JPS6376863A - ペレツト供給装置 - Google Patents
ペレツト供給装置Info
- Publication number
- JPS6376863A JPS6376863A JP22016786A JP22016786A JPS6376863A JP S6376863 A JPS6376863 A JP S6376863A JP 22016786 A JP22016786 A JP 22016786A JP 22016786 A JP22016786 A JP 22016786A JP S6376863 A JPS6376863 A JP S6376863A
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- Japan
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- cassette
- curved pipe
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- slit
- pipe line
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- Pending
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- 239000008188 pellet Substances 0.000 title claims description 17
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 23
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 241000168041 Mazama Species 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/246—Replenishment of source material
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、例えば金属蒸気発生装置へペレット状の原料
を供給する際等に使用するペレット供給装置に関するも
のである。
を供給する際等に使用するペレット供給装置に関するも
のである。
[従来の技術]
例えば、真空容器内に坩堝を置き、該坩堝内の溶融金属
に電子ビームを当てて蒸発させ、該蒸発金属を金属表面
に蒸着させるようにした金属蒸気発生装置においては、
従来、原料を坩堝に供給する場合、連続的に供給する装
置が未だ開発されていないので、間欠的に行っている。
に電子ビームを当てて蒸発させ、該蒸発金属を金属表面
に蒸着させるようにした金属蒸気発生装置においては、
従来、原料を坩堝に供給する場合、連続的に供給する装
置が未だ開発されていないので、間欠的に行っている。
[発明が解決しようとする問題点]
そのため従来は、原料を供給する度に作業を中断しなけ
ればならず、能率が悪かった。
ればならず、能率が悪かった。
本発明は斯かる実情に鑑み、連続的に原料を供給し得る
ようにしたものである。
ようにしたものである。
E問題点を解決するための手段〕
本発明は、ケーシング内に、直管路の下部に曲管路を連
設してなるガイド筒を配置し、該ガイド筒の側壁部に、
上記曲管路端より直管路上端部に至るスリットを刻設し
、上記曲管路端を平面的に通る円軌跡上に、内部にペレ
ットを積層して収納し得るようにした複数の筒状カセッ
トを上記円軌跡に沿って移動し得るよう設けると共に、
該各カセット内のペレットの下方への落下を防止するテ
ーブルを上記曲管路端上に位置するカセットを除く各カ
セットの下部位置に配置し、又上記曲管路端上に位置し
たカセット内のペレットを順次上方へ押上げてケーシン
グ上部の出口より排出する所要数の押上げブロックを、
上記ガイド筒内に折曲げ自在に連結挿入して、直管路上
端寄りに位置する押上げブロックに、上記スリットを貫
通して外部へ突出する操作杆を固設し、更にガイド筒の
スリットと連通ずるスリットを各カセットの側壁部所定
位置に刻設し、上記操作杆が上記各スリットに沿って移
動し得るようにした構成を有する。
設してなるガイド筒を配置し、該ガイド筒の側壁部に、
上記曲管路端より直管路上端部に至るスリットを刻設し
、上記曲管路端を平面的に通る円軌跡上に、内部にペレ
ットを積層して収納し得るようにした複数の筒状カセッ
トを上記円軌跡に沿って移動し得るよう設けると共に、
該各カセット内のペレットの下方への落下を防止するテ
ーブルを上記曲管路端上に位置するカセットを除く各カ
セットの下部位置に配置し、又上記曲管路端上に位置し
たカセット内のペレットを順次上方へ押上げてケーシン
グ上部の出口より排出する所要数の押上げブロックを、
上記ガイド筒内に折曲げ自在に連結挿入して、直管路上
