JPH0391106A - 磁気ヘッド製造用の接着基板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）、ディジタ
ルオーディオチーブレコーダ（ＤＡＴ）などの情報記録
再生装置に用いられる磁気ヘッド製造用の接着基板に関
する。

〔従来の技術〕

従来の民生用のＶＴＲに使用される磁気テープは、酸化
鉄系の記録媒体を用いるのが一般的であるが、８ｍｍＶ
ＴＲやＤＡＴなど高記録密度を有する磁気記録装置には
高保磁力のメタル系の記録媒体を用いて質の高品位化が
行なわれている。磁気テープの特性を十分に引き出すた
めには、一般にヘッド材料の飽和磁気密度（以下ＢＳと
いう）はテープの保磁力（以下Ｈｃという）の５倍以上
が必要であるといわれている。酸化鉄系のＨ６は約６０
０　（Ｏｅ）で、メタルテープの場合は約１４００　（
Ｏｅ）である。

これに対し、民生用のＶＴＲに用いられる磁気ヘッド材
料である酸化物磁性材料（フェライト）のＢＳは約５０
００Ｇであるから、酸化鉄のテープに対しては５倍以上
であり充分であるが、メタルテープに対しては５倍以下
であり、従って、その特性を引き出すには１４００Ｘ５
＝７０００となって、７０００Ｇ以上のＢ、が必要とな
る。そここで、磁気ヘッド素材としてＢ、の高い金属磁
性材料（センダスト等）が用いられるようになった。

この種のセンダストを用いた磁気ヘッドとしては、第５
図（ａ）、Ｃｂ）に示す構成のものが知られている。同
図に示される磁気ヘッドは「バルク型ヘッド」と呼ばれ
ており、ヘッドコア半体ｌａ、ｌｂ同士を接合してギャ
ップ形成を行なう前に、トラック幅規制溝が施され、そ
の後にこのトラック幅規制溝にガラス２を充填した構成
になっている。

ところが、このバルク型ヘッドを製造するには、ギャッ
プ形成前のコア半体１ａ、ｌｂにトラック加工を行なう
ことから、コア半体１ａ、ｌｂを互いに溶着する際、高
精度の技術が要求されるトラック合せをしなければなら
ない。

そこで、上記のバルク型ヘッドでは必要であったトラッ
ク合せの工程を省略できる磁気ヘッドが提案されている
（第６図（ａ）、（ｂ）参照）。

この磁気ヘッドは、全幅がトラックになっているため、
オールトラックヘッド（以下ＡＴヘッドという）と呼ば
れており、第６図（ａ）、（ｂ）に示すように、このＡ
Ｔヘッドは、一対のへラドコア半休１０ａ、１０ｂが互
いに溶着され、トラック１１を形成するトラック幅規制
溝１２にはガラス１３が充填され、このガラス１３は、
テープ摺動面に露出して構成されている。

このＡＴヘッドを製造する場合には、まず、−対の棒状
のヘッドコアブロック半休を銀ろう等で溶着してギャッ
プ形成を行ない、ヘッドコアブロックを形成する。次い
で、このヘッドコアブロックにトラック溝を形成するト
ラック加工（ＡＴ加工）工程、トラック溝にガラスを充
填するガラス充填加工工程、ガラス充填後のヘッドコア
ブロックのテープ摺動面にＲ形状（円弧形等の曲面形状
）を形成するＲ研摩工程、Ｒ研摩されたテープ摺動面の
加工を行なう摺動面加工工程、この摺動面加工後、トラ
ック溝に平行な方向にスライスしてヘッドチップを形成
するスライス加工工程の順で加工処理している。

上記のような磁気ヘッドの製造工程のうち特にガラス充
填加工工程では、ヘッドコアブロックが７００℃近くの
高温にさらされるため、ワックスや有機接着剤のような
接着手段を採ることによるヘッドコアブロックの接着強
度や接着精度の保持は全く不可能である。

