JPH09323850A - キャリアテ−プの搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 キャリアテ−プに一定のテンションを付与で
きると共に、テンションの変動を有効に防止つつこのキ
ャリアテ−プを搬送できるキャリアテ−プ搬送装置を提
供する。 【解決手段】 キャリアテ−プ２を供給するテ−プロ−
ダ機構２５と、上記テ−プロ−ダ機構２５から供給され
た上記キャリアテ−プ２を送り駆動する駆動機構２７
と、上記テ−プロ−ダ機構２５と上記駆動機構２７との
間に配設され、上記キャリアテ−プ２の送りを制動する
ことで、このキャリアテ−プ２を上記駆動機構２７との
間に一定のテンションで張設する制動機構と、上記駆動
機構を通過したキャリアテ−プ２を順次巻き取るテ−プ
アンロ−ダ機構２８とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ＴＡＢ（Tape A
utomated Bonding）の技術を利用した半導体実装装置に
おいて、キャリアテ−プを搬送するキャリアテ−プ搬送
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の実装技術として、シネフィ
ルム状のキャリアテ−プ上に半導体素子を搭載するＴＡ
Ｂ（Tape Automated Bonding）技術がある。このＴＡＢ
技術による実装装置は、他の技術による実装装置と異な
り、いずれもキャリアテ−プを搬送するためのキャリア
テ−プ搬送機構を備えていることが特徴である。

【０００３】このようなキャリアテ−プ搬送機構を備え
るＴＡＢ技術の実装装置としては、例えば、上記キャリ
アテ−プ上に所定の回路パタ−ンを形成する露光装置、
キャリアテ−プ上の回路パタ−ンの良否を検査する外観
検査装置、キャリアテ−プのインナ−リ−ドと半導体チ
ップの電極パッドとを接続するインナ−リ−ドボンディ
ング装置、上記キャリアテ−プにインナ−リ−ドボンデ
ィングされた半導体チップの表面に封止用樹脂を塗布す
るポッティング装置、ポッティング後のキャリアテ−プ
に文字を描くマ−キング装置、アウタリ−ドをキャリア
テ−プから打ち抜いてプリント基板等の回路基板に接続
するアウタリ−ドボンディング装置等が知られている。

【０００４】これらの装置に用いられるキャリアテ−プ
搬送機構としては、従来特願昭６３−８９１０号明細書
に開示されたものがある。この明細書に開示されたキャ
リアテ−プ搬送機構の構成を、図５に示すインナ−リ−
ドボンディング装置に適用した場合を例にとって説明す
る。

【０００５】このキャリアテ−プ搬送機構は、図に示す
ように、供給リ−ル１から上記キャリアテ−プ２を順次
繰出して図に矢印で示す方向に走行させ、図にＡで示す
ボンディング位置にこのキャリアテ−プ２の所定のボン
ディング部位を一旦停止させた後、巻取リ−ル４によっ
てこのキャリアテ−プ２を順次巻き取る構成となってい
る。

【０００６】上記ボンディング位置Ａを挟むこのキャリ
アテ−プ２の送り方向上流側および下流側には、このキ
ャリアテ−プ２を送り駆動する駆動機構が設けられてい
る。この駆動機構は、下流側に設けられた駆動スプロケ
ット６と、上流側に設けられた従動スプロケット７とを
有する。

【０００７】上記駆動スプロケット６は、図に５で示す
駆動モ−タの駆動軸に固着され、この駆動モ−タ５が作
動することによって上記キャリアテ−プ２を送り駆動す
るようになっている。また、上記従動スプロケット７
は、上記キャリアテ−プ２の送りに応じて従動して回転
するようになっている。

【０００８】また、このキャリアテ−プ搬送機構は、こ
れら駆動スプロケット６および従動スプロケット７の上
流側および下流側に、それぞれ上記キャリアテ−プ２に
所定のテンションを付与する一対のテンション付与機構
９を具備する。

【０００９】このテンション付与機構９は、上記ボンデ
ィング位置Ａにおける上記キャリアテ−プ２の弛み等を
除去し、精度の良い送りを行うためのものであり、図６
に拡大して示すような構成となっている。

【００１０】このテンション付与機構９は、上下方向に
設けられたガイドレ−ル１０と、このガイドレ−ル１０
に沿って上下スライド自在に設けられたスライダ１１
と、このスライダ１１から突設された水平軸１１ａに回
転自在に設けられ巻回されたキャリアテ−プ２を下方向
へ付勢するテンションロ−ラ１２とを具備する。

【００１１】また、上記スライダ１１には、このスライ
ダ１１を上方向へ付勢するバランサ１３が取り付けられ
ている。このバランサ１３は、上記テンションロ−ラ１
２による上記キャリアテ−プ２の付勢力をこのキャリア
テ−プ２に付与するテンションに相当する大きさとする
ためのものである。

【００１２】また、このガイドレ−ル１０の側方には、
上記スライダ１１を検出する上部センサ１４と下部セン
サ１５とが設けられている。この装置は、これら上部セ
ンサ１４および下部センサ１５による上記スライダ１１
の検出に基づいて、上記供給リ−ル１を回転駆動する駆
動モ−タ１７および上記巻取リ−ル４を回転駆動する駆
動モ−タ１８を作動させ、上記キャリアテ−プ２の繰出
しおよび巻取を行うようになっている。

【００１３】これら上部センサ１４および下部センサ１
５に基づく動作を上記キャリアテ−プ２の供給側を例に
とって説明する。上記キャリアテ−プ２を送り駆動する
と、同図に矢印で示すように、上記テンションロ−ラ１
２およびスライダ１１は、上記バランサ１３の作用によ
り上記キャリアテ−プ２のテンションを一定に保ちつつ
上昇する。

【００１４】そして、上記スライダ１１が、上記上部セ
ンサ１４の高さにまで上昇した場合には、この上部セン
サ１４による検出信号に基づいて上記供給リ−ル側駆動
モ−タ１７が作動し、上記供給リ−ル１を供給方向に回
転させることによって、上記キャリアテ−プ２を繰り出
す。このことによって、上記テンションロ−ラ１２は上
記バランサ１３の作用により上記キャリアテ−プ２のテ
ンションを一定に保ちつつ下降する。

