JPH0381161A - サーマルヘッド - Google Patents
サーマルヘッドInfo
- Publication number
- JPH0381161A JPH0381161A JP21899089A JP21899089A JPH0381161A JP H0381161 A JPH0381161 A JP H0381161A JP 21899089 A JP21899089 A JP 21899089A JP 21899089 A JP21899089 A JP 21899089A JP H0381161 A JPH0381161 A JP H0381161A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- antiabrasion
- electroconductive
- electroconductive layer
- wear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract 5
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000009993 protective function Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 57
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000029305 taxis Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はサーマルヘクトに関する。
サーマルヘッドを有する装置の普及に伴い、信頼性への
要求も高１ってきた。
要求も高１ってきた。
特に耐摩耗層の静電破壊の防止は重要である。
第３図は従来のサーマルヘクトの一例の基本的層構成を
示す断面図である。
示す断面図である。
セラミック基板１上に蓄熱層としてグレーズ層２を設け
、その上に抵抗体層３よりなる発熱抵抗体パターン８と
発熱抵抗体パターンの両端に接続されたＭなどの導体層
４よりなる導体配線パターンが形成され、それらの上に
絶縁体ようなる耐摩耗層５が形成された構造を有してい
る。
、その上に抵抗体層３よりなる発熱抵抗体パターン８と
発熱抵抗体パターンの両端に接続されたＭなどの導体層
４よりなる導体配線パターンが形成され、それらの上に
絶縁体ようなる耐摩耗層５が形成された構造を有してい
る。
上述した従来のサーマルヘッドの耐摩耗層は絶縁体であ
るため、印字の際に感熱紙や熱転写用のインクシートと
の摩擦にようチャージアップが起き静電破壊を起こすと
いう欠点があった。
るため、印字の際に感熱紙や熱転写用のインクシートと
の摩擦にようチャージアップが起き静電破壊を起こすと
いう欠点があった。
静電破壊が起きか箇所は印字不良の原因となる耐摩耗層
の剥れやＭ導体層の腐食が起きやすい。
の剥れやＭ導体層の腐食が起きやすい。
と少わけ、プラスチックシートなどの基材を用いるイン
クシートの場合はチャージアップが起きやすいので、上
記のような不良が生じやすいという欠点があった。
クシートの場合はチャージアップが起きやすいので、上
記のような不良が生じやすいという欠点があった。
本発明のサーマルヘクトは、絶縁基板上に形成摩耗層表
面近傍の層中に導電性の少くとも一つの層を有して構成
されている。
面近傍の層中に導電性の少くとも一つの層を有して構成
されている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の第１の実施例の断面図である。
グレーズ層２を有するセラミック基板１上にＴａ５ｉＯ
，抵抗体層３、Ｍ導体層４が被着され、発熱抵抗体パタ
ーン部８ｐよび導体配線パターン部が形成されている。
，抵抗体層３、Ｍ導体層４が被着され、発熱抵抗体パタ
ーン部８ｐよび導体配線パターン部が形成されている。
耐摩耗層５Ｄには窒化ケイ素（８４３Ｎ＋）を筐ず４μ
ｍスバクタ形成し、静電破壊防止用の導電層６を形成後
さらに耐摩耗層５Ｕを１μｍ形成した。
ｍスバクタ形成し、静電破壊防止用の導電層６を形成後
さらに耐摩耗層５Ｕを１μｍ形成した。
導電層にはＣｒをスパッタ形成した。
膜厚は１０ｎｍ、１１００ｎ及び１μｍの３種類のもの
を作った。
を作った。
このような構成にかいては表面の層５Ｕは従来の第３図
の耐摩耗層５と同じであるので、摩耗量には変化がない
。
の耐摩耗層５と同じであるので、摩耗量には変化がない
。
本実施例のヘッドを熱転写プリンタで従来のヘッドとと
もに連続印字試験をして比較した。
もに連続印字試験をして比較した。
この結果従来ヘッドは静電破壊のため耐摩耗層が下地面
から浮き上っている個所が生じたことが認められたのに
対し、本実施例の導電層厚１０ｎｍ。
から浮き上っている個所が生じたことが認められたのに
対し、本実施例の導電層厚１０ｎｍ。
１１００ｎの場合は導電層上の耐摩耗層５Ｕに小さい点
状の静電破壊跡が認められたものの、浮き上り等はなく
信頼性が向上したことが確認できた。
状の静電破壊跡が認められたものの、浮き上り等はなく
信頼性が向上したことが確認できた。
一方導電層１μｍの場合機械的破損による耐摩耗層表面
層の破損が認められた。
層の破損が認められた。
これは機械的強度が耐摩耗層よう劣る導電層６が厚すぎ
るためである。
るためである。
導電層の厚さはチャージアップによる電荷を逃がせばよ
いだけであるので１０ｎｍ程度と薄くとも十分である。
いだけであるので１０ｎｍ程度と薄くとも十分である。
また電導層６の材質は、耐摩耗層間の接着性を保持でき
るようなＣｒ、Ｔａ＊Ｔｉなどが好！しい。
るようなＣｒ、Ｔａ＊Ｔｉなどが好！しい。
なか導電層６を付ける位置は、表面に近すぎると長期間
の印字で摩耗してなくなることがあり、一方下地に近ず
ぎると静電破壊防止の役をなさないだけでなく、ピンホ
ールなどの耐摩耗層欠陥を通して抵抗体層や導体層とシ
１−トすることがあるので好筐しくない。
の印字で摩耗してなくなることがあり、一方下地に近ず
ぎると静電破壊防止の役をなさないだけでなく、ピンホ
ールなどの耐摩耗層欠陥を通して抵抗体層や導体層とシ
１−トすることがあるので好筐しくない。
第２図は本発明の第２の実施例の断面図である。
第１の実施例と同様にグレーズＮ２を有するセラミック
基板１上にＴａ５ｉＯｔの発熱抵抗体パターン部８、Ｍ
導体配線パターンを形成した。
基板１上にＴａ５ｉＯｔの発熱抵抗体パターン部８、Ｍ
導体配線パターンを形成した。
耐摩耗層５ｍには五酸化タンタル（Ｔａ ２０Ｂ ）を