そのため、トラック加工時に１枚の基板上に複数個のヘ
ッドコアブロックを並べてワックスで接着後に加工した
ものをすべて基板から取り外して洗浄を行なった後、ガ
ラス充填工程では、再度ガラス充填専用の治具に取り付
け、ガラス充填加工を行なっている。さらに、ガラス充
填後の各加工工程においては、各ヘッドコアブロックを
その工程専用の治具に取り付け、位置決めを行ない、加
工後は治具から取り外すことが必要となるため、かかる
製造工程はきわめて効率が悪い。

そこで、第８図に示すような、ＡＴヘッド用の複数（こ
の図では６本）の棒状ヘッドコアブロック２１をアジマ
ス角に対応した角度で斜めにして互いに平行に配列する
とともに、各ヘッドコアブロック２１の両端部を、ガラ
ス充填温度に耐えうる接着手段で接着基板２２に接着す
る技術（以下、マルチブロック接着という）を用いるこ
とが提案されている。この基板２２は、機械加工により
表面、縁部等を高精度に仕上げて、製造誤差を少なくす
るようにしている。図中、符号Ａは基板２２の上下端縁
２３に平行な方向であって、トラック加工（ＡＴ加工）
、摺動面加工及びスライス加工の方向を示している。こ
の時端縁２３のいずれか一方をダイサー加工の基準とす
る。ヘッドコアブロック２１は、この入方向に対してア
ジマス角に対応した角度で斜めに配設されており、該ブ
ロック２１の取付方向Ｂは、Ｒ研摩加工の方向でもある
。このＢ方向と、Ａ方向に直交する方向とのなす角θは
アジマス角である。なお、互いに隣接するヘッドコアブ
ロック２１間には、所定の間隔Ｃが保持されている。こ
の間隔Ｃは、グイサーによる加工において、カットライ
ンの曲がりがなく、また切削液の供給に支障がないよう
な必要最小限の寸法が好ましく、このようにすれば、グ
イサーで空間を切る無駄時間を最小にできる。しかして
、第８図のように、基板２２に対して各ヘッドコアブロ
ック２１相互の位置関係を各加工工程を考慮して厳密に
決めておくことにより、各工程ともグイサーによる自動
加工が可能となる。かかる製造方法においては、各ヘッ
ドコアブロック２１の両端を、無機接着剤又は溶接等の
手段により１枚の基板２２上に接着してガラス充填温度
にも耐えうるようにしている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、第８図に示したような従来の磁気ヘッド
製造用の接着基板２２によりトラック加工からスライス
加工までの加工を行なう場合、ヘッドコアブロック２１
と、基板２２と、無機接着剤（又は溶着手段）との相互
の熱膨張係数αに差があるときは、特にガラス充填加工
工程等で加熱されると熱応力により接着部分が割れたり
はがれたりして接着の信頼性が低下してしまう。溶接に
より接着した場合には、熱応力が大きいとガラス充填工
程において、溶接部分又はヘッドコアブロック２１にク
ラックが発生することがあった。また、長いヘッドコア
ブロック２１の場合には、その長さに比例して熱膨脹に
よる伸びも大きくなるため接着部分の熱応力も大きくな
り、ヘッドコアブロック２１や基板２２等の熱膨張係数
αをさらに厳密に合わせなければならない。しかし、そ
れぞれの熱膨張係数αをぴったりと合わせることは現実
的には非常に困難である。基板２２をヘッドコアブロッ
ク２１と同一の材質にすれば熱膨張係数αは合致するが
、例えばセンダストの場合、基板２２が極めて高価とな
り加工も難しい。

また、基板２２を機械加工により高精度に仕上げるのは
手間がかかり、基板２２も高価なものになってしまい、
−度使用したものを再利用してコストを下げることを考
えねばならないが、再び高精度に仕上げ直すためにはや
はり手間がかかつてしまう。