【００１５】そして、上記スライダ１１が、上記下部セ
ンサ１５の高さにまで下降した場合には、この下部セン
サ１５による検出信号に基づいて上記供給リ−ル側駆動
モ−タ１７が停止され、上記キャリアテ−プ２の繰り出
しを停止する。

【００１６】したがって、この装置は、上記スライダ１
１およびテンションロ−ラ１２の高さを上記上部センサ
１４と下部センサ１５との間で上下させることで、上記
ボンディング位置Ａにおけるキャリアテ−プ２のテンシ
ョンを略一定に保つつこのキャリアテ−プ２を順次繰り
出すようになっている。

【００１７】上記キャリアテ−プ２の巻取側において
も、これと同様に、上記上部センサ１４および下部セン
サ１５の検出信号に基づいて上記テンションロ−ラ１２
を上下させることにより、上記キャリアテ−プ２のテン
ションを一定に保ちつつ上記キャリアテ−プ２を順次巻
き取るようになっている。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年の電子
機器の薄型化、高機能化の傾向に伴い、キャリアテ−プ
２に形成される回路パタ−ンは年々微細化する傾向にあ
る。例えば、この回路パタ−ン内に形成されるインナ−
リ−ドとして、接続ピッチが５０μｍ程度のものが実用
化されつつある。

【００１９】このため、キャリアテ−プ２の搬送時のわ
ずかなテンションの変動がこのキャリアテ−プに形成さ
れたインナ−リ−ドの位置決めやこのインナ−リ−ドと
半導体素子の接合部に悪影響を与えるという新たな課題
が出てきている。

【００２０】具体的には、例えば、上記キャリアテ−プ
２に付与されるテンションが過大になった場合にキャリ
アテ−プ２が変形し、半導体チップの電極パッドとイン
ナ−リ−ドとの接続ピッチが合わなくなって位置ずれが
生じたり、インナ−リ−ドボンディング後の接合部に無
理な力が加わってこの接合部に剥がれや強度低下等の不
良が生じる等の問題がある。

【００２１】上述した従来のキャリアテ−プの搬送装置
は、テンションロ−ラ１２およびそれに取り付けられた
バランサ１３の重量の作用で上記キャリアテ−プ２に一
定のテンションを与えるものであるため、上記キャリア
テ−プ２が停止しているときには安定したテンションを
付与できるが、上記供給リ−ル１や巻取リ−ル４を作動
させた際には、上記テンションロ−ラ１２の加減速によ
って上述したようなテンションの変動が生じさせるとい
う不具合があった。

【００２２】またテンションロ−ラ１２の上下動する際
に、上記スライダ１１に設けられた軸受からの振動が上
記キャリアテ−プ２に伝達し、このキャリアテ−プ２が
振動して搬送経路に引っ掛かるといった不具合が生じる
ことがあった。

【００２３】この発明は、このような事情に鑑みて成さ
れたもので、搬送中のフィルムキャリアに対して常に一
定のテンションを付与できると共に、テンションの変動
を有効に防止できるキャリアテ−プ搬送装置を提供する
ことを目的とするものである。

【００２４】

【課題を解決するための手段】この発明の第１の手段
は、半導体素子が接続される回路パタ−ンが形成されて
なるキャリアテ−プを供給するテ−プロ−ダ機構と、上
記テ−プロ−ダ機構から供給された上記キャリアテ−プ
を送り駆動する駆動機構と、上記テ−プロ−ダ機構と上
記駆動機構との間に配設され、上記キャリアテ−プの送
りを制動することで、このキャリアテ−プを上記テ−プ
ロ−ダ機構と上記駆動機構との間に一定のテンションで
張設する制動機構と、上記駆動機構を通過したキャリア
テ−プを順次巻き取るテ−プアンロ−ダ機構とを具備す
ることを特徴とするキャリアテ−プ搬送装置である。

【００２５】第２の手段は、上記第１の手段のャリアテ
−プ搬送装置において、上記駆動機構は、上記キャリア
テ−プの幅方向両側部に設けられたスプロケットホ−ル
に噛合する駆動用スプロケットと、この駆動用スプロケ
ットを回転駆動する駆動モ−タとを具備し、上記制動機
構は、上記キャリアテ−プのスプロケットホ−ルと噛合
する制動用スプロケットと、この制動用スプロケットと
所定の摩擦力をもって制動し上記キャリアテ−プを一定
のテンションで張設するトルク制御手段とを具備するも
のであることを特徴とするものである。

【００２６】第３の手段は、上記第１の手段のキャリア
テ−プ搬送装置において、上記テ−プロ−ダ部は、キャ
リアテ−プを弛ませた状態で上記制動機構に供給し、上
記テ−プアンロ−ダ部は、上記駆動機構を通過したキャ
リアテ−プを弛ませた状態で巻き取るものであることを
特徴とするものである。

【００２７】第４の手段は、上記第１の手段のキャリア
テ−プ搬送装置において、上記テ−プロ−ダ機構とテ−
プアンロ−ダ機構との間に、上記キャリアテ−プを張設
する１組の駆動機構および制動機構を２組以上具備し、
各組の間で上記キャリアテ−プを弛ませたことを特徴と
するものである。

【００２８】第１の手段によれば、送り駆動されるキャ
リアテ−プを制動することで、このキャリアテ−プを一
定のテンションで張設した状態で搬送することができ
る。第２の手段によれば、キャリアテ−プを駆動用スプ
ロケットに噛み合わせ送り駆動すると共に、キャリアテ
−プを制動用スプロケットと噛み合わせこの制動用スプ
ロケットを制動するようにすることで、上記キャリアテ
−プに一定のテンションを付与することができる。

【００２９】第３の手段によれば、テ−プロ−ダ機構お
よびテ−プアンロ−ダ機構からの振動が張設されたキャ
リアテ−プに伝達することを防止できる。第４の手段に
よれば、このキャリアテ−プ搬送装置が、複数の実装装
置に跨がって設けられている場合でも、各装置に対応す
る位置において、上記キャリアテ−プを一定のテンショ
ンで張設駆動することができる。

【００３０】

【実施形態】以下、この発明の一実施形態を図面を参照
して説明する。なお、上記一実施形態で説明した構成要
素については同一符号を付し、その説明は省略する。図
１は、この発明のキャリアテ−プ搬送装置の全体を示す
斜視図である。このキャリアテ−プ搬送装置は、例え
ば、上記キャリアテ−プ２に半導体素子を搭載（インナ
−リ−ドボンディング）するインナ−リ−ドボンディン
グ装置に適用される。

【００３１】このインナ−リ−ドボンディング装置は、
図１および図２（ａ）の中央部にＡで示すボンディング
位置を具備する。図２（ａ）に示すように、このボンデ
ィング位置Ａには、上端面に半導体素子２０を保持する
ボンディングステ−ジ２１と、上記ボンディングステ−
ジ２１上に保持された半導体素子２０に上記キャリアテ
−プ２に形成されたインナ−リ−ドを接合するボンディ
ングツ−ル２２とが上下方向に対向して配設されてい
る。

【００３２】このキャリアテ−プ搬送装置は、図に２で
示すキャリアテ−プを搬送し、このキャリアテ−プ２の
上記インナ−リ−ドが形成された部位（図示しない）
を、上記ボンディング位置Ａに設けられた上記ボンディ
ングステ−ジ２１と上記ボンディングツ−ル２２との間
に順次停止させるようになっている。

【００３３】なお、このボンディング位置Ａには、停止
したキャリアテ−プ２を挟む一対の挟持板２３、２４
が、このキャリアテ−プ２の上下対向位置にそれぞれ配
設されている。

【００３４】次に、上記キャリアテ−プ搬送装置の構成
を、図１〜図３を参照してさらに詳しく説明する。図１
に示すように、上記キャリアテ−プ搬送装置は、キャリ
アテ−プ２を供給するテ−プロ−ダ機構２５と、上記キ
ャリアテ−プ２を水平に案内すると共にこのキャリアテ
−プ２を制動しバックテンションをかける制動機構２６
と、この制動機構２６と上記ボンディング位置Ａを挟ん
で設けられ上記キャリアテ−プ２を図に矢印で示す方向
に間欠的に送り駆動する駆動機構２７と、上記キャリア
テ−プ２を順次巻取るテ−プアンロ−ダ機構２８とから
なる。

【００３５】まず、上記テ−プロ−ダ機構２５の構成に
ついて説明する。上記テ−プロ−ダ機構２５は、上記キ
ャリアテ−プ２を巻回収納する供給リ−ル２９を具備す
る。この供給リ−ル２９は、図に３０で示すロ−ダモ−
タの駆動軸に固定されており、このロ−ダモ−タ３０が
作動することで、上記キャリアテ−プ２を順次下方向に
繰り出すようになっている。

【００３６】また、上記供給リ−ル２９に巻回されてな
るキャリアテ−プ２には、このキャリアテ−プ２の表面
を保護するスペーサテ−プ３１が貼着されている。この
スペーサテ−プ３１は、上記キャリアテ−プ２が上記供
給リ−ル２９から繰り出される際にこのキャリアテ−プ
２から剥がされ、上記供給リ−ル２９の下方に配設され
たスペーサテ−プ巻取リ−ル３２によって順次巻き取ら
れるようになっている。

【００３７】このスペーサテ−プ巻取リ−ル３２は、図
に３３で示すトルクモ−タの駆動軸に取り付けられてい
る。このトルクモ−タ３３は、この巻取リ−ル３２に加
わるトルクが所定値以下になった場合に作動し、上記巻
取リ−ル３２に上記スペーサテ−プ３１を順次巻き取る
ようになっている。

【００３８】また、上記供給リ−ル２９から下方に繰り
出されたキャリアテ−プ３１は、弛みを持たせた状態で
上記制動機構２６に送られるようになっている。そし
て、この供給リ−ルの２９の直下部には、この供給リ−
ル２９から繰り出されたキャリアテ−プ２の終端を検出
するエンドセンサ３４が設けられている。上記キャリア
テ−プ２の終端には約１ｍの透明なリ−ダテ−プ（図示
しない）が設けられており、このエンドセンサ３４は、
このリ−ダテ−プを検出することで、上記供給リ−ル２
９の交換時期を検知する役割を有する。

【００３９】また、このエンドセンサ３４の下方には、
上記キャリアテ−プ２の弛み量を検出する上部センサ３
５および下部センサ３６が設けられている。この上部お
よび下部センサ３５、３６は、図に示すように高さを異
ならせて設けられ、かつ図に一点鎖線で示す走査線が水
平かつ互いに平行となるように配設されている。

【００４０】このテ−プロ−ダ機構２５は、上部センサ
３５および下部センサ３６の検出に基づいて上記ロ−ダ
モ−タ３０を作動させ、上記キャリアテ−プ２を繰り出
すようになっている。

【００４１】すなわち、上記上部センサ３５は上記キャ
リアテ−プ２の弛みの上限を規定するものであり、キャ
リアテ−プ２の弛みの下端がこの上部センサ３５の高さ
にまで上昇したならば、この上部センサ３５の検出に基
づいて上記ロ−ダモ−タ３０が作動し、上記キャリアテ
−プ２を繰り出す。

【００４２】一方、上記下部センサ３６は上記キャリア
テ−プ２の弛みの下限を規定するものであり、上記キャ
リアテ−プ２の弛みの下端がこの下部センサ３６の高さ
にまで下降したならば、この下部センサ３６の検出に基
づいて上記ロ−ダモ−タ３０が停止し、上記キャリアテ
−プ２の繰り出しを中止する。

【００４３】したがって、このテ−プロ−ダ機構２５
は、上記供給リ−ル２９と上記制動機構２６との間に上
記キャリアテ−プ２の弛みを維持しながら、上記制動機
構２７に対してこのキャリアテ−プ２を順次供給するよ
うになっている。

【００４４】なお、上記キャリアテ−プ２の表面から剥
がされたスペーサテ−プ３１は、上記トルクモ−タ３３
によってその弛みが除去された状態で上記スペーサテ−
プ巻取リ−ル３２に順次巻き取られるようになってい
る。

【００４５】次に、上記制動機構２６の構成について説
明する。図１および図２（ａ）に示すように、この制動
機構２６はベ−ス板３８を有する。このベ−ス板３８上
には、図２（ｂ）（同図（ａ）におけるＩ−Ｉ線に沿う
縦断面図）に示すように、上記キャリアテ−プ２の幅方
向両側をそれぞれ保持し案内する一対のガイド３９、３
９が、このテ−プ２の幅寸法に応じて離間間隔可変に設
けられている。また、上記一対のガイド３９の背面側に
は、図に４１で示す板状のブラケットが、移動不能に立
設されている。

【００４６】上記ガイド３９は、上記ベ−ス板３８上に
移動可能に立設された立板部４２と、この立板部４２の
上端に設けられたレ−ル部４３とからなり、このレ−ル
部４３には、上記キャリアテ−プ２の案内通路４５が区
画されている。

【００４７】上記立板４２の下部には、一端部を上記ブ
ラケット４１の下部に回転自在に保持されてなる送りね
じ４４が螺着されている。したがって、上記一対のガイ
ド３９は、上記送りねじ４４を回転駆動することでその
間隔が調節され、上記レ−ル部４３により区画されるキ
ャリアテ−プの通路４５を幅方向に拡大あるいは縮小で
きるようになっている。

【００４８】図１および図２（ａ）に示すように、上記
ガイド３９の上記キャリアテ−プ２の送り方向に沿う中
途部には、上記レ−ル部４３から上記立板４２の高さ方
向中途部にまで亘る大きさの切欠部４６が設けられてい
る。

【００４９】この切欠部４６内には、上記ブラケット４
１の上端部に保持され、上記キャリアテ−プ２と噛み合
ってこのキャリアテ−プ２を制動する制動用スプロケッ
ト４８が設けられている。

【００５０】また、上記ブラケット４１の上記テ−プロ
−ダ機構２５側に延出された部位には、上記スプロケッ
ト４８を回転駆動するスプロケット用駆動モ−タ５０お
よび上記送りねじ４４を回転駆動する送りねじ用駆動モ
−タ５１とが固定されている。各駆動モ−タ５０、５１
と上記制動用スプロケット４８および上記送りねじ４４
とは、図に５２、５３で示す第１、第２の伝達ベルトに
よってそれぞれ接続されている。

【００５１】次に、上記制動用スプロケット４８と上記
駆動モ−タ５０との接続構造を図３を参照して詳しく説
明する。図３は、図２（ａ）におけるＩＩ−ＩＩ線に沿
う縦断面を示したものである。 同図において、４８
は、上記制動用スプロケット、５０は上記スプロケット
用駆動モ−タである。

【００５２】上記スプロケット用駆動モ−タ５０は、駆
動軸５０ａをこのブラケット４１の背面側に貫通させた
状態で、このブラケット４１に固定されている。そし
て、上記駆動軸５０ａの先端部には、駆動プ−リ５４が
固定されている。

【００５３】また、上記スプロケット４８は、図に５５
で示す回転軸の一端部に固着されている。この回転軸５
５の長さ方向中途部は、上記ブラケット４１に固定され
た２個の第１の軸受５６により回転自在に保持されてい
る。そして、上記ブラケット４１の背面側に導出された
上記回転軸５５の他端側には、この回転軸５５に外嵌さ
れた第２の軸受５７を介して従動プ−リ５８が設けられ
ている。

【００５４】上記駆動プ−リ５４と従動プ−リ５８とに
は、上述した第１の伝達ベルト５２が巻回されている。
したがって、上記駆動モ−タ５０の回転力は上記駆動プ
−リ５４および上記第１の伝達ベルト５２を介して上記
従動プ−リ５８に伝達されるようになっている。

【００５５】ところで、上記従動プ−リ５８と上記回転
軸５５とは、上記第２の軸受５７によって相対回転自在
となっているから、上記従動プ−リ５８の回転力（トル
ク）が直接上記回転軸５５に伝わることはない。

【００５６】この従動プ−リ５８と上記回転軸５５間の
回転力（トルク）の伝達は、上記回転軸５５の他端部に
設けられたトルク伝達機構６０によってなされるように
なっている。

【００５７】このトルク伝達機構６０は、上記回転軸５
５の他端部に螺着された円盤状のトルク調整板６１を具
備する。このトルク調整板６１は、図に６２で示すナッ
トによってこの回転軸５５に固定されている。

【００５８】このトルク調整板６１の上記従動プ−リ５
４に対向する面には、図に６３で示す複数本のトルク伝
達ピンがこのトルク調整板６１の周方向に沿って所定の
間隔で立設されている。また、この伝達ピン６３の先端
には、一面を上記従動プ−リ５８の一面に当接させるブ
レ−キシュ−６４が、このピン６３に沿って移動自在に
挿着されている。

【００５９】そして、このブレ−キシュ−６４と上記ト
ルク調節板６１の一面との間には、図に６５で示すスプ
リングが圧縮された状態で挿入されている。したがっ
て、上記ブレ−キシュ−６４は、上記スプリング６５の
復元力によって上記従動プ−リ５８の一面に押し付けら
れるようになっている。

【００６０】このトルク伝達機構６０は、上記ブレ−キ
シュ−６４と上記従動プ−リ５８との間に生じる摩擦力
によって上記従動プ−リ５８と上記回転軸５５とをトル
ク伝達可能に連結するようになっている。

【００６１】なお、このスプリング６５の復元力および
上記ブレ−キシュ−６４の材質および個数は、上記キャ
リアテ−プ２に要求されるバックテンションの大きさに
応じて規定される。

【００６２】すなわち、この制動機構２６は、次に説明
するようにして上記キャリアテ−プ２にバックテンショ
ンを付与するようになっている。この制動機構２６は、
上記スプロケット用駆動モ−タ５０を上記キャリアテ−
プ２を巻き戻す場合以外は使用せず、通常のキャリアテ
−プ２送り時には停止させている。したがって、通常、
上記従動プ−リ５８は回転不能に保持されている。

【００６３】したがって、後述する送り駆動機構２７に
よって上記キャリアテ−プ２が送り駆動される場合に
は、上記キャリアテ−プ２には、この制動機構２６によ
って上記ブレ−キシュ−６４と従動プ−リ５８との摩擦
力に比例するバックテンションが付与されることとな
る。

【００６４】一方、この制動機構２６は、何等かの原因
で上記キャリアテ−プ２を逆走させる必要がある場合
に、上記スプロケット用駆動モ−タ５０を作動させる。
この場合であっても、上記キャリアテ−プ２は、このブ
レ−キシュ−６４と従動プ−リ５８との摩擦トルクに相
当する力で駆動されることとなる。

【００６５】したがって、上記キャリアテ−プ２の逆走
時に、上記摩擦トルクを越えるテンションがこのキャリ
アテ−プ２に加わった場合には、上記ブレ−キシュ−６
４と従動プ−リ５８との間に滑りが生じて上記キャリア
テ−プ２の送りが規制されるようになっている。

【００６６】すなわち、この制動機構２６は、正常の送
り時であっても巻き戻し時であっても、上記キャリアテ
−プ２を常に一定のテンションで張設し、そのテンショ
ンに変動が生じるということを有効に防止するようにな
っている。

【００６７】なお、この図３および図１、図２に６６で
示すのは、上記キャリアテ−プ２を上記スプロケット４
８に押し付けるための一対のピンチロ−ラである。この
ピンチロ−ラ６６は、図３に示すように、軸線を水平し
かつ上下移動可能に設けられた中心軸６８に回転自在に
外挿されたカラ−６９の外面に上記キャリアテ−プ２の
幅に相当する所定間隔で固定されるようになっている。

【００６８】また、上記中心軸６８は、図１に７０で示
すスプリングにより下方向に付勢され、上記ピンチロ−
ラ６６を介して上記キャリアテ−プ２を上記スプロケッ
ト４８に押し付けるようになっている。

【００６９】次に、上記駆動機構２７について説明す
る。この駆動機構２７は、図１および図２に示すよう
に、上記ボンディング位置Ａを挟んで上記キャリアテ−
プ２の送り方向下流側に上記制動機構２６と対象な位置
に設けられかつ、上記制動機構２６と略同じ構成を具備
するものとなっている。

【００７０】したがって、上記制動機構２６と同一の構
成には、同一の符号を付してその構成の詳しい説明は省
略する。なお、この駆動機構２７は、上記制動機構２６
と異なり、上記キャリアテ−プ２にバックテンションを
与えるものではないので、上記トルク伝達機構６０に相
当する機構は具備しない。すなわち、図示しないが、図
３を引用して示す上記従動プ−リ５８は、上記第２の軸
受５７を介することなく、直接上記回転軸５５に直接固
着されている。

【００７１】したがって、この駆動機構２７は、上記キ
ャリアテ−プ２を送り駆動する場合には、上記駆動モ−
タ５０を作動させることで、上記駆動プ−リ５４、第１
の伝達ベルト５２および従動プ−リ５８とを介して図に
７１で示す駆動用スプロケットを直接回転駆動するよう
になっている。

【００７２】次に、上記テ−プアンロ−ダ機構２８の構
成について説明する。このテ−プアンロ−ダ機構２８
は、図に示すように、上記キャリアテ−プ２の送り方向
下流側に設けられ、上記ボンディング位置Ａを挟んで上
記テ−プロ−ダ機構２５と対称となる構成を具備する。

【００７３】すなわち、上部に設けられ、上記キャリア
テ−プ２を巻き取る巻取リ−ル７２と、この巻取リ−ル
７２の下方に設けられ、上記キャリアテ−プ２の巻き取
り時に上記キャリアテ−プ２の表面にスペーサテ−プ３
１を供給するスペーサテ−プ供給リ−ル７３とを具備す
る。

【００７４】上記巻取リ−ル７２は、アンロ−ダモ−タ
７４の駆動軸に固定され、上記スペーサテ−プ供給リ−
ル７３はトルクモ−タ７５によって駆動されるようにな
っている。

【００７５】さらに、上記巻取リ−ル７１と上記スペー
サテ−プ供給リ−ル７２との間には、上記テ−プロ−ダ
部２５と同様に、エンドセンサ７６およびこのエンドセ
ンサ７６の下方に設けられた上部センサ７７、下部セン
サ７８とが配設されている。この上部および下部センサ
７７、７８は上記テ−プロ−ダ部２６に設けられた各セ
ンサ３５、３６と同様に上記キャリアテ−プ２の弛みを
検出し、上記アンロ−ダモ−タ７４を作動させるように
なっている。

【００７６】すなわち、上記キャリアテ−プ２が上記ボ
ンディング位置Ａを通過してこのテ−プアンロ−ダ機構
２８に送られてくると、上記キャリアテ−プ２の弛み量
が増し、この弛みの下端が下降する。

【００７７】このキャリアテ−プ２の弛みの下端が上記
下部センサ７８の高さにまで下降したならば、この下部
センサ７８の検出に基づいて上記アンロ−ダモ−タ７４
が作動し、上記巻取リ−ル７２を回転させることによっ
て上記キャリアテ−プ２を巻き取る。

【００７８】このことによって上記キャリアテ−プ２の
弛みが少なくなり、上記弛みの下端は上昇することとな
る。この弛みの下端が上記上部センサ７７の高さに達し
たならば、この上部センサ７７の検出に基づいて上記ア
ンロ−ダモ−タ７４は停止され、上記キャリアテ−プ２
の巻き取りを中止する。

【００７９】このような動作により、このテ−プアンロ
−ダ機構２８は、上記キャリアテ−プ２の弛みを維持し
つつ、このキャリアテ−プ２を順次巻き取るようになっ
ている。

【００８０】次に、このキャリアテ−プ搬送装置の全体
動作について説明する。作業者（オペレ−タ）は、ま
ず、上記制動機構２６および駆動機構２７に設けられた
上記一対のガイド３９の間隔を搬送するキャリアテ−プ
２の幅に対応する大きさに設定する。これは、上記送り
ねじ用駆動モ−タ５１を作動させ、上記一対のガイドに
架設された送りねじ４４を回転駆動することで行う。

【００８１】また、上記一対のピンチロ−ラ６６、６６
の幅変更は、このピンチロ−ラ６６を図３に示す上記カ
ラ−６９に固定している押しボルト８１を緩め、このピ
ンチロ−ラ６６を上記カラ−６９に沿ってスライドさ
せ、その取り付け幅を変更することで行う。

【００８２】ついで、作業者は、上記テ−プロ−ダ機構
２５に設けられたロ−ダモ−タ３０の駆動軸に上記キャ
リアテ−プ２が巻回収納されてなる供給リ−ル２９をセ
ットする。ついで、作業者は、この供給リ−ル２９から
上記キャリアテ−プ２を引き出し、上記制動機構２６お
よび駆動機構２７にセットして、その端部を上記テ−プ
アンロ−ダ機構２８の巻取リ−ル７２に接続する。

【００８３】上記制動機構２６および駆動機構２７への
上記キャリアテ−プ２のセットは、上記一対のガイド３
９、３９間に上記キャリアテ−プ２を挿通させると共
に、上記キャリアテ−プ２の幅方向両側部に沿って設け
られたスプロケットホ−ル（図示しない）を、上記制動
機構２６および駆動機構２７に設けられた各スプロケッ
ト４８、７１に噛み合わせる。なお、このキャリアテ−
プ２は、上記ピンチロ−ラ６６によって上記スプロケッ
ト４８、７１から外れないように押さえ付けられる。

【００８４】上記キャリアテ−プ２に形成された回路パ
タ−ンおよびインナ−リ−ドは、上記スプロケットホ−
ルを基準に形成されているため、上記２つのスプロケッ
ト４８、７１に上記キャリアテ−プ２のスプロケットホ
−ルを噛み合わせ、上記制動機構２６により上記キャリ
アテ−プにバックテンションを付与すれば上記キャリア
テ−プ２の回路パタ−ンはこのテ−プ２の送り方向に精
度良く位置決めされる。

【００８５】また、このキャリアテ−プ２の幅方向の位
置決めは、上記一対のガイド３９、３９による上記キャ
リアテ−プ２の幅方向の規制、および上記キャリアテ−
プ２の幅方向両側に設けられたスプロケットホ−ルと上
記各スプロケット４８、７１とを噛合させることによっ
て行われる。

【００８６】ついで、作業者は、このキャリアテ−プ搬
送装置およびインナ−リ−ドボンディング装置を作動さ
せる。まず、上記テ−プロ−ダ機構２５は、上記キャリ
アテ−プ２の送り方向上流側に位置する弛み部の下端を
上記下部のセンサ３６の高さに位置させる。一方、上記
テ−プアンロ−ダ機構２８は、上記キャリアテ−プ２の
下流側に位置する弛み部の下端を上記上部センサ７７の
高さに位置させる。

【００８７】ついで、上記駆動機構２７を作動させ、上
記駆動用スプロケットを所定角度ずつ間欠的に回転させ
ることで、上記キャリアテ−プ２を所定のピッチで間欠
的に送り駆動する。

【００８８】このとき、上記制動機構２６は、上記キャ
リアテ−プ２の駆動および停止にかかわらず、上記トル
ク伝達機構６０により付与される摩擦力に比例する一定
のバックテンションをこのキャリアテ−プ２に掛けるこ
ととなる。

【００８９】このことで、このキャリアテ−プ搬送装置
は、上記キャリアテ−プ２のインナ−リ−ドの設けられ
た位置を上記ボンディング位置Ａに精度良く停止させ
る。一方、上記テ−プロ−ダ機構２５およびアンロ−ダ
機構２８は、上記キャリアテ−プ２の弛み量に応じて上
記ロ−ダモ−タ３０およびアンロ−ダモ−タ７４を作動
させ、このキャリアテ−プ２の送りおよび巻取を行う。

【００９０】なお、前述したように上記キャリアテ−プ
２の上流側および下流側には常に弛み状態が維持される
ようになっている。このキャリアテ−プ搬送装置は、上
記弛み部により、上記供給リ−ル２９および巻取リ−ル
７２の起動時あるいは停止時に生じるショックを吸収
し、上記キャリアテ−プ２のテンションに変動が生じる
ことを有効に防止する。

【００９１】そして、上記インナ−リ−ドボンディング
装置は、上記ボンディング位置Ａに上記キャリアテ−プ
２の所定のインナ−リ−ドの設けられた部位が停止され
たならば、上記ボンディングステ−ジ２１を上昇させて
このボンディングステ−ジ２１上に保持した半導体素子
２０の電極パッドを上記インナ−リ−ドの先端に当接さ
せる。

【００９２】ついで、上記ボンディングツ−ル２２を下
降させることで、上記キャリアテ−プ２のインナ−リ−
ドを上記半導体素子２０の電極パッドに接合（ボンディ
ング）する。

【００９３】このボンディング装置は、このような動作
を上記キャリアテ−プ２が停止される毎に繰り返すこと
で、上記半導体素子２０を上記キャリアテ−プ２に順次
インナ−リ−ドボンディングしていくようになってい
る。

【００９４】なお、上記キャリアテ−プ２に掛けるバッ
クテンションを変更したい場合には、上記トルク伝達機
構６０に設けられたナット６２を緩め、上記トルク調節
板６１の固定位置を変更することにより行う。

【００９５】また、上述したように、上記キャリアテ−
プ２の終端には、約１ｍの透明なリ−ダテ−プが接続さ
れており、上記テ−プロ−ダ機構２５に設けられたエン
ドセンサ３４によりこのリ−ダテ−プを検出すると、上
記駆動機構２７は上記キャリアテ−プ２の送りを停止す
るようになっている。

【００９６】作業者は上記リ−ダテ−プと上記キャリア
テ−プ２の境目を切断し、上記テ−プロ−ダ機構２５の
供給リ−ル２９を新たなキャリアテ−プ２が巻回されて
なるものに交換する。また、同時に、上記スペーサテ−
プ巻取リ−ル３２を未だ上記スペーサテ−プ３１が巻回
されていない新たなものに交換する。

【００９７】ついで、上記切断したキャリアテ−プ２の
終端と上記新たな供給リ−ル２９から繰り出されたキャ
リアテ−プ２の先端とを接続する。両者は例えば粘着テ
−プで接着され、連続した一本のキャリアテ−プ２とな
る。

【００９８】作業者は、キャリアテ−プ２の接続を終え
たならば、上記駆動機構２７を再び作動させ、上記キャ
リアテ−プ２を間欠的に送り駆動すると共に、上記イン
ナ−リ−ドボンディング装置により上記半導体素子２０
をキャリアテ−プ２にインナ−リ−ドボンディングさせ
る。

【００９９】このような動作により、上記キャリアテ−
プ搬送装置は、上記キャリアテ−プ２を間欠的に送り駆
動し、上記インナ−リ−ドボンディング装置に上記半導
体素子のインナ−リ−ドボンディングを行なわせるよう
になっている。

【０１００】このような構成によれば、以下に説明する
効果がある。この発明は、上述したように、テ−プロ−
ダ機構２５とテ−プ駆動機構２７との間に、このテ−プ
駆動機構２７との間でキャリアテ−プ２を水平に張設す
ると共にこのキャリアテ−プ２の送りを制動してこのキ
ャリアテ−プ２に一定のテンションを付与する制動機構
２６を設けたようにしたものである。

【０１０１】このことにより、上記キャリアテ−プ２
を、変動の少ない安定したテンションで張設することが
でき、キャリアテ−プ２の変形、位置ずれ、剥がれ、強
度低下等のキャリアテ−プ搬送時の不良を少なくするこ
とができる。

【０１０２】すなわち、図５および図６に示す従来の装
置では、テンションロ−ラ１２をキャリアテ−プ２の一
面に当接させ、このキャリアテ−プ２を所定の方向に付
勢することにより、上記キャリアテ−プ２にテンション
を付与していたので、このテンションロ−ラ１２の加減
速によりキャリアテ−プ２のテンションに変動が生じた
り、上記キャリアテ−プ２の上流側および下流側の振動
が上記テンションロ−ラ１２を介して上記張設部分（ボ
ンディング位置Ａ）に伝わることにより、微細構造のキ
ャリアテ−プ２を搬送する場合には接合部に位置ずれが
生じたり回路パタ−ンにダメ−ジを与えるといった不具
合が予想されていた。

【０１０３】この装置では、上記キャリアテ−プ２を付
勢するのではなく、上記キャリアテ−プ２を制動するこ
とで上記キャリアテ−プにテンションを付与するように
したので、テンションの変動を少なくすることができ
る。

【０１０４】また、上記テンションロ−ラ１２を上下さ
せる方式と比較して微小で安定したテンションを設定す
ることができるから、テンション過大による上記キャリ
アテ−プ２の破損等の有効にに防止できる。

【０１０５】さらに、上記キャリアテ−プ２の上流側お
よび下流側に弛みを持たせることで、供給リ−ル２９や
巻取リ−ル７２からの振動の伝達等も有効に防止でき、
上記キャリアテ−プ２をより安定的に張設することがで
きる。

【０１０６】また、上記弛み部が存在することで、上記
制動機構２６と駆動機構２７の間に張設されるキャリア
テ−プ２以外には、必要以上のテンションがかからない
ので、このキャリアテ−プ２の破損を有効に防止でき
る。

【０１０７】これらのことにより、微細な回路パタ−ン
を有するキャリアテ−プ２を用いた場合であっても、よ
り良好にかつ歩留まり良く、半導体の実装を行うことが
できる効果がある。

【０１０８】また、上記装置では、上記回転制御される
駆動用スプロケット７２と制動用スプロケット４８を上
記キャリアテ−プ２と噛み合わせることでこのキャリア
テ−プ２にテンションを付与するようにしたので、従来
例のように回転自在に設けられかつ噛み合うことなく上
記キャリアテ−プ２を付勢するテンションロ−ラ１２を
用いる場合と比較して、上記キャリアテ−プ２を幅方向
および長手方向により精度の良く位置決めすることがで
きる。

【０１０９】さらに、上記ガイド４３およびピンチロ−
ラ６６により上記キャリアテ−プ２を保持することで、
上記張設部（ボンディング位置Ａ）における上記キャリ
アテ−プ２の位置ずれおよび振動を有効に防止できる。

【０１１０】一方、上記装置では、上記キャリアテ−プ
２を巻き戻す場合であっても、上記キャリアテ−プ２に
掛かるテンションを一定に保つことができるので、上記
キャリアテ−プ２の破損をより有効に防止できる効果が
ある。

【０１１１】なお、この発明は、上記一実施形態に限定
されるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で種
々変形可能である。例えば、上記一実施形態では、上記
制動機構２６と駆動機構２７は上記テ−プロ−ダ機構２
５とテ−プアンロ−ダ機構２８との間に一組しか設けら
れていなかったが、図４に示すように、インナ−リ−ド
ボンディング装置とアウタリ−ドボンディング装置等、
複数の実装装置を接続する場合には、それぞれの装置に
上記制動機構２６および駆動機構２７を設けるようにし
ても良い。

【０１１２】この場合には、上記各実装装置の間に位置
するキャリアテ−プ２に弛み部を設け、かつこの弛み量
を検出する上部センサ８３および下部センサ８４の検知
信号に基づいて上記２つの駆動機構２７、２７を個別に
制御することで、上記一実施形態と同様の効果を得るこ
とができる。

【０１１３】また、上記一実施形態では、上記キャリア
テ−プ２の搬送中は、上記制動機構２６に設けられた制
動用モ−タ５０を停止させていたが、一定の速度で上記
キャリアテ−プ２の送り方向と反対の方向に逆転させる
ようにしても良い。

【０１１４】このようにしても、上記キャリアテ−プ２
に掛かるテンションは上記トルク伝達機構６０の作用に
より一定に保たれることとなるから、上記一実施形態と
同様の効果を得ることができる。

【０１１５】さらに、この場合には、上記キャリアテ−
プ２の送りおよび停止にかかわらず上記ブレ−キシュ−
６４は上記従動スプロケットに対して摺動していること
となるから、上記キャリアテ−プ２の送りおよび停止に
よる摩擦力の変動を極小または無くすることができ、よ
り安定的に上記キャリアテ−プ２の送りを行うことがで
きる効果がある。

【０１１６】また、上記一実施形態では、制動用駆動モ
−タ５０にトルク伝達手段６０を連結することにより制
動機構２６を構成したが、これに限定されるものではな
く、トルクモ−タを用い、このトルクモ−タで上記制動
用スプロケット４８を直接駆動できるように構成しても
同様の効果を得ることができる。

