JPH039547A - 半導体基板収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体素子製造工程において使用する半導体基
板（以下ウェハという）を収納する容器（以下カセット
という）に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のカセットは、第９図の斜視図に例を示す
通り、ウェハｌＯを収納するためのウェハ収納用溝２を
有する１対の対向するウェハ収納ガイド部１と、収納し
たウェハ１０を下部で支えるウェハ受は部３と、対向す
るウェハ収納ガイド１を支持する補強用柱４とからなる
。そして、ウェハ取り出し方向１１は、ウェハ収納用溝
２の方向であった。

又、第１０図及び第１１図の説明図のように、ウェハ１
０はカセットの設置面１２に対して垂直（第１０図）ま
たは平行（第１１図）のいずれかの置き方しかできなか
った。

カセットのウェハ収納用溝には、溝幅にウェハ出し入れ
のためのゆとりがあるため、ウェハを鉛直のままでカセ
ットを運搬する場合、ウェハが溝内で揺動してウェハに
傷がつく。また、ウェハを水平状態で運搬する場合、ウ
ェハがカセットから出てきてしまう。これを解消するた
めに、カセットを傾斜した支持台に置く方法が採用され
ている。

また、ウェハを製造装置等で処理する場合に、カセット
からウェハを取り出す必要に迫られることが多い。その
際、ウェハは鉛直あるいは水平向きで取り出すため、カ
セットの姿勢を変える必要が生じる。そのためには、カ
セットを一度持ち上げて向きを変えて置き直すか、支持
台自体の向きを変える機構を利用することで姿勢変更を
実現している。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のカセットにおいては、水平面に対するウ
ェハ取出方向の角度は、支持台の傾斜によって一義的に
決定され、任意には設定できないという欠点がある。

また、カセットの置き方を変えるためには、新たな機械
的な機構が必要になるという欠点がある。

その結果、カセットを移載する必要に迫られることが多
くなるという欠点を生じることになる。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、半導体基板を収納するための溝を内側面に有
する収納ガイド部を対向配置した半導体基板収納容器に
おいて、半導体基板の収納姿勢を変更するため前記半導
体基板収納容器を自重により傾斜せしめる際の回転支持
軸となる少なくとも１対の円筒状の凸部を前記両収納ガ
イド部の外側面の対称位置に設けた半導体基板収納容器
である。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の第１の実施例を示す斜視図で円筒形の
凸部（カセット支持部５）は、対向するウェハ収納ガイ
ド部１の創外側面に１対設けられ、この１対のカセット
支持部５を結ぶ線分が、カセットを使用する場合に起こ
りうるカセット全体の重心を全て含む最小領域を通過し
ないような位置に設けられている。

第２図、第３図は本実施例のカセットを設置する動作手
順を示す側面図である。カセットを置く際に、まずカセ
ット支持部５を固定のカセット受は台６で支持する。そ
のままカセットを降下していくと、カセットの重心はカ
セット支持部５を結ぶ線分上にないため、１対のカセッ
ト支持部５を結ぶ線分を軸に、カセットが回転する。水
平面とウェハ取り出し方向とが任意の角度になったとこ
ろで、カセットの回転を止めるように可動のカセット受
は台７でカセットを支持し、そのまま安定させることを
可動にしている。

また、第４図の他の動作手順の側面図に示すように、カ
セットを一度支持してからでも、カセット支持部５に新
たに回転以外の力が加わらないようにカセット受は台７
を移動させることによって、水平面に対する取り出し方
向の角度を任意に変化させることを可能にしている。

第５図は本発明の第２の実施例を示す側面図で、対向す
るウェハ収納ガイド部１０両外側面に、円筒状の凸部（
カセット支持部５及び８）がそれぞれ１対設けられ、こ
のそれぞれ１対のカセット支持部を結ぶ線分がカセット
を使用する場合に起こりうるカセット全体の重心を全て
含む最小領域を通過しないような位置に、第１の実施例
と同様な対称性のカセット支持部が計２対存在している
。

第６図、第７図は、本実施例のカセットを設置する動作
手順を示す側面図である。カセットを置く際に、まず下
側の１対のカセット支持部５を固定のカセット受は台６
で支持する。あとは第１の実施例と同様で、前記カセッ
ト受は台７の役割を可動のカセット受は台９が受は持つ
。

第８図は他の動作手順を示すカセットの側面図で、カセ
ット受は台９を可動させることによって、度支持してか
らの水平面に対するウェハ取り出し角を任意に変化させ
ることが可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ウェハの取り出し方向を
カセットを置くだけで任意に設定することと、ウェハ取
り出し方向の変化の要求に対応することを可能にするこ
とにより、ウェハ運搬時の揺動防止とウェハの製造装置
へのローディングを容易にすると同時に、カセットの移
載動作を低減する効果を有する。

又、カセット受は台を上下あるいは移動させるための機
構も、カセットを傾斜させるだけの簡単なもので済み、
製造装置を複雑な構造にすることもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の斜視図、第２図、第３
図、第４図はその動作手順を示す側面図、第５図は本発
明の第２の実施例の側面図、第６図。 第７図、第８図はその動作手順を示す側面図、第９図は
従来のカセットの斜視図、第１０図、第１１図はそのウ
ェハ取り出しを示す説明図である。 ■・・・・・・ウェハ収納ガイド部、２・・・・・・ウ
ェハ収納用溝、３・・・・・・ウェハ受は部、４・・・
・・・補強用柱、５・・・・・・カセット支持部、６・
・・・・・固定カセット受は台、７・・・・・・可動カ
セット受は台、８・・・・・・カセット支持部、９・・
・・・・可動カセット受は台、１０・・・・・・ウェハ
１１・・・・・・ウェハ取り出し方向、１２・・・・・
・設置面。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体基板を収納するための溝を内側面に有する収納ガ
   イド部を対向配置した半導体基板収納容器において、半
   導体基板の収納姿勢を変更するため前記半導体基板収納
   容器を自重により傾斜せしめる際の回転支持軸となる少
   なくとも１対の円筒状の凸部を前記両収納ガイド部の外
   側面の対称位置に設けたことを特徴とする半導体基板収
   納容器。