JPS5953660B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5953660B2 JPS5953660B2 JP55037512A JP3751280A JPS5953660B2 JP S5953660 B2 JPS5953660 B2 JP S5953660B2 JP 55037512 A JP55037512 A JP 55037512A JP 3751280 A JP3751280 A JP 3751280A JP S5953660 B2 JPS5953660 B2 JP S5953660B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- ray tube
- cathode ray
- brightness
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 13
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は一段偏向の走査系をもった走査電子顕微鏡の改
良に関するものである。
良に関するものである。
一段偏向の走査系は二段偏向の走査系に比べ構造が簡単
であることから、比較的簡易型の走査電子顕微鏡にはよ
く使用されている。
であることから、比較的簡易型の走査電子顕微鏡にはよ
く使用されている。
第１図はその概略を示すもので、電子銃（図示せず）か
らの電子線は第１集束レンズ１により集束され、点Ｐに
焦点を結んで発散状態で絞り板２上に投射される。
らの電子線は第１集束レンズ１により集束され、点Ｐに
焦点を結んで発散状態で絞り板２上に投射される。
この絞り板の開口を通過した電子線は唯一段のＸ、 Ｙ
偏向コイル３により、二次元的に偏向、走査され、最終
段集束レンズ（対物レンズ）４の紋り５を通過したもの
が集束されて試料６上に照射される。
偏向コイル３により、二次元的に偏向、走査され、最終
段集束レンズ（対物レンズ）４の紋り５を通過したもの
が集束されて試料６上に照射される。
（特公昭４８−１４３８３号公報参照）この様な走査
系では、偏向コイル３による偏向力及び偏向方向を変え
た場合、点Ｐより発散する電子線の異った部分が絞り５
を通過して試料６に投射されるため、電子線の強度分布
が一様でなければならない。
系では、偏向コイル３による偏向力及び偏向方向を変え
た場合、点Ｐより発散する電子線の異った部分が絞り５
を通過して試料６に投射されるため、電子線の強度分布
が一様でなければならない。
実際に、数百倍以上の中倍高倍での観察に当っては、電
子線の中心部のみ使用されるため、試料に照射される電
子の強度分布は一様なものとなる。
子線の中心部のみ使用されるため、試料に照射される電
子の強度分布は一様なものとなる。
しかし乍ら、数十倍位の極低倍観察においては、第２図
１で示すような電子線の周辺部まで利用しなければなら
ないので、中心部に対し、ΔＩで示す如き強度の低下を
生ずる。
１で示すような電子線の周辺部まで利用しなければなら
ないので、中心部に対し、ΔＩで示す如き強度の低下を
生ずる。
この様な周辺での強度低下のある電子線走査により試料
画像を得た場合、陰極線管画面の周辺部で輝度及びコン
トラストが低下し、像質の劣化は避けられない。
画像を得た場合、陰極線管画面の周辺部で輝度及びコン
トラストが低下し、像質の劣化は避けられない。
実際の写真判定では、観察倍率３５倍で輝度は１５％程
度、コントラストは２０〜２５％中心部より低下してい
る。
度、コントラストは２０〜２５％中心部より低下してい
る。
本発明は上記欠点を解決するもので、一段走査系を用い
た装置において、電子線のＸ、 Ｙ方向の走査に同期し
て陰極線管画面の周辺部の明るさを高めるように該陰極
線管の輝度を制御することに特徴がある。
た装置において、電子線のＸ、 Ｙ方向の走査に同期し
て陰極線管画面の周辺部の明るさを高めるように該陰極
線管の輝度を制御することに特徴がある。
以下第３図に示す実施例に基づき本発明を説明する。
図中、第１図と同符号は同一物を示し、偏向コイルはＸ
方向用３ＸとＹ方向用３Ｙとに分けて表示しである。
方向用３ＸとＹ方向用３Ｙとに分けて表示しである。
７ＸはＸ方向（水平）走査信号発生回路、７ＹはＹ方向
（垂直）走査信号発生回路で、夫々の出力信号は倍率調
整回路８を介して各偏向コイル３Ｘ、３Ｙに送られる。
（垂直）走査信号発生回路で、夫々の出力信号は倍率調
整回路８を介して各偏向コイル３Ｘ、３Ｙに送られる。
又、前記走査信号発生回路の出力信号は、増巾器９Ｘ、
９Ｙを介して陰極線管１０の偏向コイル１１Ｘ、１１Ｙ
に送られている。
９Ｙを介して陰極線管１０の偏向コイル１１Ｘ、１１Ｙ
に送られている。
１２は二次電子や反射電子等、試料からの情報を検出す
る検出器で、その出力信号は映像増巾器１３、乗算（又
は加算）器１４を介して前記陰極線管１０の輝度変調グ
リッドに印加される。