本発明は、かかる課題を解決するためになされたもので
、ヘッドコアブロックを接着した接着部の信頼性を向上
でき、しかも製作が容易かつ安価であり、寸法精度が良
好な磁気ヘッド製造用の接着基板を得ることを目的とす
る。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る磁気ヘッド製造用の接着基板は、アジマス
角に対応した角度で斜めに平行に配列された複数のヘッ
ドコアブロックの各両端側が接着され、少なくとも上記
ヘッドコアブロックの配置部では分離され、さらに、エ
ツチング加工等により薄板に形成されたものである。

〔作用〕

本発明においては、接着基板を、少くともヘッドコアブ
ロックの配置部では接着部分両端において分離した構造
とし、かつエツチングによる加工が容易な厚さとするこ
とにより、加熱処理するガラス充填加工の際、ヘッドコ
アブロックと基板との熱膨張係数差による熱応力が接着
部分にかかつても、接着部分における基板の剛性がヘッ
ドコアブロックの剛性よりも大幅に低いため、接着部分
における微小な基板の変形により該熱応力は吸収される
。

〔実施例〕

以下、第１図〜第４図に基づいて本発明の第１実施例を
説明する。なお、第１図〜第９図中同一符号は同−又は
相当部分を示す。第１図（ａ）〜（ｆ）は、本実施例に
おける、マルチブロック接着用の接着基板を用いた磁気
ヘッドの製造方法を順に示す平面図であり、まず、基板
３１．３２に対して、ギャップ形成後の６本のヘッドコ
アブロック２１をアジマス角に対応した角度で斜めにし
かも互いに平行に配列しく同図（ａ））　、次いで、各
ヘッドコアブロック２１の両端部３３．３４を、無機接
着剤３５によりそれぞれ基板３１．３２に接着を行ない
（同図（ｂ））　、これによりマルチブロック接着が完
了し、これは次のトラック加工工程に送られる。トラッ
ク加工工程では、第４図中のＡ方向に従ってヘッドコア
ブロック２１の表面に複数のトラック溝を形成するトラ
ック加工が行なわれ（第１図（Ｃ））　、次いで、ガラ
ス充填加工工程でガラス充填温度（約７３０℃）まで加
熱されて、トラック溝にガラスが充填され（同図（ｄ）
）　、次いで、ガラス充填後のヘッドコアブロック２１
のテープ摺動面上の余分なガラスを取り除くと同時に曲
面形状を形成するために、Ｂ方向にＲ研摩加工が行なわ
れ（同図（ｅ））　、次いで、研摩されたテープ摺動面
に、Ａ方向に摺動面加工が施され（同図（ｆ））、次い
で、スライス工程（図示せず）でヘッドコアブロック２
１を、トラック溝に平行な入方向にスライスして、第６
図（ａ）、（ｂ）に示すようなヘッドチップを形成して
いる。第２図は、ヘッドコアブロック２１が順に加工さ
れていく様子を示した斜視図で、トラック加工Ｃ１ガラ
ス充填ｄ、Ｒ研摩ｅ１摺動面加工ｆ１スライス加工ｇの
各工程を経てヘッドチップ４１が製造される。

第３図に示すように、基板３１．３２上にヘッドコアブ
ロック２１を互いに平行にするとともに、端部３３．３
４をそれぞれ列状に整えて配列し、次に、第４図に示す
ように、各ヘッドコアブロック２１の両端部３３．３４
を、ガラス充填温度に耐えつるように無機接着剤３５又
は溶接等の手段により、基板３１．３２に接着し、その
後トラック加工等を行なう。上述のように接着固定部を
ヘッドコアブロック２１の両端部としたのは、ヘッドコ
アブロック２１の接着部以外の有効部分を長くして該ブ
ロック２１の有効利用を図るためであり、また、基板３
１．３２と各ヘッドコアブロック２１とを規則的に位置
決めして加工条件を安定化するためである。