合計膜厚５μｍ をスパッタ形成した。
合計膜厚５μｍ をスパッタ形成した。
本実施例の静電破壊防止用の導電層群ワにはＴ３を用い
、Ｔａ２０５合計膜厚が下地から４ 、４．３ 、４．
６７Ｊｍの所に各々１０μｍ付け、さらに表面に２００
ｎｍ付は接地電極に接続した。本実施例の構成でばＴ３
のＴａｘｅｓ中への拡散によりｓＴ；１の各導電層間は
チャージアップ電荷を逃がす程度の導通状態となる。
、Ｔａ２０５合計膜厚が下地から４ 、４．３ 、４．
６７Ｊｍの所に各々１０μｍ付け、さらに表面に２００
ｎｍ付は接地電極に接続した。本実施例の構成でばＴ３
のＴａｘｅｓ中への拡散によりｓＴ；１の各導電層間は
チャージアップ電荷を逃がす程度の導通状態となる。
本実施例の場合表面が接地されているためチャージアッ
プそのものを防止できる。
プそのものを防止できる。
表面のＴａ層は印字を行なうにつれ削られてなくなるが
、中間層として付けたＴａ層によう接地状態は保持され
るためその効果を保つことができる。
、中間層として付けたＴａ層によう接地状態は保持され
るためその効果を保つことができる。
このように導電層としては耐摩耗層中に多少拡散し、表
面近傍が低導電性の耐摩耗層膜となるような材質である
と効果的である。
面近傍が低導電性の耐摩耗層膜となるような材質である
と効果的である。
以上説明したように本発明は、耐摩耗層表面近傍の層中
に静電破壊防止用の導電層を設けることにより１靜電破
壊による耐摩耗層破壊を防止でき、印字寿命を改善でき
る効果がある。
に静電破壊防止用の導電層を設けることにより１靜電破
壊による耐摩耗層破壊を防止でき、印字寿命を改善でき
る効果がある。
ヘッドの一例の断面図である。
１・・・・・・セラミック基板、２・・・・・・グレー
ズ層、３・・・・・・抵抗体層、４・・・・・・導体層
、５・・・・・・耐摩耗層、６・・・・・・静電破壊防
止用導電層、７・・・・・・静電破壊防止用導電層群、
８・・・・・・発熱抵抗体パターン部。
ズ層、３・・・・・・抵抗体層、４・・・・・・導体層
、５・・・・・・耐摩耗層、６・・・・・・静電破壊防
止用導電層、７・・・・・・静電破壊防止用導電層群、
８・・・・・・発熱抵抗体パターン部。
Claims (1)
- 絶縁基板上に形成された発熱抵抗体パターン部上に絶縁
性耐摩耗層が形成されてなるサーマルヘッドにおいて、
前記耐摩耗層表面近傍の層中に導電性の少くとも一つの
層を有することを特徴とするサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21899089A JPH0381161A (ja) | 1989-08-24 | 1989-08-24 | サーマルヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21899089A JPH0381161A (ja) | 1989-08-24 | 1989-08-24 | サーマルヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0381161A true JPH0381161A (ja) | 1991-04-05 |
Family
ID=16728542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21899089A Pending JPH0381161A (ja) | 1989-08-24 | 1989-08-24 | サーマルヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0381161A (ja) |
-
1989
- 1989-08-24 JP JP21899089A patent/JPH0381161A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3603997B2 (ja) | サーマルヘッド及びサーマルヘッドの製造方法 | |
| US7969458B2 (en) | Thermal printhead | |
| JP2008230126A (ja) | サーマルプリントヘッド | |
| JP2775884B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JP4163921B2 (ja) | サーマルヘッド及びそれを用いたサーマルプリンタ | |
| JP3107911B2 (ja) | サーマルプリントヘッド | |
| JPS61293869A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPS6021264A (ja) | サ−マルプリントヘツドの電極構造 | |
| JP2563281Y2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JPH0631961A (ja) | サーマルプリントヘッド | |
| JPH0825668A (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2524302Y2 (ja) | サーマルプリントヘッド | |
| JPS6330269A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPH07266594A (ja) | サーマルヘッド | |
| JP2833659B2 (ja) | サーマルプリンターヘッド | |
| JP2564555B2 (ja) | 厚膜型サ−マルヘッドの製造方法 | |
| JP2002356001A (ja) | サーマルヘッド及びそれを用いたサーマルプリンタ | |
| JP2830837B2 (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JP2871742B2 (ja) | サーマルヘッド | |
| JPS5699680A (en) | Thermal head | |
| JPS61108567A (ja) | サ−マルヘツド | |
| JPH04179555A (ja) | サーマルヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH081093Y2 (ja) | サーマルプリントヘッド装置 | |
| JP4721570B2 (ja) | サーマルヘッド及びそれを用いたサーマルプリンタ | |
| JPH01226356A (ja) | サーマルヘッド |