JPH0388345U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0388345U JPH0388345U JP14832789U JP14832789U JPH0388345U JP H0388345 U JPH0388345 U JP H0388345U JP 14832789 U JP14832789 U JP 14832789U JP 14832789 U JP14832789 U JP 14832789U JP H0388345 U JPH0388345 U JP H0388345U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- light receiving
- dicing
- dicing blade
- emitting element
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例１を示す要部の正面図
、第２図は第１図のダイシングブレードの部分拡
大側面図である。第３図は本考案の実施例２を示
す要部の正面図である。第４図は従来のダイシン
グ装置の要部の正面図、第５図は第４図のダイシ
ングブレードの部分拡大側面図である。 １……ダイシングブレード、７，８，９……投
光素子、１０，１１，１２……受光素子、１４，
１５，１６……投光素子、１７，１８，１９……
受光素子、Ａ１〜Ａ５……検査エリア。
、第２図は第１図のダイシングブレードの部分拡
大側面図である。第３図は本考案の実施例２を示
す要部の正面図である。第４図は従来のダイシン
グ装置の要部の正面図、第５図は第４図のダイシ
ングブレードの部分拡大側面図である。 １……ダイシングブレード、７，８，９……投
光素子、１０，１１，１２……受光素子、１４，
１５，１６……投光素子、１７，１８，１９……
受光素子、Ａ１〜Ａ５……検査エリア。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ダイシングブレードの刃先部分の形状検査を、
その両側方に対向させて配置した複数対の投光素
子と受光素子で光学的に行うようにしたものであ
つて、 少なくとも一対の投光素子と受光素子をダイシ
ングブレードの側面に対して所定の傾斜角で対向
するように配置して、この投光素子と受光素子に
よるダイシングブレードの検査エリアを他の投光
素子と受光素子の検査エリアと部分的に重なるよ
うにしたことを特徴とするダイシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14832789U JPH0388345U (ja) | 1989-12-22 | 1989-12-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14832789U JPH0388345U (ja) | 1989-12-22 | 1989-12-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0388345U true JPH0388345U (ja) | 1991-09-10 |
Family
ID=31694784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14832789U Pending JPH0388345U (ja) | 1989-12-22 | 1989-12-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0388345U (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006287111A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置およびブレード状態検出方法 |
| JP2006310396A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ブレード破損検出装置 |
| JP2009083010A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の切削ブレード検出機構 |
| JP2009083072A (ja) * | 2007-10-02 | 2009-04-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の切削ブレード検出機構 |
| JP2010141009A (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の切削ブレード検出機構 |
| JP2016007673A (ja) * | 2014-06-25 | 2016-01-18 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2020028947A (ja) * | 2018-08-22 | 2020-02-27 | Tdk株式会社 | 切削装置 |
| JP2023148470A (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-13 | 株式会社東京精密 | ブレード破損検出装置 |
-
1989
- 1989-12-22 JP JP14832789U patent/JPH0388345U/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006287111A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置およびブレード状態検出方法 |
| JP2006310396A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ブレード破損検出装置 |
| JP2009083010A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の切削ブレード検出機構 |
| JP2009083072A (ja) * | 2007-10-02 | 2009-04-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の切削ブレード検出機構 |
| JP2010141009A (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の切削ブレード検出機構 |
| JP2016007673A (ja) * | 2014-06-25 | 2016-01-18 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2020028947A (ja) * | 2018-08-22 | 2020-02-27 | Tdk株式会社 | 切削装置 |
| WO2020040142A1 (ja) * | 2018-08-22 | 2020-02-27 | Tdk株式会社 | 切削装置、センサユニット、及び検出方法 |
| JP2023148470A (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-13 | 株式会社東京精密 | ブレード破損検出装置 |