JPH0389707A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業圭匹料且立互 本発明は、表面波基板上に正規型インターディジタルト
ランスデユーサ−電極と交叉幅重み付けインターディジ
タルトランスデューサー電極とが形成された弾性表面波
フィルタに関する。

丈来旦技歪 この種のフィルタは、一般に第８図に示すように、表面
波基板１１の表面に正規型インターディジタルトランス
デユーサ−（以下ＩＤＴという）電極１２と交叉幅重み
付けＥＤＴ電極１３とが形成され、表面波基板１１の表
層部を弾性表面波Ａが伝播するようになっている。なお
、交叉幅重み付けＩＤＴ電極１３は、各フィンガー２０
が交叉しない箇所にダミー電極２０ａを設けてあり、こ
れを省略した場合に生ずる弾性表面波Ａの位相のずれを
防止している。以下、交叉幅重み付けＩＤＴ電極におけ
るフィンガーは、ダミー電極も含めたものをいう。

しよ゛と　る ところで、かかるフィルタにおいては、交叉幅重み付け
ＩＤＴ電極１３を構成する複数のフィンガー２０にて弾
性表面波Ａが反射されると、この反射波により出力波形
にリップルが生じてフィルタ特性に悪影響が招来される
。

上記フィルタ特性に悪影響を及ばす反射波の除去は、第
９図に示すように、フィンガー２０の幅を弾性表面波の
波長λの１／８にし、しかも隣合うフィンガー２０間の
離隔間隔もλ／８に設定すること、つまりフィンガー２
０をスプリント構成にすることにより行うことができる
。

この理由は既に知られているが、ここで若干説明する。

先ず、第１０図に示すように、矢符にて表す方向（左か
ら右）に伝播する弾性表面波Ａが成るフィンガー２１に
入り、この境界（固定端Ｉ）における弾性表面波の位相
をＯｏとすると、ここで反射された反射波の位相はλ／
２ずれるためにλ／２となり、フィンガー２１から出る
ときに、その境界（自由端１）にて反射された反射波の
位相は、ずれが生じないのでλ／４となる。隣のフィン
ガー２２の固定端■からの反射波の位相は０１フインガ
ー２２の自由端２からの反射波の位相は３・λ／４、こ
の隣のフィンガー２３の固定端■からの反射波の位相は
λ／２、フィンガー２３の自由端３からの反射波の位相
はλ／４となり、更に隣のフィンガー２４の固定端■か
らの反射波の位相はＯ、フィンガー２４の自由端４から
の反射波の位相は３・λ／４となる。第１１図はこれを
ベクトル座標上に表したものであり、図中の記号は反射
面を示し、矢符はその反射面からの反射波の位相を示す
。

よって、交叉幅重み付けＩＤＴｔ極Ｉ３をスプリット構
成にすることにより、発生した反射波のベクトル和を０
となし得、反射波を消失させることが一応可能となる。

なお、弾性表面波の位相の基準点をどこに置いてもベク
トル和はＯとなる。

しかしながら、前記交叉幅重み付けＩＤＴ電極１３の端
電極１３ａ、即ちＩＤＴ電極１３を構成する複数のフィ
ンガー２０における先端部を結ぶ包路線（第９図に点線
で示す）の一番広くなった箇所から正規型ＩＤＴ電極１
２と反対側のダミー電極部分で、メインの弾性表面波Ａ
が多重反射した場合には、この多重反射波がベクトル和
Ｏとならずに、不要波としてメインの弾性表面波Ａに含
まれることとなり、この結果として波形が悪くなってフ
ィルタ特性が悪化することがあるという欠点があった。

その原因としては、例えば電極形成時のパリ等によりフ
ィンガーに位置ズレが生じて反射波に位相ズレが発生す
ること等に依ると考えられている。

本発明は、上述した端電極以外から発生した反射波は勿
論のこと、端電極から発生した反射波をも消失させ得る
よう構成され、良好なフィルタ特性をもつ弾性表面波フ
ィルタを提供することを目的とする。

ｉ　　　゛　るための 本発明は、表面波基板上に正規型ＩＤＴ電極と交叉幅重
み付けＩＤＴ電極とが形成され、かつ後者のＩＤＴ電極
はフィンガーの交叉しない箇所にダ藁−電極を有してな
る弾性表面波フィルタにおいて、前記ダミー電極を含む
交叉幅重み付けＩＤＴ電極がスプリット構成とされてい
ると共に、この電極の端電極の一部を含む部分がチェッ
ク模様に形成されていることを特徴とする。

