JPH0395841A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0395841A JPH0395841A JP1233377A JP23337789A JPH0395841A JP H0395841 A JPH0395841 A JP H0395841A JP 1233377 A JP1233377 A JP 1233377A JP 23337789 A JP23337789 A JP 23337789A JP H0395841 A JPH0395841 A JP H0395841A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnification
- signal
- image
- observation
- electron microscope
- Prior art date
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- Granted
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は電子顕微鏡に関し、特に焦点合わせまたは軸整
合のためのウォブラーを有する電子顕微鏡に関する。
合のためのウォブラーを有する電子顕微鏡に関する。
［従来の技術］
従来、電子顕微鏡において焦点合わせを行なう場合、対
物レンズの励磁電流を周期的に変化させるウォブラーを
用いて、陰極線管上や蛍光板上に表示された電子顕微鏡
像を微動させ、該像の移動量が最小になるような対物レ
ンズの励磁電流値を見付け出している。また、電子線光
軸合わせの操作を行なう場合も同様にウォブラーを用い
て対物レンズの励磁電流を周期的に変化させて、結像さ
れた電子顕微鏡像を微動させ、該像が同心円状に変化す
るように軸合わせを行なっている。また、ウォブラーと
しては試料へ入射する電子線の入射角を偏向器を用いて
周期的に変化させるものが有り、この場合も、結像され
る電子顕微鏡像の移動量が最小になるように対物レンズ
の励磁電流を変化させて焦点合わせを行なっている。
物レンズの励磁電流を周期的に変化させるウォブラーを
用いて、陰極線管上や蛍光板上に表示された電子顕微鏡
像を微動させ、該像の移動量が最小になるような対物レ
ンズの励磁電流値を見付け出している。また、電子線光
軸合わせの操作を行なう場合も同様にウォブラーを用い
て対物レンズの励磁電流を周期的に変化させて、結像さ
れた電子顕微鏡像を微動させ、該像が同心円状に変化す
るように軸合わせを行なっている。また、ウォブラーと
しては試料へ入射する電子線の入射角を偏向器を用いて
周期的に変化させるものが有り、この場合も、結像され
る電子顕微鏡像の移動量が最小になるように対物レンズ
の励磁電流を変化させて焦点合わせを行なっている。
［発明が解決しようとする課′．ＸＪ］上述したような
、調整用のウォブリング信号を観察倍率によらずに一定
の振幅で対物レンズや偏向器に供給した場合、像倍率を
高倍率に上げて行くに従って、陰極線管上や蛍向板上で
の像の移動量が大きくなるため、移動した像が陰極線管
や蛍光板上から外れ、観測者が該像を見ながら焦点合わ
せや軸合わせを行なうことが難しくなる。
、調整用のウォブリング信号を観察倍率によらずに一定
の振幅で対物レンズや偏向器に供給した場合、像倍率を
高倍率に上げて行くに従って、陰極線管上や蛍向板上で
の像の移動量が大きくなるため、移動した像が陰極線管
や蛍光板上から外れ、観測者が該像を見ながら焦点合わ
せや軸合わせを行なうことが難しくなる。
本発明は上述した問題点を考慮し、電子顕微鏡の観測倍
率に応じて、ウォブラー信号を最適値に調節することの
できる焦点合わせまたは軸整合装置を備えた電子顕微鏡
を提供することを目的としている。
率に応じて、ウォブラー信号を最適値に調節することの
できる焦点合わせまたは軸整合装置を備えた電子顕微鏡
を提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段コ
本発明は、電子銃と、該電子銃から放出された電子線を
試料上に照射するためのレンズ手段及び偏向手段と、前
記試料像を表示するための手段とを備えた電子顕微鏡で
あって、前記レンズ手段または偏向手段に周期的に変化
する励磁信号または偏向信号を供給するための信号発生
手段と、前記信号がレンズ手段または偏向手段供給され
た際に前記表示手段に表示される像の移動量をモニター
するウォブラーにより焦点合せまたは軸整合を行なうよ
うにした電子顕微鏡において、前記電子顕微鏡の観測倍
率に連動して前記信号の振幅を変化させるための手段を
設け、該信号がレンズ手段または偏向手段に供給された
際に前記表示手段上で観察される像の移動量が倍率によ
らず略一定になるようにしたことを特徴としている。
試料上に照射するためのレンズ手段及び偏向手段と、前
記試料像を表示するための手段とを備えた電子顕微鏡で
あって、前記レンズ手段または偏向手段に周期的に変化
する励磁信号または偏向信号を供給するための信号発生
手段と、前記信号がレンズ手段または偏向手段供給され
