JPH0384942A - ウェハー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明は、大規模集積回路を設けたウェハーに関し、特
に、ウェハーにおけるチップの良否を選別する際の試験
効率を向上できるようにしたウェハーに関する。

［従来の技術］ 従来、大規模集積回路を設けたウェハーのチップの良否
を選別する場合には、選別試験用のテスターを用いてい
る。しかし、テスターの入出力信号数には限界があるた
め、−回の試験たけではチップの良否を選別できなかっ
た。このため、複数Ｓ類のテストデータにもとづいてテ
スターでチップを分割試験すること（よりチップの良否
を選別していた。この場合、テスターのブローμは、チ
ップへの供給信号を優先して確保してあった。

［解決すべき課題］ 上述したウェハーのチップの選別試験ではチップへの信
号をすべてテスターから供給していたので、試験データ
観測用のブローμが不足していた。このため、チップの
良否を選別できる試験データを得るまでには膨大なテス
トパターンが必要となり、試験効率を低下させるという
問題があった。

また、テストパターンの増加にともないチップのパッド
部とテスターのブローμの接触回数が増加して、パッド
部が損傷することがあった。このような場合には、チッ
プの良否選別が不可能となり、歩留りが低下するという
問題があった。

本発明は上述した問題点にかんがみてなされたもので、
チップの試験効率を向上させることができ、パッド損傷
による選別不能を防止し、不良品化を回避することによ
って歩留りの向上を図れるようにしたウェハーの提供を
目的とする。

［課題の解決手段］ 上記目的を遠戚するために本発明のウェハーは、チップ
領域外に設けた電源ラインおよびグランドラインと、こ
の電源ラインおよびグランドラインとチップに割り当て
られた入力信号用パッドを接続する接続配線を具備した
構成としである。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図は本実施例におけるウェハーの模式図。

第２図は同じく要部拡大図である。

これらの図面において、１はウェハー本体、２はウェハ
ー本体１に設けた複数個のチップである。３は電源ライ
ン、４はグランドラインであり、各チップ２の領域外の
縦横方向にそれぞれ交差した状態に設けである。

５は接続配線であり、電源ライン３およびグランドライ
ン４とチップ２の仕様にもとづいて割り邑てられた入力
信号用バット６を接続する。これにより、入力信号のク
ランプが実現しテスターからの出力信号は、電源ライン
３から＠続配線５を介して各チップ２に同時に供給され
る。したがって、テスターの出力信号用のプローバ数を
少なくすることができ、他のプローバをすべて観測用と
して使用することができる。これにともない−回の試験
で得られる試験データを増加させることができ、チップ
の良否選別を短時間に効率よく行なうことができる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明のウェハーは、チップの試験
効率を向上させることができ、バット損傷による選別不
能を防止し、不良品化を回避することによって歩留りの
向上を図れるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例におけるウェハーの模式図、第２
図は同じく要部拡大図である。 １：ウェハー本体 ２：チップ ３：電源ライン ４ニゲランドライン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. チップ領域外に設けた電源ラインおよびグランドライン
   と、この電源ラインおよびグランドラインとチップに割
   り当てられた入力信号用パッドを接続する接続配線を具
   備したことを特徴とするウェハー。