次に、本発明の接着基板を用いた接着構造の例について
説明する。第４図において、ヘッドコアブロック２１は
、例えば長さ１５ｍｍと１７ｍｍの一対のセンダスレ製
のファ半休を溶着したものであり、その熱膨張係数αは
１３０　Ｘ　１０　”７／℃である。この時基板３１．
３２　（例えば厚さｔ＝０、ｉｎｍ）をエツチングで加
工した５ＵＳ３０４製（熱膨張係数α＝１７０ｘｌＯ−
７／℃）とし、無機接着剤として熱膨張係数αが約１３
０ｘ　１０−７／℃のアルミナ・シリカ系のものを用い
た場合、接着基板が基板３１と基板３２とに分離した構
造であるため、ヘッドコアブロック、接着基板、接着剤
の３者の相互作用はヘッドコアブロック両端部分の接着
部分に限定される。そのため、ガラス充填工程の温度条
件下でのヘッドコアブロックと接着基板の伸びの差を考
慮する必要がなく、ヘッドコアブロックの両端がそれぞ
れしっかりと接着されており、かつ、その接着がガラス
充填工程の温度条件に耐えれば、ヘッドコアブロックの
長さは任意の長さのものでよい。

さらに、この接着基板は厚さがｔ＝ｏ、ｉｍｍの５ＵＳ
３０４の薄板であるため、接着による応力やガラス充填
加工の際の熱応力が接着部分にかかっても、接着基板の
剛性がヘッドコアブロックの剛性よりも大幅に低いため
、接着部分における微小な基板変形により上記の応力を
緩和するごとができる。このため、接着部分の劣化が少
なく、接着の信頼性が大幅に向上する。

また、この接着基板はｔ＝０．１ｍｍの５ＵＳ３０４の
薄板をフォトリソグラフィー及びエツチングによる打ち
抜き加工を行なって作製したものであるため、基板材料
として厚さ精度の良好な薄板を用いれば、−枚の薄板か
ら寸法精度が良好な接着基板を同時に多数得ることがで
き、コスト的にも機械加工によって作製したものと比べ
ると、はるかに安価な基板とするごとができ、使い捨て
にすることも可能となり、使用後の基板を再生する等の
手間がかからない。上記の厚さ精度の良好な薄板として
は、圧延材の規格品を用いればよい。

ここで、−上記接着構造に関わる実験例について説明す
る。

まず、最初に、本発明の場合のように接着基板を分離型
の構造とした場合と、第８図のようにそうでない場合（
基板が一体型構造の場合）に付いて、基板材料を５ＵＳ
３０４　（ｔ、＝０．１、熱膨張係数α＝１７０ｘｌＯ
’／’Ｃ）としたときの、ガラス充填工程前後のヘッド
コアブロックの接着強度の変化を比較した結果を表１（
ａ）、（ｂ）に示す。

表 １ （ａ） →接着後に対するガラス充填後の 接着強度平均の低下率冨約２６％ 表 （ｂ） →接着後に対するガラス充填後の 接着強度平均の低下率寓約７９％ これより、接着基板を分離型の構造とすることにより、
ガラス充填温度（７３０℃）まで加熱したことによる接
着強度の低下を抑えることができることが分かる。

また、第４図のように分離型接着基板にマルチブロック
接着を行なった複数のヘッドコアブロックに対して、ト
ラック加工から摺動面加工までの各加工を主としてダイ
シングマシンを用いて行なったが、第９図（ａ）に示す
ように、各ヘッドコアブロックに形成した複数のトラッ
ク全てに対して問題なく摺動面加工を行なうことが出来
た。つまり、ガラス充填温度（７３０℃）まで加熱後も
、最初に接着を行なったときのヘッドコアブロック相互
の位置関係を保持していることが分かる。