【０１１７】すなわち、上記キャリアテ−プ２を搬送す
る際に、上記トルクモ−タをこのキャリアテ−プ２の逆
走方向に作動可能にセットしておけば、常にこのトルク
モ−タの出力トルクに比例したテンションを上記キャリ
アテ−プに付与することができる。

【０１１８】なお、ここでいうトルクモ−タは、安定し
た低トルクを発生するモ−タであれば良く、ＡＣモ−
タ、ＤＣモ−タ、さらにはエア駆動モ−タであっても良
い。この場合、上記テンションの大きさは、上記トルク
モ−タの出力トルクにより所望のお大きさに設定するこ
とができる。

【０１１９】また、上記一実施形態では、上記キャリア
テ−プ搬送装置を組み込む実装装置としてインナ−リ−
ドボンディング装置を挙げていたが、これに限定される
ものではなく、他のＴＡＢ（Tape Automated Bonding）
方式の実装装置等であっても良い。

【０１２０】また、これらのうち３つ以上の実装装置を
連結するような構成の装置であっても良い。この場合に
は、図４に示す装置と同様に、上記制動機構および駆動
機構を３組以上連結させる構成とすれば良い。

【０１２１】

【発明の効果】以上述べたように、この発明は、半導体
素子が接続される回路パタ−ンが形成されてなるキャリ
アテ−プを順次供給するテ−プロ−ダ機構と、上記テ−
プロ−ダ機構から供給された上記キャリアテ−プを順次
送り駆動する駆動機構と、上記テ−プロ−ダ機構と上記
駆動機構との間に配設され、上記キャリアテ−プの送り
を制動することで、このキャリアテ−プを上記上記駆動
機構との間に一定のテンションで張設する制動機構と、
上記駆動機構を通過したキャリアテ−プを順次巻き取る
テ−プアンロ−ダ機構とを具備することを特徴とするキ
ャリアテ−プ搬送装置である。

【０１２２】このような構成によれば、キャリアテ−プ
を一定のテンションで安定的に張設・搬送することがで
き、微細な回路パタ−ンを有するキャリアテ−プであっ
ても、変形、位置ずれ、剥がれ、強度低下等の不良や振
動を防止できる。

【０１２３】さらに、上記駆動機構として、上記キャリ
アテ−プの幅方向両側部に設けられたスプロケットホ−
ルに噛合する駆動用スプロケットと、この駆動用スプロ
ケットを回転駆動する駆動モ−タとを具備するものを採
用し、上記制動機構として、上記キャリアテ−プのスプ
ロケットホ−ルと噛合する制動用スプロケットと、この
制動用スプロケットと所定の摩擦力をもって制動し上記
キャリアテ−プを一定のテンションで張設するトルク制
御手段とを具備するものを採用することで、より精度の
良い位置決めを行える効果がある。

【０１２４】また、上記テ−プロ−ダ部は、キャリアテ
−プを弛ませた状態で上記制動機構に供給し、上記テ−
プアンロ−ダ部は、上記駆動機構を通過したキャリアテ
−プを弛ませた状態で巻き取るものとすることで、より
確実に上記キャリアテ−プのテンションの変動を防止で
きる効果がある。

【０１２５】上記テ−プロ−ダ機構とテ−プアンロ−ダ
機構との間に、上記キャリアテ−プを張設する１組の駆
動機構および制動機構を２組以上具備し、各組の間で上
記キャリアテ−プを弛ませるようにすることで、複数の
実装装置にこのキャリアテ−プ搬送装置を適用する場合
であっても、簡単な構成で同様の効果を得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態を示す斜視図。

【図２】同じく、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＩ
−Ｉ線に沿う縦断面図。

【図３】同じく、図２（ａ）のＩＩ−ＩＩ線に沿う縦断
面図。

【図４】他の実施形態を示す概略構成図。

【図５】従来例を示す概略構成図。

【図６】同じく、テンション付与機構を拡大して示す斜
視図。

【符号の説明】

２…キャリアテ−プ、２５…テ−プロ−ダ装置、２６…
制動機構、２７…駆動機構、２８…テ−プアンロ−ダ機
構、４８…制動用スプロケット、５０…駆動モ−タ、６
０…トルク制御機構（トルク制御手段）、７１…駆動用
スプロケット。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体素子が接続される回路パタ−ンが
   形成されてなるキャリアテ−プを供給するテ−プロ−ダ
   機構と、 上記テ−プロ−ダ機構から供給された上記キャリアテ−
   プを送り駆動する駆動機構と、 上記テ−プロ−ダ機構と上記駆動機構との間に配設さ
   れ、上記キャリアテ−プの送りを制動することで、この
   キャリアテ−プを上記テ−プロ−ダ機構と上記駆動機構
   との間に一定のテンションで張設する制動機構と、 上記駆動機構を通過したキャリアテ−プを順次巻き取る
   テ−プアンロ−ダ機構とを具備することを特徴とするキ
   ャリアテ−プ搬送装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のキャリアテ−プ搬送装置
   において、 上記駆動機構は、上記キャリアテ−プの幅方向両側部に
   設けられたスプロケットホ−ルに噛合する駆動用スプロ
   ケットと、この駆動用スプロケットを回転駆動する駆動
   モ−タとを具備し、 上記制動機構は、上記キャリアテ−プのスプロケットホ
   −ルと噛合する制動用スプロケットと、この制動用スプ
   ロケットと所定の摩擦力をもって制動し上記キャリアテ
   −プを一定のテンションで張設するトルク制御手段とを
   具備するものであることを特徴とするキャリアテ−プ搬
   送装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載のキャリアテ−プ搬送装置
   において、 上記テ−プロ−ダ部は、キャリアテ−プを弛ませた状態
   で上記制動機構に供給し、 上記テ−プアンロ−ダ部は、上記駆動機構を通過したキ
   ャリアテ−プを弛ませた状態で巻き取るものであること
   を特徴とするキャリアテ−プ搬送装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載のキャリアテ−プ搬送装置
   において、 上記テ−プロ−ダ機構とテ−プアンロ−ダ機構との間
   に、 上記キャリアテ−プを張設する１組の駆動機構および制
   動機構を２組以上具備し、 各組の間で上記キャリアテ−プを弛ませたことを特徴と
   するキャリアテ−プ搬送装置。