JPH0390565A - 金属原料供給装置 - Google Patents
金属原料供給装置Info
- Publication number
- JPH0390565A JPH0390565A JP22561889A JP22561889A JPH0390565A JP H0390565 A JPH0390565 A JP H0390565A JP 22561889 A JP22561889 A JP 22561889A JP 22561889 A JP22561889 A JP 22561889A JP H0390565 A JPH0390565 A JP H0390565A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- crucible
- metal raw
- metal
- pellets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は金属の真空溶解や蒸着に用いられる蒸発装置の
るつぼ内にペレット状の固体金属原装置としては、金属
原料を収容するるつぼを真空雰囲気中に設置し、例えば
電子銃により加速された電子ビームを直流磁場により偏
向して金属原料に衝突させることにより、そのときのエ
ネルギを加熱源として金属原料を溶解し、蒸発させるよ
うにしたものが知られている。
るつぼ内にペレット状の固体金属原装置としては、金属
原料を収容するるつぼを真空雰囲気中に設置し、例えば
電子銃により加速された電子ビームを直流磁場により偏
向して金属原料に衝突させることにより、そのときのエ
ネルギを加熱源として金属原料を溶解し、蒸発させるよ
うにしたものが知られている。
ところで、かかる蒸発装置において、金属原料を溶解し
、蒸発が進行するにつれてるつぼ内の金属原料は徐々に
減少するため、金属原料の減量に対しては新たに固体金
属原料を供給する必要がある。
、蒸発が進行するにつれてるつぼ内の金属原料は徐々に
減少するため、金属原料の減量に対しては新たに固体金
属原料を供給する必要がある。
従来、固体金属原料をるつぼ内に供給する場合、初期装
荷した金属原料が蒸発しきるまで蒸発装置を稼働し、金
属原料が蒸発しきると蒸発装置の運転を停止して新規に
固体金属原料をるつぼ内に再装荷するようにしていた。
荷した金属原料が蒸発しきるまで蒸発装置を稼働し、金
属原料が蒸発しきると蒸発装置の運転を停止して新規に
固体金属原料をるつぼ内に再装荷するようにしていた。
（発明が解決しようとする課題）
しかし、このような固体金属原料の供給方式では、金属
原料の装荷から金属原料が蒸発しきるまでの時間しか蒸
発装置を運転することができないため、稼働効率が悪い
という問題があった。
原料の装荷から金属原料が蒸発しきるまでの時間しか蒸
発装置を運転することができないため、稼働効率が悪い
という問題があった。
本発明はるつぼ内の金属原料の蒸発に伴う減量に対し、
蒸発装置を運転した状態でペレット状の固体金属原料を
順次供給することができ、もって蒸発装置の稼働効率を
向上させることができる金属原料供給装置を提供するこ
とを目的とする。
蒸発装置を運転した状態でペレット状の固体金属原料を
順次供給することができ、もって蒸発装置の稼働効率を
向上させることができる金属原料供給装置を提供するこ
とを目的とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は上記目的を達成するため、るつぼ内に収容され
た金属原料を溶融もしくは蒸発せしめる蒸発装置内に設
置され、前記るつぼ内の溶融金属が蒸発により減少する
とペレット形状の固体金属原料を供給する金属原料供給
機構を備え、この金属原料供給機構は複数個のペレット
状の固体金属原料を収納したケースと、このケースより
前記るつぼへ前記固体金属原料を順次退出可能な金属原
料退出機構と、この金属原料送出機構より送出される前
記固体金属原料を前記るつぼへガイドするガイド周接と
から構成したものである。
た金属原料を溶融もしくは蒸発せしめる蒸発装置内に設
置され、前記るつぼ内の溶融金属が蒸発により減少する
とペレット形状の固体金属原料を供給する金属原料供給
機構を備え、この金属原料供給機構は複数個のペレット
状の固体金属原料を収納したケースと、このケースより
前記るつぼへ前記固体金属原料を順次退出可能な金属原
料退出機構と、この金属原料送出機構より送出される前
記固体金属原料を前記るつぼへガイドするガイド周接と
から構成したものである。
（作 用）
従って、このような金属原料供給装置にあっては、るつ
ぼ内の溶融金属が蒸発により減少すると金属原料送出機
構を作動させるだけでペレット状の固体金属原料が蒸発
装置を運転した状態で順次るつぼ内に供給できるので、
蒸発装置の運転時間が金属原料の装荷ために制約さ−れ
ることがなくなり、稼働効率を向上させることが可能と
なる。
ぼ内の溶融金属が蒸発により減少すると金属原料送出機
構を作動させるだけでペレット状の固体金属原料が蒸発
装置を運転した状態で順次るつぼ内に供給できるので、
蒸発装置の運転時間が金属原料の装荷ために制約さ−れ
ることがなくなり、稼働効率を向上させることが可能と
なる。
（実施例）
以下本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図および第２図は本発明による金属原料供給装置の
構成例を示す側面図および正面図である。
構成例を示す側面図および正面図である。
第１図および第２図において、１は金属原料２が収容さ
れるるつぼで、このるつぼ１は図示しない電子銃から発
射される電子ビームを金属原料２に衝突させ、そのとき
得られる熱エネルギにより加熱して金属原料２を溶融し
、金属蒸気を発生させるものである。また、３はるつぼ
１内の金属原料２が蒸発等により減少すると、その減員
分に相当するペレット状の固体金属原料４を供給する原
料供給機構である。この原料供給機構３は架台５上に支
持されたケース６内に複数個のペレット状固体金属原料
４が順次送出されるように蛇行配列して収納され、原料
送出口近傍に設けられた原料送出機構７より固体金属原
料４が原料送出口に取付けられたガイド周接８を通して
るっぽ１内に供給できるように構成されている。
れるるつぼで、このるつぼ１は図示しない電子銃から発
射される電子ビームを金属原料２に衝突させ、そのとき
得られる熱エネルギにより加熱して金属原料２を溶融し
、金属蒸気を発生させるものである。また、３はるつぼ
１内の金属原料２が蒸発等により減少すると、その減員
分に相当するペレット状の固体金属原料４を供給する原
料供給機構である。この原料供給機構３は架台５上に支