もしも、加熱によってヘッドコアブロック相互の位置関
係がずれていれば摺動面加工は第９図（ｂ）のように各
ヘッドコアブロック間でばらつきを生じるはずである。

図中、Ｇ７は°ガラス部を、Ｇ　はギャップを、Ｇ　は
摺動面加工溝を、Ｗｌ、ｒ Ｗ２は摺動面におけるガラス部分の幅寸法を、それぞれ
示している。なお、第９ｆｌ！Ｑ　（ａ）は、Ｗｌ＝ｗ
２で、トラック加工時のヘッドコアブロック相互の位置
関係が摺動面加工時も保持されている場合を示しており
、第９図（ｂ）は、Ｗ−１！−Ｗ２で、トラック加工時
のヘッドコアブロック相互の位置関係が摺動面加工時に
保持されていない場合を示している。

次に、第４図のように分離型の接着基板を用いた場合に
おいて、基板材料を５ＵＳ３０４とし、接着基板の厚さ
を種々に変化させた場合の、ガラス充填（７３０℃）前
後のヘッドコアブロックの接着強度の測定結果を表２に
示す。また、それぞれの場合について接着部分における
基板裏面の変形（ヘッドコアブロックが接着されている
面に対して裏面の変形）の測定結果を表３に示す。

→試料数はいずれも６ブロツク。

→基板はいずれの厚さのものもエツチング加工により作
製した。

表　　３ →基板裏面の変形はこの場合、すべて凸形状となった。

これより、同じ分離型の接着構造でも、接着基板厚さが
薄くなるほどガラス充填後の接着強度が増加すると共に
、基板裏面の変形量も増加する傾向にあることが分かる
。これに対して、厚さがｔ＝０．３ｍｍの基板の場合は
、接着強度の低下が大きく信頼性に欠ける。また、接着
後については接着強度の差はさほど無いものの、基板裏
面の変形量は接着基板が薄いほど大きくなる傾向にある
ことが分かる。

これは、ガラス充填後の接着部分における接着剤と基板
の伸びの差ΔＬによる熱応力が基板をクリープ変形させ
る力として作用すると共に、基板の剛性は厚さの３乗に
比例して増加することから、薄い基板はどクリープ変形
によって基板裏面が変形して熱応力を緩和する効果が大
きく、結局、接着強度もその分保持され易いことによる
。

また、接着後の接着剤の収縮による応力を緩和する効果
も、ガラス充填時の熱応力の緩和はど顕著でないものの
上記と同様である。

つまり、この実験例における接着部分の直径（無機接着
剤を塗布した部分の直径）は約２ｍｍであり、これを室
温（２０℃）からガラス充填温度（７３０℃）まで昇温
したとき、接着部分における接着剤（熱膨脹係数α＝１
３０Ｘ１０−７／”Ｃ）及び接着基板（ＳＵＳ３０４、
熱膨脹係数α＝１７０　Ｘ　１０’／’Ｃ）の伸びの差
ΔＬはΔＬ＝　（１７０−１３０）ｘｌｏ’ｘ（７３０
−２０）Ｘ２０００＝約５．７μｍとなるが、基板が薄
い方がこのΔＬによる熱応力を緩和する効果が大きいこ
とになる。この場合、接着剤とヘッドコアブロックの熱
膨脹係数はほぼ同じであり、これらの伸びの差は小さく
、従ってガラス充填時の熱応力も小さい。

ここでは、基板材質を５ＵＳ３０４とした場合について
述べたが、上記のような応力を緩和する効果は、言いか
えれば、基板材質が５ＵＳ３０４である時、基板厚さが
厚いときには、主としてガラス充填の際に接着部分にか
かる熱応力のために接着部分が劣化して信頼性に問題が
あり実用にはならないものが、基板厚さを薄くすること
によって基板剛性を下げることで、例えば厚さがｔ＝０
．１ｍｍの場合は第９図（ａ）に示したように、接着強
度、接着精度ともダイシングマシンによるヘッドコアブ
ロックへの加工に対して十分耐えることができ、信頼性
の高い基板として使用できるものとする効果があるとい
うことである。

つまり、厚い接着基板の場合にはその熱膨脹係数を接着
剤やヘッドコアブロックの熱膨脹係数になるべく近くし
て、主としてガラス充填の際に接着部分にかかる熱応力
を抑える必要があるが、接着基板を薄くしてその剛性を
下げることで先に述べた熱応力を緩和できるので、接着
基板が厚い先の場合に対して、接着剤やヘッドコアブロ
ックに対する接着の熱膨脹係数の選択の幅が広がる。

しかし、接着基板の実用上の取扱に関しては、厚さが極
端に薄いものの場合には接着基板が外力によって変形し
易いために扱いにくくなるため、ガラス充填温度に対し
ても接着強度、接着精度が実用的に保持される範囲内で
、実用的な厚さの接着基板とすることが望ましい。例え
ば本発明の実施例における、厚さｔ＝０．１ｍｍの５Ｕ
Ｓ３０４基板の場合は、望ましい場合といえる。

また、接着基板の熱膨脹係数を、上記実施例における５
ＵＳ３０４の場合よりも接着剤やヘッドコアブロックに
近くすれば、更に厚い接着基板とすることも可能である
が、厚さが１ｍｍを越えてくるとエツチングによる加工
性が悪くなると共に、基板材料の剛性が高くなるので基
板材料にそりがあった場合などヘッドコアブロック接着
後に修正することが困難となり望ましくない。これに対
して接着基板の厚さを１ｍｍ以下の厚さで、かつ実用上
問題が無い範囲で薄いものとすることにより、エツチン
グによる加工が容易にでき、接着基板を安価なものとす
ることが出来ると共に、基板材料に多少のそりがあった
場合でも、ヘッドコアブロック接着後に上面から加圧す
るなどして容易に修正が行なえる。

従って、本第１実施例は、基板をヘッドコアブロック２
１の接着部分両端において基板３１．３２を分離した構
造とし、さらに基板を薄くすることでその剛性を下げた
ため、ガラス充填温度における基板と接着剤、ヘッドコ
アブロックの熱膨脹係数差による相互作用はヘッドコア
ブロック両端のそれぞれの接着部分に限定されるととも
に、熱応力の緩和もなされているため、接着剤、ヘッド
コアブロックに対する基板の熱膨脹係数の間に′実用上
問題無い範囲で差があっても構わないことになり、接着
部分の信頼性が向上すると共に、基板材料に選択の幅も
広げることができる効果がある。また、基板はフォトリ
ソグラフィー及びエツチングによる加工が可能となるの
で、高精度で均一な基板を安価に得ることが出来る。

また、上述のように基板が分離されているので、ヘッド
コアブロックの長さが長くなってもガラス充填温度にお
いて接着部分にかかる熱応力は変わらず、そのため、ヘ
ッドコアブロック２１と基板材料の熱膨脹係数差がある
場合でもヘッドコアブロック２１の長さは任意に選択で
きる。

第７図は、本発明の第２実施例を示す平面図であり、図
示するように、ヘッドコアブロック２１の配置部では、
接着基板１３０は、基板１３１と１３２とに分離され、
各基板１３１，１３２の左右両端部には、基板１３１．
１３２と同一の材質および厚さの、細い接続部材１４０
．１４１が配設され、これにより両基板１３１．１３２
が一体的に接続されている。また、基板１３０は、エツ
チング加工により１ｍｍ以下の厚みに形成されている。

したがって、本実施例は上記第１実施例と同様の効果を
奏する。また、基板１３０が接続部材１４０．１４１を
介して一体化しているため、ヘッドコアブロック２１を
基板１３１．１３２間にセツティングする作業が容易に
なる。さらに、基板１３０は開口部１５０を形成して基
板全体の剛性を大幅に低くしているため、基板１３１．
１３２とヘッドコアブロック２１との接着部分に熱応力
がかかっても、接続部材１４０，１４１が変形すること
により、この熱応力を吸収することとなり、接着部分が
破壊することはない。

