JPH039542A - タブテープボンデイング装置 - Google Patents

タブテープボンデイング装置

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JPH039542A
JPH039542A JP1143041A JP14304189A JPH039542A JP H039542 A JPH039542 A JP H039542A JP 1143041 A JP1143041 A JP 1143041A JP 14304189 A JP14304189 A JP 14304189A JP H039542 A JPH039542 A JP H039542A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はタブテープに半導体チップ又は単体のバンプを
ボンディングするタブテープボンディング装置に関する
。
［従来の技術］ 従来のタブテープボンディング装置として、例えば特開
昭５７−１２５２９号公報（以下公知例１という）、特
開昭５４−１１６８７５号公報（以下公知例２という）
及び特開昭６３−１６６２３８号公報（以下公知例３と
いう）等に示すものが知られている。
公知例１及び２は、タブテープが巻回された供給リール
を有するローダ部と、ボンディングが終了したタブテー
プを巻取る巻取リリールを有するアンローダ部と、前記
ローダ部と前記アンローダ部間に配設され、タブテープ
に半導体チップをボンディングするボンディング装置と
、前記供給リールに巻回されたタブテープを前記ボンデ
ィング装置及び前記巻取リリールに一定ピッチで間欠的
に送るテープ送り手段とを備えている。ここで、前記テ
ープ送り手段は、タブテープに設けられたパーフォレー
ションにスプロケットホイールの歯が係合して送るスプ
ロケットホイール駆動手段となっている。
公知例３は、アンローダ部がマガジン装置よりなるので
、ボンディングが終了したタブテープを一定寸法の短冊
状に切断するために、スプロケットホイール駆動手段と
マガジン装置間にタブテープを切断するカッター装置を
有し、更にこの切断されて短冊状となったタブテープを
マガジン装置側に送るためのテープ送り手段としてロー
ラ駆動手段を備えている。
従って、上記従来技術によれば、供給リールに巻かれた
タブテープはスプロケットホイール駆動手段でボンディ
ング装置のボンディング位置に一定ピッチづつ送られ、
半導体チップがボンディングされる０次に公知例１及び
２の場合には、ボンディングが終了したタブテープはス
プロケットホイール駆動手段によって送られて巻取りリ
ールに巻かれる。公知例３の場合には、ボンディングが
終了してスプロケットホイール駆動手段で送られてきた
タブテープは、カッター装置で短冊状に切断され、この
短冊状のタブテープはローラ駆動手段で送られてマガジ
ンに収納される。
［発明が解決しようとする問題点］ 上記従来技術は、タブテープをスプロケットホイール駆
動手段で送るので、タブテープに形成されているパーフ
ォレーションのピッチ、形状及びタブテープの幅の違い
等、即ち使用するタブテープの種類によりスプロケット
ホイールを交換しなければならないという問題があった
。
またスプロケットホイールによって強制的に送るので、
スプロケットホイールの歯によってパーフォレーション
に傷が付くと共に、スプロケットホイールの歯とパーフ
ォレーション穴とのがたでタブテープの停止する位置に
ばらつきが生じ、タブテープの位置決め精度が悪いとい
う問題があった。
本発明の目的は、タブテープの種類が異なっても部品を
交換する必要がなく、またタブテープの位置決め精度が
向上するタブテープボンディング装置を提供することに
ある。
［問題点を解決するための手段］ 上記目的は、供給リールに巻かれて供給されたタブテー
プに半導体チップ等をボンディングするボンディング装
置と、このボンディング装置にタブテープを送る第１の
ローラ駆動手段と、この第１のローラ駆動手段で送られ
たタブテープに設けられた穴を検出する検出手段と、こ
の検出手段の検出結果によって前記第１のローラ駆動手
段を制御する制御装置とを有する構成により達成される
。
またアンローダ部がマガジン装置の場合には、上記構成
に更にカッター装置とマガジン装置との間に第２のけ−
ラ駆動手段を配設すればよい。
し作用］ 供給リールに巻かれた長尺状のタブテープは。
Ｍｌのローラ駆動手段によってボンディング装置のボン
ディング位置に送られる。このローラ駆動手段でタブテ
ープが送られると、タブテープに設けられた穴が検出手
段で検出される。そこで、予めタブテープの送り量を制
御装置にプログラムによって設定しておくことにより、
検出手段によって検出したパーフォレーションの数が設
定個数になると、制御装置によってタブテープの送りが
停止し、ボンディング位置が定まる。そこで、ボンディ
ング装置で半導体チップがボンディングされる。その後
アンローダ部が巻取リリールの場合には、巻取りリール
に巻取られる。アンローダ部がマガジン装置の場合には
、カッター装置で一定の寸法に切断され、この切断され
た短冊状のタブテープは第２のローラ駆動手段で搬送さ
れマガジンに収納される。
このように、タブテープはローラ駆動手段で送られるの
で、タブテープのパーフォレーションのピッチ及び形状
が変っても、ローラ駆動手段によるタブテープの送り量
を制御するのみでよい、またタブテープの幅が変った場
合には、ローラ駆動手段の送りローラの間隔を変えるの
みでよい。
またアンローダ部がマガジン装置の場合は、第２のロー
ラ駆動手段の周速を第１のローラ駆動手段の周速より大
きくすることにより、カッター装置の部分に位置するタ
ブテープは一定のテンションで張られるので、タブテー
プの蛇行及びジャムが防止される。
またローラ駆動手段の送りローラと該送りローラの駆動
源とをワンウェイクラッチで連結することにより、タブ
テープに対するテンションが均一化され、タブテープの
送り精度が向上する。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図に示すように、タブテープ１は保護テープ２と共
に供給リール３に巻かれており、タブテープ１はガイド
ローラ４、テンションローラ５、ガイドローラ６を介し
てボンディング装置１０のボンディング部１１に導かれ
、前記保護テープ２は保護テープリール７に巻き取られ
る。
ボンディング部１１の両側にはタブテープ１を案内する
ガイドローラ１２．１３が設けられている。ボンディン
グ装置１０は、ボンディング部ｌｌの下方に配設された
ＸＹ上下移動装置ｉ１４とボンディング部１１の上方に
配設されたボンディングツール１５とからなる。ＸＹ上
下移動装Ｒ１４は、ＸＹ力方向び上下方向に移動可能で
あり、上面には半導体チップ１６が分離接着されたチッ
プ！置台１７が位置決めｌ！置されている。またボンデ
ィングツール１５は、上下動することにより半導体チッ
プ１６とタブテープ１のインナーリードとをボンディン
グする。
前記ボンディング部１１を通ったタブテープ１は、直線
状にカッター装置２０を経てマガジン装置２１に導かれ
るようになっている。マガジン装Ｍ２１の入口側にはブ
ツシャ手段２２が設けられている。ブツシャ手段２２は
、装置の固定部に回転自在に設けられたブツシャ２３を
有し、このブツシャ２３は、タブテープ１の送り方向に
伸びている。また装置の固定部にはモータ２４が固定さ
れており、このモータ２４の出力軸には円板２５が固定
されている１円板２５にはブツシャ２３の水平に伸びた
作動レバ一部２３ａに作用するカムフォロア２６が固定
されている。
以上は従来公知の装置と同じであるので、これ以上の説
明は省略する。
前記ボンディング装置１０とカッター装置２０と間及び
前記カッター装置２０と前記マガジン装置２１との間に
はローラ駆動手段３０．３１．３２が配設されている。
ローラ駆動手段３０〜３２は、同じ構成よりなるので、