た際に前記表示手段に表示される像の移動量をモニター
するウォブラーにより焦点合せまたは軸整合を行なうよ
うにした電子顕微鏡において、前記電子顕微鏡の観測倍
率に連動して前記信号の振幅を変化させるための手段を
設け、該信号がレンズ手段または偏向手段に供給された
際に前記表示手段上で観察される像の移動量が倍率によ
らず略一定になるようにしたことを特徴としている。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明の一実施例を説明するための装置構成図であ
る。
図は本発明の一実施例を説明するための装置構成図であ
る。
第１図において１は電子銃であり、該電子銃より放出さ
れた電子線は、集束レンズ２によって集束された後、対
物レンズ３によって試料５上に照射される。６ｘ，６ｙ
は前記電子線を試料５上において水平及び垂直に走査す
るための水平及び垂直偏向レンズであり、該レンズ６ｘ
，６ｙには走査信号発生回路７よりの水平及び垂直装置
信号が倍率設定回路１３を介して供給される。また、該
走査信号発生回路７よりの水平及び垂直装置信号は陰極
線管８の水平及び垂直偏向コイル９ｘ，９ｙにも供給さ
れる。試料５への電子線の照射により発生した二次電子
は二次電子検出器１０によって検出される。該検出器１
０よりの出力信号は増幅器１１によって増幅された後、
前記陰極線管８のグリッドＧに供給される。また、前記
対物レンズ３にはＤＡコンバータ１５を介してＣＰＵ１
３に接続されたレンズ電源４が接続されており、該電源
４はＣＰＵ１３からの制御信号に基づいて、対物レンズ
の励磁値を変更するように構成されている。
れた電子線は、集束レンズ２によって集束された後、対
物レンズ３によって試料５上に照射される。６ｘ，６ｙ
は前記電子線を試料５上において水平及び垂直に走査す
るための水平及び垂直偏向レンズであり、該レンズ６ｘ
，６ｙには走査信号発生回路７よりの水平及び垂直装置
信号が倍率設定回路１３を介して供給される。また、該
走査信号発生回路７よりの水平及び垂直装置信号は陰極
線管８の水平及び垂直偏向コイル９ｘ，９ｙにも供給さ
れる。試料５への電子線の照射により発生した二次電子
は二次電子検出器１０によって検出される。該検出器１
０よりの出力信号は増幅器１１によって増幅された後、
前記陰極線管８のグリッドＧに供給される。また、前記
対物レンズ３にはＤＡコンバータ１５を介してＣＰＵ１
３に接続されたレンズ電源４が接続されており、該電源
４はＣＰＵ１３からの制御信号に基づいて、対物レンズ
の励磁値を変更するように構成されている。
さて、操作端末（図示せず）によりＣＰＵＩ ３に電子
顕微鏡の観測倍率が設定されると、該ＣＰＵから倍率設
定回路１２に制御信号が供給される。
顕微鏡の観測倍率が設定されると、該ＣＰＵから倍率設
定回路１２に制御信号が供給される。
該倍率制御信号に基づいて前記走査信号発生回路７から
倍率設定回路１２に供給された走査信号が前記設定倍率
に応じた走査信号に変換された後、偏向レンズに供給さ
れる。ここで、操作端末（図示せず）により前記ＣＰＵ
Ｉ ３にウォブラーを用いて例えば対物レンズ絞り１４
の軸合わせを行うための操作命令を行なった場合、該Ｃ
ＰＵ１３からは第２図（ａ）に示すような正焦点値ｆ．
から正負の２値ｆ。十Δｆｌ．ｆｏ−△ｆ．間で周期的
に変化するウォブリング信号が発生され、該ウォブリン
グ信号が対物レンズ３に供給される。このとき、前記対
物レンズ絞り１４が適性位置に配置されていないと、陰
極線管８上に表示される像は前記ウォブリング信号に同
期して移動する。そのため、該像の移動が同心円状に変
化するように絞りの軸整合が行なわれる。ここで、前記
第２図（ａ）に示すような正焦点値ｆ．から正負の２値
間（ｆｏ＋ｆｌ，ｆｏ−Δｆｔ）で周期的に変化するウ
ォブリング信号が対物レンズに供給された場合には、電
子顕微鏡像の倍率はディスクリートに変化する。
倍率設定回路１２に供給された走査信号が前記設定倍率
に応じた走査信号に変換された後、偏向レンズに供給さ
れる。ここで、操作端末（図示せず）により前記ＣＰＵ
Ｉ ３にウォブラーを用いて例えば対物レンズ絞り１４
の軸合わせを行うための操作命令を行なった場合、該Ｃ
ＰＵ１３からは第２図（ａ）に示すような正焦点値ｆ．
から正負の２値ｆ。十Δｆｌ．ｆｏ−△ｆ．間で周期的
に変化するウォブリング信号が発生され、該ウォブリン
グ信号が対物レンズ３に供給される。このとき、前記対
物レンズ絞り１４が適性位置に配置されていないと、陰
極線管８上に表示される像は前記ウォブリング信号に同
期して移動する。そのため、該像の移動が同心円状に変
化するように絞りの軸整合が行なわれる。ここで、前記
第２図（ａ）に示すような正焦点値ｆ．から正負の２値
間（ｆｏ＋ｆｌ，ｆｏ−Δｆｔ）で周期的に変化するウ
ォブリング信号が対物レンズに供給された場合には、電
子顕微鏡像の倍率はディスクリートに変化する。
ＣＰ０１３に付属するメモリには観察倍率とウォブリン
グ信号の振幅を表わすデータが記憶されている。このデ
ータを読み出し、それに基づいてＣＰＵ１Ｂより発生さ
れるウォブリング信号は観察倍率により振幅値の異なる
ものとなっている。
グ信号の振幅を表わすデータが記憶されている。このデ
ータを読み出し、それに基づいてＣＰＵ１Ｂより発生さ
れるウォブリング信号は観察倍率により振幅値の異なる
ものとなっている。
例えば、第２図（ｂ）に示す信号は、同図（ａ）に示す
ウォブリング信号が使用される観測倍率よりも高い観測
倍率の場合のウォブリング信号を示しており、該信号の
振幅値はいかなる倍率においても、表示装置上での像の
移動量が略一定になるように設定されている。そのため
、観測倍率を高倍率に移行しながら、ウォブラーを用い
て絞りの軸合わせを行なう場合は、像の移動量が常に一
定に保たれるのでスムーズに軸合わせ作業を行なうこと
ができる。
ウォブリング信号が使用される観測倍率よりも高い観測
倍率の場合のウォブリング信号を示しており、該信号の
振幅値はいかなる倍率においても、表示装置上での像の
移動量が略一定になるように設定されている。そのため
、観測倍率を高倍率に移行しながら、ウォブラーを用い
て絞りの軸合わせを行なう場合は、像の移動量が常に一
定に保たれるのでスムーズに軸合わせ作業を行なうこと
ができる。
尚、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本発
明は種々変形して実施することができる。
明は種々変形して実施することができる。
例えば、上述した実施例においては、走査電子顕微鏡の
軸合わせ装置について説明したが、本発明は透過電子顕
微鏡の軸整合装置にも実施することができる。また、透
過電子顕微鏡の場合には対物レンズにウォブリング信号
を供給するだけでなく、試料へ入射する電子線の入射角
を周期的に変化させて結像される電子顕微鏡像の移動量
が最小になるように対物レンズの励磁電流を変化させて
焦点合わせを行なう場合にも本発明は実施することがで
きる。
軸合わせ装置について説明したが、本発明は透過電子顕
微鏡の軸整合装置にも実施することができる。また、透
過電子顕微鏡の場合には対物レンズにウォブリング信号
を供給するだけでなく、試料へ入射する電子線の入射角
を周期的に変化させて結像される電子顕微鏡像の移動量
が最小になるように対物レンズの励磁電流を変化させて
焦点合わせを行なう場合にも本発明は実施することがで
きる。
また、上述した実施例においては、正焦点値から正負２
つの値間で周期的に変化するウォプリング信号を方形波
で形成したが、該ウォブリング信号は正焦点値を中心に
正負に変化する鋸歯状波や階段状波であっても良い。
つの値間で周期的に変化するウォプリング信号を方形波
で形成したが、該ウォブリング信号は正焦点値を中心に
正負に変化する鋸歯状波や階段状波であっても良い。
また上述した実施例においては、記憶されたデータに基
づいてウすブリング信号の振幅を倍率に応じて変更する
ようにしたが、演算により求めた値に振幅を制御するよ
うにしても良い。
づいてウすブリング信号の振幅を倍率に応じて変更する
ようにしたが、演算により求めた値に振幅を制御するよ
うにしても良い。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、電子
銃と、該電子銃から放出された電子線を試料上に照射す
るためのレンズ手段及び偏向手段と、前記試料像を表示
するための手段とを備えた電子顕微鏡であって、前記レ
ンズ手段または偏向手段に周期的に変化する励磁信号ま
たは偏向信号を供給するための信号発生手段と、前記信
号がレンズ手段または偏向手段供給された際に前記表示
手段に表示される像の移動量をモニターするウォブラー
により焦点合せまたは軸整合を行なうようにした”電子
顕微鏡において、前記電子顕微鏡の観測倍率に連動して
前記信号の振幅を変化させるための手段を設け、該信号
がレンズ手段または偏向手段に供給された際に前記表示
手段上で観察される像の移動量が倍率によらず略一定に
なるようにしたことにより、像倍率の変更に伴い像の移
動量が変化することがなくなり、観測倍率を高倍率に移
行しながら焦点合わせや軸合わせを行なう場合、スムー
ズに調整作業を行なうことができる。
銃と、該電子銃から放出された電子線を試料上に照射す
るためのレンズ手段及び偏向手段と、前記試料像を表示
するための手段とを備えた電子顕微鏡であって、前記レ
ンズ手段または偏向手段に周期的に変化する励磁信号ま
たは偏向信号を供給するための信号発生手段と、前記信
号がレンズ手段または偏向手段供給された際に前記表示
手段に表示される像の移動量をモニターするウォブラー
により焦点合せまたは軸整合を行なうようにした”電子
顕微鏡において、前記電子顕微鏡の観測倍率に連動して
前記信号の振幅を変化させるための手段を設け、該信号
がレンズ手段または偏向手段に供給された際に前記表示
手段上で観察される像の移動量が倍率によらず略一定に
なるようにしたことにより、像倍率の変更に伴い像の移
動量が変化することがなくなり、観測倍率を高倍率に移
行しながら焦点合わせや軸合わせを行なう場合、スムー
ズに調整作業を行なうことができる。
第１図は本発明の一実施例を説明するための装置構成図
、第２図はウォブリング信号を説明するための図である
