JPH0398300A - 荷電粒子ストレツチヤ - Google Patents
荷電粒子ストレツチヤInfo
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- JPH0398300A JPH0398300A JP23627689A JP23627689A JPH0398300A JP H0398300 A JPH0398300 A JP H0398300A JP 23627689 A JP23627689 A JP 23627689A JP 23627689 A JP23627689 A JP 23627689A JP H0398300 A JPH0398300 A JP H0398300A
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- Japan
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- stretcher
- electrode
- magnetic field
- positron
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分封〕
この発明は例えば陽電子のパルス・ビームのパルス幅を
引きのばす(以後直流化と呼ぶ)ための荷電粒子ストレ
ッチャに関するものである。
引きのばす(以後直流化と呼ぶ)ための荷電粒子ストレ
ッチャに関するものである。
第6図(A)は、例えば第3回原子核科学とその応用の
ための加速器に関する日本・中国共同シンポジウム.
1987 年11月のプロシーデイングス(IMp16
3〜165)に記載された従来の陽電子ストレッチャ(
100)を示す断面図であシ、図において、(lM).
(lb) [メッシュ電極、+21U磁場発生手段のン
レノイド・コイル、(3)は真空チェンバー,(10)
U陽電子発生部、(ll)Hタングステン箔である。
ための加速器に関する日本・中国共同シンポジウム.
1987 年11月のプロシーデイングス(IMp16
3〜165)に記載された従来の陽電子ストレッチャ(
100)を示す断面図であシ、図において、(lM).
(lb) [メッシュ電極、+21U磁場発生手段のン
レノイド・コイル、(3)は真空チェンバー,(10)
U陽電子発生部、(ll)Hタングステン箔である。
なか、第6図(B)はメッシュ電極(ta). Qb)
をビーム方向Eより見た正面図である。
をビーム方向Eより見た正面図である。
次に動作について説明する。陽゛醒子ビームは物質表面
の構造解析等に用いられ、大強度でエネルギーの揃った
連続的なビームが要求される。陽電子は自然界には存在
しないため高エネルギー電子ビームを使って作り出す。
の構造解析等に用いられ、大強度でエネルギーの揃った
連続的なビームが要求される。陽電子は自然界には存在
しないため高エネルギー電子ビームを使って作り出す。
例えばこの高エネルギー電子ビームの発生源として電子
ライナツク(図示しない)を使い加速された電子ビーム
を陽電子発生部(10)のタンタルの板に当てると、制
動放射により強力なX線が発生する。そのxmは対生成
と呼ばれる現象によシ電子と陽電子になる。発生した陽
電子のエネルギーは数pVから数十eVまで幅広く分布
しているため、エネルギーを揃えるために陽電子発生部
(10)のタンタル板の後に設ケているタングステン箔
(11)に入射させると、ゼロ近辺から数eVのエネル
ギーの揃ったビームとして取シ出される。
ライナツク(図示しない)を使い加速された電子ビーム
を陽電子発生部(10)のタンタルの板に当てると、制
動放射により強力なX線が発生する。そのxmは対生成
と呼ばれる現象によシ電子と陽電子になる。発生した陽
電子のエネルギーは数pVから数十eVまで幅広く分布
しているため、エネルギーを揃えるために陽電子発生部
(10)のタンタル板の後に設ケているタングステン箔
(11)に入射させると、ゼロ近辺から数eVのエネル
ギーの揃ったビームとして取シ出される。
しかし、ライナックは一般に連続運転は難しくパルス運
転されるため、発生する陽電子もパルスである。従って
、そのパルス陽電子ビームを直流化するために陽電子発
生部flO]の後にストレッチャ(100)が設置され
る。ストレッチャ(100)は長い直線部の両端にメッ
