JPH0390826A - レーザビーム測定・監視装置 - Google Patents
レーザビーム測定・監視装置Info
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- JPH0390826A JPH0390826A JP1227475A JP22747589A JPH0390826A JP H0390826 A JPH0390826 A JP H0390826A JP 1227475 A JP1227475 A JP 1227475A JP 22747589 A JP22747589 A JP 22747589A JP H0390826 A JPH0390826 A JP H0390826A
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- axis
- laser
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザビーム測定・監視装置に関する。
（従来の技術）
従来のレーザビーム測定装置の一例を示す第５図におい
て１図示しないパルスモータに連結された軸１ａを軸と
して矢印１ｂ方向に駆動される円板１の円周には、その
中心線が軸ｌａ上を通る角度でワイヤ２が固定され、矢
印！ｂ方向での回転でこのワイヤ２の先端が測定対象で
あるレーザビーム３を切る位置に設置されて、更に円板
１の左方と上方には光センサ４が配設されている。
て１図示しないパルスモータに連結された軸１ａを軸と
して矢印１ｂ方向に駆動される円板１の円周には、その
中心線が軸ｌａ上を通る角度でワイヤ２が固定され、矢
印！ｂ方向での回転でこのワイヤ２の先端が測定対象で
あるレーザビーム３を切る位置に設置されて、更に円板
１の左方と上方には光センサ４が配設されている。
このような構成のレーザビーム測定装置においては、円
板１の回転で同図のワイヤ２の左手前側に当って左方に
反射したレーザ光の一部は左側の光センサ４で検出され
、同じくワイヤ２の右上方に当って右上方に反射したレ
ーザ光の一部は右側の光センサ４で検出される。
板１の回転で同図のワイヤ２の左手前側に当って左方に
反射したレーザ光の一部は左側の光センサ４で検出され
、同じくワイヤ２の右上方に当って右上方に反射したレ
ーザ光の一部は右側の光センサ４で検出される。
第６図は、リングモードの炭酸ガスレーザ光をアクリル
材の板に照射して形成された凹部を示す平面図で、第７
図はこのモードの炭酸ガスレーザ光を第５図のレーザビ
ーム測定装置で測定したオシログラフである。
材の板に照射して形成された凹部を示す平面図で、第７
図はこのモードの炭酸ガスレーザ光を第５図のレーザビ
ーム測定装置で測定したオシログラフである。
第７図に於て、縦軸はレーザビーム３の強度を、横軸は
レーザビーム３の幅を示し、中央はレーザビーム３の強
度が弱く、その両側にはＸ軸、ＹｌｌＩｔｈ方向にも山
があって、強度の分布はリング状になっている。
レーザビーム３の幅を示し、中央はレーザビーム３の強
度が弱く、その両側にはＸ軸、ＹｌｌＩｔｈ方向にも山
があって、強度の分布はリング状になっている。
ところで、炭酸ガスレーザ加工機では、ワークに照射す
る所要のレーザ強度が数十Ｋｖのときには、発振器の能
力上例えばｌ０Ｋ−級のレーザ発振器を複数使って、伝
送路で平行に伝送して、ワークの同一場所に隣接して照
射するときがある。そしてそのときには、相互のビーム
間隔も所定の範囲に管理されなければならない。
る所要のレーザ強度が数十Ｋｖのときには、発振器の能
力上例えばｌ０Ｋ−級のレーザ発振器を複数使って、伝
送路で平行に伝送して、ワークの同一場所に隣接して照
射するときがある。そしてそのときには、相互のビーム
間隔も所定の範囲に管理されなければならない。
（発明が解決しようとする課題）
ところが、第５図のような構成のレーザビーム測定装置
では。
では。
（１）光センサ４に入射するワイヤ２からの反射光は、
第５図で示すようにレーザビーム３の中心を弧状に横切
る反射点からの光のために検出Ｍ度が落ちる。
第５図で示すようにレーザビーム３の中心を弧状に横切
る反射点からの光のために検出Ｍ度が落ちる。
■ レーザビーム３がもし上述の複数のときには適用で
きない、ワイヤ２を長くすればできるが、光センサ４の
数が増えるだけでなく、先端と中間では前項の弧状の曲
率が違って測定条件、測定結果も違ってくる。
きない、ワイヤ２を長くすればできるが、光センサ４の
数が増えるだけでなく、先端と中間では前項の弧状の曲
率が違って測定条件、測定結果も違ってくる。
■ レーザビーム３の径が大きくなると、上述の弧状の
軌跡による偏りが著しくなって、更に精度が落ちるだけ
でなく、検出装置も大きくしなければならない。
軌跡による偏りが著しくなって、更に精度が落ちるだけ
でなく、検出装置も大きくしなければならない。
０） レーザ光の位置の偏りやビーム径の差を検ること
もむつかしい。
もむつかしい。
そこで５本発明の目的の一つは、複数のレーザ光の強度
分布を高精度に測定することのできるレーザビーム測定
装置を得ることであり５本発明の他の一つは、複数のレ
ーザビームの伝送位置を所定の位置に管理することので
きるレーザビーム監視装置を得ることである。
分布を高精度に測定することのできるレーザビーム測定
装置を得ることであり５本発明の他の一つは、複数のレ
ーザビームの伝送位置を所定の位置に管理することので
きるレーザビーム監視装置を得ることである。
（課題を解決するための手段と作用）
本発明の一つは、平行に伝送される複数のレーザビーム
を測定するレーザビーム測定装置において、複数のレー
ザビームの軸心を結ぶ面及びレーザビームと直交方向に
設けられ上記面と平行かつレーザビームと直交方向に駆
動されるＸ軸ワイヤと、レーザビームと直交方向に上記
面と平行に設けられ上記面と直交方向に駆動されるＹ軸
ワイヤと、上記面上のレーザビーム直交方向にレーザビ
ームと離して設けられたＸＩＩＩＩセンサと、上記面及
びレーザビーム軸心と直交方向にレーザビームと離して
Ｙ軸センサを設けることで、高精度にレーザビームのモ
ードを検出することのできるレーザビーム測定装置であ
り。
を測定するレーザビーム測定装置において、複数のレー
ザビームの軸心を結ぶ面及びレーザビームと直交方向に
設けられ上記面と平行かつレーザビームと直交方向に駆
動されるＸ軸ワイヤと、レーザビームと直交方向に上記
面と平行に設けられ上記面と直交方向に駆動されるＹ軸
ワイヤと、上記面上のレーザビーム直交方向にレーザビ
ームと離して設けられたＸＩＩＩＩセンサと、上記面及
びレーザビーム軸心と直交方向にレーザビームと離して
Ｙ軸センサを設けることで、高精度にレーザビームのモ
ードを検出することのできるレーザビーム測定装置であ
り。
本発明の他の一つは、平行に伝送される複数のレーザビ
ームを監視するレーザビーム監視装置において、複数の
レーザビームの軸心を結ぶ面及びレーザビームと直交方
向に設けられ上記面と平行かつレーザビームと直交方向
に駆動されるＸ軸ワイヤと、レーザビームと直交方向に
上記面と平行に設けられ上記面と直交方向に駆動される
Ｙ軸ｌＩワイヤと、上記面上のレーザビーム直交方向に
レーザビームと離して設けられたＸ軸センサと、上記面
