JPH0398731A - 永電磁式チャック - Google Patents
永電磁式チャックInfo
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- JPH0398731A JPH0398731A JP23120389A JP23120389A JPH0398731A JP H0398731 A JPH0398731 A JP H0398731A JP 23120389 A JP23120389 A JP 23120389A JP 23120389 A JP23120389 A JP 23120389A JP H0398731 A JPH0398731 A JP H0398731A
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- electromagnet
- permanent magnet
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は永久磁石を用いてワークの吸着を行う永電磁式
チャックに関するものである。
チャックに関するものである。
切削、研削等の機械加工をワークに対して行うため、磁
力によりワークを保持するチャックとして、電磁チャッ
クと、永電磁式チャックとがある。
力によりワークを保持するチャックとして、電磁チャッ
クと、永電磁式チャックとがある。
前者は、永久磁石を用いずに、コイルの通電による磁力
のみでワークを吸着しようとするもので、吸着動作中は
コイルが通電され続けた状態になる。
のみでワークを吸着しようとするもので、吸着動作中は
コイルが通電され続けた状態になる。
これに対し、後者は、永久磁石と電磁石の双方を用い、
電磁石の極性を変換させることによりワークの吸着及び
保持を行うもので、電磁石のコイルが通電されるのはそ
の極性が変化される瞬時のみである。
電磁石の極性を変換させることによりワークの吸着及び
保持を行うもので、電磁石のコイルが通電されるのはそ
の極性が変化される瞬時のみである。
第５図及び第６図は、このような永電磁式チャックの構
成及び動作を説明するための概略図である。なお、この
第５図及び６図は、第７図の形状の永電磁式チャック１
の一部を断面にして示したものである。
成及び動作を説明するための概略図である。なお、この
第５図及び６図は、第７図の形状の永電磁式チャック１
の一部を断面にして示したものである。
永久電磁式チャック１の上面には、ワーク２を吸着する
ための吸着面Ｐが形成されている。この吸着面Ｐの下方
には、磁極性部材３を挟んで一対の極性固定永久磁石（
以下、永久磁石と略す）４，４が取付けられている。
ための吸着面Ｐが形成されている。この吸着面Ｐの下方
には、磁極性部材３を挟んで一対の極性固定永久磁石（
以下、永久磁石と略す）４，４が取付けられている。
そして、これらの永久磁石４，４の下方には極性可変永
電磁石（以下、永電磁石と略す）５が配設されている。
電磁石（以下、永電磁石と略す）５が配設されている。
この永電磁石５は、アルニコＷの材質で形成された永久
磁石６と、永久磁石６の周囲に巻回されたコイル７とに
より横成されている。
磁石６と、永久磁石６の周囲に巻回されたコイル７とに
より横成されている。
また、これら永久磁石４，４及び永電磁石５の回りには
、フレーム部材及び磁極部材の双方の部材として機能す
るヨーク（！ｌ鉄）８が取付けられている。
、フレーム部材及び磁極部材の双方の部材として機能す
るヨーク（！ｌ鉄）８が取付けられている。
次に、このような従来の永電磁式チャック１の動作につ
き説明する。
き説明する。
第５図または第６図に示すように、永久磁石４の周囲に
は常時一定方向の向きの磁力線９が発生している。そこ
で、ワーク２を吸着面Ｐに吸着させる場合は、コイル７
を通電し、第５図に示すように、永電磁石５に、磁力線
９と同し方向の磁力線１０ａを発生させるようにする。
は常時一定方向の向きの磁力線９が発生している。そこ
で、ワーク２を吸着面Ｐに吸着させる場合は、コイル７
を通電し、第５図に示すように、永電磁石５に、磁力線
９と同し方向の磁力線１０ａを発生させるようにする。
すると、磁力線９，１０ａの各磁力が相まって、ワーク
２は強い力で吸着面Ｐに吸着された状態となる。これに
より、ワーク２に対する機械加工が可能となる。
２は強い力で吸着面Ｐに吸着された状態となる。これに
より、ワーク２に対する機械加工が可能となる。