シュ電極(la),(lb)が2個取り付けられたもの
である。各々の電極oa>. Qb)には第2図(A)
に示すようなパルス電圧が印加される。つ筐9人口の電
極(1a)にはライナツクからパルス電子ビームが米て
いる時間以外は第2 IN (B)に示すようなある一
定の電圧をかけ、出口の電極(1b)には第2図(C)
に示すような時間と共に下がってゆく電圧をかける。陽
電子発生部(10)のタングステン箔(!1)から取り
出された陽電子ビームのエネルギーはゼロ近辺から数e
V iでの幅を持つため、出口の電極(1b)の電位が
全ての陽電子のエネルギーよりも高い間は第7図に示す
ように陽電子(6)は電極(1b)を通過することがで
きず、2個の電極(la). (lb)の間を往復する
ことになる。出口の電極(1b)の電位が下がるとエネ
ルギーの高い陽電子(6)は電極(ib) ’1通過で
きるようになるため、第2図(C)のように出口の電極
(lb )の電位を時間と共に下げることにより、エネ
ルギーの高い陽電子(6)から第6図の右方向に順に取
り出されることになり、パルス陽電子ビームは第2 囚
(D)に示すように連続ビームとなる。
転されるため、発生する陽電子もパルスである。従って
、そのパルス陽電子ビームを直流化するために陽電子発
生部flO]の後にストレッチャ(100)が設置され
る。ストレッチャ(100)は長い直線部の両端にメッ
シュ電極(la),(lb)が2個取り付けられたもの
である。各々の電極oa>. Qb)には第2図(A)
に示すようなパルス電圧が印加される。つ筐9人口の電
極(1a)にはライナツクからパルス電子ビームが米て
いる時間以外は第2 IN (B)に示すようなある一
定の電圧をかけ、出口の電極(1b)には第2図(C)
に示すような時間と共に下がってゆく電圧をかける。陽
電子発生部(10)のタングステン箔(!1)から取り
出された陽電子ビームのエネルギーはゼロ近辺から数e
V iでの幅を持つため、出口の電極(1b)の電位が
全ての陽電子のエネルギーよりも高い間は第7図に示す
ように陽電子(6)は電極(1b)を通過することがで
きず、2個の電極(la). (lb)の間を往復する
ことになる。出口の電極(1b)の電位が下がるとエネ
ルギーの高い陽電子(6)は電極(ib) ’1通過で
きるようになるため、第2図(C)のように出口の電極
(lb )の電位を時間と共に下げることにより、エネ
ルギーの高い陽電子(6)から第6図の右方向に順に取
り出されることになり、パルス陽電子ビームは第2 囚
(D)に示すように連続ビームとなる。
ここで、第21m(D)は厳密には連続ビームではない
が、実際にはストレッチャ(100) K入射される陽
電子のパルス幅は第2図(A)の斜線部に示すようK数
メsecであり、第2図(D)の直流化されたビーム幅
は数msecである故、連続ビームとして取り扱うこと
ができる。
が、実際にはストレッチャ(100) K入射される陽
電子のパルス幅は第2図(A)の斜線部に示すようK数
メsecであり、第2図(D)の直流化されたビーム幅
は数msecである故、連続ビームとして取り扱うこと
ができる。
ンレノイドコイル12)ハ陽電子発生部f101 .
(Illから取シ出された陽電子ビームが広がって真空
チェンバー(3)に当たらないように陽電子ビームの広
がシを抑えるための磁S発生手段であり、ざら[%極(
la). (]1+)間を往復する陽電子f61の発散
も抑える機能も右しでいる。
(Illから取シ出された陽電子ビームが広がって真空
チェンバー(3)に当たらないように陽電子ビームの広
がシを抑えるための磁S発生手段であり、ざら[%極(
la). (]1+)間を往復する陽電子f61の発散
も抑える機能も右しでいる。
従来の荷電粒子ストレッチャ(100)は以上のように
メッシュ電極(ig). (Ib)が平坦状に構成され
ているので、@7図に示すように電極(la). (l
b)から出る電気力線(5)は真空チェンバー(3)の
中心に向くことなく常に真空チェンバー(3)の内壁に
向かうことになる。従って、陽電子{6}は電極(lg
). (lb)に近づく度に発散力を受けることになり
、多数回往復する間VC−A空チェンバー(3)に当シ
そのエネルギーを失なう。ソレノイドコイル+21 K
よシ陽電子(6)は集束力も受けるが十分ではなく、十
分な集束力を得るためには強力なソレノイド磁場が必要
となり、ソレノイドコイル(2)が大型となり、製作が
困短になる問題点があった。
メッシュ電極(ig). (Ib)が平坦状に構成され
ているので、@7図に示すように電極(la). (l
b)から出る電気力線(5)は真空チェンバー(3)の
中心に向くことなく常に真空チェンバー(3)の内壁に
向かうことになる。従って、陽電子{6}は電極(lg
). (lb)に近づく度に発散力を受けることになり
、多数回往復する間VC−A空チェンバー(3)に当シ
そのエネルギーを失なう。ソレノイドコイル+21 K
よシ陽電子(6)は集束力も受けるが十分ではなく、十
分な集束力を得るためには強力なソレノイド磁場が必要
となり、ソレノイドコイル(2)が大型となり、製作が
困短になる問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、陽電子が荷電粒子ストレッチャの中で失われ
ないようにすることを目的とする。
たもので、陽電子が荷電粒子ストレッチャの中で失われ
ないようにすることを目的とする。
第1の発明に係る荷電粒子ストレッチャは、磁場発生手
段と、真空容器と、この真空容器の軸方向に相対して設
けられた1対の電極とを備え、上記1対の電極を半球状
に形成したものである。
段と、真空容器と、この真空容器の軸方向に相対して設
けられた1対の電極とを備え、上記1対の電極を半球状
に形成したものである。
第2の発明に係る荷電粒子ストレッチャは、上記第1の
発明の電極を円筒状にしたものである。
発明の電極を円筒状にしたものである。
第3の発明に係る荷電粒子ストレッチャば、磁場発生手
段と、真空容器と、この真空容器の軸方向に相対して設
けられた反射磁場コイルを備えたものである。
段と、真空容器と、この真空容器の軸方向に相対して設
けられた反射磁場コイルを備えたものである。
この発明にふ・ける荷電粒子ストレッチャは、電極の作
る電界、または反射磁場コイルの作る磁場によって、荷
電粒子が集束力を受けるので、真空容器に当ってエネル
ギーを失うことを防ぐ。
る電界、または反射磁場コイルの作る磁場によって、荷
電粒子が集束力を受けるので、真空容器に当ってエネル
ギーを失うことを防ぐ。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第1
区(A)は電極(la),(lb)を半球状にしたスト
レッチャ(100a)の一実施例、第1図(B) fl
W極(k),(1d)全ビーム方向Eより見た正面図
、第2園はストレッチャ両端の電極(lc) , (l
d)に印加するパルス電圧と陽電子ビームの時間的関係
、第3園は電極(lc). (ld)伺近の電気力線(
6)を表わす図である〇図VCかいて、(100a)
fiストレッチャ、(lc).(ld)はメッシュ電極
で、半球状をなしている。(2)は磁場発生手段である
ンレノイドコイル、(3)は真空チェンバー、(5)は
電気力線、{61は陽電子である。
区(A)は電極(la),(lb)を半球状にしたスト
レッチャ(100a)の一実施例、第1図(B) fl
W極(k),(1d)全ビーム方向Eより見た正面図
、第2園はストレッチャ両端の電極(lc) , (l
d)に印加するパルス電圧と陽電子ビームの時間的関係
、第3園は電極(lc). (ld)伺近の電気力線(
6)を表わす図である〇図VCかいて、(100a)
fiストレッチャ、(lc).(ld)はメッシュ電極
で、半球状をなしている。(2)は磁場発生手段である
ンレノイドコイル、(3)は真空チェンバー、(5)は
電気力線、{61は陽電子である。
なか、陽電子発生部(lO)は図示を省略しているが、
従来例第6園と同様である。
従来例第6園と同様である。
次VC@作について説明する。従来例の第6図にて説明
したように、電子ライナツクを使って隔エネルギーに加
速された電子ビームにより発生した取りt1jさitる
。そして、そのパルス陽′1κ子ビーl、は第1図に示
すストレッチャ(100n) K人則される。
したように、電子ライナツクを使って隔エネルギーに加
速された電子ビームにより発生した取りt1jさitる
。そして、そのパルス陽′1κ子ビーl、は第1図に示
すストレッチャ(100n) K人則される。
ストレッチャ(100a) ij長い直線部の両端に半
球状のメッシュ電極(ic),(ld)が2個取り付け
られたものである。各々の電極(lc). (ld)に
は第2図(B) . (C)に示すようなパルス電圧が
印加される。つ筐9人口のK’t (1 c)にはライ
ナツクからパルス電子ビームが来ている時間以外は算2
図(B’lに示すよう7′.Cある一定の電圧をかけ、
出口の電極(1d)には第2図(C)に示すような時間
と共に下がってゆく電圧をかける。ストレッチャ(10
0a )に入射される陽電子ビームのエネルキーはゼロ
近辺から数eV 4での幅を持つため、出口電極(1d
)の電位が全ての陽電子(6}のエネルギーよりも高い
間は陽電子(61ぱメッシュ電極(1d)を通過するこ
とができず、2個の電極(lc).(1d)の間を往復
することになる。出口のメッシュ電極(1d)の電位が
下がるとエネルギーの高い陽電子(61ぱ電極(1d)
のメッシュ間を通過できるようになるため、出口のメッ
シュ電極(1d)の電位を時間と共[}げることにより
、エネルキ一〇高い陽電子(61から順に取り出される
ζとKなり、パルス陽′rPf.子ビームは第2[+(
D)のような16L流化されたiリt続ビームとなる。
球状のメッシュ電極(ic),(ld)が2個取り付け
られたものである。各々の電極(lc). (ld)に
は第2図(B) . (C)に示すようなパルス電圧が
印加される。つ筐9人口のK’t (1 c)にはライ
ナツクからパルス電子ビームが来ている時間以外は算2
図(B’lに示すよう7′.Cある一定の電圧をかけ、
出口の電極(1d)には第2図(C)に示すような時間
と共に下がってゆく電圧をかける。ストレッチャ(10
0a )に入射される陽電子ビームのエネルキーはゼロ
近辺から数eV 4での幅を持つため、出口電極(1d
)の電位が全ての陽電子(6}のエネルギーよりも高い
間は陽電子(61ぱメッシュ電極(1d)を通過するこ
とができず、2個の電極(lc).(1d)の間を往復
することになる。出口のメッシュ電極(1d)の電位が
下がるとエネルギーの高い陽電子(61ぱ電極(1d)
のメッシュ間を通過できるようになるため、出口のメッ
シュ電極(1d)の電位を時間と共[}げることにより
、エネルキ一〇高い陽電子(61から順に取り出される
ζとKなり、パルス陽′rPf.子ビームは第2[+(
D)のような16L流化されたiリt続ビームとなる。
このようにエネルギーの低い陽電子はストレッチャ(1
00a)をイロエ度も往復することになるが、両端の電
極(lc). (ld)付近では進行方向に対して垂直
方向VC電界によシカを受けることになる。しかし、本
発明では第3図VC′醒極(lc). (ld)付近の
電気力線(5)を示すようVC,゜嘔極(lc)− (
ld)−@半球状としたためVC電気力線(5)は電極
(lc). (ld)から真空チェンバー{3)にただ
向かうだけでなく、−W真空チェンバー(31の中心に
間いその後真空チェンバー(31壁に向かうため、電j
FM (lc),(ld)付近に近づいた陽電子(6は
電界によ!ll発散力たけでなく集束力も受けることに
なる。真空チェンバー+31 K沿って設けてある磁場
発生手段のソレノイドコイル+21 1cより作り出さ
れる磁場も陽電子(6)に集束力を与えるが、本発明の
電極構造とすることにより、より強力な集束力かえられ
、陽電子{6}の損失を減少できる。
00a)をイロエ度も往復することになるが、両端の電
極(lc). (ld)付近では進行方向に対して垂直
方向VC電界によシカを受けることになる。しかし、本
発明では第3図VC′醒極(lc). (ld)付近の
電気力線(5)を示すようVC,゜嘔極(lc)− (
ld)−@半球状としたためVC電気力線(5)は電極
(lc). (ld)から真空チェンバー{3)にただ
向かうだけでなく、−W真空チェンバー(31の中心に
間いその後真空チェンバー(31壁に向かうため、電j
FM (lc),(ld)付近に近づいた陽電子(6は
電界によ!ll発散力たけでなく集束力も受けることに
なる。真空チェンバー+31 K沿って設けてある磁場
発生手段のソレノイドコイル+21 1cより作り出さ
れる磁場も陽電子(6)に集束力を与えるが、本発明の
電極構造とすることにより、より強力な集束力かえられ
、陽電子{6}の損失を減少できる。
また、WJ4図ぱ他の夾扼例を示丁もので、電極として
メツンユ′ll1.極の代わりに川筒電極(4)を用い