及びレーザビーム軸心と直交方向にレーザビ−ムと離し
て設けられたＹ軸センサと、このＹ軸センサと上記Ｘ軸
センサの検出信号が入力されあらかじめ記憶されたレー
ザビーム位置とビームモードと比較しビーム位置の補正
信号をレーザ伝送路の反射ミラーの位置決め駆動機構に
出力するＣＰＵを設けることで、複数のレーザビームの
伝送位置を所定の糖度で伝送することのできるレーザビ
ーム監視装置である。
ームを監視するレーザビーム監視装置において、複数の
レーザビームの軸心を結ぶ面及びレーザビームと直交方
向に設けられ上記面と平行かつレーザビームと直交方向
に駆動されるＸ軸ワイヤと、レーザビームと直交方向に
上記面と平行に設けられ上記面と直交方向に駆動される
Ｙ軸ｌＩワイヤと、上記面上のレーザビーム直交方向に
レーザビームと離して設けられたＸ軸センサと、上記面
及びレーザビーム軸心と直交方向にレーザビ−ムと離し
て設けられたＹ軸センサと、このＹ軸センサと上記Ｘ軸
センサの検出信号が入力されあらかじめ記憶されたレー
ザビーム位置とビームモードと比較しビーム位置の補正
信号をレーザ伝送路の反射ミラーの位置決め駆動機構に
出力するＣＰＵを設けることで、複数のレーザビームの
伝送位置を所定の糖度で伝送することのできるレーザビ
ーム監視装置である。
（実施例）
以下１本発明のレーザビーム測定装置とレーザビーム監
視装置の一実施例を図面を参照して説明する。
視装置の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図において、角形の枠１０の上下の上枠１０ａ１゜
１０ａ２の間には、上枠１０ａ□内の図示しない軸受内
を縦に貫通したボールねじ６Ａ１．６Ａ２が下端を下枠
１０ａ２の図示しない軸受で支えられて回転自在に平行
に設けられ、ボールねじ６Ａ工の上端の突出部にはプー
リ７＾が、ボールねじ６Ａ、の突出部にはプーリ７Ａが
それぞれ挿着され、これらのプーリ７Ａ曲にはタイミン
グベルト５Ａが巻き付けられ、ボールねじ６Ａ２ の上
端には更にパルスモータ４Ａの出力軸が連結されている
。又、ボールねじ６Ａ、、６Ａ、には角形のナツト９Ａ
がそれぞれ装着され、これらのナツト９Ａの間にはステ
ンレス鋼のワイヤ８Ａが水平に固定されている。
１０ａ２の間には、上枠１０ａ□内の図示しない軸受内
を縦に貫通したボールねじ６Ａ１．６Ａ２が下端を下枠
１０ａ２の図示しない軸受で支えられて回転自在に平行
に設けられ、ボールねじ６Ａ工の上端の突出部にはプー
リ７＾が、ボールねじ６Ａ、の突出部にはプーリ７Ａが
それぞれ挿着され、これらのプーリ７Ａ曲にはタイミン
グベルト５Ａが巻き付けられ、ボールねじ６Ａ２ の上
端には更にパルスモータ４Ａの出力軸が連結されている
。又、ボールねじ６Ａ、、６Ａ、には角形のナツト９Ａ
がそれぞれ装着され、これらのナツト９Ａの間にはステ
ンレス鋼のワイヤ８Ａが水平に固定されている。
一方、枠１０の左右の主枠１０ｂ１と心棒１Ｏｂ２の上
下端後部間には、ボールねじ６Ｂ□、６Ｂ２が左右の枠
１０ｂ、、 １０ｂ、に装着された図示しない軸受に支
えられて回転自在に横設され、これらのボールねじ６Ｂ
、、 ６Ｂｔの右端の突出部にはプーリ７Ｂが挿着され
、これらのプーリ７Ｂ間にはタイミングベルト５Ｂが巻
き付けられ、ボールねじ６Ｂ、の右端にはパルスモータ
４Ｂの出力軸が連結されている。又、ボールねじ６Ｂ□
、６Ｂ２には角形のナツト９Ｂがそれぞれ装着され、こ
れらのナット９Ｂ間にはワイヤ８Ｂが縦に固定されてい
る。
下端後部間には、ボールねじ６Ｂ□、６Ｂ２が左右の枠
１０ｂ、、 １０ｂ、に装着された図示しない軸受に支
えられて回転自在に横設され、これらのボールねじ６Ｂ
