JPH10135765A - 一方向性弾性表面波フィルタ - Google Patents

一方向性弾性表面波フィルタ

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JPH10135765A
JPH10135765A JP8288000A JP28800096A JPH10135765A JP H10135765 A JPH10135765 A JP H10135765A JP 8288000 A JP8288000 A JP 8288000A JP 28800096 A JP28800096 A JP 28800096A JP H10135765 A JPH10135765 A JP H10135765A
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electrode
idt
surface acoustic
acoustic wave
wave filter
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Takaharu Kajiwara
隆治 梶原
Taiji Yamamoto
泰司 山本
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NEC Corp
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    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 内部反射型一方向性弾性表面波フィルタの帯
域内特性を改善する。 【解決手段】 インタディジタルトランスジューサ（Ｉ
ＤＴ）の正負電極指１０，１１と、その間に短絡型また
は開放型の浮き電極１２を有する内部反射型一方向性弾
性表面波フィルタに間引き法による重み付けを施し、か
つ、正負電極指１０，１１が交差していない部分、すな
わち、相隣接する電極指が正電極指１０または負電極指
１１の同一符号の電極指である場合、この間にある浮き
電極１３をずらして配置している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波フィル
タに関し、特に浮き電極を有する内部反射型一方向性弾
性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】トランスバーサル型弾性表面波フィルタ
の低損失化の手法として、一方向性弾性表面波フィルタ
が提案されている。特公平３−２０９２９号公報は、イ
ンタディジタルトランスジューサ（ＩＤＴ）の正負電極
指の間に開放型又は短絡型の浮き電極を入れ、その浮き
電極の位置を正負電極指の中心位置からずらすことによ
って、一方向性が得られることを示している。
【０００３】例えば図６に示すように、ＩＤＴの正負電
極指１０，１１の間に短絡型の浮き電極１２を正負電極
指１０，１１の中心位置からずらして配置すると、弾性
表面波は図中の矢印の方向に強く励振され、一方向性が
生じる。
【０００４】この従来例の開放型又は短絡型の浮き電極
をもつ内部反射型一方向性弾性表面波フィルタにおい
て、帯域外のサイドローブを抑圧するためにアポダイズ
法や間引き法などの重み付け電極を用いた場合、短絡型
の浮き電極を有する電極指の構成は図７、図８のように
なる。
【０００５】例えば、図８に示すようなＩＤＴの電極指
幅がλ／１２（λ：波長）で、短絡型の浮き電極１２を
有する一方向性弾性表面波フィルタにおいて、間引き法
による重み付け電極を用いた場合、正負電極指１０，１
１が交差しない部分、すなわち、相隣接する電極指が正
電極指１０または負電極指１１の同一符号の電極指であ
る場合、これらの電極指１０，１１や浮き電極１２は弾
性表面波の励振とは無関係であるが、音響的な反射によ
り位相を乱し、通過帯域内特性は図９に示すようにリッ
プルが生じている。
【０００６】図９は、水晶基板上に図８の電極構成を入
力、出力それぞれに配置して得られた振幅特性４１と群
遅延特性４２を示している。このときの中心周波数は２
０１ＭＨｚ、アルミ電極の膜厚は２００ｎｍ、インピー
ダンスは、入力側が９０Ω、出力側が１５０Ωである。
横軸は、周波数であり、１目盛が１００ｋＨｚである。
縦軸は、振幅特性の挿入損失と群遅延特性の遅延時間で
あり、１目盛がそれぞれ１ｄＢと１μｓである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の内部反射型一方
向性弾性表面波フィルタは、間引き法やアポダイズ法な
どの重み付け電極を用いた場合、通過帯域内にリップル
が発生し、特性が劣化するという問題点がある。
【０００８】本発明は、重み付け電極を用いた内部反射
型一方向性弾性表面波フィルタにおいて、通過帯域内の
フィルタ特性を改善しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、次の手段を採用する。
【００１０】（１）圧電基板上に入力および出力インタ
ディジタルトランスジューサを備え、前記ＩＤＴは重み
付けされており、かつ、浮き電極を有し、前記ＩＤＴの
電極指が交差していない部分の反射を打ち消すような電
極を構成している一方向性弾性表面波フィルタ。