たもので、この電極(4)の屯界V(よっても陽′M子
は電極(4)付近で発散力たけでなく集束力も受ける。
メツンユ′ll1.極の代わりに川筒電極(4)を用い
たもので、この電極(4)の屯界V(よっても陽′M子
は電極(4)付近で発散力たけでなく集束力も受ける。
1た、第5図(A)は上述した電界による陽電子閉じ込
めの代わシに磁場による閉じ込め方式としたストレッチ
ャ(100b)の一実施例である。(28) Uソレノ
イドコイル、(7)ltl反射磁場を作るためのコイル
、(9)は磁力線である。ここで、陽電子(6)は磁力
線(9)に巻き付くように進むが、第5図(a) VC
示すように反射磁場コイル(7)の作る磁場が両端で磁
場強度が強くなる分布にすると、その強くなった領域で
跳ね返される運動をする。つ1り、陽電子(6)は反射
される。跳ね返される磁場強度は陽電子(6)のエネル
ギーに依存するため、この両端の磁場強度を第2図に示
した電極の場合のパルス電圧(B) . (C)のよう
に変化させると、電極の場合と同様の原理でパルス陽電
子ビームは直流化される。そして電極の場合に生じた発
散力は受けないため、陽電子は損失なく直流化されるこ
とになる。
めの代わシに磁場による閉じ込め方式としたストレッチ
ャ(100b)の一実施例である。(28) Uソレノ
イドコイル、(7)ltl反射磁場を作るためのコイル
、(9)は磁力線である。ここで、陽電子(6)は磁力
線(9)に巻き付くように進むが、第5図(a) VC
示すように反射磁場コイル(7)の作る磁場が両端で磁
場強度が強くなる分布にすると、その強くなった領域で
跳ね返される運動をする。つ1り、陽電子(6)は反射
される。跳ね返される磁場強度は陽電子(6)のエネル
ギーに依存するため、この両端の磁場強度を第2図に示
した電極の場合のパルス電圧(B) . (C)のよう
に変化させると、電極の場合と同様の原理でパルス陽電
子ビームは直流化される。そして電極の場合に生じた発
散力は受けないため、陽電子は損失なく直流化されるこ
とになる。
なか、上記実施例では直流化対象荷電粒子を陽電子とし
たが、荷電粒子であれば陽電子K眼らない。
たが、荷電粒子であれば陽電子K眼らない。
1た、上記実施例では陽電子発生のための電子ビーム発
生装置として電子ライナックを用いたが、他の加速器で
もよい。
生装置として電子ライナックを用いたが、他の加速器で
もよい。
筐たさらに磁場発生手段としてソレノイドコイルを示し
たが、これに限定されるものではない。
たが、これに限定されるものではない。
以上のように、第1の発明によれば1対の電極を半球状
に、1た第2の発明によれば1対の電極を円筒状とした
ので、上記電極の作る電界によって、そして1た、第3
の発明によれば1対の反射磁場コイルの作る磁場によっ
て、上記電極付近1たは上記反射磁場コイル付近にかい
て荷電粒子に集束力を与えるために、荷電粒子の損失の
少ないストレッチャが得られる効果がある。
に、1た第2の発明によれば1対の電極を円筒状とした
ので、上記電極の作る電界によって、そして1た、第3
の発明によれば1対の反射磁場コイルの作る磁場によっ
て、上記電極付近1たは上記反射磁場コイル付近にかい
て荷電粒子に集束力を与えるために、荷電粒子の損失の
少ないストレッチャが得られる効果がある。
第11N(A)はこの発明の一実施例によ,る電極を半
球状にしたストレッチヤ金示す断面側面図、第1図(B
)は電極の正面図、第2図はストレッチャの電極に印加
するパルス電圧と陽電子ビームの時間的関係、第3図は
この発明による電極付近の電気力線を表す図、第4図は
この発明の他の実施例による電極を円筒状とした出口側
電極付近の断面図、第5図(A)も他の実施例による磁
場による#電子閉じ込め型としたストレッチャの一実施
例を示す断面側面図、第5図(B)は反射磁場コイルの
作る研場分布図、第6図(A)は従来のストレッチヤ金
示す断面側面図、第6図(B)は電極の正面図、第7図
は従来の電極付近の電気力線を表す図である。 図に訃いて、(lc).(ld)は半球状のメッシュ電
極、f21iソレノイドコイル、(31は真空チェンバ
ー14)は円筒電極、(5)は電気力線、(6}は陽電
子、(lO)は陽電子発生部、(1l)はタングステン
箔、(100a).(100b)はストレッチャである