そして、ワーク２に対する機械加工が終了し、ワーク２
の吸着を解除する場合は、吸着時の場合と逆向きの通電
をコイル７に行うようにする。すると、第６図に示すよ
うに、永電磁石５の回りに、磁力線つと逆方向の磁力線
１０ａが発生する。これら、磁力線９，１０ｂによる各
磁力は互いに″．べしく直結するように働き、ワーク２
を吸着する力は非常に弱いものとなる。したがって、ワ
ーク２を吸着面Ｐから取外すことができる。
の吸着を解除する場合は、吸着時の場合と逆向きの通電
をコイル７に行うようにする。すると、第６図に示すよ
うに、永電磁石５の回りに、磁力線つと逆方向の磁力線
１０ａが発生する。これら、磁力線９，１０ｂによる各
磁力は互いに″．べしく直結するように働き、ワーク２
を吸着する力は非常に弱いものとなる。したがって、ワ
ーク２を吸着面Ｐから取外すことができる。
なお、第５図，第６図においては説明を簡０１にするた
め、永電磁石５を１個のみ図示しているが、実際には、
第８図または第９図に示すように、永電磁石５は複数個
が隣接するように配設されている。ここで、第８図は主
として切削加工用、第９図は主として研削加工用に用い
られるものであり、第８図の方が吸着力が強くなってい
る。
め、永電磁石５を１個のみ図示しているが、実際には、
第８図または第９図に示すように、永電磁石５は複数個
が隣接するように配設されている。ここで、第８図は主
として切削加工用、第９図は主として研削加工用に用い
られるものであり、第８図の方が吸着力が強くなってい
る。
上記のように、ワーク２の吸着を解除するにあたっては
、永電磁石５の極性を変換することにより、ワーク２を
通過する磁力線の数を減少させるようにしている。
、永電磁石５の極性を変換することにより、ワーク２を
通過する磁力線の数を減少させるようにしている。
ここで、ワーク２が軟鉄のような残留磁気の残りにくい
材質である場合には、第６図の状態において、ワーク２
に発生している残留磁気はさして問題となる量ではない
。
材質である場合には、第６図の状態において、ワーク２
に発生している残留磁気はさして問題となる量ではない
。
しかし、ワーク２が焼入れを必要とするような硬い材質
の材料（例えばダイス鋼等）である場合には、第６図の
状態において、ワーク２に少からず残留磁気が発生する
ことになる。
の材料（例えばダイス鋼等）である場合には、第６図の
状態において、ワーク２に少からず残留磁気が発生する
ことになる。
そのため、ワーク２を吸着而Ｐから取外す作業を円滑に
行うことができないという問題を有していた。また、こ
のような残留磁気のため、ワーク２の後工程に悪影響を
与えるおそれがあり、さらに、最終製品仕様として、残
留磁気の完全な消滅が要求されるという問題もある。
行うことができないという問題を有していた。また、こ
のような残留磁気のため、ワーク２の後工程に悪影響を
与えるおそれがあり、さらに、最終製品仕様として、残
留磁気の完全な消滅が要求されるという問題もある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、ワーク
の機械加工終了後に、このワークの残留磁気を完全に消
滅させることができる永電磁式チャックを提供しようと
するものである。
の機械加工終了後に、このワークの残留磁気を完全に消
滅させることができる永電磁式チャックを提供しようと
するものである。
本発明は上記課題を解決するための手段としてワーク吸
着面の下方に極性固定永久磁石を設けると共に、この極
性固定永久磁石の下方に極性可変永電磁石を配設し、前
記ワークの吸着時には前記極性固定永久磁石及び前記極
性可変永電磁石の各磁力線の向きが一致するようにこの
極性”Ｊｔ永電磁石のコイルを通電し、前記ワークの吸
着解除時には前記極性固定永久磁石及び前記極性可変永
化磁石の各磁力線の向きが互いに逆方向になるようにこ
の極性可変永電磁石のコ，イルを通屯する永電磁式チャ
ックにおいて、前記ワーク吸着面と前記極性固定永久磁
石との間に、さらにワーク脱磁用電磁石を形成し、前記
ワークの吸着解除後にこのワーク脱磁用電磁石のコイル
へ交番型減衰電流を流すようにした構成としてある。
着面の下方に極性固定永久磁石を設けると共に、この極
性固定永久磁石の下方に極性可変永電磁石を配設し、前
記ワークの吸着時には前記極性固定永久磁石及び前記極
性可変永電磁石の各磁力線の向きが一致するようにこの
極性”Ｊｔ永電磁石のコイルを通電し、前記ワークの吸
