものにも同様に上述の包絡線化回
路等のピークレベルを有効に取り出す手段を用い
ることが有効である。
以上述べた如く本発明によれば、イメージセン
サからの映像信号の高周波成分のピークレベルを
有効に用いることにより大きなピントずれ信号を
高精度に得ることができるので、例えば自動焦点
整合が高精度に行なえる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例を説明する図、第
2図は第1図のタイミング装置と抽出関数発生回
路、第3図は第1図と第2図の動作を説明するた
めのタイミングチヤート、第4図は第3図と同様
なタイミングチヤート、第5図は第2実施例の包
絡線化回路の部分の図である。 〔主要部分の符号の説明〕、イメージセンサ……
8、回路手段……20。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 基準面の前後に配設したイメージセンサの出
    力である前ピン、後ピンの映像信号から、その高
    周波成分であるエツジ信号を作成し、該エツジ信
    号に基づいてピントずれに応じた信号を求める如
    く成したピントずれ検出装置において、 前記エツジ信号の絶対値に応じた絶対値信号を
    出力する絶対値信号出力手段と、 前記絶対値信号出力手段の出力信号の包絡線に
    応じた包絡線信号を出力する包絡線化手段と、 前記包絡線化手段の出力信号の積分値に応じた
    第1積分信号を出力する第1積分手段と、 前記絶対値信号の積分値に応じた第2積分信号
    を出力する第2積分手段と、 前記第1積分信号を前記第2積分信号で割るこ
    とにより、像面輝度に対するゲインコントロール
    を行う第1ゲインコントロール手段と、 前記第1ゲインコントロール手段の出力を前記
    前ピンに対応した信号と前記後ピンに対応した信
    号とに分離し、それぞれの信号に対してコントラ
    ストに対してゲインコントロールした信号を出力
    する第2ゲインコントロール手段と、 前記第2ゲインコントロール手段の出力に応じ
    て、前記ピントずれに応じた信号を求める演算手
    段と、 を有することを特徴とするピントずれ検出装置。
JP57114082A 1982-07-02 1982-07-02 高精度なピントずれ検出装置 Granted JPS597321A (ja)

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JP57114082A JPS597321A (ja) 1982-07-02 1982-07-02 高精度なピントずれ検出装置
US06/508,166 US4587416A (en) 1982-07-02 1983-06-27 Focus detecting apparatus for microscope or camera

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57114082A JPS597321A (ja) 1982-07-02 1982-07-02 高精度なピントずれ検出装置

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Publication Number Publication Date
JPS597321A JPS597321A (ja) 1984-01-14
JPH0380285B2 true JPH0380285B2 (ja) 1991-12-24

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ID=14628614

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JPS597321A (ja) 1984-01-14
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