立−−−里 本発明にあっては、交叉幅重み付けＩＤＴ電極の電極フ
ィンガ一部分が、フィンガーの幅をλ／８に、また隣合
うフィンガー間の離隔間隔もλ／８に形成してスプリッ
ト化されているため、この部分で端電極以外で発生した
反射波をベクトル和０として消失させることができる。

また、このＩＤＴ電極の端電極の一部を含む部分がチェ
ック模様に形成されているので、チェック模様部分の電
極の幅・離隔間隔を、弾性表面波の進行方向においてス
プリット構成の電極フィンガーのそれらと同一のλ／８
になしておけば、例えば第２図に示すように、斜め方向
で相互に隣合う電極Ｂ、Ｃにおける弾性表面波の進行方
向とほぼ直交する方向に位置する端面す、ｃ同士が、反
射波の位相に変化がない自由端と反射波の位相をλ／２
ずらす固定端となるため、画電極部分からの反射波の位
相が逆になり、端電極から発生した反射波を消失させる
ことができる。

１−施一斑 第１図は本発明に係る弾性表面波フィルタの−実施例を
示す正面図である。図中ｌはセラミック等の圧電基板か
らなる矩形状をした表面波基板であり、その表面に正規
型ＩＤＴ電極２と交叉幅重み付けＩＤＴ電極３とが形成
されている。

前記正規型ＩＤＴ電極２は全て同じ長さのフィンガー２
ａから構成され、各フィンガー２ａの幅をλ／４（λ：
弾性表面波の波長）とし、またフィンガ−２ａ間の離隔
間隔をλ／４としてあり、出力端子６に接続されている
。

前記交叉幅重み付けＩＤＴ電極３については、フィンガ
ー４の長さを異ならせて形成してあり、入力端子７に接
続されている。端電極３ａを除く部分は、各フィンガー
４の幅をλ／８とし、またフィンガー４間の離隔間隔を
λ／８としてスプリット構成になされている。一方、端
電極３ａ部分は電極３ｂがチェック模様に構成されてお
り、弾性表面波の進行方向におけるその電極３ｂの幅と
離隔間隔をスプリット構成の場合のそれらと同一のλ／
８になし、しかも隣合う電極３ｂを接触さ−せて電気的
に接続した状態に形成されている。

次に、かかる構成のフィルタにおける反射波の打ち消し
内容について説明する。

交叉幅重み付けＩＤＴ電極３の端電極以外で発生した反
射波については、このようにスプリット構成にしたフィ
ンガー４により、前述の第１１図に示す如くベクトル和
をＯにすることができるので、消失させることが可能で
ある。

一方、端電極で発生した反射波については、チェック模
様になした端電極３ａ部分により次のようにして消失さ
せることができる。その理由を、第２図に示すように斜
めに相互に隣合う２つの電極ＢとＣを代表して説明する
。

ここで、第２図に示すように、電極Ｂの自由端すよりも
λ／８だけ右側にある位置を位相が０の基準位置とする
と、進行波のが電極Ｂの自由端すで反射された反射波■
′は、反射されたときに位相変化が起きないので基準位
置の位相に対し、進行距離に応じた一λ／２だけ位相が
ずれる。一方、電極Ｂの自由端すと基準位置からの距離
が等しい電極Ｃの自由端Ｃにて、進行波■が反射された
反射波■′は、反射されたときに位相がλ／２だけずれ
るので、基準位置の位相と同じ位相、つまりＯとなる。

第３図は、上記反射波■′の位相と反射波■′の位相を
示すグラフであり、これら両図は前記第８図と同様にし
て示すものである。

よって、斜めに隣合う一方の電極Ｂにおける自由端すか
ら反射された反射波■′と、他方の電極Ｃにおける固定
端Ｃから反射された反射波■′は、第４図に示すように
逆位相となっていて打ち消し合うこととなる。

このことは、上記した電極Ｂにおける自由端すと電極Ｃ
における固定端Ｃとの間だけに生ずるのではなく、チェ
ック模様をした全ての斜めに隣合う２つの電極における
一方の電極の固定端と他方の電極の自由端でも同様に起
こるため、端電極３ａで発生した反射波の全てが打ち消
される。

