JPH0388997A - 一次真空ポンプ - Google Patents
一次真空ポンプInfo
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- JPH0388997A JPH0388997A JP2225009A JP22500990A JPH0388997A JP H0388997 A JPH0388997 A JP H0388997A JP 2225009 A JP2225009 A JP 2225009A JP 22500990 A JP22500990 A JP 22500990A JP H0388997 A JPH0388997 A JP H0388997A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/24—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves or unloading valves
- F04C28/26—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves or unloading valves using bypass channels
- F04C28/265—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by using valves controlling pressure or flow rate, e.g. discharge valves or unloading valves using bypass channels being obtained by displacing a lateral sealing face
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
- F01C21/00—Component parts, details or accessories not provided for in groups F01C1/00 - F01C20/00
- F01C21/10—Outer members for co-operation with rotary pistons; Casings
- F01C21/102—Adjustment of the interstices between moving and fixed parts of the machine by means other than fluid pressure
-
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/044—Holweck-type pumps
-
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/052—Axially shiftable rotors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
- F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
- F04D29/642—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps by adjusting the clearances between rotary and stationary parts
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Fluid Mechanics (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、工つの固定子と、固定子の内部で回転し且つ
これに関して予め定められた洩れ隙間を保持する少なく
とも１つの回転子とを含む一次真空ボンブに係る。
これに関して予め定められた洩れ隙間を保持する少なく
とも１つの回転子とを含む一次真空ボンブに係る。
一次真空ポンプはそれのみで又は−組としておよそ１０
’ｍｂｔｒ −１０−’ｍｂｓｒの総圧力を大気圧に抗
して生成することができる。酸素及び窒素分子はこの種
のポンプ内に渦流及び／又は粘性状態で引き入れられる
。この種のポンプについての圧力Ｐに対する排気速度Ｓ
の特性は、基本的には回転子と固定子との間に存在する
隙間ｊの関数である。この関数は添付図面の第工図に示
されており、図中圧力ＰはＸ軸に沿ってｌ１ｂ１ｆ単位
で設定され、速度ＳはＹ軸に、Ｐ／ｈ単位で設定されて
いる。実線で示された５本の曲線はそれぞれ所定の隙間
の場合に対応し、隙間は１つの曲線から次の曲線へ矢印
ｊの方向に増加する。
’ｍｂｔｒ −１０−’ｍｂｓｒの総圧力を大気圧に抗
して生成することができる。酸素及び窒素分子はこの種
のポンプ内に渦流及び／又は粘性状態で引き入れられる
。この種のポンプについての圧力Ｐに対する排気速度Ｓ
の特性は、基本的には回転子と固定子との間に存在する
隙間ｊの関数である。この関数は添付図面の第工図に示
されており、図中圧力ＰはＸ軸に沿ってｌ１ｂ１ｆ単位
で設定され、速度ＳはＹ軸に、Ｐ／ｈ単位で設定されて
いる。実線で示された５本の曲線はそれぞれ所定の隙間
の場合に対応し、隙間は１つの曲線から次の曲線へ矢印
ｊの方向に増加する。
ポンプの排気速度に対して大きい容量を汲み上げるとき
、回転子の温度は固定子の温度よりはるかに迅速に上昇
する。接触防止のため、最大膨張差と両立し得る最大の
固定子−回転子間隙間を残すよう装置業者は努めなけれ
ばならない。この大きい隙間は圧力に対する排出速度の
平均特性に相当し、これに加えてこの特性は回転子及び
固定子の各温度と共に変化する。
、回転子の温度は固定子の温度よりはるかに迅速に上昇
する。接触防止のため、最大膨張差と両立し得る最大の
固定子−回転子間隙間を残すよう装置業者は努めなけれ
ばならない。この大きい隙間は圧力に対する排出速度の
平均特性に相当し、これに加えてこの特性は回転子及び
固定子の各温度と共に変化する。
更に、水素、プロパン、ペンタン等のガスは空気のそれ
の１０分の工もの低い絶対粘性を持つ。内部漏れの流量
は従って空気よりはるかに高く、従って一定隙間におけ
る圧力に対する排気速度特性は空気の場合よりかなり低
い。従って純粋ガスの粘性又は汲み上げられている混合