、、 ６Ｂｔの右端の突出部にはプーリ７Ｂが挿着され
、これらのプーリ７Ｂ間にはタイミングベルト５Ｂが巻
き付けられ、ボールねじ６Ｂ、の右端にはパルスモータ
４Ｂの出力軸が連結されている。又、ボールねじ６Ｂ□
、６Ｂ２には角形のナツト９Ｂがそれぞれ装着され、こ
れらのナット９Ｂ間にはワイヤ８Ｂが縦に固定されてい
る。
又、主枠１０ｂ□の後面中央には、台形のベース４ｘの
後面に光センサ４ｘが取り付けられ、下枠１０ａ２の上
面前側のレーザビーム３Ａ、３Ｂの光軸下方の位置に取
り付けられた台形のベース４Ｙｔ ｓ ４ｙｚの上面に
も光センサ４Ｙ１．４Ｙ、が取り付けられ、下枠１０ａ
、の後面左端の凸部の後面と心棒１０ｂ８の前面上端の
凸部の前面には光センサ４ｈ、 ４ｗがそれぞれ取り付
けられて、これらの光センサ４ｘ、 ４Ｙ１．４Ｙ、、
４ｈ、 ４ｖの出力信号は、後述する画像処理装置に
入力されている。
後面に光センサ４ｘが取り付けられ、下枠１０ａ２の上
面前側のレーザビーム３Ａ、３Ｂの光軸下方の位置に取
り付けられた台形のベース４Ｙｔ ｓ ４ｙｚの上面に
も光センサ４Ｙ１．４Ｙ、が取り付けられ、下枠１０ａ
、の後面左端の凸部の後面と心棒１０ｂ８の前面上端の
凸部の前面には光センサ４ｈ、 ４ｗがそれぞれ取り付
けられて、これらの光センサ４ｘ、 ４Ｙ１．４Ｙ、、
４ｈ、 ４ｖの出力信号は、後述する画像処理装置に
入力されている。
次に、このように構成されたレーザビーム測定装置の作
用を説明する。
用を説明する。
まず、パルスモータ４Ａを駆動すると、ボールねじ６Ａ
ｉ、 ６Ａ２はタイミングベルト５Ａを介して同時に同
方向に回転してワイヤ８Ａは上下する。すると。
ｉ、 ６Ａ２はタイミングベルト５Ａを介して同時に同
方向に回転してワイヤ８Ａは上下する。すると。
このワイヤ８Ａで反射されたレーザ光の一部は下枠１０
ａ、の上面に取り付けられた左右の光センサ４Ｙ１゜４
Ｙ、で検出されて図示しない画像処理装置に入力され、
レーザビーム３Ａ、 ３Ｂの上下端は下枠後部のセンサ
４ｈで、レーザビーム３Ａ、 ３Ｂの左右端は心棒のセ
ンサ４ｖでそれぞれ検出される。
ａ、の上面に取り付けられた左右の光センサ４Ｙ１゜４
Ｙ、で検出されて図示しない画像処理装置に入力され、
レーザビーム３Ａ、 ３Ｂの上下端は下枠後部のセンサ
４ｈで、レーザビーム３Ａ、 ３Ｂの左右端は心棒のセ
ンサ４ｖでそれぞれ検出される。
一方、パルスモータ４Ｂを駆動すると、ボールねじ６［
１，、６Ｂ、はタイミングベルト７Ｂを介して同時に同
方向に回転してワイヤ８Ｂは左右に移動し、そのときワ
イヤ８Ｂで反射されたレーザ光の一部は、主枠後端の光
センサ４ｘで検出されて図示しない画像処理装置に入力
される。
１，、６Ｂ、はタイミングベルト７Ｂを介して同時に同
方向に回転してワイヤ８Ｂは左右に移動し、そのときワ
イヤ８Ｂで反射されたレーザ光の一部は、主枠後端の光
センサ４ｘで検出されて図示しない画像処理装置に入力
される。
この結果１本レーザビーム測定装置によれば、レーザビ
ーム３Ａ、 ３Ｂの光軸をＸ、Ｙ方向に直線的に横切っ
て光を検出するので、レーザビーム径の差に関係なく高
精度にレーザビームの強度分布を測定することができる
。又測定条件が左右同一なので、複数のレーザビームを
比較検討することができる。
ーム３Ａ、 ３Ｂの光軸をＸ、Ｙ方向に直線的に横切っ
て光を検出するので、レーザビーム径の差に関係なく高
精度にレーザビームの強度分布を測定することができる
。又測定条件が左右同一なので、複数のレーザビームを
比較検討することができる。
第２図は、このように構成されたレーザビーム測定装置