端寄りに位置する押上げブロックに、上記スリットを貫
通して外部へ突出する操作杆を固設し、更にガイド筒の
スリットと連通ずるスリットを各カセットの側壁部所定
位置に刻設し、上記操作杆が上記各スリットに沿って移
動し得るようにした構成を有する。
[作 用]
ペレットを収納したカセットを曲管路端上に位置させた
状態において、操作杆をスリット沿って移動させると、
操作杆に押された押上げブロックがカセット内のペレッ
トを押上げ、ケーシング上部の出口から排出させる。
状態において、操作杆をスリット沿って移動させると、
操作杆に押された押上げブロックがカセット内のペレッ
トを押上げ、ケーシング上部の出口から排出させる。
[実 施 例]
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1図及び第2図に示す如く、開閉可能なケーシングl
内に直管路2の下部に所要の曲率半径の曲管路3を一体
連設して略J字状に形成したガイド筒4を、上記曲管路
3端がケーシングl山中央部に位置するよう配設すると
共に、該ガイド筒4の周壁部前後対向位置に、直管路2
の上端部より曲管路3端に至るよう1字状のスリット5
を刻設する。ケーシングl内のガイド筒4の隣りの位置
には、曲管路3の端面と同一レベルでテーブル6を設置
する。尚テーブル6は第3図に示すように曲管路3端の
位置において、スリット5と干渉しないよう曲管路3側
の部分を適宜切欠いである。テーブル6には、内部の上
下方向にペレット状の原料を積層収納し得るようにした
円筒状カセット8を、周方向所定間隔で複数(図では4
つ)配列すると共に、該各カセット8を第4図にも示す
ように連結材9によって連結し、且つ該連結材9をテー
ブル6の下部に設置したモータ10の軸1.1に連結し
、モータ10の駆動によって各カセット8がテーブルB
上を周方向にスライドするようにし、且つ順次カセット
8が曲管路3端と一致し得るよう構成する。又各カセッ
ト8の側壁部周方向対向位置には、曲管路3端と一致し
た時にスリット5と連通ずるようにしたスリット12を
下端部より上方所定位置まで刻設しである。
内に直管路2の下部に所要の曲率半径の曲管路3を一体
連設して略J字状に形成したガイド筒4を、上記曲管路
3端がケーシングl山中央部に位置するよう配設すると
共に、該ガイド筒4の周壁部前後対向位置に、直管路2
の上端部より曲管路3端に至るよう1字状のスリット5
を刻設する。ケーシングl内のガイド筒4の隣りの位置
には、曲管路3の端面と同一レベルでテーブル6を設置
する。尚テーブル6は第3図に示すように曲管路3端の
位置において、スリット5と干渉しないよう曲管路3側
の部分を適宜切欠いである。テーブル6には、内部の上
下方向にペレット状の原料を積層収納し得るようにした
円筒状カセット8を、周方向所定間隔で複数(図では4
つ)配列すると共に、該各カセット8を第4図にも示す
ように連結材9によって連結し、且つ該連結材9をテー
ブル6の下部に設置したモータ10の軸1.1に連結し
、モータ10の駆動によって各カセット8がテーブルB
上を周方向にスライドするようにし、且つ順次カセット
8が曲管路3端と一致し得るよう構成する。又各カセッ
ト8の側壁部周方向対向位置には、曲管路3端と一致し
た時にスリット5と連通ずるようにしたスリット12を
下端部より上方所定位置まで刻設しである。
又、上記ガイド筒4内には、カセット8内に収納された
原料7を順次上方へ押出すための所要数の押上げブロッ
ク13を移動可能に挿入し、該各押上げブロック13の
うちの直管路2端側に位置するブロック13には、スリ
ット5を介してガイド筒4外へ突出する操作杆14を固
設する。
原料7を順次上方へ押出すための所要数の押上げブロッ
ク13を移動可能に挿入し、該各押上げブロック13の
うちの直管路2端側に位置するブロック13には、スリ
ット5を介してガイド筒4外へ突出する操作杆14を固
設する。
更に、ガイド筒4の前側部及び後側部には、曲管路3の
曲率半径中心位置と、その上方でスリット5端と同一高
さ位置とに夫々チェンスブロケット15.15を設け、
且つ該上下のスプロケット15.15間に無端チェノ1
6を掛回し、該チェノ1Bに上記操作杆14を接続して
、ケーシング1外に設置したモータ27によりスプロケ
ット15を駆動することによって、操作杆14がスリッ
ト5、更にはスリット12に沿って移動し得るよう構成
する。
曲率半径中心位置と、その上方でスリット5端と同一高
さ位置とに夫々チェンスブロケット15.15を設け、
且つ該上下のスプロケット15.15間に無端チェノ1
6を掛回し、該チェノ1Bに上記操作杆14を接続して
、ケーシング1外に設置したモータ27によりスプロケ
ット15を駆動することによって、操作杆14がスリッ
ト5、更にはスリット12に沿って移動し得るよう構成
する。
上記押上げブロック13の詳細は第5図及び第6図に示