物の粘性の関数として隙間を合わせることができれば有
利である。
の１０分の工もの低い絶対粘性を持つ。内部漏れの流量
は従って空気よりはるかに高く、従って一定隙間におけ
る圧力に対する排気速度特性は空気の場合よりかなり低
い。従って純粋ガスの粘性又は汲み上げられている混合
物の粘性の関数として隙間を合わせることができれば有
利である。
結果としては、小さい隙間を持ち、従って以下のような
優れた特性を有するポンプを構成することが可能である
。
優れた特性を有するポンプを構成することが可能である
。
大気圧においては、高い排気速度及び非常に低いｄｓ／
ｄｐ微分値、及び 速度ゼロにおいては、非常に低い圧力及びできるだけ大
きいｄｓ／ｄｐ微分値。
ｄｐ微分値、及び 速度ゼロにおいては、非常に低い圧力及びできるだけ大
きいｄｓ／ｄｐ微分値。
加えて、幾つかの適用例（半導体製造、質量分析測定、
ヘリウム又はネオントレーサガスを用いた洩れの検出、
宇宙シミュレーション、等々・・・・・・）では、圧力
とは無関係で排気速度を制御できることが望ましい。こ
れを実行するためには、当業者は２つの選択を手に入れ
ることができる。即ちポンプと直列に可変コンダクタン
スを結合すること、又はポンプの回転速度を下げること
である。
ヘリウム又はネオントレーサガスを用いた洩れの検出、
宇宙シミュレーション、等々・・・・・・）では、圧力
とは無関係で排気速度を制御できることが望ましい。こ
れを実行するためには、当業者は２つの選択を手に入れ
ることができる。即ちポンプと直列に可変コンダクタン
スを結合すること、又はポンプの回転速度を下げること
である。
本発明の目的は、排気作業時であってもその特性を迅速
に変化する非常に小さい隙間を達成し、ポンプが結合さ
れている容器内で時間の関数としての圧力変化の最適化
をはかることを可能にするポンプを設計することである
。
に変化する非常に小さい隙間を達成し、ポンプが結合さ
れている容器内で時間の関数としての圧力変化の最適化
をはかることを可能にするポンプを設計することである
。
本発明によれば、この目的は固定子と回転子の間の隙間
が排気作業中に変化することができることによって達成
される。
が排気作業中に変化することができることによって達成
される。
発明はこうして、固定子と、固定子内で回転し且つこれ
に関連して予め定められた洩れ隙間を保持する回転子と
から成る一次真空ボンブを提供する。ポンプは、その回
転子及び固定子が円錐台形又は半球形であり、隙間は固
定子に対する回転子の軸方向相対移動によって排気作業
中に可変とされることが、でき、更に前記移動が制御手
段によって得られることを特徴とする。
に関連して予め定められた洩れ隙間を保持する回転子と
から成る一次真空ボンブを提供する。ポンプは、その回
転子及び固定子が円錐台形又は半球形であり、隙間は固
定子に対する回転子の軸方向相対移動によって排気作業
中に可変とされることが、でき、更に前記移動が制御手
段によって得られることを特徴とする。
く以下に説明する。
第２図は回転子２１及び固定子２２を持つポンプを表わ
しており、それぞれが円錐台形をしており、回転軸２３
に沿って対称形である。回転子及び固定子間の隙間２４
は回転子を固定子（又は逆）の内側で純粋に機械的であ
ってもよい動作によって軸方向に移動することによって
修正されることができる。図中の点線はより小さめの隙
間２４′ を生じる回転子の異なる相対位置を示す。
しており、それぞれが円錐台形をしており、回転軸２３
に沿って対称形である。回転子及び固定子間の隙間２４
は回転子を固定子（又は逆）の内側で純粋に機械的であ
ってもよい動作によって軸方向に移動することによって
修正されることができる。図中の点線はより小さめの隙
間２４′ を生じる回転子の異なる相対位置を示す。
回転子は固定子の内部で、位置の適当な動作手段、例え
ば電磁石、流体圧、電気モータ、又は純粋に機械的な装
置によって動かされてもよい。
ば電磁石、流体圧、電気モータ、又は純粋に機械的な装
置によって動かされてもよい。
原理は円錐台形に制限されず、他の形状例えば第３図に
示すような形にも適用することができる。
示すような形にも適用することができる。
この場合回転子２５は半球形で、固定子２６内を対称軸
２７の周りで回転する。
２７の周りで回転する。
この実施例は、隙間を均一に減らすことが絶対的に重要
なのではなく、ガス漏れが特に大きい部分の隙間に作用
すれば充分であることを示している。
なのではなく、ガス漏れが特に大きい部分の隙間に作用
すれば充分であることを示している。
第１図は様々な隙間をもつポンプについて圧力の関数と
しての排気速度を表わすグラフ、第２図は隙間が回転子
又は固定子を移動することによって変化する本発明円錐
台形回転子ポンプの概略図、及び第３図は第２図のそれ
に類似しているが、回転子が半球形であるポンプの概略
図である。 ２１．２５・・・・・・回転子、 ２２．２６・・・
・・・固定子、２３・・・・・・回転軸、 ２７・・・
・・・対称軸、 ２４・・・・・・隙間。 ＦＩＧ、１ ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、 ３
しての排気速度を表わすグラフ、第２図は隙間が回転子
又は固定子を移動することによって変化する本発明円錐
台形回転子ポンプの概略図、及び第３図は第２図のそれ
に類似しているが、回転子が半球形であるポンプの概略
図である。 ２１．２５・・・・・・回転子、 ２２．２６・・・
・・・固定子、２３・・・・・・回転軸、 ２７・・・
・・・対称軸、 ２４・・・・・・隙間。 ＦＩＧ、１ ＦＩＧ、２ ＦＩＧ、 ３
Claims (1)
- 固定子と、固定子内で回転し且つこれに関して予め定め
られた洩れ隙間を保持する回転子とを含む一次真空ポン
プであって、該ポンプは、その回転子と固定子が円錐台
形又は半球形であり、排気作業中に固定子に関して回転
子の軸方向相対移動によって可変とされる隙間を備えて
いること、及び前記移動が制御手段によって得られるこ
とを特徴とする一次真空ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8911302A FR2651280A1 (fr) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | Pompe a vide primaire. |