【００１１】（２）圧電基板上に入力および出力ＩＤＴ
を備え、前記ＩＤＴは間引き法により重み付けされてお
り、かつ、浮き電極を有し、前記ＩＤＴの電極指が交差
していない部分の浮き電極が反射を打ち消すような位置
に配置されている一方向性弾性表面波フィルタ。
【００１２】（３）前記浮き電極が、バスバーに接続さ
れている前記（２）記載の一方向性弾性表面波フィル
タ。
【００１３】（４）圧電基板上に入力および出力ＩＤＴ
を備え、前記ＩＤＴはアポダイズ法により重み付けされ
ており、かつ、浮き電極を有し、前記ＩＤＴの電極指が
弾性表面波の伝搬方向と垂直な方向で交差していない電
極指部分が反射を打ち消すような位置に配置されている
一方向性弾性表面波フィルタ。
【００１４】（５）圧電基板上に電極指幅λ／１２
（λ：波長）からなる入力および出力ＩＤＴを備え、前
記ＩＤＴは間引き法により重み付けされており、かつ、
短絡型の浮き電極を有し、前記ＩＤＴの電極指が交差し
ていない部分の浮き電極と前記電極指の中心間距離が３
／１２λとなる一方向性弾性表面波フィルタ。
【００１５】（６）前記ＩＤＴの電極指が交差していな
い部分の浮き電極がバスバーに接続され、シングル電極
を構成している前記（５）記載の一方向性弾性表面波フ
ィルタ。
【００１６】（７）圧電基板上に電極指幅λ／１２から
なる入力および出力ＩＤＴを備え、前記ＩＤＴはアポダ
イズ法により重み付けされており、かつ、短絡型の浮き
電極を有し、前記ＩＤＴの電極指が交差していない部分
のダミー電極の中心間距離が３／１２λとなる一方向性
弾性表面波フィルタ。
【００１７】
【作用】本発明の一方向性弾性表面波フィルタによれ
ば、ＩＤＴの正負電極指の交差していない部分の浮き電
極をずらすことによって、方向性に無関係な内部反射が
打ち消される。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明の三つの実施の形態につい
て図１〜５を参照して順次説明する。
【００１９】まず、本発明の第１実施の形態について図
１を参照して説明する。
【００２０】図１は、本発明の第１実施の形態の構成図
を示している。ＩＤＴの正負電極指１０，１１と、その
間に短絡型または開放型の浮き電極１２を有する内部反
射型一方向性弾性表面波フィルタに間引き法による重み
付けを施し、かつ、正負電極指１０，１１が交差してい
ない（電圧の生じない）部分、すなわち、相隣接する電
極指が正電極指１０または負電極指１１の同一符号の電
極指である場合、この間にある浮き電極１３をずらして
配置している。
【００２１】浮き電極１２は、正負電極指１０，１１の
中心位置からずらすことで、右方向への反射と左方向へ
の反射の位相をずらし、左方向へは正負電極指１０，１
１で励振される波と同位相になるようにし、右方向へは
逆位相となるようにすることで弾性表面波エネルギーの
一方向性を発生させている。一方、正負電極指１０，１
１が交差していない部分にある浮き電極１３は、左右へ
の反射波の位相が同一で、一方向性を発生させておら
ず、左右に等しい反射波を発生しているが、浮き電極１
３を適当な位置に配置することにより内部反射を打ち消
している。
【００２２】次に、本発明の第２実施の形態について図
３を参照して説明する。
【００２３】図３は、本発明の第２実施の形態の構成図
を示している。第１実施の形態と同様に、浮き電極１３
を内部反射が打ち消されるような位置に配置し、さらに
バスバー１４に接続してシングル電極を構成している。
【００２４】続いて、本発明の第３実施の形態について
図５を参照して説明する。
【００２５】図５は、本発明の第３実施の形態の構成図
を示している。ＩＤＴの正負電極指１０，１１と、その
間に短絡型または開放型の浮き電極を有する内部反射型
一方向性弾性表面波フィルタにアポダイズ法による重み
付けを施し、かつ、正負電極指１０，１１が交差しない
ダミー電極のうち、浮き電極１２の部分のダミー電極１
５をずらして配置している。
【００２６】ダミー電極１５は、従来は図７に示してい
るように浮き電極１２のＸ方向（弾性表面波の伝搬方
向）に一致したところに存在しており、この部分で内部
反射が生じる。この内部反射を打ち消すような位置にダ
ミー電極１５を配置する。
【００２７】
【実施例】本発明の三つの実施の形態の各一実施例につ
いて図１〜５を参照して順次説明する。
【００２８】まず、本発明の第１実施の形態の一実施例
について図１、２を参照して説明する。
【００２９】図１において、ＩＤＴの電極指幅をλ／１
２（λ：波長）とすると、短絡型浮き電極１２は、正負
電極指１０，１１の中心位置からλ／１２ずらすこと
で、図中の矢印の方向に弾性表面波が強く励振され、一
方向性を発生する。一方の正負電極指１０，１１の交差
していない部分の浮き電極１３は、正負電極指１０，１
１の中心位置、即ち正負電極指１０，１１からの中心間
距離が３／１２λとなるように配置されている。このよ
うにすることで、正負電極指１０，１１、浮き電極１３
はλ／４間隔で配置されることになり、それぞれの電極
指の反射波は打ち消し合い、内部反射は打ち消される。
【００３０】図２は、水晶基板上に図１の電極構成を入
力、出力それぞれに配置して得られた振幅特性２１と群
遅延特性２２を示している。このときの中心周波数は２
０１ＭＨｚ、アルミ電極の膜厚は２００ｎｍ、インピー