る検出器で、その出力信号は映像増巾器１３、乗算（又
は加算）器１４を介して前記陰極線管１０の輝度変調グ
リッドに印加される。
前記倍率調整回路８からのＸ、 Ｙ夫々の出力信号は、
絶対値回路１５Ｘ、１５Ｙを通して負の信号を正に反転
した後、加算回路１６に供給される。
絶対値回路１５Ｘ、１５Ｙを通して負の信号を正に反転
した後、加算回路１６に供給される。
１７は可変直流電圧源であり、該電源の出力電圧も加算
回路１６に供給されている。
回路１６に供給されている。
加算回路１６の出力は検出器１２からの映像信号と加算
、又は乗算されて陰極線管１０のグリッドに供給される
。
、又は乗算されて陰極線管１０のグリッドに供給される
。
さて、倍率調整回路８から絶対値回路１５Ｘ。
１５Ｙに送られた鋸歯状走査信号は負の電圧が反転され
、第４図ａの如き信号となる。
、第４図ａの如き信号となる。
このとき１５Ｘの出力に対し、１５Ｙの出力の周期は著
しるしく長く、通常数百倍〜千数百倍であることは云う
までもない。
しるしく長く、通常数百倍〜千数百倍であることは云う
までもない。
加算回路１６において、絶対値回路１５Ｘ、１５Ｙ及び
直流電圧源１７の出力信号が加算され、第４図すの如き
輝度信号が出力される。
直流電圧源１７の出力信号が加算され、第４図すの如き
輝度信号が出力される。
同図においてτはＸ方向（水平）走査の周期、ＴはＹ方
向（垂直）走査の周期であり、又ｖｏは直流電圧源１７
の出力電圧である。
向（垂直）走査の周期であり、又ｖｏは直流電圧源１７
の出力電圧である。
この様な信号を映像信号と乗算、又は加算して陰極線管
１０に加えると、該陰極線管の画面周辺部での輝度及び
若しくはコントラス１へが高められ、全画面均質な画像
が得られる。
１０に加えると、該陰極線管の画面周辺部での輝度及び
若しくはコントラス１へが高められ、全画面均質な画像
が得られる。
前記絶対値回路１５Ｘ、１５Ｙには倍率に応じて振巾の
異なる走査信号が入るので倍率が低くなるにつれて第４
図の信号値は大きくなり、倍率変化に対し、自動的に周
辺部の輝度、コントラストの修正が行える。
異なる走査信号が入るので倍率が低くなるにつれて第４
図の信号値は大きくなり、倍率変化に対し、自動的に周
辺部の輝度、コントラストの修正が行える。
実際の装置の場合、中漬や高倍観察では上記の輝度、コ
ントラスト修正は不要であるので、倍率調整回路８と絶
対値回路１５Ｘ。
ントラスト修正は不要であるので、倍率調整回路８と絶
対値回路１５Ｘ。
１５Ｙとの間にスイッチを設けると良い。
このとき、倍率調整つまみとスイッチとを連動せしめ、
一定倍率以下になったとき自動的に修正動作が開始され
るようにすると便利である。
一定倍率以下になったとき自動的に修正動作が開始され
るようにすると便利である。
以上詳述したように、本発明に基づく装置においては、
倍率調整回路によって調整された走査信号の振幅に応じ
た勾配で該陰極線管画面の中央部から周辺部に向うに従
って実質的に輝度変調信号のレベルが高くされるように
陰極線管の輝度を制御するようにしているため、観察倍
率を切換えた場合にも観察倍率に応じた最適な周辺輝度
補正が成され、常に均質な画像を観察することができる
。
倍率調整回路によって調整された走査信号の振幅に応じ
た勾配で該陰極線管画面の中央部から周辺部に向うに従
って実質的に輝度変調信号のレベルが高くされるように
陰極線管の輝度を制御するようにしているため、観察倍
率を切換えた場合にも観察倍率に応じた最適な周辺輝度
補正が成され、常に均質な画像を観察することができる
。
第１図は従来の一段偏向の走査系を示す図、第２図はそ
の電子線強度分布を示す図、第３図は本発明の一実施例
を示すブロック図、第４図はその主要部動作説明図であ
る。 １：集束レンズ、２：絞り板、３Ｘ、３Ｙ：偏向コイル
、４：最終集束レンズ、５：紋り、６：試料、７Ｘ、７
Ｙ：走査信号発生回路、８：倍率調整回路、９Ｘ、９Ｙ
：増巾器、１０：陰極線管、ＩＩＸ、ＩＩＹ：偏向コイ
ル、１２：検出器、１３：映像増巾器、１４１乗算回路
、１５Ｘ、１５Ｙ：絶対値回路、１６：加算回路、１７
：直流電圧源。
の電子線強度分布を示す図、第３図は本発明の一実施例
を示すブロック図、第４図はその主要部動作説明図であ
る。 １：集束レンズ、２：絞り板、３Ｘ、３Ｙ：偏向コイル
、４：最終集束レンズ、５：紋り、６：試料、７Ｘ、７
Ｙ：走査信号発生回路、８：倍率調整回路、９Ｘ、９Ｙ
：増巾器、１０：陰極線管、ＩＩＸ、ＩＩＹ：偏向コイ
ル、１２：検出器、１３：映像増巾器、１４１乗算回路
、１５Ｘ、１５Ｙ：絶対値回路、１６：加算回路、１７
：直流電圧源。
Claims (1)
- １ 最終段集束レンズの上方に配置された一段の偏向器
より成る偏向装置と、発散状態にある電子線を前記最終
段集束レンズの中心に置かれた絞り面上で二次元的に走
査させるための走査信号を該偏向器に供給するための走
査信号発生回路と、該走査信号発生回路より該偏向器に
供給される走査信号の振幅を調整するための倍率調整回