。 １：電子銃 ２：集束レンズ ３：対物レンズ ４：レンズ電源 ５：試料 ６ｘ，６ｙ二偏向レンズ ７：走査信号発生回路 ８：陰極線管 ９ｘ，９ｙ：偏向コイル １０：二次電子検出器 １１：増幅器 １３：ＣＰＵ １２：倍率設定回路 １４：対物レンズ絞り
、第２図はウォブリング信号を説明するための図である
。 １：電子銃 ２：集束レンズ ３：対物レンズ ４：レンズ電源 ５：試料 ６ｘ，６ｙ二偏向レンズ ７：走査信号発生回路 ８：陰極線管 ９ｘ，９ｙ：偏向コイル １０：二次電子検出器 １１：増幅器 １３：ＣＰＵ １２：倍率設定回路 １４：対物レンズ絞り
Claims (1)
- （１）電子銃と、該電子銃から放出された電子線を試料
上に照射するためのレンズ手段及び偏向手段と、前記試
料像を表示するための手段とを備えた電子顕微鏡であっ
て、前記レンズ手段または偏向手段に周期的に変化する
励磁信号または偏向信号を供給するための信号発生手段
と、前記信号がレンズ手段または偏向手段に供給された
際に前記表示手段に表示される像の移動量をモニターす
るウォブラーにより焦点合せまたは軸整合を行なうよう
にした電子顕微鏡において、前記電子顕微鏡の観測倍率
に連動して前記信号の振幅を変化させるための手段を設
け、該信号がレンズ手段または偏向手段に供給された際
に前記表示手段上で観察される像の移動量が倍率によら
ず略一定になるようにしたことを特徴とする電子顕微鏡
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1233377A JPH077647B2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1233377A JPH077647B2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0395841A true JPH0395841A (ja) | 1991-04-22 |
| JPH077647B2 JPH077647B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=16954148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1233377A Expired - Lifetime JPH077647B2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077647B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010218912A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2019169434A (ja) * | 2018-03-26 | 2019-10-03 | 株式会社島津製作所 | 荷電粒子ビーム軸合わせ装置、荷電粒子ビーム照射装置および荷電粒子ビーム軸合わせ方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54146570A (en) * | 1978-05-09 | 1979-11-15 | Hitachi Ltd | Focusing device for electron microscope |
| JPS5745023A (en) * | 1980-08-30 | 1982-03-13 | Toyota Motor Corp | Bonding method for foamed material |
-
1989
- 1989-09-08 JP JP1233377A patent/JPH077647B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54146570A (en) * | 1978-05-09 | 1979-11-15 | Hitachi Ltd | Focusing device for electron microscope |
| JPS5745023A (en) * | 1980-08-30 | 1982-03-13 | Toyota Motor Corp | Bonding method for foamed material |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010218912A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2019169434A (ja) * | 2018-03-26 | 2019-10-03 | 株式会社島津製作所 | 荷電粒子ビーム軸合わせ装置、荷電粒子ビーム照射装置および荷電粒子ビーム軸合わせ方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH077647B2 (ja) | 1995-01-30 |
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