持されたケース６内に複数個のペレット状固体金属原料
４が順次送出されるように蛇行配列して収納され、原料
送出口近傍に設けられた原料送出機構７より固体金属原
料４が原料送出口に取付けられたガイド周接８を通して
るっぽ１内に供給できるように構成されている。
この場合、ガイド周接８は固体金属原料４を回転落下し
ながらるつぼ１内の溶融金属面２ａ中に供給されるよう
にするため、その勾配αを５度から４５度の範囲で傾斜
させて配設される。
ながらるつぼ１内の溶融金属面２ａ中に供給されるよう
にするため、その勾配αを５度から４５度の範囲で傾斜
させて配設される。
また、原料送出機構７は回転体９の一部に１個のペレッ
ト状固体金属原料４を把持する切欠溝９ａが設けられ、
この回転体９をシャフト１０を介して接続された回転駆
動機構１１により回転可能になっている。
ト状固体金属原料４を把持する切欠溝９ａが設けられ、
この回転体９をシャフト１０を介して接続された回転駆
動機構１１により回転可能になっている。
このような構成の金属原料供給装置において、るつぼ１
内の金属原料２が電子ビームの照射により溶解もしくは
蒸発すると、徐々に金属原料２が減少してくる。そこで
、この金属原料２が所定量減少するごとに回転駆動機構
１１によりシャフト１０を介して回転体９を図示矢印方
向に１回転させると、この回転体９の切欠溝９ａに把持
されたペレット状固体金属原料４が原料送出口からガイ
ド周接８を回転しながら落下し、るっぽ１内の溶融金属
面２ａ中に供給される。
内の金属原料２が電子ビームの照射により溶解もしくは
蒸発すると、徐々に金属原料２が減少してくる。そこで
、この金属原料２が所定量減少するごとに回転駆動機構
１１によりシャフト１０を介して回転体９を図示矢印方
向に１回転させると、この回転体９の切欠溝９ａに把持
されたペレット状固体金属原料４が原料送出口からガイ
ド周接８を回転しながら落下し、るっぽ１内の溶融金属
面２ａ中に供給される。
このように本実施例においては、ケース６内に収納され
た複数個のペレット状固体金属原料４を原料送出口近傍
に設けられた原料送出機構７を作動させる毎に順次ガイ
ド角樋８を通して回転落下させ、るつぼ１内に供給する
ようにしたので、金属原料の蒸発に伴う減量に対し、蒸
発装置を稼働した状態でペレット状固体金属原料を供給
することができる。従って、従来のように金属原料が蒸
発しきると蒸発装置の運転を停止して新規に固体金属原
料をるつぼ内に再装荷する場合に比べて大幅に稼働効率
を向上させることができる。しかも、原料供給機構３と
しては回転体９を回転駆動機構１１で回転させるだけで
ベレット状固体金属原料４を順次るつぼ１内に供給でき
るので、その構造も非常に簡単で、かつ安価なものとな
し得る。
た複数個のペレット状固体金属原料４を原料送出口近傍
に設けられた原料送出機構７を作動させる毎に順次ガイ
ド角樋８を通して回転落下させ、るつぼ１内に供給する
ようにしたので、金属原料の蒸発に伴う減量に対し、蒸
発装置を稼働した状態でペレット状固体金属原料を供給
することができる。従って、従来のように金属原料が蒸
発しきると蒸発装置の運転を停止して新規に固体金属原
料をるつぼ内に再装荷する場合に比べて大幅に稼働効率
を向上させることができる。しかも、原料供給機構３と
しては回転体９を回転駆動機構１１で回転させるだけで
ベレット状固体金属原料４を順次るつぼ１内に供給でき
るので、その構造も非常に簡単で、かつ安価なものとな
し得る。
［発明の効果］
以上のべたように本発明によれば、るつぼ内の金属原料
の蒸発に伴う減量に対し、蒸発装置を運転した状態でベ
レット状固体金属原料を順次供給することができ、もっ
て蒸発装置の稼働効率を向上させることができる金属原
料供給装置を提供できる。
の蒸発に伴う減量に対し、蒸発装置を運転した状態でベ
レット状固体金属原料を順次供給することができ、もっ
て蒸発装置の稼働効率を向上させることができる金属原
料供給装置を提供できる。
第１図および第２図は本発明による金属原料供給装置の
一実施例をそれぞれ示す側面図および正面図である。 １・・・るつぼ、２・・・金属原料、２ａ・・・溶融金
属面、３・・・原料供給機構、４・・・ベレット状固体
金属原料、５・・・架台、６・・・ケース、７・・・原
料送出機構、８・・・ガイド角樋、９・・・回転体、１
０・・・シャフト、１１・・・回転駆動機構。
一実施例をそれぞれ示す側面図および正面図である。 １・・・るつぼ、２・・・金属原料、２ａ・・・溶融金
属面、３・・・原料供給機構、４・・・ベレット状固体
金属原料、５・・・架台、６・・・ケース、７・・・原
料送出機構、８・・・ガイド角樋、９・・・回転体、１
０・・・シャフト、１１・・・回転駆動機構。
Claims (1)
- るつぼ内に収容された金属原料を溶融もしくは蒸発せ
しめる蒸発装置内に設置され、前記るつぼ内の溶融金属
が蒸発により減少するとペレット形状の固体金属原料を
供給する金属原料供給機構を備え、この金属原料供給機
構は複数個のペレット状固体金属原料を収納したケース
と、このケースより前記るつぼへ前記固体金属原料を順
次送出する金属原料送出機構と、この金属原料送出機構
より送出される前記固体金属原料を前記るつぼへガイド
するガイド用樋とから構成したことを特徴とする金属原
料供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1225618A JP2718775B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | 金属原料供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1225618A JP2718775B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | 金属原料供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0390565A true JPH0390565A (ja) | 1991-04-16 |
| JP2718775B2 JP2718775B2 (ja) | 1998-02-25 |
Family