以上説明したように、本発明の接着基板によれば、トラ
ック加工前に基板上にヘッドコアブロックを位置決め固
定するだけで、複数のヘッドコアブロックに対してスラ
イスまでの一連の加工を信頼性良く行なうことができ、
工程の大幅な簡略化が可能となる。また、エツチング加
工により高精度でしかも均一な接着基板が容易に、かつ
安価に得られる。また、接着の信頼性が向上するととも
に、基板材料の選択の幅を広げることができる。

なお、ヘッドコアブロック、接着剤、基板の材質に関し
ては、ガラス充填後も接着強度、接着精度が実用上問題
無い範囲に保持されれば、実施例の場合に限定されない
。また、接着基板の加工に関しては、打ち抜き加工によ
る方法でもよい。

第１の実施例におけるヘッドの加工方法において、Ｒ研
摩加工に関しては、グイサーによるか、または平研摩で
デプスを追い込んでおいてスライス後にテープラップで
Ｒ形状を付けるか、または、スライス後にテープラップ
のみでＲ形状を付けてもよい。また、スライス加工はワ
イヤソーを用いてもよい。

また、ヘッドコアブロックの接着部は両端部以外でもよ
い。すなわち、該ブロックの一方端側を一方の基板に、
他方端側を他方の基板に、それぞれガラス充填温度に耐
えうるように接着してあればよい。

〔発明の効果〕

本発明は、以上説明した通り、接着基板をヘッドコアブ
ロックの接着部分両端において分離した構造とし、さら
に基板を薄くすることでその剛性を下げたため、ガラス
充填温度における基板と接着剤、ヘッドコアブロックの
熱膨脹係数差による相互作用はヘッドコアブロック両端
のそれぞれの接着基板に限定されるとともに、熱応力の
緩和もなされるため、接着剤、ヘッドコアブロックに対
する基板の熱膨脹係数の間に実用上問題無い範囲で差が
あっても構わないことになり、接着部分の信頼性が向上
すると共に、基板材料の選択の幅も広げることができる
効果がある。また、基板は薄板であるため、厚さ精度の
良好な圧延材の規格品を基板材料とすることができ、か
つ、フォトリソグラフィー及びエツチング等による加工
が可能となるので、高精度で均一な基板を安価に得るこ
とが出来る。さらに、基板材料に多少のそりがあった場
合でも、ヘッドコアブロック上面から加圧するなどして
容易に修正が行なえる。

また、上述のように基板が分離されているので、ヘッド
コアブロックの長さが長くなってもガラス充填温度にお
いて接着部分にかかる熱応力は変わらず、そのため、ヘ
ッドコアブロックと基板材料の熱膨脹係数差がある場合
でもヘッドコアブロックの長さは任意に選択できる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図は本発明の第１実施例を示す図で、第１
図（ａ）〜（ｆ）はそれぞれ製造工程の順序を示す平面
図、第２図はヘッドコアブロックが加工される状態を示
す斜視図、第３図はヘッドコアブロックを基板に接着す
る前の状態を示す平面図、第４！！ｌは同じく接着後の
状態を示す平面図、第５図（ａ）、（ｂ）は、それぞれ
従来のバルク型ヘッドの平面図と正面図、第６図（ａ）
、（ｂ）は、それぞれ本発明により製造されたＡＴヘッ
ドの平面図と正面図、第７図は本発明の第２実施例を示
す平面図、第８図は従来技術を示す平面図、第９図（ａ
）、（ｂ）はヘッドコアブロックに摺動面加工を行なっ
たあとの状態を示す平面図である。 ２１・・・ヘッドコアブロック、 ３１．３２．１３０・・・接着基板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 複数のヘッドコアブロックを、互いに平行に配列すると
   ともに、各ヘッドコアブロックの両端側がガラス充填温
   度に耐えうるように接着され、少なくともヘッドコアブ
   ロックの配置部では分離され、さらに、エッチング加工
   等により薄板に形成されたことを特徴とする磁気ヘッド
   製造用の接着基板。