JPH0389616A - 水晶振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く本発明の目的〉 ［産業上の利用分野１ 本発明は、エツチング加工の水晶振動子の温度特性にお
けるゆらぎを解決した高安定水晶振動子に関する。

［従来の技術］ 従来より、厚みすべり振動、とりわけ広く利用されてい
るＡＴカット水晶振動子の外形を形成するのにフォトエ
ツチングして加工するものがあった。そして振動部周辺
を囲う枠部を設けていたが、枠と振動部を接続する接続
部は結晶軸で、ｚ−ｚ’軸方向の２佃所設けることによ
り、温度特性に影響が少なくなることは知られているが
、ｚ−ｚ’軸方向にそれぞれ１辺に１個所ずつ接続部を
設け、励振電極を施し気密容器に封じて周波数温度特性
を測定すると、第２図のように素直な曲線Ａを点線で描
いた特性とすると、実線で描かれた曲線Ｂのように、僅
かなゆらぎが生じ目標とする特性が得られない場合があ
る。この第２図の特性は、本発明の振動子が高温仕様で
恒温槽を用いて高温に加熱し、広い温度範囲をカバーす
る目的で作られたものであり、ＡＴカット水晶振動子の
本来３次曲線の内の高温側のみを表しており、実際に使
用する温度範囲のみを示している。

［発明が解決しようとする課題１ そこでこのゆらぎを防止するために、１つ原因としてサ
ポートの影響であり、振動子と支持具の固着のバラツキ
が考えられる。これは振動が接続部を介して枠部に漏れ
るために生しるか、振動部の寸法のアンバランスによっ
て振動が漏れる事によるものと考えられる。

［本発明の目的］ 本発明の目的は、周波数温度特性のゆらぎを無くした水
晶振動子を提供することにある。

く本発明の構成〉 ［課題を解決する手段］ そこで本発明では、振動部と枠部の間の接続部を複数個
所に分けて接続している。

［作用１ 本発明の振動子では、振動部と枠部の接続をする接続部
を複数個所にすることにより、枠部に漏れる振動を分散
し、適当な間隔で設けることにより、漏れ振動が枠部で
打ち消し合い、サポートの影響が少なくなる。

［実施例１ 第１図は、本発明の実施例を示す正面図であり、励振電
極１を設けた振動部２と振動部２の周辺を囲う枠部３と
、枠部３と振動部２とを接続する接続部４とからなって
いる。接続部は、実施例ではＡＴカット水晶振動子を用
いており、軸方向がＺ−２′軸方向に１辺につき各３個
所接続している。

励振電極から引出した引出し電極５は接続部を経て枠部
に導出し、本実施例ではＸ軸方向で導電性接着剤６等で
支持具と固着している。なお本図では支持具は省略して
いる。

本発明によって、第２図の点線で表したグラフの周波数
温度特性となり、ゆらぎのない水晶振動子が得られる。

本発明では、振動部と枠部との接続は１辺について３個
所段けた例を挙げたが、１辺につき３個所以上であって
も、ゆらぎを防止することが可能である。これは接続個
所を細かく分けることによって、応力が分散されるのと
、漏れ振動の打ち消し合いが行われるためである。

く本発明の効果〉 本発明により、高温仕様の厚みすべり水晶振動子をフォ
トエツチングで加工した際における振動部と枠部との接
続をする接続部を各個所複数個にしたため、枠部への漏
れ振動が打ち消され、振動漏れがなくなり、周波数温度
特性のゆらぎのない安定した特性の振動子を実現出来た
。

また１辺に３個所以上の接続部となるため、振動・衝撃
により、振動子が破損することも無くなり、機械的にも
強い、安定な振動子となった。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例を示す正面図、第２図は、周
波数温度特性を示すグラフである。 ２・・・・・・・・・振動部、 ３・・・・・・・・・枠部、 ４・・・・・・・・・接続部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　厚みすべり振動し、フォトエッチング加工により成形
   される水晶振動子において、振動部を囲う枠部と該振動
   部との接続部が、一辺で３個所以上に分けて設けられて
   いることを特徴とする水晶振動子。