ダンスは、入力側が９０Ω、出力側が１５０Ωである。
横軸は、周波数であり、１目盛が１００ｋＨｚである。
縦軸は、振幅特性の挿入損失と群遅延特性の遅延時間で
あり、１目盛がそれぞれ１ｄＢと５００ｎｓである。
【００３１】次に、本発明の第２実施の形態の一実施例
について図３、４を参照して説明する。
【００３２】図３において、ＩＤＴの電極指幅をλ／１
２とすると、第１実施の形態の一実施例と同様に、正負
電極指１０，１１と浮き電極１３の中心間距離を３／１
２λとなるように配置することで、内部反射が打ち消さ
れる。浮き電極１３はバスバー１４に接続され、シング
ル電極を構成している。
【００３３】図４は、水晶基板上に図３の電極構成を入
力、出力それぞれに配置して得られた振幅特性３１と群
遅延特性３２を示している。このときの中心周波数は２
０１ＭＨｚ、アルミ電極の膜厚は２００ｎｍ、インピー
ダンスは、入力側が９０Ω、出力側が１５０Ωで、第１
実施の形態の一実施例と同じである。
【００３４】続いて、本発明の第３実施の形態の一実施
例について図５を参照して説明する。
【００３５】図５において、ＩＤＴの電極指幅をλ／１
２とすると、正負電極指１０，１１とダミー電極１５の
中心間距離が３／１２λとなるようにダミー電極１５を
配置することで、内部反射が打ち消される。
【００３６】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、不要な内部反射を打ち消すことで帯域内の特性を改
善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施の形態を示す平面図である。
【図２】本発明の第１実施の形態の一実施例により得ら
れた振幅特性と群遅延特性を示すグラフである。
【図３】本発明の第２実施の形態を示す平面図である。
【図４】本発明の第２実施の形態の一実施例により得ら
れた振幅特性と群遅延特性を示すグラフである。
【図５】本発明の第３実施の形態を示す平面図である。
【図６】従来の一方向性弾性表面波フィルタの第１例を
示す平面図である。
【図７】従来の一方向性弾性表面波フィルタの第２例を
示す平面図である。
【図８】従来の一方向性弾性表面波フィルタの第３例を
示す平面図である。
【図９】従来の一方向性弾性表面波フィルタの第３例に
より得られた振幅特性と群遅延特性を示すグラフであ
る。
【符号の説明】
１０ 正電極指 １１ 負電極指 １２，１３ 浮き電極 １４ バスバー １５ ダミー電極 ２１，３１，４１ 振幅特性 ２２，３２，４２ 群遅延特性

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 圧電基板上に入力および出力インタディ
    ジタルトランスジューサ（以下「ＩＤＴ」という。）を
    備え、前記ＩＤＴは重み付けされており、かつ、浮き電
    極を有し、前記ＩＤＴの電極指が交差していない部分の
    反射を打ち消すような電極を構成していることを特徴と
    する一方向性弾性表面波フィルタ。
  2. 【請求項２】 圧電基板上に入力および出力ＩＤＴを備
    え、前記ＩＤＴは間引き法により重み付けされており、
    かつ、浮き電極を有し、前記ＩＤＴの電極指が交差して
    いない部分の浮き電極が反射を打ち消すような位置に配
    置されていることを特徴とする一方向性弾性表面波フィ
    ルタ。
  3. 【請求項３】 前記浮き電極が、バスバーに接続されて
    いることを特徴とする請求項２記載の一方向性弾性表面
    波フィルタ。
  4. 【請求項４】 圧電基板上に入力および出力ＩＤＴを備
    え、前記ＩＤＴはアポダイズ法により重み付けされてお
    り、かつ、浮き電極を有し、前記ＩＤＴの電極指が弾性
    表面波の伝搬方向と垂直な方向で交差していない電極指
    部分が反射を打ち消すような位置に配置されていること
    を特徴とする一方向性弾性表面波フィルタ。
  5. 【請求項５】 圧電基板上に電極指幅λ／１２（λ：波
    長）からなる入力および出力ＩＤＴを備え、前記ＩＤＴ
    は間引き法により重み付けされており、かつ、短絡型の
    浮き電極を有し、前記ＩＤＴの電極指が交差していない
    部分の浮き電極と前記電極指の中心間距離が３／１２λ
    となることを特徴とする一方向性弾性表面波フィルタ。
  6. 【請求項６】 前記ＩＤＴの電極指が交差していない部
    分の浮き電極がバスバーに接続され、シングル電極を構
    成していることを特徴とする請求項５記載の一方向性弾
    性表面波フィルタ。
  7. 【請求項７】 圧電基板上に電極指幅λ／１２からなる
    入力および出力ＩＤＴを備え、前記ＩＤＴはアポダイズ
    法により重み付けされており、かつ、短絡型の浮き電極
    を有し、前記ＩＤＴの電極指が交差していない部分のダ
    ミー電極の中心間距離が３／１２λとなることを特徴と
    する一方向性弾性表面波フィルタ。
JP8288000A 1996-10-30 1996-10-30 一方向性弾性表面波フィルタ Pending JPH10135765A (ja)

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