を使ったレーザビーム監視装置を示す図で、光センサで
検出されたレーザビーム３Ａ、 ３Ｂのデータは、ＣＰ
ＵＩＩに送られる。するとＣＰＵでは、そのデータから
第３図で示すようにビーム径ＤＹ、、 ＤＹ、、 ＤＸ
と最大ピーク強度ＰＹ１． ｌｌ￥、 、 ＰＸ、 。
を使ったレーザビーム監視装置を示す図で、光センサで
検出されたレーザビーム３Ａ、 ３Ｂのデータは、ＣＰ
ＵＩＩに送られる。するとＣＰＵでは、そのデータから
第３図で示すようにビーム径ＤＹ、、 ＤＹ、、 ＤＸ
と最大ピーク強度ＰＹ１． ｌｌ￥、 、 ＰＸ、 。
ＰＸ２及びビームノ中心位置ＣＹ、、 ＣＹ、、 ＣＸ
、、 ＣＸ２を求めてあらかじめ記憶されていた基準値
と比較し。
、、 ＣＸ２を求めてあらかじめ記憶されていた基準値
と比較し。
もし、中心位置がずれているときにはそのデータを反射
ミラー１３を駆動するモータ１２に送って反射ミラー１
３の角度を調節する５又、ビーム径や最大ピーク強度が
基準値に対しである許容範囲外のときには、ＣＰＵの表
示パネルに表示する。
ミラー１３を駆動するモータ１２に送って反射ミラー１
３の角度を調節する５又、ビーム径や最大ピーク強度が
基準値に対しである許容範囲外のときには、ＣＰＵの表
示パネルに表示する。
なお、上記実施例では、レーザビームが二本のときで説
明したが、三本のときには下枠１０日２に光センサを追
加することで、横に同一面上で送られてきたレーザビー
ムの諸データを測定することができる。
明したが、三本のときには下枠１０日２に光センサを追
加することで、横に同一面上で送られてきたレーザビー
ムの諸データを測定することができる。
更に、ボールねじの駆動用としてパルスモータを使った
が、サーボモータを使ってもよい、そのときにはレーザ
ビーム３Ａ、 ３Ｂの位置の検出を光センサ４Ｘ、 ４
Ｙ、、 ４Ｙ、でできるので、光センサ４ｈ、４ｖを省
くことができる利点がある。
が、サーボモータを使ってもよい、そのときにはレーザ
ビーム３Ａ、 ３Ｂの位置の検出を光センサ４Ｘ、 ４
Ｙ、、 ４Ｙ、でできるので、光センサ４ｈ、４ｖを省
くことができる利点がある。
又、上記センサとして第４図に示すようなラインセンサ
２０にマスク２１を取付けてライセンサ列の幅を狭くし
たものを用いると５幅方向の強度分布が同時に測定でき
るため、ビーム全体の三次元的なプロファイルが測定で
きる。
２０にマスク２１を取付けてライセンサ列の幅を狭くし
たものを用いると５幅方向の強度分布が同時に測定でき
るため、ビーム全体の三次元的なプロファイルが測定で
きる。
以上１本発明によれば、平行に伝送された複数のレーザ
ビームを測定するレーザビーム測定装置において、複数
のレーザビームの軸心を結ぶ而及びレーザビームと直交
方向に設けられ上記面と、平行かつレーザビームと直交
方向に駆動されるＸ軸ワイヤと、レーザビームと直交方
向に上記面と平行に設けられ上記面と直交方向に駆動さ
れるＹ軸ワイヤと、上記面上のレーザビーム直交方向に
レーザビームと離して設けられたＸ軸センサと、上記面
及びレーザビーム軸心と直交方向にレーザビームを離し
てＹ軸センサを設けることで、高桔度にレーザビームの
モードを検出することのできるレーザビーム測定装置を
得ることができる。
ビームを測定するレーザビーム測定装置において、複数
のレーザビームの軸心を結ぶ而及びレーザビームと直交
方向に設けられ上記面と、平行かつレーザビームと直交
方向に駆動されるＸ軸ワイヤと、レーザビームと直交方
向に上記面と平行に設けられ上記面と直交方向に駆動さ
れるＹ軸ワイヤと、上記面上のレーザビーム直交方向に
レーザビームと離して設けられたＸ軸センサと、上記面