ID=16832140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1225618A Expired - Lifetime JP2718775B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | 金属原料供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2718775B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10184169B2 (en) | 2012-10-19 | 2019-01-22 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Method for supplying deposition material, method for producing substrate, control device and deposition device |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6030739A (ja) * | 1983-07-30 | 1985-02-16 | 松下電工株式会社 | 局部洗浄装置のクリ−ニング機構 |
| JPS6255556U (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-06 | ||
| JPS6330348U (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-27 | ||
| JPS6376863A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-07 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | ペレツト供給装置 |
-
1989
- 1989-08-31 JP JP1225618A patent/JP2718775B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6030739A (ja) * | 1983-07-30 | 1985-02-16 | 松下電工株式会社 | 局部洗浄装置のクリ−ニング機構 |
| JPS6255556U (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-06 | ||
| JPS6330348U (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-27 | ||
| JPS6376863A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-07 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | ペレツト供給装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2718775B2 (ja) | 1998-02-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3329524A (en) | Centrifugal-type vapor source | |
| NO153608B (no) | Fremgangsmaate ved ethoxylering av alkanoler i naervaer av katalysatorer inneholdende strontiumoxyder og -hydroxyder. | |
| US4866239A (en) | Vapor source assembly with crucible | |
| US20140302238A1 (en) | Apparatus and Method for the Evaporation and Deposition of Materials | |
| JPH0390565A (ja) | 金属原料供給装置 | |
| JPH03126823A (ja) | 金属原料供給装置 | |
| JP3338467B2 (ja) | 電子ビームのガイド及びセンタリングの方法及び装置 | |
| JPH06299353A (ja) | 連続真空蒸着装置 | |
| US20210230738A1 (en) | Vapour deposition evaporator device | |
| EP0887435B1 (en) | Free-standing rotating evaporation source | |
| JP4209981B2 (ja) | 真空蒸着装置における成膜材料供給装置 | |
| US3170019A (en) | Electron beam furnace | |
| US4048462A (en) | Compact rotary evaporation source | |
| JP2020508398A (ja) | 電子ビーム蒸発器、コーティング装置及びコーティング方法 | |
| JPH01108364A (ja) | 蒸発源の蒸着材料供給方法 | |
| US3575132A (en) | Vapor deposition apparatus | |
| JPH08225932A (ja) | 電子線加熱蒸着方法およびその装置 | |
| JPH03126824A (ja) | 金属原料供給方法 | |
| JPH04346655A (ja) | 化合物薄膜の形成方法及び装置 | |
| JPS6086271A (ja) | 電子ビ−ム蒸発器るつぼ用溶融金属供給トラフ | |
| JPH0360913B2 (ja) | ||
| JP2618695B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| US20210230737A1 (en) | Vapour deposition evaporator device | |
| JPH07126839A (ja) | 金属蒸気発生装置 | |
| GB1180151A (en) | Improvements in or relating to Vacuum Deposition Systems |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071114 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081114 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091114 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |