JPH0394753U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0394753U JPH0394753U JP213290U JP213290U JPH0394753U JP H0394753 U JPH0394753 U JP H0394753U JP 213290 U JP213290 U JP 213290U JP 213290 U JP213290 U JP 213290U JP H0394753 U JPH0394753 U JP H0394753U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arc chamber
- anode
- magnetic field
- cover plate
- cusp magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例に係るイオン源の中央
縦断面図。第２図は第１図中の−断面図。 １……アークチヤンバ、２……永久磁石、３…
…プラズマ電極、４……内張り、５……カソード
フイラメント、６……アノードフイラメント、７
……カソードフイラメント電源、８……アノード
フイラメント電源、９……アーク電源、１０……
円筒部、１１……蓋板、１２，１３……フランジ
、２１，２２……導入端子、２３……ガス導入口
。
縦断面図。第２図は第１図中の−断面図。 １……アークチヤンバ、２……永久磁石、３…
…プラズマ電極、４……内張り、５……カソード
フイラメント、６……アノードフイラメント、７
……カソードフイラメント電源、８……アノード
フイラメント電源、９……アーク電源、１０……
円筒部、１１……蓋板、１２，１３……フランジ
、２１，２２……導入端子、２３……ガス導入口
。
Claims (1)
- 筒部と蓋板とよりなる容器で真空に引くことが
でき、アノードとなるアークチヤンバと、アーク
チヤンバの蓋板の反対側に設けられイオンを引き
出すためのプラズマ電極と、アークチヤンバの外
周に極性が交互に異なるように設けられアークチ
ヤンバ内部にカスプ磁場を生ずる複数の磁石と、
蓋板からアークチヤンバの内部に挿入されたカソ
ードフイラメントと、アークチヤンバと同じ電位
であつてアークチヤンバ内を加熱するための蓋板
からアークチヤンバ内部のカスプ磁場の存在する
部分へ挿入されたアノードフイラメントより構成
される事を特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP213290U JPH0720838Y2 (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP213290U JPH0720838Y2 (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | イオン源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0394753U true JPH0394753U (ja) | 1991-09-26 |
| JPH0720838Y2 JPH0720838Y2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=31506012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP213290U Expired - Lifetime JPH0720838Y2 (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0720838Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-11 JP JP213290U patent/JPH0720838Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0720838Y2 (ja) | 1995-05-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |