JPH038335U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本装置の縦断面図、第２図は剥離作業
中における押え板と露光テーブルの拡大縦断面図
、第３図は押え板が露光テーブル上に下ろされた
状態の拡大平面図である。 １００……露光装置本体、１１０……ランプハ
ウス、１２０……押え板、１３０……露光テーブ
ル、１４０……ポンプ装置、２１０……第１のピ
ン、２２０……第２のピン、２３０……開口、２
４０……弾性ベルト、２４５……ベルト、２６０
……ノズル部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 平坦な板状の露光テーブルと、該テーブル
   の上方に配置された露光用ランプと、それらの間
   を上下移動可能に取り付けられた透明の押え板と
   を備え、前記露光テーブルは、上下運動可能な第
   １のピンを、前記テーブルの表面上から突出した
   状態にて、前記テーブルの上側端部付近に有し、
   また前記押え板は、上下運動可能な第２のピンを
   、前記押え板の表面から突出した状態にて、前記
   押え板の下側端部付近に有し、前記押え板と露光
   テーブルとが隣接した状態から所定の距離だけ離
   隔した状態まで前記第１のピンと第２のピンの先
   端部が係合し続けるようになつており、さらに、
   前記露光テーブルは、前記露光テーブルの上側表
   面に沿つて空気を送るための送風装置を有してい
   ることを特徴とする露光装置。 (2) 請求項第１項に記載の露光装置において、
   前記露光装置が吸引装置を有し、前記吸引装置が
   、前記テーブル上であつて、第１のピンの周りに
   設けられた開口に連通していることを特徴とする
   露光装置。