JPH0399434U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は本考案の一実施例に係り
、第１図は本考案の炉口排気装置を具備した縦型
熱処理炉の一部縦断面図、第２図は炉口排気装置
の概略構成を示す斜視図、第３図は分散部の内部
構成を示す縦断面図、第４図はガス噴出ノズルの
内部構造を示す縦断面図、第５図は整流部の内部
構造を示す横断面図である。第６図および第７図
は本考案のその他の実施例を示した斜視図であり
、第８図と第９図は、分散部の別実施例の内部構
造を示す縦断面図である。また、第１０図は従来
の炉口排気装置を具備した縦型熱処理炉の一部縦
断面図である。 １…炉芯管、５…炉口、６…スカベンジヤー、
｛９…分散部、１０…ガス噴出ノズル｝ガス噴出
管、｛１１…整流部、１２…ガス排出ノズル｝ガ
ス排出管。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 炉芯管の炉口に排気筒を取り付け、この排気筒
   を外部排気装置に連通接続して炉口周辺の排気を
   行うようにした基板熱処理炉の炉口排気装置にお
   いて、 前記排気筒内で炉口に近接配置され、炉芯管の
   管軸に略直交する方向で、少なくとも炉口を覆う
   偏平な層流状の不活性ガスを噴出するガス噴出管
   と、 前記排気筒内でガス噴出管と対向状態に設けら
   れるガス排気管と を備えたことを特徴とする基板熱処理炉の炉口排
   気装置。