。 なか、図中、同一符号は同一 壕たは相当部分を示す。
球状にしたストレッチヤ金示す断面側面図、第1図(B
)は電極の正面図、第2図はストレッチャの電極に印加
するパルス電圧と陽電子ビームの時間的関係、第3図は
この発明による電極付近の電気力線を表す図、第4図は
この発明の他の実施例による電極を円筒状とした出口側
電極付近の断面図、第5図(A)も他の実施例による磁
場による#電子閉じ込め型としたストレッチャの一実施
例を示す断面側面図、第5図(B)は反射磁場コイルの
作る研場分布図、第6図(A)は従来のストレッチヤ金
示す断面側面図、第6図(B)は電極の正面図、第7図
は従来の電極付近の電気力線を表す図である。 図に訃いて、(lc).(ld)は半球状のメッシュ電
極、f21iソレノイドコイル、(31は真空チェンバ
ー14)は円筒電極、(5)は電気力線、(6}は陽電
子、(lO)は陽電子発生部、(1l)はタングステン
箔、(100a).(100b)はストレッチャである
。 なか、図中、同一符号は同一 壕たは相当部分を示す。
Claims (3)
- (1)磁場発生手段と、真空容器と、この真空容器の軸
方向に相対して設けられた1対の電極とを備えた荷電粒
子ストレッチャにおいて、上記1対の電極を半球状に構
成したことを特徴とする荷電粒子ストレッチャ。 - (2)磁場発生手段と、真空容器と、この真空容器の軸
方向に相対して設けられた1対の電極とを備えた荷電粒
子ストレッチャにおいて、上記1対の電極を円筒状に構
成したことを特徴とする荷電粒子ストレッチャ。 - (3)磁場発生手段と、真空容器と、この真空容器の軸
方向に相対して設けられた1対の反射磁場コイルとを備
えた荷電粒子ストレッチャ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23627689A JPH0398300A (ja) | 1989-09-12 | 1989-09-12 | 荷電粒子ストレツチヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23627689A JPH0398300A (ja) | 1989-09-12 | 1989-09-12 | 荷電粒子ストレツチヤ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0398300A true JPH0398300A (ja) | 1991-04-23 |
Family
ID=16998388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23627689A Pending JPH0398300A (ja) | 1989-09-12 | 1989-09-12 | 荷電粒子ストレツチヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0398300A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0572397A (ja) * | 1991-09-12 | 1993-03-26 | Agency Of Ind Science & Technol | 低エネルギー荷電粒子ビームチヨツピング装置 |
| JPH0574593A (ja) * | 1991-09-12 | 1993-03-26 | Agency Of Ind Science & Technol | 低エネルギー荷電粒子ビームパルス化装置 |
-
1989
- 1989-09-12 JP JP23627689A patent/JPH0398300A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0572397A (ja) * | 1991-09-12 | 1993-03-26 | Agency Of Ind Science & Technol | 低エネルギー荷電粒子ビームチヨツピング装置 |
| JPH0574593A (ja) * | 1991-09-12 | 1993-03-26 | Agency Of Ind Science & Technol | 低エネルギー荷電粒子ビームパルス化装置 |
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