なお、上記チェック模様を構成する各電極部分の長さ（
弾性表面波の進行方向と直交する方向）については、明
確に規定していないが、どのような寸法でもよく、例え
ばチェック模様の形成に用いる印刷等が行い易い長さに
すればよい。

第５図及び第６図は、本発明の他の実施例を示す図であ
り、端電極３ａの一部をチェック模様に形成した場合を
示している。第５図のようにチェック模様を交互に形成
した場合であっても、或いは端電極３ａのバスパー３Ｃ
寄りの箇所をチェック模様に形成した場合であっても、
このチェック模様部分を端電極３ａで発生した反射波が
通ると、上述のようにして反射波の全てが打ち消される
こととなる。

第７図は本発明の更に他の実施例を示す図である。この
例においては、幅を段階的に変化させて広範囲に形成し
た電極に、小さな非電極部３ｄをジグザグ状に配設して
チェック模様を形成している。この場合には、端電極３
ａで発生した反射波を打ち消す自由端と固定端とが表面
波基板１の幅方向に広がるが、反射波の打ち消し効果を
確保することが可能である。

なお、上記のようなチェック模様を形成した場合には、
チェック模様を構成する電極部分の接を確実にすること
ができ、印刷等を行い易いとう利点がある。

また、第７図の例では端電極３ａを越えてチック模様が
形成しであるが、そのチェック模様端電極３ａを越えた
部分３ｅの幅（弾性表面波進行方向と直交する方向）を
、端電極３ａの右の最小幅と同一か、或いはそれよりも
狭くした合には、弾性表面波Ａの発生等に支障のない状
で、端電極３ａで発生した反射波の打ち消しをり効果的
に行える。このことは、第１図や、第図、第６図に示し
た実施例に同様にして適用でる。

更に、上記実施例の全てにわたり正規型■Ｄ電極２の各
フィンガー２ａの幅と離隔間隔をλ４としているが、こ
の正規型ＩＤＴ電極２にっても交叉幅重み付けＩＤＴ電
極３と同様にスプット構成にしてもよい。

発皿生並来 以上詳述した如く本発明による場合には、交４゜ 幅重み付けＩＤＴ電極のスプリット構成になした部分で
端電極以外で発生した反射波をベクトル和Ｏとして消失
させることができ、またチェック模様に形成された部分
で端電極にて発生した反射波を消失させることができる
ので、例えば電極形成時のパリ等によりフィンガーに位
置ズレが生じても、不要な表面波を全て消失させること
が可能となり、良好なフィルタ特性を持った弾性表面波
フィルタを提供することができるという優れた効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る弾性表面波フィルタを示す平面図
、第２図は端電極からの反射波の消失原理の説明図、第
３図はチェック模様の２つの電極部分からの反射波の位
相をベクトル座標上に示すグラフ、第４図はそれら２つ
の反射波の波形図、第５図乃至第７図は本発明の他の実
施例を示す平面図、第８図は従来の弾性表面波フィルタ
を示す平面図、第９図はスプリット構成にした交叉幅重
み付けＩＤＴ電極を示す正面図、第１Ｏ図はスプリット
構成にした各フィンガーからの反射波のイ相を示す図、
第１１図はそのときの位相をベクル座標上に示すグラフ
である。 １・・・表面波基板、２・・・正規型ＩＤＴ電極、３・
・交叉幅重み付けＩＤＴ電極、３ａ・・・端電極、Ａ・
・弾性表面波、Ｂ、Ｃ・・・電極部分、ｂ・・・自由端
、（・・・固定端。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）表面波基板上に正規型インターディジタルトラン
   スデューサー電極と交叉幅重み付けインターディジタル
   トランスデューサー電極とが形成され、かつ後者のイン
   ターディジタルトランスデューサー電極はフィンガーの
   交叉しない箇所にダミー電極を有してなる弾性表面波フ
   ィルタにおいて、前記ダミー電極を含む交叉幅重み付け
   インターディジタルトランスデューサー電極がスプリッ
   ト構成とされていると共に、この電極の端電極の一部を
   含む部分がチェック模様に形成されていることを特徴と
   する弾性表面波フィルタ。