路と、該電子線の試料上における走査に同期して走査さ
れ試料よりの情報信号を輝度変調信号を輝度変調信号と
して試料像を表示するための陰極線管とを具備する装置
において、該倍率調整回路によって調整された該振幅に
応じた勾配で該陰極線管画面の中央部から周辺部に向う
に従って実質的に該輝度変調信号のレベルが高くされる
ように該陰極線管の輝度を制御する手段を備えているこ
とを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55037512A JPS5953660B2 (ja) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55037512A JPS5953660B2 (ja) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56145644A JPS56145644A (en) | 1981-11-12 |
| JPS5953660B2 true JPS5953660B2 (ja) | 1984-12-26 |
Family
ID=12499584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55037512A Expired JPS5953660B2 (ja) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5953660B2 (ja) |
-
1980
- 1980-03-26 JP JP55037512A patent/JPS5953660B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56145644A (en) | 1981-11-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4199681A (en) | Method and apparatus for automatically focusing an electron beam in a scanning beam device | |
| US3597609A (en) | Method of image focusing in particle-beam apparatus comprising changing the beam incidence angle at 10 to 15 hertz | |
| JP2003151484A (ja) | 走査型荷電粒子ビーム装置 | |
| JP2002150987A (ja) | 電子顕微鏡および電子顕微鏡における透過電子像撮影方法 | |
| JPH036615B2 (ja) | ||
| US4321468A (en) | Method and apparatus for correcting astigmatism in scanning electron microscopes and similar equipment | |
| JPH10293552A (ja) | モニタの自動集束回路 | |
| JPS5953660B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| US4982276A (en) | Focussing adjustment changeover circuit for projection TV receiver | |
| JPH0255899B2 (ja) | ||
| JPH0721961A (ja) | 透過電子顕微鏡用又は電子エネルギー損失分析電子顕微鏡用の撮像方法及び撮像装置 | |
| JPH0395841A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH0479101B2 (ja) | ||
| JPS6324617Y2 (ja) | ||
| JPS5811073B2 (ja) | 粒子線による試料走査形試料像表示装置 | |
| JPH07302574A (ja) | 集束イオンビーム加工観察装置 | |
| JPH0360297A (ja) | 撮像装置及びその動作方法 | |
| JPS5914222B2 (ja) | 走査電子顕微鏡等用倍率制御装置 | |
| JPH0425803Y2 (ja) | ||
| JPS5840758A (ja) | 粒子線による試料走査形試料像表示装置における非点収差補正方法 | |
| JPS6134840A (ja) | 粒子線による試料走査形試料像表示装置における非点収差補正方法 | |
| JPH027506B2 (ja) | ||
| JPH0139393Y2 (ja) | ||
| JPS6114631B2 (ja) | ||
| JPS6055951B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 |