着解除時には前記極性固定永久磁石及び前記極性可変永
化磁石の各磁力線の向きが互いに逆方向になるようにこ
の極性可変永電磁石のコ，イルを通屯する永電磁式チャ
ックにおいて、前記ワーク吸着面と前記極性固定永久磁
石との間に、さらにワーク脱磁用電磁石を形成し、前記
ワークの吸着解除後にこのワーク脱磁用電磁石のコイル
へ交番型減衰電流を流すようにした構成としてある。
上記構成において、ワークの吸着が解除された時点で、
ワークの材質如何によっては、このワークに多量の残留
磁気が発生している場合がある。
ワークの材質如何によっては、このワークに多量の残留
磁気が発生している場合がある。
しかし、そのような場合でも、ワーク脱磁用電磁石のコ
イルに交番型減衰電流を流すようにしてあるので、ワー
ク内には交番型減衰磁昇が允生じ、これにより残留磁気
が殆ど消滅する。
イルに交番型減衰電流を流すようにしてあるので、ワー
ク内には交番型減衰磁昇が允生じ、これにより残留磁気
が殆ど消滅する。
以下、本発明の実施例を第１図乃至第４図に基いて説明
する。但し、第５図乃至第９図と同様の構成要素には同
一符号を付して重複した説明を省略することとする。
する。但し、第５図乃至第９図と同様の構成要素には同
一符号を付して重複した説明を省略することとする。
第１図における磁極性部材３及びヨーク８は、第５図乃
至第８図におけるものよりも、さらに上方に伸びて形成
されている。そして、この磁極性部材３において、永久
磁石４よりも高い位置にはコイル１１が巻回されており
、さらに、このコイル１１には交番型減衰電流供給回路
（図示せず）が接続されている。すなわち、吸着而Ｐと
永久磁石４との間には、磁極性部材３とコイル１１とで
形成されるワーク脱磁用電磁石１２が形成された状態と
なっている。
至第８図におけるものよりも、さらに上方に伸びて形成
されている。そして、この磁極性部材３において、永久
磁石４よりも高い位置にはコイル１１が巻回されており
、さらに、このコイル１１には交番型減衰電流供給回路
（図示せず）が接続されている。すなわち、吸着而Ｐと
永久磁石４との間には、磁極性部材３とコイル１１とで
形成されるワーク脱磁用電磁石１２が形成された状態と
なっている。
次に、このように構成される本実施例の動作を第２図乃
至第４図に話いて説明する。
至第４図に話いて説明する。
まず、ワーク２を吸着面Ｐに吸着させる場合は、コイル
７を通電して、磁極性部材３に対する磁力線９．１０ａ
の向きが同極になり（第２図）、ワーク２の吸着を解除
する場合は、コイル７の通電を逆にして、磁力線９，１
０ｂの向きが昇極で豆いに等しく直結するようになる（
第３図）。これらの場合の動作は、第５図及び第６図の
場合の動作とほぼ同様である。なお、いずれの場合もコ
イル７に対する通電は短時間でよく、通電を継続させて
おく必要はない。
７を通電して、磁極性部材３に対する磁力線９．１０ａ
の向きが同極になり（第２図）、ワーク２の吸着を解除
する場合は、コイル７の通電を逆にして、磁力線９，１
０ｂの向きが昇極で豆いに等しく直結するようになる（
第３図）。これらの場合の動作は、第５図及び第６図の
場合の動作とほぼ同様である。なお、いずれの場合もコ
イル７に対する通電は短時間でよく、通電を継続させて
おく必要はない。
そして、第３図の状態では前述のように、ワーク２内に
残留磁気（９）が発生しているが、この残留磁気（９）
を除去するため、ワーク脱磁用電磁石１２に脱磁動作を
行なわせるようにする。すなわち、コイル１１に交番型
減衰電流（極性を交互に変化させながら漸次減衰してい
く電流）を流すと、第４図に示すように、この交番型減
衰電流によって、互いに向きの異なる磁力線１３ａ，１
３ｂが交互に発生する。したがって、この磁力線１３ａ
，１３ｂにより、ワーク２には交番型減衰磁界が印加さ
れることとなり、これによりそれまでワーク２に残存し
ていた残留磁気（９）が除去されることになる。
残留磁気（９）が発生しているが、この残留磁気（９）
を除去するため、ワーク脱磁用電磁石１２に脱磁動作を
行なわせるようにする。すなわち、コイル１１に交番型
減衰電流（極性を交互に変化させながら漸次減衰してい
く電流）を流すと、第４図に示すように、この交番型減
衰電流によって、互いに向きの異なる磁力線１３ａ，１
３ｂが交互に発生する。したがって、この磁力線１３ａ
，１３ｂにより、ワーク２には交番型減衰磁界が印加さ
れることとなり、これによりそれまでワーク２に残存し