しである。即ち、押上げブロック13は全体的には円柱
形状であり、−面の直径位置に軸29が凸段され、該軸
29と係合する満17か他面の同一直径位置に凹設され
、軸29を溝17に順次蟻溝式に連結するようにしてい
る。従って、各押上げブロック13は軸29と溝17と
の周方向の摺動を介し曲管路3の湾曲に沿って自在に揺
動し得る(折れ曲がる)。尚、押上げブロック13は上
記揺動の範囲を大きくとれるよう夫々連結側の両面には
テーパ面18が形成しである。
しである。即ち、押上げブロック13は全体的には円柱
形状であり、−面の直径位置に軸29が凸段され、該軸
29と係合する満17か他面の同一直径位置に凹設され
、軸29を溝17に順次蟻溝式に連結するようにしてい
る。従って、各押上げブロック13は軸29と溝17と
の周方向の摺動を介し曲管路3の湾曲に沿って自在に揺
動し得る(折れ曲がる)。尚、押上げブロック13は上
記揺動の範囲を大きくとれるよう夫々連結側の両面には
テーパ面18が形成しである。
斯かる構成としたペレット供給装置は、第7図に示すよ
うな金属蒸気発生装置に装着して使用する。同図におい
て、19は真空容器、20は該真空容器19内に設置さ
れた坩堝、21は該坩堝20内の溶融金属に電子ビーム
22を当てるよう真空容器19の一側上部に設置した電
子銃であり、坩堝20内へ原料を投下供給するためのシ
ュート23が坩堝20と真空容器19の他側部との間に
設けられ、該シュート23の上端部の下方に、ペレット
通路24を有する真空遮断弁25を介して本装置が取付
けである。尚、第2図において、26は原料7の押出し
出口であり、該出口2Bが真空遮断弁25の通路24と
連通する。
うな金属蒸気発生装置に装着して使用する。同図におい
て、19は真空容器、20は該真空容器19内に設置さ
れた坩堝、21は該坩堝20内の溶融金属に電子ビーム
22を当てるよう真空容器19の一側上部に設置した電
子銃であり、坩堝20内へ原料を投下供給するためのシ
ュート23が坩堝20と真空容器19の他側部との間に
設けられ、該シュート23の上端部の下方に、ペレット
通路24を有する真空遮断弁25を介して本装置が取付
けである。尚、第2図において、26は原料7の押出し
出口であり、該出口2Bが真空遮断弁25の通路24と
連通する。
今、モータ27を駆動してスプロケット15を矢印の方
向に回転すると、チェーン16と接続された操作杆14
がスリット5に沿い移動し各押上げブロック13が直管
路2から曲管路3側へ移動せしめられる。尚、各押上げ
ブロック13は揺動可能に連結されているため曲管路3
内でも円滑に滑動する。而して、移動方向先端の押上げ
ブロック13が曲管路3端に達したら、この位置で各ブ
ロック13を待機させておく。次に、モータ10を駆動
して原料7を積層収納しておいた各カセット8をテーブ
ル6上を周方向にスライドさせ、任意のカセット8を曲
管路3端面上に一致させる。カセット8内の原料7はテ
ーブル6上にある時はテーブル6の存在によって落下が
防止されているが、テーブル6は曲管路3と接する部分
に切欠きを設けであるため、テーブル6から外れて曲管
路3端面上に一致したカセット8内の原料7は、ここで
曲管路3内の先端の押上げブロック13上に載置支持さ
れることになる。
向に回転すると、チェーン16と接続された操作杆14
がスリット5に沿い移動し各押上げブロック13が直管
路2から曲管路3側へ移動せしめられる。尚、各押上げ
ブロック13は揺動可能に連結されているため曲管路3
内でも円滑に滑動する。而して、移動方向先端の押上げ
ブロック13が曲管路3端に達したら、この位置で各ブ
ロック13を待機させておく。次に、モータ10を駆動
して原料7を積層収納しておいた各カセット8をテーブ
ル6上を周方向にスライドさせ、任意のカセット8を曲
管路3端面上に一致させる。カセット8内の原料7はテ
ーブル6上にある時はテーブル6の存在によって落下が
防止されているが、テーブル6は曲管路3と接する部分
に切欠きを設けであるため、テーブル6から外れて曲管
路3端面上に一致したカセット8内の原料7は、ここで
曲管路3内の先端の押上げブロック13上に載置支持さ
れることになる。
従って、この状態から再びモータ27を駆動して操作杆
14に移動力を与えると、押上げブロック13がカセッ
ト8内に入り込み原料7を押上げる。押上げられた原料
7は順次ケーシングlの出口26、通路24を通って真
空容器19内のシュート23上端部に達する。原料7は
シュート23の上端部に達すると、外周位置を拘束して
いるものがなくなるためシュート23の傾斜に沿い坩堝
20内に落下供給される。このようにして原料7が次々
に押上げられ連続的に供給される。原料7がシュート2
3の上端部に達した時、必要に応じて押しロッド28を
用いて落下刃を付与するようにしてもよい。尚、操作杆
14が第1図の二点鎖線で示すようにカセット8のスリ