以下、ローラ駆動手段３０について説明する。ただし、
ローラ駆動手段３１．３２に言及する場合には、同−又
は相当部材には、番号の後に符号Ａ、Ｂを付して区別す
る。
ローラ駆動手段３０は、第２図に示すような構成よりな
っている。即ち、タブテープ１の上方には、装置の固定
部に支軸３３を中心として揺動自在に設けられたコ字状
のローラ支持ブロック３４が配設されており、このロー
ラ支持ブロック３４にはローラ軸３５が回転自在に支承
されている。
ローラ軸３５には、ローラ支持ブロック３４の内側に配
設された２個の上側送すローラ３６と、ローラ支持ブロ
ック３４の外側に配設されたギア３７とが固定されてい
る。ギア３７にはギア３８が噛合しており、ギア３８は
ワンウェイクラッチ３９を介して駆動軸４０の一端に取
付けられている。駆動軸４０は装置の固定部に軸受４１
を介して回転自在に支承されており、他端にはプーリ４
２が固定されている。
前記ローラ軸３５の下方には該ローラ軸３５と平行にロ
ーラ軸４５が配設され、ローラ軸４５は装置の固定部に
軸受４６及びローラ支持板４７に回転自在に支承されて
いる。ローラ軸４５には、前記上側送りローラ３６に対
応し、かつタブテプ１の下面に接触する位置に下側送す
ローラ４８がワンウェイクラッチ４９を介して取付けら
れている。またローラ軸４５にはプーリ５０．５１が固
定されており、プーリ５０と前記プーリ４２とにはタイ
ミングベルト５２が掛は渡されている。
第１図に示すように、ローラ駆動手段３０のプーリ５１
とローラ駆動手段３１のプーリ５１Ａにはタイミングベ
ルト５３が掛けられ、またローラ駆動手段３１のローラ
軸４５Ａにはモータ５４が連結されている。またローラ
駆動手段３２のローラ軸４５Ｂにもモータ５５が連結さ
れている。また上側送りローラ３６Ａ及び下側送りロー
ラ４８Ａはそれぞれ上側送りローラ３６及び下側送りロ
ーラ４８の外径より小さく、更に上側送りローラ３６Ｂ
及び下側送りローラ４８Ｂはそれぞれ上側送りローラ３
６Ａ及び下側送りローラ４８Ａの外径より小さく形成さ
れている。
従って、モータ５４．５５が駆動すると、ローラ軸４５
Ａ、４５Ｂが時計方向に回転し、下側送りローラ４８Ａ
、４５Ｂも時計方向に回転する。
またプーリ５１Ａ、タイミングベルト５３．プリ５１を
介してローラ軸４５も時計方向に回転するので、下側送
りローラ４８も時計方向に回転する。前記のようにロー
ラ軸４５．４５Ａ、４５Ｂが時計方向に回転すると、プ
ーリ５０，５ＯＡ、５０Ｂ、タイミングベルト５２．５
２Ａ、５２Ｂ、プーリ４２．４２Ａ、４２Ｂを介して駆
動軸４０．４ＯＡ、４０Ｂ及びギア３８．３８Ａ、３８
Ｂが時計方向に回転する。これにより、ギア３７．３７
Ａ、３７Ｂ、ローラ軸３５．３５Ａ、３５Ｂを介して上
側送すローラ３６，３６Ａ、３６Ｂが反時計方向に回転
する。
このようにギア３８．３８Ａ、３８Ｂは時計方向に回転
するので、ローラ支持ブロック３４．３４Ａ、３４Ｂを
時計方向に揺動させる。これにより、上側送すローラ３
６．３６Ａ、３６Ｂはタブテープ１を下側送すローラ４
８，４８Ａ、４８Ｂに押付けて反時計方向に回転する。
従って、タブテープ１は上側送りローラ３６と下側送す
ローラ４８．３６Ａと４８Ａ、３６Ｂと４８Ｂとに挟持
されて送られる。
またローラ駆動手段３０とカッター装Ｗ２０との間には
、タブテープ１に形成されているパーフォレーションを
検出する検出センサー６０が配設されている。またマガ
ジン装置ｉ２１の前方にはタブテープ１の通過（終端）
を検出する検出センサー６１が配設されている。
第３図に示すように、ＸＹ上下移動装置１４、ボンディ
ングツール１５、ローラ駆動手段３０〜３２、カッター
装置２０及びブツシャ手段２２は、それぞれ制御装置７
０より制御回路７１〜７６を介して駆動される。タブテ
ープ１の送り量は、制御装置７０に予めプログラムによ
って設定されており、検出センサー６０がタブテープｌ
に形成されたパーフォレーションを検出し５　これをカ