ていた残留磁気（９）が除去されることになる。
なお、上記実施例では、従来例における磁極性部材３の
高さを高くし、この磁極性部材３をそのまま利用してワ
ーク脱磁用電磁石１２を形成するようにしているが、別
の材料の磁極性部材を用いてワーク脱磁用電磁石を形或
するようにしてもよい。
高さを高くし、この磁極性部材３をそのまま利用してワ
ーク脱磁用電磁石１２を形成するようにしているが、別
の材料の磁極性部材を用いてワーク脱磁用電磁石を形或
するようにしてもよい。
また、ワーク脱磁用電磁石の部分を別体購成とし、従来
例のものに、このワーク脱磁用電磁石を取付け取外しす
る構或とすることも可能である。
例のものに、このワーク脱磁用電磁石を取付け取外しす
る構或とすることも可能である。
そして、本発明は、第８図及び第９図に示すような、切
削用、研削用のいずれの永電磁式チャックに対しても適
用可能なことはいうまでもない。
削用、研削用のいずれの永電磁式チャックに対しても適
用可能なことはいうまでもない。
以上説叩したように、本発叩によれば、ワーク吸着面と
極性固定永久磁石との間にワーク脱磁用電磁石を形成し
、ワークの吸着解除後にこのワーク脱磁用電磁石のコイ
ルへ交番型減衰電流を流すように構成したので、機械加
工終了後のワークの残留磁気を充分に除去することが可
能となる。
極性固定永久磁石との間にワーク脱磁用電磁石を形成し
、ワークの吸着解除後にこのワーク脱磁用電磁石のコイ
ルへ交番型減衰電流を流すように構成したので、機械加
工終了後のワークの残留磁気を充分に除去することが可
能となる。
第１図は本発明の実施例の要部を示す概略｛１１１成図
、第２図乃至第４図は第１図の動作説明図、第５図及び
第６図は従来例の要部のｆｌ！Ｅ ＩＩｔ３ ｔＭ成図
、第７図は従来例の全体の外蜆を示す斜呪園、第８図及
び第９図は従来例の構成要素の配列例を用途別に示した
概略図である。 ２・・・ワーク、４・・・極性同定永久磁石、５・・・
陽性可変永電磁石、７・・・コイル、１１・・・コイル
、１２・・・ワーク脱磁用電磁石、 Ｐ・・・吸着面。
、第２図乃至第４図は第１図の動作説明図、第５図及び
第６図は従来例の要部のｆｌ！Ｅ ＩＩｔ３ ｔＭ成図
、第７図は従来例の全体の外蜆を示す斜呪園、第８図及
び第９図は従来例の構成要素の配列例を用途別に示した
概略図である。 ２・・・ワーク、４・・・極性同定永久磁石、５・・・
陽性可変永電磁石、７・・・コイル、１１・・・コイル
、１２・・・ワーク脱磁用電磁石、 Ｐ・・・吸着面。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ワーク吸着面の下方に極性固定永久磁石を設けると共に
、この極性固定永久磁石の下方に極性可変永電磁石を配
設し、前記ワークの吸着時には前記極性固定永久磁石及
び前記極性可変永電磁石の各磁力線の向きが一致するよ
うにこの極性可変永電磁石のコイルを通電し、前記ワー
クの吸着解除時には前記極性固定永久磁石及び前記極性
可変永電磁石の各磁力線の向きが互いに逆方向になるよ
うにこの極性可変永電磁石のコイルを通電する永電磁式
チャックにおいて、 前記ワーク吸着面と前記極性固定永久磁石との間に、さ
らにワーク脱磁用電磁石を形成し、前記ワークの吸着解
除後にこのワーク脱磁用電磁石のコイルへ交番型減衰電
流を流すようにしたことを特徴とする永電磁式チャック
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1231203A JP2974694B2 (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 永電磁式チャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1231203A JP2974694B2 (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 永電磁式チャック |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0398731A true JPH0398731A (ja) | 1991-04-24 |
