JPH0392355U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0392355U JPH0392355U JP114890U JP114890U JPH0392355U JP H0392355 U JPH0392355 U JP H0392355U JP 114890 U JP114890 U JP 114890U JP 114890 U JP114890 U JP 114890U JP H0392355 U JPH0392355 U JP H0392355U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- port
- opening
- electron beam
- screen
- light shielding
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002128 reflection high energy electron diffraction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案の実施例を組み込んだＲＨＥ
ＥＤ観察装置の断面図、第２図は同じく実施例の
遮光板の正面図である。 １……ＲＨＥＥＤ電子銃、２……基板、３……
基板加熱具、４……スクリーン、５……遮光板、
６……ポート、７……開口部。
ＥＤ観察装置の断面図、第２図は同じく実施例の
遮光板の正面図である。 １……ＲＨＥＥＤ電子銃、２……基板、３……
基板加熱具、４……スクリーン、５……遮光板、
６……ポート、７……開口部。
Claims (1)
- 回析電子線を受光する為のポートの奥部にスク
リーンが、ポートの開口部に向けて設置してある
と共に、前記ポートの開口部に中央部を開口した
遮光板が設置してあることを特徴とした高速電子
線回析装置用スクリーン装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP114890U JPH0392355U (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP114890U JPH0392355U (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0392355U true JPH0392355U (ja) | 1991-09-19 |
Family
ID=31505067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP114890U Pending JPH0392355U (ja) | 1990-01-10 | 1990-01-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0392355U (ja) |
-
1990
- 1990-01-10 JP JP114890U patent/JPH0392355U/ja active Pending