ット12上端位置に達した時に、先端の押上げブロック
13がシュート23上端の直下部に位置するよう押上げ
ブロック13の連結数を選定している。
14に移動力を与えると、押上げブロック13がカセッ
ト8内に入り込み原料7を押上げる。押上げられた原料
7は順次ケーシングlの出口26、通路24を通って真
空容器19内のシュート23上端部に達する。原料7は
シュート23の上端部に達すると、外周位置を拘束して
いるものがなくなるためシュート23の傾斜に沿い坩堝
20内に落下供給される。このようにして原料7が次々
に押上げられ連続的に供給される。原料7がシュート2
3の上端部に達した時、必要に応じて押しロッド28を
用いて落下刃を付与するようにしてもよい。尚、操作杆
14が第1図の二点鎖線で示すようにカセット8のスリ
ット12上端位置に達した時に、先端の押上げブロック
13がシュート23上端の直下部に位置するよう押上げ
ブロック13の連結数を選定している。
1つ目のカセット8内の原料7が全部供給されたら、モ
ータ27を逆転し、先端の押上げブロック13が曲管路
3端に一致するまで操作杆14を引戻す。この状態でモ
ータ10を回転し、空になったカセット8をテーブル6
上に移動すると共に、原料7が収納された次のカセット
8を周方向にスライドさせて上記曲管路3端上に一致さ
せる。而して、前述の作動を繰返すことにより、原料7
が坩堝20内に連続的に供給される。
ータ27を逆転し、先端の押上げブロック13が曲管路
3端に一致するまで操作杆14を引戻す。この状態でモ
ータ10を回転し、空になったカセット8をテーブル6
上に移動すると共に、原料7が収納された次のカセット
8を周方向にスライドさせて上記曲管路3端上に一致さ
せる。而して、前述の作動を繰返すことにより、原料7
が坩堝20内に連続的に供給される。
尚、本発明は前記実施例にのみ限定されるものではなく
、金属蒸気発生装置以外の装置にも適用し得ること、そ
の池水発明の要旨を逸脱しない限り種々変更を加え得る
ことは勿論である。
、金属蒸気発生装置以外の装置にも適用し得ること、そ
の池水発明の要旨を逸脱しない限り種々変更を加え得る
ことは勿論である。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明のペレット供給装置によれ
ば、カセット内に積層したペレットを押上げブロックの
移動により次々にケーシング外へ排出し得るので、例え
ば金属蒸気発生装置の原料供給用として使用することに
より、原料を連続的に供給することができ、又押上げブ
ロックの移動軌跡を単に直線的でなく直線と曲線とを組
合せたので、装置全高を低く抑えることができる、等の
優れた効果を奏し得る。
ば、カセット内に積層したペレットを押上げブロックの
移動により次々にケーシング外へ排出し得るので、例え
ば金属蒸気発生装置の原料供給用として使用することに
より、原料を連続的に供給することができ、又押上げブ
ロックの移動軌跡を単に直線的でなく直線と曲線とを組
合せたので、装置全高を低く抑えることができる、等の
優れた効果を奏し得る。
第1図は本発明のペレット供給装置の概要を示す斜視図
、第2図は同上一部切断側面図、第3図は第2図の■−
■矢視図、第4図は第2図のIV−IV矢視図、第5図
は押上げブロックの説明図、第6図は押上げブロックの
連結状態を示す説明図、第7図は本発明のペレット供給
装置の使用状態説明図である。 ■はケーシング、2は直管路、3は曲管路、4はガイド
筒、5はスリット、6はテーブル、7は原料、8はカセ
ット、9は連結材、10はモータ、11は軸、12はス
リット、13は押上げブロック、■′4は操作杆、15
はスプロケット、16はチェノ、27はモータを示す。
、第2図は同上一部切断側面図、第3図は第2図の■−
■矢視図、第4図は第2図のIV−IV矢視図、第5図
は押上げブロックの説明図、第6図は押上げブロックの
連結状態を示す説明図、第7図は本発明のペレット供給
装置の使用状態説明図である。 ■はケーシング、2は直管路、3は曲管路、4はガイド
筒、5はスリット、6はテーブル、7は原料、8はカセ
ット、9は連結材、10はモータ、11は軸、12はス
リット、13は押上げブロック、■′4は操作杆、15
はスプロケット、16はチェノ、27はモータを示す。
Claims (1)
- 1)ケーシング内に、直管路の下部に曲管路を連設して
なるガイド筒を配置し、該ガイド筒の側壁部に、上記曲
管路端より直管路上端部に至るスリットを刻設し、上記
曲管路端を平面的に通る円軌跡上に、内部にペレットを
積層して収納し得るようにした複数の筒状カセットを上
記円軌跡に沿って移動し得るよう設けると共に、該各カ
セット内のペレットの下方への落下を防止するテーブル
を上記曲管路端上に位置するカセットを除く各カセット
の下部位置に配置し、又上記曲管路端上に位置したカセ
ット内のペレットを順次上方へ押上げてケーシング上部
の出口より排出する所要数の押上げブロックを、上記ガ
イド筒内に折曲げ自在に連結挿入して、直管路上端寄り
に位置する押上げブロックに、上記スリットを貫通して
外部へ突出する操作杆を固設し、更にガイド筒のスリッ
トと連通するスリットを各カセットの側壁部所定位置に
刻設し、上記操作杆が上記各スリットに沿って移動し得
るよう構成したことを特徴とするペレット供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22016786A JPS6376863A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | ペレツト供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22016786A JPS6376863A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | ペレツト供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6376863A true JPS6376863A (ja) | 1988-04-07 |
Family
ID=16746933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22016786A Pending JPS6376863A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | ペレツト供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6376863A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0390565A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-16 | Laser Noushiyuku Gijutsu Kenkyu Kumiai | 金属原料供給装置 |
| WO2004009864A1 (en) * | 2002-07-22 | 2004-01-29 | Cambridge Display Technology Limited | Pellet feeder |
| JP2014234519A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-15 | 国立大学法人東京工業大学 | 成膜装置 |
| US9389213B2 (en) | 2011-10-25 | 2016-07-12 | Pharmatron Ag | Tablet test station |
| US9835533B2 (en) | 2011-10-25 | 2017-12-05 | Sotax Ag | Tablet testing device |
-
1986
- 1986-09-18 JP JP22016786A patent/JPS6376863A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0390565A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-16 | Laser Noushiyuku Gijutsu Kenkyu Kumiai | 金属原料供給装置 |
| WO2004009864A1 (en) * | 2002-07-22 | 2004-01-29 | Cambridge Display Technology Limited | Pellet feeder |
| GB2406562A (en) * | 2002-07-22 | 2005-04-06 | Cambridge Display Tech Ltd | Pellet feeder |
| GB2406562B (en) * | 2002-07-22 | 2005-12-28 | Cambridge Display Tech Ltd | Pellet feeder |
| US9389213B2 (en) | 2011-10-25 | 2016-07-12 | Pharmatron Ag | Tablet test station |
| US9835533B2 (en) | 2011-10-25 | 2017-12-05 | Sotax Ag | Tablet testing device |
| JP2014234519A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-15 | 国立大学法人東京工業大学 | 成膜装置 |
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