| JP2974694B2 JP2974694B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=16919957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1231203A Expired - Fee Related JP2974694B2 (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 永電磁式チャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2974694B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5270678A (en) * | 1992-03-06 | 1993-12-14 | Walker Magnetics Group, Inc. | Magnetic rail chuck |
| JPH06134637A (ja) * | 1992-10-23 | 1994-05-17 | Fuji Jikou Kk | 永電磁式チャックの制御装置 |
| WO2009118888A1 (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-01 | キヤノンアネルバ株式会社 | 真空処理装置、当該真空処理装置を用いた画像表示装置の製造方法及び当該真空処理装置により製造される電子装置 |
| JP2013537712A (ja) * | 2010-09-20 | 2013-10-03 | グァン チェ，テ | 永久磁石と電磁石とを組み合わせた磁性体保持装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60186339A (ja) * | 1984-03-02 | 1985-09-21 | Fuji Jikou Kk | エレクトロパ−マネント式磁気チヤツクの脱磁用励磁方法 |
| JPS62208844A (ja) * | 1986-03-11 | 1987-09-14 | Kanetsuu Kogyo Kk | 磁気チヤツクの励磁方法 |
-
1989
- 1989-09-06 JP JP1231203A patent/JP2974694B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60186339A (ja) * | 1984-03-02 | 1985-09-21 | Fuji Jikou Kk | エレクトロパ−マネント式磁気チヤツクの脱磁用励磁方法 |
| JPS62208844A (ja) * | 1986-03-11 | 1987-09-14 | Kanetsuu Kogyo Kk | 磁気チヤツクの励磁方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5270678A (en) * | 1992-03-06 | 1993-12-14 | Walker Magnetics Group, Inc. | Magnetic rail chuck |
| JPH06134637A (ja) * | 1992-10-23 | 1994-05-17 | Fuji Jikou Kk | 永電磁式チャックの制御装置 |
| WO2009118888A1 (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-01 | キヤノンアネルバ株式会社 | 真空処理装置、当該真空処理装置を用いた画像表示装置の製造方法及び当該真空処理装置により製造される電子装置 |
| JP5192492B2 (ja) * | 2008-03-28 | 2013-05-08 | キヤノンアネルバ株式会社 | 真空処理装置、当該真空処理装置を用いた画像表示装置の製造方法及び当該真空処理装置により製造される電子装置 |
| JP2013537712A (ja) * | 2010-09-20 | 2013-10-03 | グァン チェ，テ | 永久磁石と電磁石とを組み合わせた磁性体保持装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2974694B2 (ja) | 1999-11-10 |
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Legal Events
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