ウンタ７７によりカウントして設定個数になると、制御
装置７０の指令によってローラ駆動手段３０．３１が停
止する。またカッター装置２０の駆動は、タブテープ１
に予め設定された数だけ半導体チップ１６がボンディン
グされると、制御装置７０の指令によって作動する。ま
たブツシャ手段２２は検出センサー６１の信号による制
御装置７０からの指令によって作動する。
次に作用について説明する。供給リール３に巻かれたタ
ブテープ１は、ローラ駆動手段３０が間欠的に駆動する
ことにより一定ピッチで送られる。そして、前記したよ
うに検出センサー６０によってタブテープｌのパーフォ
レーションを検出し、カウンタ７７によるカウント数が
設定個数分になると、モータ５４が停止される。これに
より、タブテープ１のボンディング位置が定まる。
供給リール３から供給されたタブテープ１のインナーリ
ード部分がボンディング部１１に位置して位置決めされ
ると、ＸＹ上下移動装置１４が上昇、ボンディングツー
ル１５が下降してタブテープ１のインナーリードに半導
体チップ１６がボンディングされる。ボンディング後、
ＸＹ上下移動装置１４は下降し、その後ＸＹ力方向移動
して次にボンディングされる半導体チップ１６がボンデ
ィング位置へ位置合せされる。また同時にボンディング
ツール１５が上昇する。この動作の繰返しにより、順次
タブテープ１のインナーリードに半導体チップ１６がボ
ンディングされる。
このようにしてボンディングが終了したタブテープ１は
ローラ駆動手段３０により直線状のテープガイド２０を
通ってカッター装置２０及びローラ駆動手段３１．３２
に順次送られる。そして、タブテープｌに予め設定され
た数だけ半導体チップ１６が上記のようにしてボンディ
ングされると、制御装置７０より制御回路７５を介して
カッター装置２０が作動し、タブテープ１は短冊状に切
断される。
カッター装置２０によるタブテープｌの切断が終了する
と、ローラ駆動手段３０〜３２が作動し、短冊状のタブ
テープ１はマガジン装置ｉ２１の方へ送られる。
検出センサー６１が短冊状に切断されたタブテープｌの
通過を読み取ると、ブツシャ手段２２が作動し、タブテ
ープｌの後部端面を押す、これにより、タブテープ１は
マガジン装置２１のマガジン内に押し込まれる。
なお、上記実施例においては、アンローダ部がマガジン
装置２１の場合について説明したが、巻取リリールの場
合にも適用できることは勿論である。この場合には、カ
ッター装置２１、ブツシャ手段２２．ローラ駆動手段３
１．３２等は必要ないことは言うまでもない、また検出
センサー６０はローラ駆動手段３０の後方に設けたが、
前方に設けてもよい、また検出センサー６０はタブテー
プｌのパーフォレーションを検出するようにしたが、タ
ブテープ１に検出用の穴を設け、この穴を検出するよう
にしてもよい、タブテープｌに半導体チップ１６をボン
ディングする場合について説明したが、単体のバンプを
ボンディングする場合にも適用できる。
このように、タブテープ１はローラ駆動手段３０〜３２
で送られるので、タブテープｌのパーフォレーションの
ピッチ及び形状が変っても、ローラ駆動手段３０〜３２
によるタブテープｌの送り一量を制御するのみでよい、
またタブテープ１の幅が変った場合には、例えばローラ
駆動手段３０について見ると、送りローラ３６と３６の
間隔及び４８と４８の間隔を変えるのみでよい。
またアンローダ部がマガジン装置２１の場合は、第２の
ローラ駆動手段３１．３２の周速を第１のローラ駆動手
段３１の周速より大きくすることにより、カッター装置
２０の部分に位こするタブテープ１は一定のテンション
で張られるので、タブテープ１の蛇行及びジャムが防止
される。
またローラ駆動手段３０の送りローラ３６．４８と該送
りローラ３６．４８の駆動軸４０．４５とをワンウェイ
クラッチ３９．４９で連結することにより、タブテープ
１に対するテンションが均一化され、タブテープ１の送
り精度が向上する。