及びレーザビーム軸心と直交方向にレーザビームを離し
てＹ軸センサを設けることで、高桔度にレーザビームの
モードを検出することのできるレーザビーム測定装置を
得ることができる。
更に本発明によれば、平行に伝送される複数のレーザビ
ームを監視するレーザビーム監視装置において、複数の
レーザビームの軸心を結ぶ面及びレーザビームと直交方
向に設けられ上記面と平行かつレーザビームと直交方向
に駆動されるＸ軸ワイヤと、レーザビームと直交方向に
上記面と平行に設けられ上記面と直交方向に駆動される
Ｙ軸ワイヤと、上記面上のレーザビーム直交方向にレー
ザビームと離して設けられたＸ軸センサと、上記面及び
レーザビーム軸心と直交方向にレーザビームと離して設
けられたＹ軸センサと、このＹ軸センサと上記Ｘ軸セン
サの検出信号が入力されあらかじめ記憶されたレーザビ
ーム位置とビームモードと比較しビーム位置の補正信号
をレーザ伝送路の反射ミラーの位置決め駆動機構に出力
するＣＰＵを設けることで、複数のレーザビームの伝送
位置を所定の精度に伝送することのできるレーザビーム
監視装置を得ることができる。
ームを監視するレーザビーム監視装置において、複数の
レーザビームの軸心を結ぶ面及びレーザビームと直交方
向に設けられ上記面と平行かつレーザビームと直交方向
に駆動されるＸ軸ワイヤと、レーザビームと直交方向に
上記面と平行に設けられ上記面と直交方向に駆動される
Ｙ軸ワイヤと、上記面上のレーザビーム直交方向にレー
ザビームと離して設けられたＸ軸センサと、上記面及び
レーザビーム軸心と直交方向にレーザビームと離して設
けられたＹ軸センサと、このＹ軸センサと上記Ｘ軸セン
サの検出信号が入力されあらかじめ記憶されたレーザビ
ーム位置とビームモードと比較しビーム位置の補正信号
をレーザ伝送路の反射ミラーの位置決め駆動機構に出力
するＣＰＵを設けることで、複数のレーザビームの伝送
位置を所定の精度に伝送することのできるレーザビーム
監視装置を得ることができる。
第１図は本発明のレーザビーム測定装置の一実施例と本
発明のレーザビーム監視装置の要部を示す斜視図、第２
図は本発明のレーザビーム監視装置の一実施例を示す図
、第３図は本発明のレーザビーム監視装置の作用を示す
図、第４図（ａ）。 （ｂ）は本発明のレーザビーム測定装置と本発明の他の
実施例を示す部分詳細図、第５図は従来のレーザビーム
測定装置を示す図、第６図と第７図は従来のレーザビー
ム測定装置の作用を示す図である。 ３Ａ、 ３Ｂ・・・レーザビーム ４ｈ、 ４Ｘ、 ４Ｙ、、 ４Ｙ、、 ４ｖ−光センサ
６Ａ１．６Ａ、 、 ６Ｂ□、６Ｂよ・・・ボールねじ
８Ａ、 ８Ｂ・・・ワイヤ ｌＯ・・・枠（８
７３３）代理人 弁理士 猪 股 祥 晃（ほか１名） 華 Ｉ 図 早 図 牛 乙 ■ ギ 阿
発明のレーザビーム監視装置の要部を示す斜視図、第２
図は本発明のレーザビーム監視装置の一実施例を示す図
、第３図は本発明のレーザビーム監視装置の作用を示す
図、第４図（ａ）。 （ｂ）は本発明のレーザビーム測定装置と本発明の他の
実施例を示す部分詳細図、第５図は従来のレーザビーム
測定装置を示す図、第６図と第７図は従来のレーザビー
ム測定装置の作用を示す図である。 ３Ａ、 ３Ｂ・・・レーザビーム ４ｈ、 ４Ｘ、 ４Ｙ、、 ４Ｙ、、 ４ｖ−光センサ
６Ａ１．６Ａ、 、 ６Ｂ□、６Ｂよ・・・ボールねじ
８Ａ、 ８Ｂ・・・ワイヤ ｌＯ・・・枠（８
７３３）代理人 弁理士 猪 股 祥 晃（ほか１名） 華 Ｉ 図 早 図 牛 乙 ■ ギ 阿
Claims (2)
- （１）平行に伝送された複数のレーザビームを測定する
レーザビーム測定装置において、前記複数のレーザビー
ムの軸心を結ぶ面及び前記レーザビームと直交方向に設
けられ前記面と平行かつ前記レーザビームと直交方向に
駆動されるＸ軸ワイヤと、前記レーザビームと直交方向
に前記面と平行に設けられ前記面と直交方向に駆動され
るＹ軸ワイヤと、前記面上の前記レーザビーム直交方向
に前記レーザビームと離して設けられたＸ軸センサと、
前記面及び前記レーザビーム軸心と直交方向に前記レー
ザビームと離して設けられたＹ軸センサを具備したこと
を特徴とするレーザビーム測定装置。 - （２）平行に伝送された複数のレーザビームを監視する
レーザビーム監視装置において、前記複数のレーザビー
ムの軸心を結ぶ面及び前記レーザビームと直交方向に設
けられ前記面と平行かつ前記レーザビームと直交方向に
駆動されるＸ軸ワイヤと、前記レーザビームと直交方向
に前記面と平行に設けられ前記面と直交方向に駆動され
るＹ軸ワイヤと、前記面上の前記レーザビーム直交方向
に前記レーザビームと離して設けられたＸ軸センサと、
前記面及び前記レーザビーム軸心と直交方向に前記レー
ザビームと離して設けられたＹ軸センサと、このＹ軸セ
ンサと前記Ｘ軸センサの検出信号が入力されあらかじめ
記憶されたレーザビームの位置とビームモードと比較し
ビーム位置の補正信号をレーザ伝送路の反射ミラーの位
置決め、駆動機構に出力するＣＰＵを設けたことを特徴
とするレーザビーム監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1227475A JPH0390826A (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | レーザビーム測定・監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1227475A JPH0390826A (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | レーザビーム測定・監視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0390826A true JPH0390826A (ja) | 1991-04-16 |
Family
ID=16861463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1227475A Pending JPH0390826A (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | レーザビーム測定・監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0390826A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005212473A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | スクライブ装置およびこの装置を用いたスクライブ方法 |
-
1989
- 1989-09-04 JP JP1227475A patent/JPH0390826A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005212473A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | スクライブ装置およびこの装置を用いたスクライブ方法 |
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