| FR8911302 | 1989-08-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0388997A true JPH0388997A (ja) | 1991-04-15 |
Family
ID=9384945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2225009A Pending JPH0388997A (ja) | 1989-08-28 | 1990-08-27 | 一次真空ポンプ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0415315A1 (ja) |
| JP (1) | JPH0388997A (ja) |
| FR (1) | FR2651280A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8555799B2 (en) | 2011-02-04 | 2013-10-15 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Personal watercraft |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3486000B2 (ja) * | 1995-03-31 | 2004-01-13 | 日本原子力研究所 | ねじ溝真空ポンプ |
| DE19708954A1 (de) * | 1997-03-05 | 1998-09-17 | Busch Gmbh K | Seitenkanalverdichter mit modifiziertem Kanalauslaß |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63154891A (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-28 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | ねじ溝式真空ポンプ |
| JPH02227598A (ja) * | 1989-01-09 | 1990-09-10 | Alcatel Cit | ゲーデカナル型真空ポンプ |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR556556A (fr) * | 1922-09-26 | 1923-07-23 | Hardoll Soc | Pompe rotative |
| US2134153A (en) * | 1936-02-05 | 1938-10-25 | S H Johnston | Gear pump |
| DE848441C (de) * | 1948-11-30 | 1952-09-04 | Ernst Dr Schnabel | Dichtung |
| US3168870A (en) * | 1962-12-12 | 1965-02-09 | Ingersoll Rand Co | Centrifugal pump with adjustable capacity |
| SE357799B (ja) * | 1971-10-14 | 1973-07-09 | Atlas Copco Ab | |
| FR2290133A6 (fr) * | 1973-02-09 | 1976-05-28 | Materiel Processing Internal | Pompe centrifuge |
| DE2555595C2 (de) * | 1974-12-13 | 1986-01-23 | Nippon Piston Ring K.K., Tokio/Tokyo | Flügelzellenpumpe |
| DE2922835C2 (de) * | 1979-06-06 | 1985-06-05 | MTU Motoren- und Turbinen-Union München GmbH, 8000 München | Umfangsspaltdichtung an Axialströmungsmaschinen |
| DE3119568A1 (de) * | 1981-05-16 | 1982-12-02 | Big Dutchman (International) AG, 8090 Wezep | Exzenterschneckenpumpe |
-
1989
- 1989-08-28 FR FR8911302A patent/FR2651280A1/fr not_active Withdrawn
-
1990
- 1990-08-27 EP EP90116376A patent/EP0415315A1/fr not_active Withdrawn
- 1990-08-27 JP JP2225009A patent/JPH0388997A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63154891A (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-28 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | ねじ溝式真空ポンプ |
| JPH02227598A (ja) * | 1989-01-09 | 1990-09-10 | Alcatel Cit | ゲーデカナル型真空ポンプ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8555799B2 (en) | 2011-02-04 | 2013-10-15 | Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha | Personal watercraft |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0415315A1 (fr) | 1991-03-06 |
| FR2651280A1 (fr) | 1991-03-01 |
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