これは他のローラ駆動手段３１．３２についても同様で
ある。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、タブ
テープをローラ駆動手段で送り、その送り量を制御装置
で制御するので、タブテープの種類が異なっても部品を
交換する必要がなく、またタブテープの位置決め精度が
向上する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例になるタブテープボンディン
グ装置の概略構成を示す説明図、第２図は第１図のロー
ラ駆動手段の斜視図、第３図は制御回路のブロック図で
ある。 １：タブテープ、　　　　３：供給リール、ｌＯ：ボン
ディング装置、　　　１１：ポンデイング部、　　　　
１４：ＸＹ上下移動装置、１５：ボンディングツール、
　　　１６：半導体チップ、　　　　２０：カッター装
置、 ２１：マガジン装置、 ３０〜３２：ローラ駆動手段、 ３６．３６Ａ、３６Ｂ＝上側送リローラ、３９：ワンウ
ェイクラッチ、 ４８．４８Ａ、４８Ｂ：下側送りローラ、４９：ワンウ
ェイクラッチ、 ５４． ５５：モータ、 ７０：制御装置。 ６０：検出センサー 第 ２ 図 ４ｇ：’７〉クエイ７う′ソテ 第 図

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）供給リールに巻かれて供給されたタブテープに半
    導体チップ等をボンディングするボンディング装置と、
    このボンディング装置にタブテープを送る第１のローラ
    駆動手段と、この第１のローラ駆動手段で送られたタブ
    テープに設けられた穴を検出する検出手段と、この検出
    手段の検出結果によって前記第１のローラ駆動手段を制
    御する制御装置とを有することを特徴とするタブテープ
    ボンディング装置。
  2. （２）供給リールに巻かれて供給されたタブテープに半
    導体チップ等をボンディングするボンディング装置と、
    このボンディング装置でボンディングされたタブテープ
    を一定寸法に切断するカッター装置と、このカッター装
    置で切断された短冊状のタブテープを収納するマガジン
    を上下方向に駆動するマガジン装置と、前記ボンディン
    グ装置と前記カッター装置との間に配設された第１のロ
    ーラ駆動手段と、前記カッター装置と前記マガジン装置
    との間に配設された第２のローラ駆動手段と、前記第１
    のローラ駆動手段で送られたタブテープに設けられた穴
    を検出する検出手段と、この検出手段の検出結果によっ
    て前記第１のローラ駆動手段を制御する制御装置とを有
    することを特徴とするタブテープボンディング装置。
  3. （３）前記第２のローラ駆動手段の送りローラは、前記
    第１のローラ駆動手段の送りローラより大きな周速とな
    るように構成してなることを特徴とする請求項２記載の
    タブテープボンディング装置。
  4. （４）前記第２のローラ駆動手段は、複数のローラ駆動
    手段よりなり、前記カッター装置側のローラ駆動手段の
    送りローラが前記第１のローラ駆動手段の送りローラよ
    り大きな周速となるように構成してなることを特徴とす
    る請求項３記載のタブテープボンディング装置。
  5. （５）前記第１のローラ駆動手段の送りローラは、該送
    りローラの駆動源とワンウェイクラッチを介して連結さ
    れていることを特徴とする請求項１記載のタブテープボ
    ンディング装置。
  6. （６）前記第１及び第２のローラ駆動手段の送りローラ
    は、該送りローラの駆動源とワンウェイクラッチを介し
    て連結されていることを特徴とする請求項２、３又は４
    記載のタブテープボンディング装置。
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